CN219715272U - 一种硅片边缘检测组合光源 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片边缘检测组合光源，其涉及检测光源领域，其包括外壳，内部设有容纳腔，顶部设有出光口，两块分别装设在外壳底部两端的固定板，第一反射组件的两端固定在固定板上，第一反射组件和外壳之间设有通道，第二反射组件位于第一光源组件的一侧，分光镜竖直布置且位于第一光源组件的顶部，第三反射组件装设在分光镜的一侧；第一光源组件将光线传递到第一反射组件处，第一反射组件将光线反射给硅片的一侧，硅片将光线反射给第二反射组件，第二反射组件将光线反射给分光镜，分光镜将光线反射给第三反射组件，第三反射组件将光线反射以使光线从出光口处透出，本实用新型便于检测硅片的边缘，可以同一工位实现两次工艺检测。

Description

一种硅片边缘检测组合光源

技术领域

本实用新型涉及检测光源技术领域，尤其涉及一种硅片边缘检测组合光源。

背景技术

由于硅片产品边缘由于磕碰产生的缺损和缺角，边缘缺损的大小和位置不确定，因此在生产过程中需要对硅片的边缘进行检测，硅片的结构较小，检测侧面时，一般是将硅片进行翻转，以使硅片侧面向上，便于光源和检测相机的检测，这种操作方式效率低下；还有的是将光源和检测相机调整摆放至合适的位置，这样操作方式难度高，重复性差，因此现有的硅片检测效率较低，难以形成流水线检测。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供了一种硅片边缘检测组合光源，其结构简单，安装方便，便于检测硅片的边缘，可以同一工位实现两次工艺检测，解决多工位检测降低成本。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种硅片边缘检测组合光源，包括外壳，该外壳内部设有容纳腔，底部设有开口，顶部设有出光口，两块分别装设在外壳底部两端的固定板，装设在容纳腔内的第一光源组件、第一反射组件、第二反射组件、分光镜和第三反射组件；第一反射组件的两端分别固定在两块固定板上，第一反射组件顶部和外壳底部之间设有能使产品通过的通道，第二反射组件位于第一光源组件的一侧，分光镜竖直布置且位于第一光源组件的顶部，第三反射组件装设在分光镜的一侧并位于出光口的底部；

第一光源组件点亮时将光线传递到第一反射组件处，第一反射组件将光线反射给位于通道内硅片的一侧，硅片将光线反射给第二反射组件，第二反射组件将光线反射给分光镜，分光镜将光线反射给第三反射组件，第三反射组件将光线反射以使光线从出光口处透出。

上述技术方案中，还包括装设在容纳腔内的第二光源组件、第四反射组件、第五反射组件；所述第二光源组件装设在第一光源组件远离第二反射组件的一侧，第五反射组件装设在第二光源组件的另一侧，所述分光镜装设在第一光源组件和第二光源组件之间的顶部；

第二光源组件点亮时将光线传递到第四反射组件处，第四反射组件将光线反射给位于通道内硅片的另一侧，硅片将光线反射给第二反射组件，第二反射组件将光线反射给分光镜，分光镜将光线反射给第三反射组件，第三反射组件将光线反射以使光线从出光口处透出。

上述技术方案中，以分光镜为对称轴，第一光源组件和第二光源组件、第一反射组件和第四反射组件，第二反射组件和第五反射组件均为对称设置。

上述技术方案中，所述第一反射组件，第二反射组件，第三反射组件，第四反射组件、第五反射组件均包括设有第一安装槽的固定架，装设在固定架两端的圆形安装件，装设在第一安装槽上的反射镜，所述圆形安装件上设置有第一固定孔，容纳腔/固定板两侧的内壁上均设置有用于固定圆形安装件的第二安装槽，所述第二安装槽内设有与第一固定孔相配合的第二固定孔。

上述技术方案中，所述圆形安装件上设置有第一定位孔，所述外壳上设置有与第一定位孔配合的第二定位孔。

上述技术方案中，还包括装设在容纳腔内的分光镜固定座，所述分光镜装设在分光镜固定座上。

上述技术方案中，所述第一光源组件和第二光源组件均包括设有容纳槽的壳体，装设在容纳槽内的LED电路板，装设在容纳槽内并位于LED电路板出光方向的聚光棒，装设在容纳槽开口处并位于LED电路板出光方向的光学膜片。

