CN219824421U - 一种震荡机构及电镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种震荡机构及电镀设备，所述震荡机构包括驱动件、右侧连接件、第一左侧连接件、第二左侧连接件、滑轨、及桨叶机构；其中，右侧连接件固定设置在桨叶机构的右侧沿边，第一左侧连接件及第二左侧连接件相距一定角度间隔固定设置在桨叶机构的左侧沿边；第一左侧连接件远离桨叶机构的一端与所述驱动件连接，第二左侧连接件远离桨叶机构的一端也与驱动件连接，驱动件驱动桨叶机构滑动；右侧连接件远离桨叶机构的一端固定在滑轨中，与桨叶机构同向滑动。本实用新型的震荡机构及电镀设备能够解决现有工厂应用的电镀设备由于震荡机构的设计缺陷，导致机台震动，并易划伤晶圆的问题。

Description

一种震荡机构及电镀设备

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种震荡机构及电镀设备。

背景技术

电镀是利用电解原理在某些导电基体表面上镀上若干层其它金属或合金的过程，以待镀金属为阳极，待镀件为阴极，在一定的电流密度下进行电镀。

对于晶圆，譬如在形成interposer via(中介基板上的硅通孔)、形成trench andvia(指沟槽与盲孔)等结构时，通常都会采用电镀方式形成这类结构。

在电镀时，电镀装置中，会存在电镀液静态现象，这会导致待电镀表面的电镀效果不佳，为了使电镀时电镀液搅拌的更均匀，降低待电镀表面的电镀异常几率，电镀设备都会设计有震荡机构以搅拌、震荡使电镀液均匀，去除电镀气泡，增强电镀均匀性。

但是，以盛美半导体的电镀设备为例，其桨叶机构与驱动件210的连接处，通过螺丝固定连接，螺丝长时间浸泡在电镀液中，容易出现松动，划伤待电镀的晶圆400，并且，如图1及图2所示，驱动件210挂设在电镀槽100腔体外侧250上，通过一个连杆与桨叶机构250连接，结构不稳定，容易造成机台震动。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种震荡机构及电镀设备，用于解决现有工厂应用的电镀设备由于震荡机构的设计缺陷，导致机台震动，并易划伤晶圆的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种震荡机构，所述震荡机构包括驱动件、右侧连接件、第一左侧连接件、第二左侧连接件、滑轨、及桨叶机构；其中，

所述右侧连接件固定设置在所述桨叶机构的右侧沿边，所述第一左侧连接件及所述第二左侧连接件相距一定角度间隔固定设置在所述桨叶机构的左侧沿边；

所述第一左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离，等于所述第二左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离；

所述第一左侧连接件远离所述桨叶机构的一端与所述驱动件连接，所述第二左侧连接件远离所述桨叶机构的一端也与所述驱动件连接，所述驱动件通过带动所述第一左侧连接件及所述第二左侧连接件平移，驱动所述桨叶机构滑动；

所述右侧连接件远离所述桨叶机构的一端固定在所述滑轨中，与所述桨叶机构同向滑动。

可选地，所述震荡机构包括N条左侧连接件，N≥3，所述N条左侧连接件依次以相同的角度间隔设置在所述桨叶机构的左侧沿边；其中，第一条左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离，等于第N条左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离。

可选地，所述震荡机构包括M条右侧连接件，M≥2，所述M条右侧连接件依次以相同的角度间隔设置在所述桨叶机构的右侧沿边，其中，第一条右侧连接件与所述第一左侧连接件之间的距离，等于第M条右侧连接件与所述第二左侧连接件之间的距离。

可选地，所述第一左侧连接件与所述第二左侧连接件之间设置有固定臂，所述固定臂一端与所述第一左侧连接件连接，另一端与所述第二左侧连接件连接，所述固定臂的中部与所述驱动件连接，所述驱动件通过带动所述固定臂平移，驱动所述桨叶机构滑动。

