CN219685349U - 维修工具 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种维修工具，用于对曝光机内部区域的螺母进行拆卸和安装，包括：维修杆，包括相对的维修端和连接端；延长杆，延长杆的一端形成有用于供连接端插入的插槽，以及弹性锁止结构，设于插槽，用于可解锁地将维修杆的连接端锁止于插槽内。该维修工具通过延长杆整体加长了维修工具的长度，方便操作，且可以通过弹性锁止结构将维修杆可解锁地锁止于延长杆，对于曝光机内不同大小的螺母可以更换不同大小的维修杆，提高维修工具的通用性。

Description

维修工具

技术领域

本公开涉及曝光机设备维修技术领域，具体地，涉及一种维修工具。

背景技术

曝光机等光刻设备内部的空间极其狭小，尤其是曝光机内的wafer stage(晶圆台)单元和物镜固定单元，其内部区域的螺母在需要进行维修时，只够伸进一个内六角扳手进行维修，工作人员在使用内六角扳手时，会因手工操作挡住维修视线，无法观测曝光机内部的情况，维修效率较低且难度较大。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种维修工具，该维修工具通过延长杆整体加长了维修工具的长度，方便曝光机内部区域的螺母的拆卸与安装，且可以通过弹性锁止结构将维修杆可解锁地锁止于延长杆，对于曝光机内不同大小的螺母可以更换不同大小的维修杆，提高维修工具的通用性，以至少部分地解决上述问题。

为了实现上述目的，本公开提供一种维修工具，用于曝光机内部区域螺母的拆装，包括：维修杆，包括相对的维修端和连接端；延长杆，所述延长杆的一端形成有用于供所述连接端插入的插槽，以及弹性锁止结构，设于所述插槽，用于可解锁地将所述维修杆的连接端锁止于所述插槽内。

可选地，所述弹性锁止结构包括设于所述插槽内的弹片；所述连接端形成有用于与所述弹片抵接的抵接面，所述弹片能够分别抵接在所述抵接面与所述插槽的内侧壁之间。

可选地，所述弹片和所述抵接面的数量为多个且一一对应。

可选地，所述抵接面为两个且相对设置在所述连接端的侧壁；所述插槽包括相对的两个第一侧壁；每个所述抵接面与所述第一侧壁之间设有一个所述弹片。

可选地，所述弹片包括弹性部和与所述弹性部相连的连接部，所述连接部通过螺钉连接于所述延长杆的端面。

可选地，所述延长杆的端面形成有凹槽部，所述凹槽部的槽底设有螺孔，所述连接部位于所述凹槽部内，所述螺钉穿过所述连接部的通孔后螺接于所述螺孔。

可选地，所述弹性部包括形成于远离所述连接部一端且与所述插槽的内侧壁抵接的第一弯折部。

可选地，所述抵接面上形成有止挡部，所述弹性部还形成有与所述止挡部相对应并配合的第二弯折部。

可选地，所述止挡部构造为设于所述抵接面的槽体，所述第二弯折部构造为朝向所述抵接面的凸起。

可选地，所述延长杆远离所述插槽的一端设有握持部。

通过上述技术方案，即本公开提供的维修工具，工作人员可以以通过手持延长杆，延长杆的插槽连接于维修杆的连接端，此时工作人员通过旋转延长杆即可带动维修杆进行旋转，维修杆上的维修端随延长杆旋转，且维修端抵接于曝光机内部的螺母，随着延长杆的旋转可以对螺母进行旋紧或旋松，加长杆不遮挡维修实现，工作人员可以一边观测曝光机内部的情况一边对螺母进行维修，提高了对曝光机内部螺母的维修效率，且减轻了维修难度，此外，可以通过弹性锁止结构将维修杆拆卸下来，可以更换与曝光机内螺母大小相匹配的维修杆，将更换后的维修杆通过弹性锁止结构锁止于延长杆上的插槽，再对螺母进行维修，可以提高维修工具对维修不同大小螺母的通用性。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是本公开示例性实施方式中提供的维修工具的结构示意图；

图2是本公开示例性实施方式中提供的维修工具的维修组件的结构示意图；

图3是本公开示例性实施方式中提供的维修工具的剖面图；

图4是图3中箭头A所指向的局部放大图。

附图标记说明

1-维修杆；110-维修端；120-连接端；121-抵接面；122-止挡部；2-延长杆；210-插槽；211-第一侧壁；220-凹槽部；221-螺孔；230-握持部；3-弹性锁止结构；310-弹片；311-弹性部；312-连接部；313-第一弯折部；314-第二弯折部；4-螺钉。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“内、外”通常是指相对于部件或结构本身结构轮廓的内、外，“第一、第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性，此外，不同参考附图中的同一附图标记表示相同的要素。

发明人经研究发现，相关技术中，曝光机等光刻设备内部的空间极其狭小，尤其是曝光机内的wafer stage(晶圆台)单元和物镜固定单元，其内部区域的螺母在需要进行维修时，只够伸进一个内六角扳手进行维修，工作人员在使用内六角扳手时，会因手工操作挡住维修实现，无法观测曝光机内部的情况和六角扳手对螺母的维修情况，维修效率较低且难度较大。