上述技术方案中，还包括装设在容纳槽开口处的透明板，所述光学膜片设置在透明板的底部。

上述技术方案中，所述外壳包括两块平行设置的侧板，两块分别装设在两块侧板的两端且平行设置的端板，设置在侧板和端板顶部的顶板，所述出光口设置在顶板上，所述第一光源组件、第二光源组件、第一反射组件，第二反射组件，第三反射组件，第四反射组件、第五反射组件和分光镜的两端分别装设在两块端板的内壁上。

上述技术方案中，还包括装设在出光口处的检测相机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本技术方案结构简单，通过采用一个光源组件、三个反射镜和分光镜的反射光路工作，即可以检测硅片的侧面，而且这种结构的光源在均匀性、亮度及聚光性均有非常优异的表现，而且这种采用光源和反射镜组合结构来实现光路反射，具有空间缝隙较大，散热效果良好的优点，本技术方案通过采用两个光源组件、五个反射镜和一个分光镜，既可以实现同一工位进行两次硅片边缘的缺陷检测，满足检测硅片的前侧面和后侧面，还可以降低多工位检测的成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的一种硅片边缘检测组合光源的结构示意图；

图2是本实用新型提供的一种硅片边缘检测组合光源在另一角度下的结构示意图；

图3是本实用新型提供的实施例一中其中一种硅片边缘检测组合光源的光线走向图；

图4是本实用新型提供的实施例一中另一种硅片边缘检测组合光源的光线走向图；

图5是本实用新型提供的实施例二中一种硅片边缘检测组合光源检测硅片前侧面的光线走向图；

图6是本实用新型提供的实施例二中一种硅片边缘检测组合光源检测硅片后侧面的光线走向图；

图7是本实用新型提供的一种硅片边缘检测组合光源检测硅片的侧视图；

图8是图7中A-A处的剖视图；

图9是图8中A处的局部放大图；

图10是图7中A-A处在另一角度下的剖视图。

附图的标记为：1、外壳；11、出光口；12、通道；13、第二安装槽；131、第二固定孔；14、第二定位孔；2、固定板；3、第一光源组件；31、壳体；32、LED电路板；33、聚光棒；34、光学膜片；35、透明板；4、第一反射组件；41、固定架；411、第一安装槽；42、圆形安装件；43、反射镜；5、第二反射组件；6、分光镜；7、第三反射组件；8、第二光源组件；9、第四反射组件；10、第五反射组件；15、侧板；16、端板；17、顶板；18、分光镜固定座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

实施例一

如图1-图4所示，本实施例提供了一种硅片边缘检测组合光源，其包括外壳1、两块固定板2、第一光源组件3、第一反射组件4、第二反射组件5、分光镜6和第三反射组件7。

该外壳1内部设有容纳腔，底部设有开口，顶部设有出光口11，其中，外壳1包括两块平行设置的侧板15，两块分别装设在两块侧板15的两端且平行设置的端板16，设置在侧板15和端板16顶部的顶板17，出光口11设置在顶板17上。两块固定板2分别装设在外壳1底部的两端，作为优选的，外壳1为矩体结构，侧板15为长度较长的面，端板16为长度较小的面，两块固定板2分别装设在两块端板16的底部。第一光源组件3、第一反射组件4、第二反射组件5、分光镜6和第三反射组件7均装设在容纳腔内。第一反射组件4的两端分别固定在两块固定板2上，第一反射组件4顶部和外壳1底部之间设有能使产品通过的通道12。第一光源组件3、第一反射组件4，第二反射组件5，第三反射组件7和分光镜6的两端分别装设在两块端板16的内壁上。其中，第二反射组件5位于第一光源组件3的一侧，分光镜6竖直布置且位于第一光源组件3的顶部，第三反射组件7装设在分光镜6的一侧并位于出光口11的底部。

