CN219787009U - 一种改良的半自动晶圆划片切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种改良的半自动晶圆划片切割机，属于晶圆切割技术领域。一种改良的半自动晶圆划片切割机，包括工作台，工作台包括固定连接在工作台上的工作架、切割机构和固定晶圆划片的固定机构，切割机构包括安装在工作架上的第一驱动组件、第一滑块、第二驱动组件、第二滑块，工作架上具有第一滑轨，所述第一驱动组件安装在工作架上，第一滑块滑动设置在第一滑轨上，第一驱动组件与第一滑块相连，用于带动第一滑块移动；第一滑块上固定连接有第一连接板，第一连接板上连接有第二驱动组件，所述第二驱动组件与第二滑块相连，用于带动第二滑块移动。本实用新型具有加工精度高的优点。

Description

一种改良的半自动晶圆划片切割机

技术领域

本实用新型属于晶圆切割技术领域，具体为一种改良的半自动晶圆划片切割机。

背景技术

晶圆切割机作为半导体行业中加工硅片等材料的重要仪器，能够将晶圆划片切割成众多小块。现有的晶圆切割机一般将晶圆划片放置在操作平台上，人工采用切割刀片进行切割，切割刀片在切割时可能会因为加工经验不足或者人员注意力不够集中导致加工精度较低，加工质量较差。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种改良的半自动晶圆划片切割机，具有加工精度高的优点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种改良的半自动晶圆划片切割机，包括工作台，工作台包括固定连接在工作台上的工作架、切割机构和固定晶圆划片的固定机构，

切割机构包括安装在工作架上的第一驱动组件、第一滑块、第二驱动组件、第二滑块，工作架上具有第一滑轨，所述第一驱动组件安装在工作架上，第一滑块滑动设置在第一滑轨上，第一驱动组件与第一滑块相连，用于带动第一滑块移动；第一滑块上固定连接有第一连接板，第一连接板上连接有第二驱动组件，所述第二驱动组件与第二滑块相连，用于带动第二滑块移动；第一滑块的移动方向与所述第二滑块的移动方向垂直；所述第二滑块上安装有升降板，升降板的一侧具有第二滑轨，另一侧具有齿条，齿条连接有第一齿轮471，第一齿轮471与齿条相啮合，第二滑轨上滑动设置有升降架，升降架上安装有第三驱动组件，所述第三驱动组件的输出轴连接第一齿轮471，所述升降架的底部还固定连接有激光切割头；

固定机构包括固定连接在工作台上的置料槽以及四个固定组件，每个固定组件上都具有环状固定件，用于对置料槽内的晶圆划片进行固定。

优选的，第一驱动组件包括第一安装板、第一驱动电机、第二齿轮、第三齿轮和第一丝杆，所述第一安装板固定连接在工作架上，第一安装板上安装有第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴传动连接第二齿轮，第二齿轮与第三齿轮相啮合，且第三齿轮连接第一丝杆，第一丝杆与第一滑块相连，用于带动第一滑块移动。

优选的，第二驱动组件包括第二驱动电机、第二丝杆，所述第一连接板上安装有第二驱动电机，第二驱动电机的输出轴上传动连接第二丝杆，第二丝杆与第二滑块相连，用于带动第二滑块移动。

优选的，所述第三驱动组件为第三驱动电机，所述第三驱动电机的输出轴传动连接第一齿轮471，用于带动第一齿轮471在齿条上移动。

优选的，固定组件还包括第二安装板、推杆电机，工作台上固定连接第二安装板，所述第二安装板上固定连接有推杆电机，所述推杆电机的推动杆穿过置料槽的槽壁，且固定连接环状固定件。

优选的，所述第一滑轨上具有第一滑动槽，第一滑块上具有第一滑动部，所述第一滑动部与第一滑轨的第一滑动槽滑动配合。

优选的，环状固定件具有固定部，所述固定部能够与晶圆划片相抵靠。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：通过设置一个水平方向和垂直方向都能移动的激光切割头以及能够将晶圆划片固定住的若干环状固定件，自动加工和切割晶圆划片，加工精度高。