基于此，本公开提供一种维修工具，用于拆装曝光机内部区域的螺母，参考图1至图4所示，该维修工具包括维修杆1、延长杆2以及弹性锁止结构3，维修杆1包括相对的维修端110和连接端120；延长杆2的一端形成有用于供连接端120插入的插槽210；弹性锁止结构3设于插槽210，用于可解锁地将维修杆1的连接端120锁止于插槽210内。

通过上述方式，工作人员在对曝光机内部的螺母进行维修时，可以手持加长的延长杆2，延长杆2的插槽210连接于维修杆1的连接端120，此时工作人员通过旋转延长杆2即可带动维修杆1进行旋转，维修杆1上的维修端120随延长杆2旋转，且维修端120抵接于曝光机内部的螺母，随着延长杆2的旋转可以对螺母进行旋紧或旋松，加长的延长杆2不遮挡维修视线，这样，工作人员可以一边观测曝光机内部的情况一边对螺母进行维修，提高了对曝光机内部螺母的维修效率，且减轻了维修难度；此外，由于曝光机内部的螺母存在大小不一的情况，且与普通螺母相比，曝光机内部的螺母较小且结构较为精密，需要使用大小匹配的维修杆1进行维修以减少维修过程中可能造成螺母损伤的情况，在这种情况下，可以通过弹性锁止结构3将维修杆1拆卸下来，更换与螺母大小相匹配的维修端110所对应的维修杆1，将更换后的维修杆1通过弹性锁止结构3锁止于延长杆2的插槽210，再对螺母进行维修，这样，提高了维修工具对维修不同大小螺母的泛用性，且能够提高维修过程中对螺母的保护，弹性锁止结构3也可以便于维修杆1与延长杆2之间的快速更换与固定，且可以提高维修杆1与延长杆2之间连接的紧固性，可以减少维修杆1在维修过程中掉入曝光机内部不便取出的问题。

此外，维修端110的结构可以是任意的，例如，维修端110可以是五边形或六边形等任意形式的多角扳手，以对曝光机内部不同类型的螺母进行维修，本公开对此不作限定。

在一些优选的实施方式中，为了提高维修端110与连接端120之间的连接紧固性，可以通过采用氩弧焊的方式将维修端110与连接端120焊接起来，氩弧焊可以隔绝空气中的氧气、氮气、氢气对电弧和熔池产生的不良影响，减少合金元素的烧毁，进而得到致密、无飞溅、质量高的焊接接头，可以提高维修端110与连接端120之间的连接强度。在对维修端110和连接端120进行氩弧焊处理后，还可以进行抛光打磨处理，这样，工作人员在使用该维修工具的过程中便不会被维修工具焊接后的部分毛刺划伤，提高了该维修工具在使用过程中的安全性。

在一些具体实施方式中，参考图4所示，弹性锁止结构3包括设于插槽210内的弹片310，连接端120形成有用于与弹片310抵接的抵接面121，弹片310能够分别抵接在抵接面121与插槽210的内侧壁之间。通过这种方式，弹片310可以在抵接面121和插槽210的内侧壁形成一定的弹力，这样，在维修工具对曝光机内部的螺母进行维修时，能够提高维修杆1与延长杆2之间的连接效果。此外，在本公开中弹片310的形状可以是任意的，本公开对此不作限定。

在一些具体实施方式中，参考图2至图4所示，弹片310与抵接面121的数量均为多个且一一对应。通过这种方式，多个弹片310与多个抵接面121一一对应抵接，可以提高维修杆1与延长杆2之间的连接效果，例如，抵接面121可以环绕连接端120的外壁周向地布置多个，多个弹片310与多个环绕在连接端120外壁的抵接面121一一对应，以限定维修杆1相对于延长杆2的转动，本公开对此不作限定。

在一些具体实施方式中，参考图4所示，抵接面121为两个且相对设置在连接端120的侧壁；插槽210包括相对的两个第一侧壁211；每个抵接面121与第一侧壁211之间均设有一个弹片310。通过这种布置方式，连接端120相对两侧的抵接面121分别布置一个弹片310，在使用该维修工具对曝光机内部的螺母进行旋动操作时，两个弹片310与抵接面121相抵接可以对维修杆1与延长杆2之间进行径向约束，这样，维修杆1就可以随着延长杆2的旋动而旋转，进而便于对螺母进行维修。

在一些具体实施方式中，参考图4所示，弹片310包括弹性部311和与弹性部311相连的连接部312，连接部312通过螺钉4连接于延长杆2的端面。通过这种连接方式，弹性部311可以在抵接于抵接面121和插槽210的内壁面，可以便于维修杆1能够相对延长杆2可拆卸，连接部312通过螺钉4可以与延长杆2实现固定，这样，在对曝光机内部的螺母进行维修时，可以减少工作人员因操作不当而导致弹片310掉入曝光机内部不便取出的问题。