第一反射组件4，第二反射组件5，第三反射组件7的结构相同，均包括设有第一安装槽411的固定架41，装设在固定架41两端的圆形安装件42，装设在第一安装槽411内的反射镜43，其中，圆形安装件42上设置有第一固定孔，两块端板16/固定板2的内壁上均设置有用于固定圆形安装件42的第二安装槽13，第二安装槽13内设有与第一固定孔相配合的第二固定孔131。安装时，先将反射镜43安装在第一安装槽411内，然后将圆形安装件42装设在第二安装槽13内，接着将固定架41的两端与圆形安装件42对齐，采用螺丝或者螺栓等锁紧装置依次穿过第二固定孔131、第一固定孔并固定在固定架41上，这样即可将第一反射组件4安装在固定板2上，第二反射组件5，第三反射组件7均安装在容纳腔内。作为优选的，圆形安装件42上设置有第一定位孔，外壳1上设置有与第一定位孔配合的第二定位孔14，将第一反射组件4，第二反射组件5，第三反射组件7调整到合适的位置后，采用螺丝或者螺栓等锁紧装置依次穿过第二定位孔14、第一定位孔并固定在固定架41上，这样即可将第一反射组件4，第二反射组件5，第三反射组件7安装至合适的角度，使得光路可以进行工作。本技术方案还包括装设在容纳腔内的分光镜固定座18，分光镜6装设在分光镜固定座18上。分光镜固定座18的两端设置有第一安装孔，外壳1上设置有与第一安装孔相对应的第二安装孔，采用螺丝或者螺栓等锁紧装置穿过第二安装孔并固定在第一安装孔内，这样即可将分光镜6固定在容纳腔内。

作为优选的，第一光源组件3包括设有容纳槽的壳体31，装设在容纳槽内的LED电路板32，装设在容纳槽内并位于LED电路板32出光方向的聚光棒33，装设在容纳槽开口处并位于LED电路板32出光方向的光学膜片34。聚光棒33可以提高光源的光线亮度、打光效果。光学膜片34可以根据用户的实际需求设置为高效减反射膜、高反射膜、偏振分光膜等等，故不以此为限。本技术方案还优选包括装设在容纳槽开口处的透明板35，光学膜片34设置在透明板35的底部，透明板35主要用于将光学膜片34舒展开来，提高光学膜片34的透光效果，还可以避免灰尘落在光学膜片34上，影响光学膜片34的光学效果。另外，壳体31的两端设置有第三安装孔，外壳1上设置有与第三安装孔相对应的第四安装孔，采用螺丝或者螺栓等锁紧装置穿过第四安装孔并固定在第三安装孔内，这样即可将第一光源组件3固定在容纳腔内。

具体而言，使用时，将本技术方案装设在运输导轨上，运输导轨带动硅片从通道12中通过，本技术方案工作时，第一光源组件3将光线从开口处透出，并传递到第一反射组件4处，第一反射组件4将光线反射给位于通道12内硅片的一侧，硅片将光线反射给第二反射组件5，第二反射组件5将光线反射给分光镜6，分光镜6将光线反射给第三反射组件7，第三反射组件7将光线反射以使光线从出光口11处透出，本实施例还优选包括装设在出光口11处的检测相机(图中未示出)，检测相机即可拍摄检测硅片侧面的图像。其中运输导轨位于硅片的两侧，这主要是为了能使位于硅片底部的第一反射组件4进行反射光路工作。本技术方案通过采用一个光源组件和各个反射镜和分光镜6的反射光路工作，即可以检测硅片的边缘侧面，本技术方案的光源结构简单，而且这种光源和反射镜组合，实现光路反射的结构，空间缝隙较大，散热效果良好。

实施例二

请参阅图5-图10，本实施例还提供了另一种硅片边缘检测组合光源，其还包括装设在容纳腔内的第二光源组件8、第四反射组件9、第五反射组件10；其中第二光源组件8装设在第一光源组件3远离第二反射组件5的一侧，第五反射组件10装设在第二光源组件8的另一侧，分光镜6装设在第一光源组件3和第二光源组件8之间的顶部，其余结构与实施例一的相同，不再累述。

作为优选的，以分光镜6为对称轴，第一光源组件3和第二光源组件8、第一反射组件4和第四反射组件9，第二反射组件5和第五反射组件10均为对称设置。第四反射组件9、第五反射组件10和第一反射组件4，第二反射组件5，第三反射组件7的结构相同，安装方式相同。第二光源组件8和第一光源组件3的结构相同，安装方式相同。

使用时，运输导轨带动硅片向通道12中移动过程中，第一光源组件3点亮并将光线传递到第一反射组件4处，第一反射组件4将光线反射给位于通道12内硅片的前侧面，硅片将光线反射给第二反射组件5，第二反射组件5将光线反射给分光镜6，分光镜6将光线反射给第三反射组件7，第三反射组件7将光线反射以使光线从出光口11处透出，检测相机即可拍摄检测硅片前侧面的图像。硅片从通道12中继续移动并通过通道12后，第二光源组件8点亮并将光线传递到第四反射组件9处，第四反射组件9将光线反射给位于通道12内硅片的后侧面，硅片将光线反射给第二反射组件5，第二反射组件5将光线反射给分光镜6，分光镜6将光线反射给第三反射组件7，第三反射组件7将光线反射以使光线从出光口11处透出，检测相机即可拍摄检测硅片后侧面的图像。本技术方案可以同一工位实现两次工艺检测，满足检测硅片的前侧面和后侧面，降低成本。