附图说明

图1是本实用新型的侧面剖视图。

图2是本实用新型的俯视视图。

图3是本实用新型的正面剖视图。

图中，2、工作台；3、工作架；31、第一滑轨；311、第一滑动槽；411、第一安装板；412、第一驱动电机；413、第二齿轮；414、第三齿轮；415、第一丝杆；42、第一滑块；421、第一连接板；422、第一滑动部；431、第二驱动电机；432、第二丝杆；44、第二滑块；45、升降板；46、第二滑轨；47、齿条；471、第一齿轮471；48、升降架；49、激光切割头；51、置料槽；52、固定组件；521、环状固定件；5211、固定部；522、第二安装板；523、推杆电机；6、晶圆划片；7、第三驱动电机。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1至图3所示，一种改良的半自动晶圆划片切割机，包括工作台2，工作台2包括固定连接在工作台2上的工作架3、切割机构和固定晶圆划片6的固定机构，切割机构包括安装在工作架3上的第一驱动组件、第一滑块42、第二驱动组件、第二滑块44，工作架3上具有第一滑轨31，第一驱动组件安装在工作架3上，第一滑块42滑动设置在第一滑轨31上，第一驱动组件与第一滑块42相连，用于带动第一滑块42移动；第一滑块42上固定连接有第一连接板421，第一连接板421上连接有第二驱动组件，第二驱动组件与第二滑块44相连，用于带动第二滑块44移动；第一滑块42的移动方向与第二滑块44的移动方向垂直；第二滑块44上安装有升降板45，升降板45的一侧具有第二滑轨46，另一侧具有齿条47，齿条47连接有第一齿轮471，第一齿轮471与齿条47相啮合，第二滑轨46上滑动设置有升降架48，升降架48上安装有第三驱动组件，第三驱动组件的输出轴连接第一齿轮471，升降架48的底部还固定连接有激光切割头49；固定机构包括固定连接在工作台2上的置料槽51以及四个固定组件52，每个固定组件52上都具有环状固定件521，用于对置料槽51内的晶圆划片6进行固定。

采用上述结构，将晶圆划片6放置在工作台2的置料槽51内，通过四个固定组件52上的各个环状固定件521抵靠在晶圆划片6上，对晶圆划片6先进行限位固定；随后安葬在工作架3上的第一驱动组件启动，能够带动第一滑块42进行向左右方向的移动，安装在第一滑块42上的第一连接板421上固定连接有第二驱动组件，第二驱动组件能够带动第二滑块44进行前后方向上的移动；第二滑块44连接升降板45，升降板45一侧的第二滑轨46与升降架48滑动配合，另一侧设置的齿条47与第一齿轮471相啮合，当升降架48向下移动时，升降架48在第二滑轨46上向下滑动，而升降架48的另一侧则通过齿轮和齿条47啮合，同时向下移动，使得升降架48底部的激光切割头49向下移动到预定切割位置，对晶圆划片6进行切割。

此结构的设置有利于通过设置一个水平方向和垂直方向都能移动的激光切割头49以及能够将晶圆划片6固定住的若干环状固定件521，自动加工和切割晶圆划片6，加工精度高。

具体而言，如图1至图3所示，第一驱动组件包括第一安装板411、第一驱动电机412、第二齿轮413、第三齿轮414和第一丝杆415，第一安装板411固定连接在工作架3上，第一安装板411上安装有第一驱动电机412，第一驱动电机412的输出轴传动连接第二齿轮413，第二齿轮413与第三齿轮414相啮合，且第三齿轮414连接第一丝杆415，第一丝杆415与第一滑块42相连，用于带动第一滑块42移动。

采用上述结构，当装置需要进行左右方向上的移动时，安装在第一安装板411上的第一驱动电机412启动，第一驱动电机412的输出轴传动连接第二齿轮413，带动第二齿轮413转动，第二齿轮413与第三齿轮414垂直设置，且第二齿轮413与第三齿轮414啮合，第二齿轮413转动的同时，第三齿轮414也进行转动，第三齿轮414连接第一丝杆415，当第三齿轮414转动时，第一丝杆415也跟着转动，第一丝杆415能够将回转运动转化为直线运动，连接在第一丝杆415上的第一滑块42随着第一丝杆415转动而在第一丝杆415上进行左右方向上的移动。

此结构的设置有利于在左右方向对切割装置进行调整和定位，有利于自动加工切割晶圆划片6，加工精度高。

如图1至图3所示，第二驱动组件包括第二驱动电机431、第二丝杆432，第一连接板421上安装有第二驱动电机431，第二驱动电机431的输出轴上传动连接第二丝杆432，第二丝杆432与第二滑块44相连，用于带动第二滑块44移动。

采用上述结构，当装置需要进行前后方向上的移动时，第一连接板421上安装的第二驱动电机431启动，带动第二驱动电机431输出轴上连接的第二丝杆432转动，第二丝杆432能够将回转运动转化为直线运动，使得第二滑块44能够在第二丝杆432上向前或者向后移动。

此结构的设置有利于在前后方向对切割装置进行调整和定位，有利于自动加工切割晶圆划片6，加工精度高。

本实用新型中第一丝杆415和第二丝杆432皆为现有的技术。

如图1至图3所示，第三驱动组件为第三驱动电机7，第三驱动电机7的输出轴传动连接第一齿轮471，用于带动第一齿轮471在齿条47上移动。

采用上述结构，第三驱动电机7的输出轴触动连接第一齿轮471，第一齿轮471与齿条47相啮合，当进行升降架48的升降时，第三驱动电机7带动第一齿轮471在齿条47上向上或者向下移动。

