CN219816766U - 一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，包括光阻液储存盒和束管扣，所述光阻液储存盒的后端设置有密封盖，且光阻液储存盒的左右两端固定油支撑架，所述支撑架的内壁设置有照明灯，且支撑架的末端开设有安装孔，所述光阻液储存盒的底端固定有连接架，且连接架的外侧安装有固定套，所述束管扣设置于固定套的左右两侧，所述束管扣的内部穿设有输液管道。该一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，采用收集结构，可收集滴落下的光阻液，避免光阻液滴落到桌面，影响桌面的美观，同时采用限位结构，可对输液管道进行限位，避免输液管道堆积在一起，减少输液管道的弯折，保证光阻液的流动，刮液板可刮除光阻液储存盒内壁粘附的光阻液。

Description

一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片技术领域，具体为一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备。

背景技术

光阻亦称为光阻液，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是，可以在刻上一个图案的，光阻液是半导体芯片中核心材料，可通过喷涂装置将光阻液喷涂到半导体芯片上，提高工作效率。

如申请号：CN202220520624.6，本实用新型公开了一种高端装备制造的半导体芯片均匀喷涂设备，涉及到喷涂设备领域，包括喷涂管道，喷涂管道的下方连接有长距离喷涂组件，长距离喷涂组件包括上下设置的上板体、下板体，上板体的底部固定设置有驱动下板体移动的驱动组件，上板体上设置有通过螺纹配合连接在喷涂管道端部的连接套，长距离喷涂组件可匹配连接在喷涂管道的下端，适用于将喷涂管道处喷出的雾状喷涂料分散呈长距离的雾状喷涂料，用于一次性喷涂半导体芯片一个长度方向的表面位置或者一个宽度方向的表面位置，在不改变原设备的情况下，提高了喷涂效率，且长距离喷涂组件可匹配不同的喷涂管道上使用，具有很强的实用性。

类似于上述申请目前还存在以下不足：

现有装置在使用的时候输液管道会盘在一起，从而产生很多弯折处，影响光阻液的流动，影响喷涂头的喷涂工作。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，包括光阻液储存盒和束管扣，所述光阻液储存盒的后端设置有密封盖，且光阻液储存盒的左右两端固定油支撑架，所述支撑架的内壁设置有照明灯，且支撑架的末端开设有安装孔，所述光阻液储存盒的底端固定有连接架，且连接架的外侧安装有固定套，所述束管扣设置于固定套的左右两侧，所述束管扣的内部穿设有输液管道。

进一步的，所述连接架的底端固定有连接板，且连接板的左右两端外壁固定有衔接套。

进一步的，所述衔接套的内部安装有喷涂头，且喷涂头的上端固定有管道接口。

进一步的，所述连接板的底端安装有连接轴，且连接轴的末端设置有连接杆。

进一步的，所述连接杆的端部固定有收集槽盒，且收集槽盒设置有两个。

进一步的，所述光阻液储存盒的内壁固定有滑道，且滑道的上端安置有活动板。

进一步的，所述活动板的左右两侧下端固定有连接块，且活动板的中部下端固定有刮液板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，采用收集结构，可收集滴落下的光阻液，避免光阻液滴落到桌面，影响桌面的美观以及使用，同时采用限位结构，可对输液管道进行限位，避免输液管道堆积在一起，减少输液管道的弯折，保证光阻液的流动。

1.本实用新型通过束管扣可将输液管道固定在连接架上，有效防止输液管道耷拉堆积，减少输液管道的弯折部分，保证输液管道内部光阻液的流动，连接轴和连接杆之间为转动连接，可调整收集槽盒的位置，将收集槽盒移动到喷涂头的底端，可收集喷涂头滴落下的光阻液，防止滴落到工作台面上。

1.本实用新型通过活动板底端的连接块在滑道中移动，可带动刮液板在光阻液储存盒内部左右移动，使得刮液板的两端可与光阻液储存盒的内壁接触，移动时刮除光阻液储存盒内壁粘附的光阻液，减少光阻液的损耗。

附图说明

图1为本实用新型一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备主视立体结构示意图；

图2为本实用新型一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备光阻液储存盒俯视内部结构示意图；

图3为本实用新型一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备刮液板立体结构示意图。

图中：1、光阻液储存盒；2、密封盖；3、支撑架；4、照明灯；5、安装孔；6、连接架；7、固定套；8、束管扣；9、连接板；10、输液管道；11、管道接口；12、衔接套；13、喷涂头；14、收集槽盒；15、连接轴；16、连接杆；17、滑道；18、活动板；19、连接块；20、刮液板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

