CN219677241U - 顶针座总成 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开顶针座总成，涉及半导体加工领域。该顶针座总成包括安装底板和安装在安装底板顶部的顶针座主体，顶针座主体的内部安装有直线电机定子，顶针座主体的顶部安装有顶针头安装座，直线电机定子的内部设置有直线电机动子，顶针头安装座的内部设置有顶针夹头，顶针夹头的内部设置有顶针主体，直线电机定子的两侧分别安装有雷尼绍读数头和光栅感应。该顶针座总成，采用雷尼绍读数头进行行程反馈增加了行程的可控性，提高了机构的稳定性和产品的合格率，同时通过顶杆在第二衬套内部向上移动，顶针主体穿过顶针帽向上伸出，实现顶针动作，以此确保竖直向上移动，防止偏斜。

Description

顶针座总成

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为顶针座总成。

背景技术

自动固晶机是针对半导体元器件生产而设计的设备，在固晶机的固晶过程是由上料机构把基片或pcb传送到夹具的工作位置，先由点胶机构将基片或pcb需要键盒晶片的位置点胶，然后取晶臂从原点位置运动到吸晶片的位置。

在使用时晶片放置在薄膜支撑的扩张器晶片盘上，取晶臂到位后吸嘴向下运动，同时顶针向上运动顶起晶片，在拾取晶片后邦定原点位置，这样就是一个完整的邦定过程，在吸取晶片时顶针就起到了关键作用，要求顶针要将晶片沿垂直于工作台安装面的方向顶起，不能有倾斜的现象出现，并且顶针的高度需要精确控制，超出预定高度会造成晶片的损坏，为此特提供一种顶针座总成。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了顶针座总成，解决了现有固晶机在加工过程中，吸取晶片时顶针将晶片向上顶起，存在易倾斜和顶针高度无法精确控制的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：顶针座总成，包括；

安装底板和安装在安装底板顶部的顶针座主体；

所述顶针座主体的内部安装有直线电机定子，所述顶针座主体的顶部安装有顶针头安装座，所述直线电机定子的内部设置有直线电机动子，所述顶针头安装座的内部设置有顶针夹头，所述顶针夹头的内部设置有顶针主体，所述直线电机定子的两侧分别安装有雷尼绍读数头和光栅感应。

优选的，所述直线电机定子的外表面安装有动子滑块，所述顶针座主体的两侧分别安装有第一光电开关支架和第二光电开关支架，所述雷尼绍读数头和光栅感应分别安装在第一光电开关支架和第二光电开关支架的外表面。

优选的，所述顶针座主体的内部安装有滑轨，所述动子滑块的外表面安装有感应片，所述滑轨的底部安装有聚氨酯限位块。

优选的，所述顶针头安装座的顶部安装有密封头，所述密封头的顶部安装有顶针帽，所述顶针主体滑动连接在密封头的内部。

优选的，所述顶针座主体的内底部安装有弹簧压块，所述弹簧压块的顶部安装有第一衬套，所述第一衬套的内部安装有第二衬套，所述第二衬套的底部安装有弹簧垫片和记忆弹簧，所述第二衬套的内顶部安装有顶杆。

优选的，所述顶针夹头安装在顶杆的顶部，所述顶针夹头的顶端外表面安装有夹紧螺母。

优选的，所述密封头的上下两端内部分别安装有第一密封胶圈和第二密封胶圈，所述密封头的外表面安装有销钉，所述顶针头安装座的底端侧面安装有气管接头。

本实用新型公开了顶针座总成，其具备的有益效果如下：

1、该顶针座总成，采用雷尼绍读数头进行行程反馈增加了行程的可控性，提高了机构的稳定性和产品的合格率，同时通过顶杆在第二衬套内部向上移动，顶针主体穿过顶针帽向上伸出，实现顶针动作，以此确保竖直向上移动，防止偏斜。

2、该顶针座总成，在顶升力传递中加入了记忆弹簧，在顶升过程中，当顶针主体的顶端接触晶片时，即使出现轻微的上升行程过量，此时第二衬套向上移动，顶针主体顶端与晶片挤压，使得记忆弹簧被压缩，可以保证在位移过量时晶片不被损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型整体结构爆炸图；

图3为本实用新型顶针主体外表面结构爆炸图。

图中：1、顶针帽；2、第一密封胶圈；3、密封头；4、第二密封胶圈；5、销钉；6、顶针头安装座；7、顶针主体；8、夹紧螺母；9、顶针夹头；10、顶杆；11、第一衬套；12、第二衬套；13、弹簧垫片；14、记忆弹簧；15、弹簧压块；16、第一光电开关支架；17、雷尼绍读数头；18、安装底板；19、顶针座主体；20、气管接头；21、光栅感应；22、第二光电开关支架；23、聚氨酯限位块；24、感应片；25、直线电机定子；26、滑轨；27、动子滑块；28、直线电机动子。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本申请实施例通过提供顶针座总成，解决了现有固晶机在加工过程中，吸取晶片时顶针将晶片向上顶起，存在易倾斜和顶针高度无法精确控制的问题。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。