上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅片边缘检测组合光源，包括外壳(1)，该外壳(1)内部设有容纳腔，底部设有开口，顶部设有出光口(11)，其特征在于，两块分别装设在外壳(1)底部两端的固定板(2)，装设在容纳腔内的第一光源组件(3)、第一反射组件(4)、第二反射组件(5)、分光镜(6)和第三反射组件(7)；第一反射组件(4)的两端分别固定在两块固定板(2)上，第一反射组件(4)顶部和外壳(1)底部之间设有能使产品通过的通道(12)，第二反射组件(5)位于第一光源组件(3)的一侧，分光镜(6)竖直布置且位于第一光源组件(3)的顶部，第三反射组件(7)装设在分光镜(6)的一侧并位于出光口(11)的底部；

第一光源组件(3)点亮时将光线传递到第一反射组件(4)处，第一反射组件(4)将光线反射给位于通道(12)内硅片的一侧，硅片将光线反射给第二反射组件(5)，第二反射组件(5)将光线反射给分光镜(6)，分光镜(6)将光线反射给第三反射组件(7)，第三反射组件(7)将光线反射以使光线从出光口(11)处透出。

2.根据权利要求1所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，还包括装设在容纳腔内的第二光源组件(8)、第四反射组件(9)、第五反射组件(10)；所述第二光源组件(8)装设在第一光源组件(3)远离第二反射组件(5)的一侧，第五反射组件(10)装设在第二光源组件(8)的另一侧，所述分光镜(6)装设在第一光源组件(3)和第二光源组件(8)之间的顶部；

第二光源组件(8)点亮时将光线传递到第四反射组件(9)处，第四反射组件(9)将光线反射给位于通道(12)内硅片的另一侧，硅片将光线反射给第二反射组件(5)，第二反射组件(5)将光线反射给分光镜(6)，分光镜(6)将光线反射给第三反射组件(7)，第三反射组件(7)将光线反射以使光线从出光口(11)处透出。

3.根据权利要求2所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，以分光镜(6)为对称轴，第一光源组件(3)和第二光源组件(8)、第一反射组件(4)和第四反射组件(9)，第二反射组件(5)和第五反射组件(10)均为对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，所述第一反射组件(4)，第二反射组件(5)，第三反射组件(7)，第四反射组件(9)、第五反射组件(10)均包括设有第一安装槽(411)的固定架(41)，装设在固定架(41)两端的圆形安装件(42)，装设在第一安装槽(411)上的反射镜(43)，所述圆形安装件(42)上设置有第一固定孔，容纳腔/固定板(2)两侧的内壁上均设置有用于固定圆形安装件(42)的第二安装槽(13)，所述第二安装槽(13)内设有与第一固定孔相配合的第二固定孔(131)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，所述圆形安装件(42)上设置有第一定位孔，所述外壳(1)上设置有与第一定位孔配合的第二定位孔(14)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，还包括装设在容纳腔内的分光镜固定座(18)，所述分光镜(6)装设在分光镜固定座(18)上。

7.根据权利要求1所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，所述第一光源组件(3)和第二光源组件(8)均包括设有容纳槽的壳体(31)，装设在容纳槽内的LED电路板(32)，装设在容纳槽内并位于LED电路板(32)出光方向的聚光棒(33)，装设在容纳槽开口处并位于LED电路板(32)出光方向的光学膜片(34)。

8.根据权利要求7所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，还包括装设在容纳槽开口处的透明板(35)，所述光学膜片(34)设置在透明板(35)的底部。

9.根据权利要求1所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，所述外壳(1)包括两块平行设置的侧板(15)，两块分别装设在两块侧板(15)的两端且平行设置的端板(16)，设置在侧板(15)和端板(16)顶部的顶板(17)，所述出光口(11)设置在顶板(17)上，所述第一光源组件(3)、第二光源组件(8)、第一反射组件(4)，第二反射组件(5)，第三反射组件(7)，第四反射组件(9)、第五反射组件(10)和分光镜(6)的两端分别装设在两块端板(16)的内壁上。

10.根据权利要求1所述的一种硅片边缘检测组合光源，其特征在于，还包括装设在出光口(11)处的检测相机。