如图1和图2所示，一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，包括光阻液储存盒1和束管扣8，光阻液储存盒1的后端设置有密封盖2，且光阻液储存盒1的左右两端固定油支撑架3，支撑架3的内壁设置有照明灯4，且支撑架3的末端开设有安装孔5，光阻液储存盒1的底端固定有连接架6，且连接架6的外侧安装有固定套7，束管扣8设置于固定套7的左右两侧，束管扣8的内部穿设有输液管道10，连接架6的底端固定有连接板9，且连接板9的左右两端外壁固定有衔接套12，衔接套12的内部安装有喷涂头13，且喷涂头13的上端固定有管道接口11，连接板9的底端安装有连接轴15，且连接轴15的末端设置有连接杆16，连接杆16的端部固定有收集槽盒14，且收集槽盒14设置有两个，通过束管扣8可将输液管道10固定在连接架6上，有效防止输液管道10耷拉堆积，减少输液管道10的弯折部分，保证输液管道10内部光阻液的流动，连接轴15和连接杆16之间为转动连接，可调整收集槽盒14的位置，将收集槽盒14移动到喷涂头13的底端，可收集喷涂头13滴落下的光阻液，防止滴落到工作台面上。

如图2和图3所示，光阻液储存盒1的内壁固定有滑道17，且滑道17的上端安置有活动板18，活动板18的左右两侧下端固定有连接块19，且活动板18的中部下端固定有刮液板20，通过活动板18底端的连接块19在滑道17中移动，可带动刮液板20在光阻液储存盒1内部左右移动，使得刮液板20的两端可与光阻液储存盒1的内壁接触，移动时刮除光阻液储存盒1内壁粘附的光阻液，减少光阻液的损耗。

工作原理：当该一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备在使用时，首先根据图1-图3，支撑架3放到台面，将螺丝穿过支撑架3的安装孔5，即可固定支撑架3，安装好后，将光阻液倒入光阻液储存盒1中，闭合密封盖2，通过输液管道10将输光阻液输送到喷涂头13中，利用喷涂头13产生的压力，将光阻液以雾状喷出，喷射到半导体芯片上，喷涂结束后，移动连接杆16，将其末端的收集槽盒14放在喷涂头13的下方，收集滴落下来的光阻液，工作结束后，将活动板18两端的连接块19放入光阻液储存盒1中的滑道17中，移动活动板18，可带动刮液板20在光阻液储存盒1内部左右移动，使得刮液板20的两端可与光阻液储存盒1的内壁接触，移动时刮除光阻液储存盒1内壁粘附的光阻液，减少光阻液的损耗。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (7)

1.一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，包括光阻液储存盒(1)和束管扣(8)，其特征在于，所述光阻液储存盒(1)的后端设置有密封盖(2)，且光阻液储存盒(1)的左右两端固定油支撑架(3)，所述支撑架(3)的内壁设置有照明灯(4)，且支撑架(3)的末端开设有安装孔(5)，所述光阻液储存盒(1)的底端固定有连接架(6)，且连接架(6)的外侧安装有固定套(7)，所述束管扣(8)设置于固定套(7)的左右两侧，所述束管扣(8)的内部穿设有输液管道(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，其特征在于，所述连接架(6)的底端固定有连接板(9)，且连接板(9)的左右两端外壁固定有衔接套(12)。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，其特征在于，所述衔接套(12)的内部安装有喷涂头(13)，且喷涂头(13)的上端固定有管道接口(11)。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，其特征在于，所述连接板(9)的底端安装有连接轴(15)，且连接轴(15)的末端设置有连接杆(16)。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，其特征在于，所述连接杆(16)的端部固定有收集槽盒(14)，且收集槽盒(14)设置有两个。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，其特征在于，所述光阻液储存盒(1)的内壁固定有滑道(17)，且滑道(17)的上端安置有活动板(18)。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体芯片用光阻液喷涂装备，其特征在于，所述活动板(18)的左右两侧下端固定有连接块(19)，且活动板(18)的中部下端固定有刮液板(20)。