如图1至图3所示，固定组件52还包括第二安装板522、推杆电机523，工作台2上固定连接第二安装板522，第二安装板522上固定连接有推杆电机523，推杆电机523的推动杆穿过置料槽51的槽壁，且固定连接环状固定件521。

采用上述结构，第二安装板522上安装的推杆电机523向置料槽51的中心推动环状固定件521，使得每个环状固定件521都能够抵靠在晶圆划片6的圆形边缘处，在切割时限位和固定住晶圆划片6，使得加工精度更高。

如图1至图3所示，第一滑轨31上具有第一滑动槽311，第一滑块42上具有第一滑动部422，第一滑动部422与第一滑轨31的第一滑动槽311滑动配合。

采用上述结构，第一滑块42的第一滑动部422与第一滑轨31的第一滑动槽311滑动配合，使得第一滑块42在第一丝杆415驱动的同时在第一滑轨31上快速移动，移动更加方便。

如图1至图3所示，环状固定件521具有固定部5211，固定部5211能够与晶圆划片6相抵靠。

采用上述结构，每个环状固定件521的固定部5211都能够抵靠在晶圆划片6的圆形边缘处，对晶圆划片6进行限位和固定。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。同时，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个方案，以“A和/或B”为例，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (7)

1.一种改良的半自动晶圆划片切割机，包括工作台(2)，其特征在于，工作台(2)包括固定连接在工作台(2)上的工作架(3)、切割机构和固定晶圆划片(6)的固定机构，

切割机构包括安装在工作架(3)上的第一驱动组件、第一滑块(42)、第二驱动组件、第二滑块(44)，工作架(3)上具有第一滑轨(31)，所述第一驱动组件安装在工作架(3)上，第一滑块(42)滑动设置在第一滑轨(31)上，第一驱动组件与第一滑块(42)相连，用于带动第一滑块(42)移动；第一滑块(42)上固定连接有第一连接板(421)，第一连接板(421)上连接有第二驱动组件，所述第二驱动组件与第二滑块(44)相连，用于带动第二滑块(44)移动；第一滑块(42)的移动方向与所述第二滑块(44)的移动方向垂直；所述第二滑块(44)上安装有升降板(45)，升降板(45)的一侧具有第二滑轨(46)，另一侧具有齿条(47)，齿条(47)连接有第一齿轮(471)，第一齿轮(471)与齿条(47)相啮合，第二滑轨(46)上滑动设置有升降架(48)，升降架(48)上安装有第三驱动组件，所述第三驱动组件的输出轴连接第一齿轮(471)，所述升降架(48)的底部还固定连接有激光切割头(49)；

固定机构包括固定连接在工作台(2)上的置料槽(51)以及四个固定组件(52)，每个固定组件(52)上都具有环状固定件(521)，用于对置料槽(51)内的晶圆划片(6)进行固定。

2.根据权利要求1所述的一种改良的半自动晶圆划片切割机，其特征在于，第一驱动组件包括第一安装板(411)、第一驱动电机(412)、第二齿轮(413)、第三齿轮(414)和第一丝杆(415)，所述第一安装板(411)固定连接在工作架(3)上，第一安装板(411)上安装有第一驱动电机(412)，第一驱动电机(412)的输出轴传动连接第二齿轮(413)，第二齿轮(413)与第三齿轮(414)相啮合，且第三齿轮(414)连接第一丝杆(415)，第一丝杆(415)与第一滑块(42)相连，用于带动第一滑块(42)移动。

3.根据权利要求1所述的一种改良的半自动晶圆划片切割机，其特征在于，第二驱动组件包括第二驱动电机(431)、第二丝杆(432)，所述第一连接板(421)上安装有第二驱动电机(431)，第二驱动电机(431)的输出轴上传动连接第二丝杆(432)，第二丝杆(432)与第二滑块(44)相连，用于带动第二滑块(44)移动。

4.根据权利要求1所述的一种改良的半自动晶圆划片切割机，其特征在于，所述第三驱动组件为第三驱动电机(7)，所述第三驱动电机(7)的输出轴传动连接第一齿轮(471)，用于带动第一齿轮(471)在齿条(47)上移动。

5.根据权利要求1所述的一种改良的半自动晶圆划片切割机，其特征在于，固定组件(52)还包括第二安装板(522)、推杆电机(523)，工作台(2)上固定连接第二安装板(522)，所述第二安装板(522)上固定连接有推杆电机(523)，所述推杆电机(523)的推动杆穿过置料槽(51)的槽壁，且固定连接环状固定件(521)。

6.根据权利要求1所述的一种改良的半自动晶圆划片切割机，其特征在于，所述第一滑轨(31)上具有第一滑动槽(311)，第一滑块(42)上具有第一滑动部(422)，所述第一滑动部(422)与第一滑轨(31)的第一滑动槽(311)滑动配合。

7.根据权利要求1所述的一种改良的半自动晶圆划片切割机，其特征在于，环状固定件(521)具有固定部(5211)，所述固定部(5211)能够与晶圆划片相抵靠。