实施例一、

本实用新型实施例公开顶针座总成。

根据附图1-3所示，包括；

安装底板18和安装在安装底板18顶部的顶针座主体19；

顶针座主体19的内部安装有直线电机定子25，顶针座主体19的顶部安装有顶针头安装座6，直线电机定子25的内部设置有直线电机动子28，顶针头安装座6的内部设置有顶针夹头9，顶针夹头9的内部设置有顶针主体7，直线电机定子25的两侧分别安装有雷尼绍读数头17和光栅感应21。

直线电机定子25的外表面安装有动子滑块27，顶针座主体19的两侧分别安装有第一光电开关支架16和第二光电开关支架22，雷尼绍读数头17和光栅感应21分别安装在第一光电开关支架16和第二光电开关支架22的外表面。

顶针座主体19的内部安装有滑轨26，动子滑块27的外表面安装有感应片24，滑轨26的底部安装有聚氨酯限位块23。

顶针头安装座6的顶部安装有密封头3，密封头3的顶部安装有顶针帽1，顶针主体7滑动连接在密封头3的内部。

顶针座主体19的内底部安装有弹簧压块15，弹簧压块15的顶部安装有第一衬套11，第一衬套11的内部安装有第二衬套12，第二衬套12的底部安装有弹簧垫片13和记忆弹簧14，第二衬套12的内顶部安装有顶杆10。

顶针夹头9安装在顶杆10的顶部，顶针夹头9的顶端外表面安装有夹紧螺母8。

密封头3的上下两端内部分别安装有第一密封胶圈2和第二密封胶圈4，密封头3的外表面安装有销钉5，顶针头安装座6的底端侧面安装有气管接头20。

工作原理：取晶臂从原点位置运动到吸晶片的位置，晶片放置在薄膜支撑的扩张器晶片盘上，取晶臂到位后吸嘴向下运动，此时该装置触发信号，气管接头20提供负压，在直线电机动子28的作用下推动弹簧压块15向上移动，使得第一衬套11和第二衬套12向上移动，此时顶杆10通过其顶端的顶针夹头9带动顶针主体7向上进行顶升运动，此时顶针主体7穿过顶针帽1向上伸出，实现顶针动作，同时雷尼绍读数头17反馈行程信息，到位后停止运动，在取晶动做完成后在进行返回，直到光栅感应21接触到信号则运动停止。

综上，与现有技术相比，具备以下有益效果：

1、采用雷尼绍读数头17进行行程反馈增加了行程的可控性，提高了机构的稳定性和产品的合格率，同时通过顶杆10在第二衬套12内部向上移动，顶针主体7穿过顶针帽1向上伸出，实现顶针动作，以此确保竖直向上移动，防止偏斜；

2、在顶升力传递中加入了记忆弹簧14，在顶升过程中，当顶针主体7的顶端接触晶片时，即使出现轻微的上升行程过量，此时第二衬套12向上移动，顶针主体7顶端与晶片挤压，使得记忆弹簧14被压缩，可以保证在位移过量时晶片不被损坏。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.顶针座总成，包括；

安装底板(18)和安装在安装底板(18)顶部的顶针座主体(19)；

其特征在于：所述顶针座主体(19)的内部安装有直线电机定子(25)，所述顶针座主体(19)的顶部安装有顶针头安装座(6)，所述直线电机定子(25)的内部设置有直线电机动子(28)，所述顶针头安装座(6)的内部设置有顶针夹头(9)，所述顶针夹头(9)的内部设置有顶针主体(7)，所述直线电机定子(25)的两侧分别安装有雷尼绍读数头(17)和光栅感应(21)。

2.根据权利要求1所述的顶针座总成，其特征在于：所述直线电机定子(25)的外表面安装有动子滑块(27)，所述顶针座主体(19)的两侧分别安装有第一光电开关支架(16)和第二光电开关支架(22)，所述雷尼绍读数头(17)和光栅感应(21)分别安装在第一光电开关支架(16)和第二光电开关支架(22)的外表面。

3.根据权利要求2所述的顶针座总成，其特征在于：所述顶针座主体(19)的内部安装有滑轨(26)，所述动子滑块(27)的外表面安装有感应片(24)，所述滑轨(26)的底部安装有聚氨酯限位块(23)。

4.根据权利要求1所述的顶针座总成，其特征在于：所述顶针头安装座(6)的顶部安装有密封头(3)，所述密封头(3)的顶部安装有顶针帽(1)，所述顶针主体(7)滑动连接在密封头(3)的内部。

5.根据权利要求1所述的顶针座总成，其特征在于：所述顶针座主体(19)的内底部安装有弹簧压块(15)，所述弹簧压块(15)的顶部安装有第一衬套(11)，所述第一衬套(11)的内部安装有第二衬套(12)，所述第二衬套(12)的底部安装有弹簧垫片(13)和记忆弹簧(14)，所述第二衬套(12)的内顶部安装有顶杆(10)。

6.根据权利要求1所述的顶针座总成，其特征在于：所述顶针夹头(9)安装在顶杆(10)的顶部，所述顶针夹头(9)的顶端外表面安装有夹紧螺母(8)。

7.根据权利要求4所述的顶针座总成，其特征在于：所述密封头(3)的上下两端内部分别安装有第一密封胶圈(2)和第二密封胶圈(4)，所述密封头(3)的外表面安装有销钉(5)，所述顶针头安装座(6)的底端侧面安装有气管接头(20)。