CN219648982U - 一种硅片切割机气路分布结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种硅片切割机气路分布结构，涉及一种切割机气路，包括工作仓、安装仓一和安装仓二，直线模组所在的工作仓侧壁上穿设有过渡管一和过渡管二，过渡管一的一端与吸附工作台的吸附管相连，另一端通过真空气动阀连接风机，组成气路一；过渡管二的一端与吸附工作台的吸尘管相连，另一端通过集尘管连接除尘管口，组成气路二；风机安装在安装仓一内，真空气动阀安装在安装仓二内，除尘管口的一端连通工作仓，且另一端穿出安装仓二连接工业除尘器，本实用新型能够在吸附的同时，实现对于粉尘和残渣进行及时且有效的清理，除尘效率更高且除尘精度更好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种切割机气路，尤其是一种硅片切割机气路分布结构。
背景技术
目前在对于硅片的自动化加工过程中，切割已成为其不可或缺的一环加工工艺，而硅片在被切割时会产生高温飘荡的粉尘和飞溅的残渣，如不及时进行清理，则很可能会导致粉尘和残渣附着于硅片表面，从而不仅影响硅片的加工环境，也很可能会造成工件和机器的损伤。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种硅片切割机气路分布结构，不仅可以实现对于硅片的吸附定位，而且还能够对于切割过程中产生的粉尘和残渣进行及时且有效的清理，且气路一和气路二的分布结构，还可增加激光切割平面下方的有效空间，使得高温残渣和粉尘有时间和空间被吸附除尘，不至于马上掉落附着在工件和机器上，造成机器和工件的损伤。
本实用新型提供了如下的技术方案：
一种硅片切割机气路分布结构，包括位于机箱中部的工作仓，工作仓上安装有直线模组，直线模组用于带动其驱动端的吸附工作台在工作仓上方做纵向直线运动，其所在的工作仓侧壁上沿横向穿设有过渡管一和过渡管二，
过渡管一的一端与吸附工作台的吸附管相连，且另一端通过真空气动阀连接风机，组成气路一；过渡管二的一端与吸附工作台的吸尘管相连，且另一端通过集尘管连接除尘管口，组成气路二；
机箱内还设置有位于工作仓外的安装仓一和安装仓二，风机安装在安装仓一内，真空气动阀安装在安装仓二内，除尘管口的一端连通工作仓，且另一端穿出安装仓二连接工业除尘器；
气路一在工作时，吸附工作台的台面上出现负压，可以将置于台面上的硅片吸附于台面上，当完成切割时，则可关闭气路一；
气路二处于常开状态，在进行切割工作时出现在吸附工作台附近的残渣、粉尘，可经吸附工作台上的吸尘管及时且有效的经气路二排出，使得硅片加工环境大大改善；
且上述中的气路一和气路二的分布形式，也可确保增加激光切割平面下面的有效空间，使得高温残渣和粉尘有时间和空间被吸附除尘，不至于马上掉落附着在工件和机器上，造成机器和工件的损伤。
优选的，吸附工作台的底侧通过定位块与连接在直线模组驱动端的连接板相连，定位块的中心设置有通气孔，吸附管穿过连接板连接在通气孔的底端，通气孔的顶端与吸附工作台台面上的吸附孔贯通，连接板上还设置有一圈吸附围板，吸附围板围设在定位块周边，且与定位块形成环形的吸尘间隙，吸附围板上均匀分布有贯通槽，且安装在连接板上的吸尘管顶端与吸尘间隙贯通；
故而，当气路二启动吸尘时，切割时产生的小型残渣、粉尘则可直接进入吸尘间隙，且通过吸尘管进入至除尘管口排出，从而可更加及时有效的清理因切割掉下来的残渣、粉尘，避免高温飘荡的粉尘、飞溅的残渣附着于硅片表面，使得工作仓中对应的除尘管口仅需要处理剩下的较大残渣，使得硅片加工环境大大改善。
优选的，吸附管的两端设置有螺纹段，且吸附管与定位块之间通过螺纹连接，吸尘管与连接板之间也通过螺纹连接，从而可更加方便吸附管和吸尘管的连接更换。
