CN219800807U - 一种晶圆片装卸载腔室结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆片装卸载腔室结构，包括装卸载腔室和设在装卸载腔室内部用于承载晶圆片的晶圆载台结构，所述晶圆载台结构包括基座和设在基座上可相对转动的一组转盘，对应每个转盘外缘均设有晶圆载台。该晶圆片装卸载腔室结构设计合理，改变晶圆载台结构形式，形成立体式晶圆载台转动结构，将一次传一片改善为一次传多片，调整进片方式，节省传片时间，提高了传送效率，利于提高晶圆生产产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其是涉及一种晶圆片装卸载腔室结构。
背景技术
机台在晶圆片生产过程中，现有的晶圆片装卸载腔室结构传片效率较低；如图3所示，现有晶圆片装卸载腔室结构中的一组晶圆载台处于同一水平面，在传片过程中仅有一个晶圆载台能转至左侧进片处，通过送片机器人手臂一次仅能传送一个晶圆片至对应的晶圆载台上，转动一组晶圆载台进行下一个晶圆载台传片，装卸载腔室内抽真空处理，通过装卸载腔室内的真空手臂将晶圆载台上的晶圆片传送到对应机台腔室内。其存在一次传一片导致的传片效率较低的问题，影响晶圆生产产能。
实用新型内容
针对现有技术不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶圆片装卸载腔室结构，以达到提高传送效率的目的。
为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案为：
该晶圆片装卸载腔室结构，包括装卸载腔室和设在装卸载腔室内部用于承载晶圆片的晶圆载台结构，所述晶圆载台结构包括基座和设在基座上可相对转动的一组转盘，对应每个转盘外缘均设有晶圆载台。
进一步的：
所述基座为转座结构。
所述基座上设有升降柱，一组转盘设在升降柱上。
所述一组转盘包括上下布置的三个转盘，三个转盘分别为下转盘、中间转盘以及上转盘，中间转盘位于下转盘和上转盘之间。
所述转盘包括盘体和内齿圈以及驱动电机，所述盘体设在升降柱上方，内齿圈设在盘体外缘上，驱动电机上设有与内齿圈相啮合的驱动齿轮，内齿圈外缘上设有一个晶圆载台。
所述盘体的外缘设有环形台阶，内齿圈底部通过平面轴承设在环形台阶上。
所述三个转盘对应设置三个晶圆载台，三个晶圆载台初始状态之间角度为120度。
本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：
该晶圆片装卸载腔室结构设计合理，改变晶圆载台结构形式，形成立体式晶圆载台转动结构，将一次传一片改善为一次传多片，调整进片方式，节省传片时间，提高了传送效率，利于提高晶圆生产产能。
附图说明
下面对本说明书各幅附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：
图1为本实用新型装卸载腔室结构示意图。
图2为本实用新型载台结构示意图。
图3为现有装卸载腔室结构示意图。
图中：
1.送片机器人手臂、2.装卸载腔室、201.第一晶圆载台、202.第二晶圆载台、203.第三晶圆载台、3.晶圆片、4.基座、5.升降柱、601.下转盘、602.中间转盘、603.上转盘。
具体实施方式
下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
如图1和图2所示，该晶圆片装卸载腔室结构，包括装卸载腔室2和设在装卸载腔室内部用于承载晶圆片3的晶圆载台结构，装卸载腔室的一侧设有可打开关闭的送片口，装卸载腔室的外部对应送片口设有送片机器人手臂，送片机器人手臂可以伸入送片口。
晶圆载台结构包括基座4和设在基座上可相对转动的一组转盘，对应每个转盘外缘均设有晶圆载台，通过转动转盘可将一组晶圆载台上下对齐以及展开，形成立体式晶圆载台转动结构，一组晶圆载台上下间隔对齐时，可通过送片机器人手臂一次送入多个晶圆片，提高了传送效率。
如图2所示，基座为转座结构，基座上设有升降柱5，一组转盘设在升降柱上，可同时实现水平方向转动及竖直方向上下微移，调整高效简便，升降柱可采用现有升降柱结构。
优选的，一组转盘包括上下布置的三个转盘，三个转盘分别为下转盘601、中间转盘602以及上转盘603，中间转盘位于下转盘和上转盘之间；对应每个转盘设置一个晶圆载台；具体为，对应上转盘外缘设有第一晶圆载台201，对应中间转盘外缘设有第二晶圆载台202，对应下转盘外缘设有第三晶圆载台203；三个晶圆载台上下对齐时，相邻晶圆载台之间具有间隙。
三个转盘结构基本相同；转盘包括盘体和内齿圈以及驱动电机，盘体设在升降柱上方，内齿圈设在盘体外缘上，驱动电机设在盘体上位于内齿圈内侧，驱动电机上设有与内齿圈相啮合的驱动齿轮，内齿圈外缘上设有一个晶圆载台；通过驱动电机驱动内齿圈转动，从而带动对应的晶圆载台转动调整位置，驱动结构内置集成设置，结构紧凑，便于布置和安装。
盘体的外缘设有环形台阶，内齿圈底部通过平面轴承设在环形台阶上，转盘上的内齿圈转动稳定可靠；晶圆载台可通过连接杆与对应内齿圈外缘相连，结构紧凑。
三个转盘对应设置三个晶圆载台，三个晶圆载台初始状态之间角度为120度；三个晶圆载台上下对齐时通过送片机器人手臂1一次传三片晶圆，送片机器人手臂送片完成后，三个晶圆载台转动展开，通过装卸载腔室内的真空手臂将晶圆载台上的晶圆片传送到对应机台腔室内。
本实用新型晶圆片装卸载腔室结构设计合理，改变晶圆载台结构形式，形成立体式晶圆载台转动结构，将一次传一片改善为一次传多片，调整进片方式，节省传片时间，提高了传送效率，利于提高晶圆生产产能。
上述仅为对本实用新型较佳的实施例说明，上述技术特征可以任意组合形成多个本实用新型的实施例方案。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种晶圆片装卸载腔室结构，包括装卸载腔室和设在装卸载腔室内部用于承载晶圆片的晶圆载台结构，其特征在于：所述晶圆载台结构包括基座和设在基座上可相对转动的一组转盘，对应每个转盘外缘均设有晶圆载台。
2.如权利要求1所述晶圆片装卸载腔室结构，其特征在于：所述基座为转座结构。
3.如权利要求1所述晶圆片装卸载腔室结构，其特征在于：所述基座上设有升降柱，一组转盘设在升降柱上。
4.如权利要求3所述晶圆片装卸载腔室结构，其特征在于：所述一组转盘包括上下布置的三个转盘，三个转盘分别为下转盘、中间转盘以及上转盘，中间转盘位于下转盘和上转盘之间。
5.如权利要求4所述晶圆片装卸载腔室结构，其特征在于：所述转盘包括盘体和内齿圈以及驱动电机，所述盘体设在升降柱上方，内齿圈设在盘体外缘上，驱动电机上设有与内齿圈相啮合的驱动齿轮，内齿圈外缘上设有一个晶圆载台。
6.如权利要求5所述晶圆片装卸载腔室结构，其特征在于：所述盘体的外缘设有环形台阶，内齿圈底部通过平面轴承设在环形台阶上。
7.如权利要求5所述晶圆片装卸载腔室结构，其特征在于：所述三个转盘对应设置三个晶圆载台，三个晶圆载台初始状态之间角度为120度。
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- 2023-05-17 CN CN202321191669.4U patent/CN219800807U/zh active Active
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