可选地，所述第一左侧连接件、所述第二左侧连接件及所述右侧连接件，都采用连接杆。

可选地，所述第一左侧连接件、所述第二左侧连接件及所述右侧连接件与所述桨叶机构一体成型。

可选地，所述驱动件采用电机。

本实用新型还提供一种电镀设备，所述电镀设备包括如前任一项所述的震荡机构。

可选地，所述电镀设备还包括机架，所述驱动件及所述滑轨固定设置在所述机架上。

如上所述，本实用新型的震荡机构及电镀设备，在桨叶机构的左侧设置若干条左侧连接件，通过左侧连接件与马达连接，这些左侧连接件均匀的分布在桨叶机构的左侧，能够有效的维持震荡机构的稳定性，防止机台震动；并且，各左侧连接件级右侧连接件与桨叶机构一体成型，不再有螺丝松动划伤待电镀晶圆，增加制程良率。

附图说明

图1显示为背景技术所述电镀设备的正视结构示意图。

图2显示为背景技术所述电镀设备的俯视结构示意图。

图3显示为实施例所述电镀设备的正视结构示意图。

元件标号说明

10 电镀设备

100 电镀槽

200 震荡机构

210 驱动件

220 右侧连接件

231 第一左侧连接件

232 第二左侧连接件

240 滑轨

250 桨叶机构

260 固定臂

300 机架

400 晶圆

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

本实施例提供一种电镀设备，如图3所示，电镀设备10包括电镀槽100、震荡机构200及机架300。其中，

所述电镀槽100依靠所述机架300固定，所述震荡机构200中的桨叶机构250设置在电镀槽100的槽内，并靠近底部设置，在电镀设备10工作时，晶圆400处于桨叶机构250上侧进行电镀，桨叶机构250会被设置在电镀槽100腔体外壁的驱动件210驱动进行往复移动(在运动时会被驱动件210及滑轨240限制移动方向)，以搅拌电镀液，去除电镀起泡，增强电镀均匀性。

由于桨叶机构250在往复运动时，需要面对电镀液形成的液体阻力，因此，液体阻力会通过设置在桨叶机构250与驱动件210之间的第一左侧连接件231及第二左侧连接件232传导到驱动件210，导致驱动件210震动，在现有的电镀设备中，驱动件210固定安装在电镀槽100的腔体外壁，因此，驱动件210的震动也会导致电镀槽的震动，不利于设备结构的稳定性。在本实施例中，如图3所示，所述驱动件210不再固定安装在电镀槽100的腔体外壁，替代为安装固定在机架300上，能够有效的防止电镀槽200的震动。

基于同样的原因，液体阻力也会通过设置在桨叶机构250与滑轨240之间的右侧连接件220传导到滑轨240，因此，滑轨240也相应的不再固定安装在电镀槽100的外壁，替代为安装固定在机架300上(驱动件210与滑轨240相对设置于电镀槽100的两侧的机架300上)，有效的防止电镀槽200的震动。

并且，如图3所示，将驱动件210与桨叶机构250进行连接的左侧连接件设置有两条，分别是第一左侧连接件231、第二左侧连接件232；所述第一左侧连接件231及所述第二左侧连接件232相距一定角度间隔固定设置在所述桨叶机构250的左侧沿边，也即与桨叶机构250具有两个连接点，相对于仅具有一个连接点，这能够有效的增加结构的稳定性，桨叶机构250往复运动时受阻产生的震动可以被第一左侧连接件231及所述第二左侧连接件232有效的抵消，减小传导到驱动件210上的震动。

作为示例，如图3所示，第一左侧连接件231与右侧连接件220之间的距离，等于第二左侧连接件232与右侧连接件220之间的距离，桨叶机构250的环周与3个连接件固定连接，动；同时，这些连接件(第一左侧连接件231、第二左侧连接件232、右侧连接件220)可以在制备时与桨叶机构250一体成型，以取代连接点处的螺丝，防止因为长久的震动，导致螺丝松动，进一步导致晶圆破损。

在一些实施例中，设置在桨叶机构250与驱动件210之间的左侧连接件可以不止2条，其可以包括N条左侧连接件，这N条左侧连接件依次以相同的角度间隔设置在桨叶机构250的左侧沿边，其中，在俯视方向上，第一条左侧连接件231与右侧连接件220之间的距离，等于第N条左侧连接件与右侧连接件220之间的距离。