优选的，工作仓包括具有环形间隙的外仓和内仓，除尘管口连接在外仓上，且与环形间隙连通，内仓上均匀分布有用于连通工作仓和环形间隙的连通口，故而此时当除尘管口出现吸力时，工作仓内的粉尘则在周向上均可排出，从而大大提高了除尘的效率。
优选的，内仓为顶端扩口的锥形，从而可更好的避免残渣在内仓上的残留，避免对于内仓连通口的堵塞。
本实用新型的有益效果是：
1、由于吸附工作台安装在直线模组的驱动端，故而可吸附硅片在工作仓上方配合切割机工作做直线运动，此时其上设置的吸尘管和吸附管则可随之运动，故而在运动至任何位置，均可实现气路一的吸附定位和气路二的附近高温小残渣和粉尘的吸附；
2、由于基于除尘管口的基础上，增设了气路二的吸尘通路，气路二用于在切割过程中，快速的清理附近的高温小残渣和粉尘，除尘管口则可用来进一步清楚较大的残渣和粉尘，从而可提高除尘效率，大大改善硅片的加工环境；
3、而气路一和气路二的分布结构，则可增加激光切割平面下方的有效空间，使得高温残渣和粉尘有时间和空间被吸附除尘，不至于马上掉落附着在工件和机器上，造成机器和工件的损伤。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型的立体结构示意图；
图2是图1中的俯视结构示意图；
图3是沿图2中的线A-A方向的横截面剖视图；
图4是沿图2中的线B-B方向的横截面剖视图；
图5是吸附工作台的立体结构示意图；
图6是图5中剖除部分吸附围板后的立体结构示意图；
图7是吸附工作台主视结构示意图；
图8是沿图7中的线C-C方向的横截面剖视图；
图9是沿图7中的线D-D方向的横截面剖视图；
图中的标记：1为机箱，2为工作仓，3为直线模组，4为吸附工作台，5为过渡管一，6为过渡管二，7为吸附管，8为吸尘管，9为集尘管，10为除尘管口，11为真空气动阀，12为风机，13为安装仓一，14为安装仓二，15为连接板，16为定位块，17为通气孔，18为吸附孔，19为吸附围板，20为吸尘间隙，21为贯通槽，22为环形间隙，23为连通口。
具体实施方式
如图1-9所示，一种硅片切割机气路分布结构，在本实施例中，包括位于机箱1中部的工作仓2，工作仓2上安装有直线模组3，直线模组3用于带动其驱动端的吸附工作台4在工作仓2上方做纵向直线运动，其所在的工作仓2侧壁上沿横向穿设有过渡管一5和过渡管二6，
过渡管一5的一端与吸附工作台4的吸附管7相连，且另一端通过真空气动阀11连接风机12，组成气路一；过渡管二6的一端与吸附工作台4的吸尘管8相连，且另一端通过集尘管9连接除尘管口10，组成气路二；
机箱1内还设置有位于工作仓2外的安装仓一13和安装仓二14，风机12安装在安装仓一13内，真空气动阀11安装在安装仓二14内，除尘管口10的一端连通工作仓2，且另一端穿出安装仓二14连接工业除尘器；
气路一在工作时，吸附工作台4的台面上出现负压，可以将置于台面上的硅片吸附于台面上，当完成切割时，则可关闭气路一；
气路二处于常开状态，在进行切割工作时出现在吸附工作台4附近的残渣、粉尘，可经吸附工作台4上的吸尘管8及时且有效的经气路二排出，使得硅片加工环境大大改善；
且上述中的气路一和气路二的分布形式，也可确保增加激光切割平面下面的有效空间，使得高温残渣和粉尘有时间和空间被吸附除尘，不至于马上掉落附着在工件和机器上，造成机器和工件的损伤。
吸附工作台4的底侧通过定位块16与连接在直线模组3驱动端的连接板15相连，定位块16的中心设置有通气孔17，吸附管7穿过连接板15连接在通气孔17的底端，通气孔17的顶端与吸附工作台4台面上的吸附孔18贯通，连接板15上还设置有一圈吸附围板19，吸附围板19围设在定位块16周边，且与定位块16形成环形的吸尘间隙20，吸附围板19上均匀分布有贯通槽21，且安装在连接板15上的吸尘管8顶端与吸尘间隙20贯通；