在一些具体实施方式中，参考图4所示，延长杆2的端面形成有凹槽部220，凹槽部220的槽底设有螺孔221，连接部312位于凹槽部220内，螺钉4穿过连接部312的通孔后螺接与螺孔221。通过螺纹连接方式，可以提高连接部312和凹槽220之间连接的可靠性，且螺纹连接较为简单和装拆方便，只需从螺孔221上旋下螺钉4即可对弹片310进行更换或修理，且将螺孔221设于凹槽部220内可以防止延伸杆2在伸入曝光机内部时，螺钉4与曝光机内部的其他元件产生碰撞或摩擦而损坏曝光机，提高了维修过程中的安全度。

此外，本公开对凹槽部220的形状不作限定，例如，凹槽部220可以是连接于插槽210且沿延长杆2径向贯穿的U型槽体，螺孔221可以设于U型槽体的底部且数量可以为多个，以提高对连接部312的紧固效果。

在一些具体实施方式中，参考图4所示，弹性部311包括形成于远离连接部312一端且与插槽210的内侧壁抵接的第一弯折部313。通过这种连接方式，第一弯折部313可以提高弹片310在插槽210和抵接面121之间的抵接效果，如图4所示，两个第一弯折部313弯折的两端分别抵接于插槽210和抵接面121，这样，在连接端120插入插槽210后，第一弯折部313会将连接端120紧固地卡在插槽210内，提高了维修杆1与延长杆2之间的紧固效果。

在一些具体实施方式中，参考图2和图4所示，抵接面121形成有止挡部122，弹性部311还形成有与止挡部122相对应并配合的第二弯折部314。通过这种方式，第二弯折部314和止挡部122相配合可以提高弹片310对连接端120的紧固效果。

在一些具体实施方式中，参考图2和图4所示，止挡部122构造为设于抵接面121的槽体，第二弯折部314构造为朝向抵接面121的凸起。通过这种构造方式，凸起与槽体可以相互吻合，这样，在连接端120插入插槽210内后，凸起与槽体的配合可以对连接端120进行轴向定位，可以减少该维修工具在对曝光机内部的螺母进行维修时连接端120可能产生的轴向晃动，提高了维修工具在维修过程中的稳定性。

在一些具体实施方式中，参考图1和图3所示，延长杆2远离插槽210的一端设有握持部230。通过这种连接方式，在使用该维修工具对曝光机内部的螺母进行维修时，工作人员可以通过手握握持部230进行维修，这样，既可以防止在维修过程中手会挡住维修视线无法观测曝光机内部情况的问题，又可以便于工作人员通过握持部230更轻松地旋动延长杆2进而带动维修杆1进行旋转，节省了旋转延长杆2所需的力，减少了维修难度。

此外，本公开对握持部230的形状不作限定，例如，参考图1所示，握持部230可以是设于延长杆2远离插槽210一端的握杆，其中，握持部230的延伸方向垂直于延长杆2的延伸方向，方便握持与用力。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (10)

1.一种维修工具，用于曝光机内部区域螺母的拆装，其特征在于，包括：

维修杆，包括相对的维修端和连接端；

延长杆，所述延长杆的一端形成有用于供所述连接端插入的插槽，以及

弹性锁止结构，设于所述插槽，用于可解锁地将所述维修杆的连接端锁止于所述插槽内。

2.根据权利要求1所述的维修工具，其特征在于，所述弹性锁止结构包括设于所述插槽内的弹片；所述连接端形成有用于与所述弹片抵接的抵接面，所述弹片能够分别抵接在所述抵接面与所述插槽的内侧壁之间。

3.根据权利要求2所述的维修工具，其特征在于，所述弹片和所述抵接面的数量为多个且一一对应。

4.根据权利要求3所述的维修工具，其特征在于，所述抵接面为两个且相对设置在所述连接端侧壁；所述插槽包括相对和两个第一侧壁；

每个所述抵接面与所述第一侧壁之间设有一个所述弹片。

5.根据权利要求2所述的维修工具，其特征在于，所述弹片包括弹性部和与所述弹性部相连的连接部，所述连接部通过螺钉连接于所述延长杆的端面。

6.根据权利要求5所述的维修工具，其特征在于，所述延长杆的端面形成有凹槽部，所述凹槽部的槽底设有螺孔，所述连接部位于所述凹槽部内，所述螺钉穿过所述连接部的通孔后螺接于所述螺孔。

7.根据权利要求5所述的维修工具，其特征在于，所述弹性部包括形成于远离所述连接部一端且与所述插槽的内侧壁抵接的第一弯折部。

8.根据权利要求7所述的维修工具，其特征在于，所述抵接面上形成有止挡部，所述弹性部还形成有与所述止挡部相对应并配合的第二弯折部。

9.根据权利要求8所述的维修工具，其特征在于，所述止挡部构造为设于所述抵接面的槽体，所述第二弯折部构造为朝向所述抵接面的凸起。

10.根据权利要求1所述的维修工具，其特征在于，所述延长杆远离所述插槽的一端设有握持部。