在一些实施例中，设置在桨叶机构250与滑轨240之间的右侧连接件可以不止1条，其可以包括M条右侧连接件，M≥2，这M条右侧连接件依次以相同的角度间隔设置在桨叶机构250的右侧沿边，其中，在俯视方向上，第一条右侧连接件与第一左侧连接件231之间的距离，等于第M条右侧连接件与第二左侧连接件232之间的距离。

在一些实施例中，如图3所示，第一左侧连接件231与第二左侧连接件232之间设置有固定臂260，固定臂260一端与左侧连接件231连接，另一端与右侧连接件232连接，固定臂260的中部与驱动件210连接，驱动件210通过带动固定臂260平移，驱动桨叶机构250滑动，本实施例中，固定臂260将若干个左侧连接件连接在一起，使各个左侧连接件共同受驱动件驱动，同步运动。

在一些实施例中，第一左侧连接件231、第二左侧连接件232及右侧连接件220，都采用连接杆，驱动件210采用电机，其中，驱动件210不仅可以带动桨叶机构250沿一条直线往复运动，还可以带动桨叶机构250沿椭圆线进行往复运动(或其他往复运动，例如运动轨道为8字形)，相应的，所述滑轨240也需根据桨叶机构250的运动路径设置相应的滑轨轨道。

如上所述，本实用新型的震荡机构及电镀设备，在桨叶机构的左侧设置若干条左侧连接件，通过左侧连接件与马达连接，这些左侧连接件均匀的分布在桨叶机构的左侧，能够有效的维持震荡机构的稳定性，防止机台震动；并且，左侧连接件与桨叶机构一体成型，不再有螺丝松动划伤待电镀晶圆，增加制程良率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (9)

1.一种震荡机构，应用于电镀设备，其特征在于，所述震荡机构包括驱动件、右侧连接件、第一左侧连接件、第二左侧连接件、滑轨、及桨叶机构；其中，

所述右侧连接件固定设置在所述桨叶机构的右侧沿边，所述第一左侧连接件及所述第二左侧连接件相距一定角度间隔固定设置在所述桨叶机构的左侧沿边，并且，在俯视方向上，所述第一左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离，等于所述第二左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离；

所述第一左侧连接件远离所述桨叶机构的一端与所述驱动件连接，所述第二左侧连接件远离所述桨叶机构的一端也与所述驱动件连接，所述驱动件通过带动所述第一左侧连接件及所述第二左侧连接件平移，驱动所述桨叶机构滑动；

所述右侧连接件远离所述桨叶机构的一端固定在所述滑轨中，与所述桨叶机构同向滑动。

2.根据权利要求1所述的震荡机构，其特征在于，所述震荡机构包括N条左侧连接件，N≥3，所述N条左侧连接件依次以相同的角度间隔设置在所述桨叶机构的左侧沿边；其中，在俯视方向上，第一条左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离，等于第N条左侧连接件与所述右侧连接件之间的距离。

3.根据权利要求1所述的震荡机构，其特征在于，所述震荡机构包括M条右侧连接件，M≥2，所述M条右侧连接件依次以相同的角度间隔设置在所述桨叶机构的右侧沿边，其中，在俯视方向上，第一条右侧连接件与所述第一左侧连接件之间的距离，等于第M条右侧连接件与所述第二左侧连接件之间的距离。

4.根据权利要求1所述的震荡机构，其特征在于，所述第一左侧连接件与所述第二左侧连接件之间设置有固定臂，所述固定臂一端与所述第一左侧连接件连接，另一端与所述第二左侧连接件连接，所述固定臂的中部与所述驱动件连接，所述驱动件通过带动所述固定臂平移，驱动所述桨叶机构滑动。

5.根据权利要求1所述的震荡机构，其特征在于，所述第一左侧连接件、所述第二左侧连接件及所述右侧连接件，都采用连接杆。

6.根据权利要求1所述的震荡机构，其特征在于，所述第一左侧连接件、所述第二左侧连接件及所述右侧连接件与所述桨叶机构一体成型。

7.根据权利要求1所述的震荡机构，其特征在于，所述驱动件采用电机。

8.一种电镀设备，其特征在于，所述电镀设备包括如权利要求1-7任一项所述的震荡机构。

9.根据权利要求8所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀设备还包括机架，所述驱动件及所述滑轨固定设置在所述机架上。