故而，当气路二启动吸尘时，切割时产生的小型残渣、粉尘则可直接进入吸尘间隙20，且通过吸尘管8进入至除尘管口10排出，从而可更加及时有效的清理因切割掉下来的残渣、粉尘，避免高温飘荡的粉尘、飞溅的残渣附着于硅片表面，使得工作仓2中对应的除尘管口10仅需要处理剩下的较大残渣，使得硅片加工环境大大改善。
吸附管7的两端设置有螺纹段，且吸附管7与定位块16之间通过螺纹连接，吸尘管8与连接板15之间也通过螺纹连接，从而可更加方便吸附管7和吸尘管8的连接更换。
工作仓2包括具有环形间隙22的外仓和内仓，除尘管口10连接在外仓上，且与环形间隙22连通，内仓上均匀分布有用于连通工作仓2和环形间隙22的连通口23，故而此时当除尘管口10出现吸力时，工作仓2内的粉尘则在周向上均可排出，从而大大提高了除尘的效率。
内仓为顶端扩口的锥形，从而可更好的避免残渣在内仓上的残留，避免对于内仓连通口23的堵塞。
本实用新型的工作原理是：在本实用新型中，风机12启动，则气路一工作，吸附工作台4的台面上则会出现负压，从而可将置于台面上的硅片吸附于台面上，当完成切割时，则可关闭气路一；且气路二常开，在进行切割工作时出现在吸附工作台4附近的残渣、粉尘，则可经吸附工作台4上的吸尘管8及时且有效的经气路二排出，使得硅片加工环境大大改善。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种硅片切割机气路分布结构，其特征在于，包括位于机箱(1)中部的工作仓(2)，所述工作仓(2)上安装有直线模组(3)，所述直线模组(3)用于带动其驱动端的吸附工作台(4)在工作仓(2)上方做纵向直线运动，其所在的工作仓(2)侧壁上沿横向穿设有过渡管一(5)和过渡管二(6)；
过渡管一(5)的一端与吸附工作台(4)的吸附管(7)相连，且另一端通过真空气动阀(11)连接风机(12)，组成气路一；过渡管二(6)的一端与吸附工作台(4)的吸尘管(8)相连，且另一端通过集尘管(9)连接除尘管口(10)，组成气路二；
所述机箱(1)内还设置有位于工作仓(2)外的安装仓一(13)和安装仓二(14)，所述风机(12)安装在安装仓一(13)内，所述真空气动阀(11)安装在安装仓二(14)内，所述除尘管口(10)的一端连通工作仓(2)，且另一端穿出安装仓二(14)连接工业除尘器。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机气路分布结构，其特征在于，所述吸附工作台(4)的底侧通过定位块(16)与连接在直线模组(3)驱动端的连接板(15)相连，所述定位块(16)的中心设置有通气孔(17)，所述吸附管(7)穿过连接板(15)连接在通气孔(17)的底端，所述通气孔(17)的顶端与吸附工作台(4)台面上的吸附孔(18)贯通，所述连接板(15)上还设置有一圈吸附围板(19)，所述吸附围板(19)围设在定位块(16)周边，且与定位块(16)形成环形的吸尘间隙(20)，所述吸附围板(19)上均匀分布有贯通槽(21)，且安装在连接板(15)上的吸尘管(8)顶端与所述吸尘间隙(20)贯通。
3.根据权利要求2所述的一种硅片切割机气路分布结构，其特征在于，所述吸附管(7)的两端设置有螺纹段，且所述吸附管(7)与所述定位块(16)之间通过螺纹连接，所述吸尘管(8)与所述连接板(15)之间也通过螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机气路分布结构，其特征在于，所述工作仓(2)包括具有环形间隙(22)的外仓和内仓，所述除尘管口(10)连接在外仓上，且与环形间隙(22)连通，所述内仓上均匀分布有用于连通工作仓(2)和环形间隙(22)的连通口(23)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片切割机气路分布结构，其特征在于，所述内仓为顶端扩口的锥形。
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