CN219647198U - 异丙醇与氮气混合罐 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种异丙醇与氮气混合罐，液态异丙醇通过异丙醇通入口注入到罐体内并淹没内罐，氮气从氮气通入通道进入内罐中，并从内罐的气孔处分散流出，气孔处流出的氮气在异丙醇内冒泡上升，在此过程中易挥发的异丙醇被混入氮气内形成混合气体，异丙醇与氮气混合更加均匀，混合气体从混合气体流出口处流出以供后续对晶圆的处理。同时，一体成型的石英材料极大地减少了机构之间的装配，降低了泄露的风险。
Description
技术领域
本申请属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种异丙醇与氮气混合罐。
背景技术
在半导体制造过程中，晶圆制备是一个非常重要的组成部分。在制造晶圆的过程中，需要使用一种叫做IPA干燥的技术来去除表面的水分和其他污染物。
异丙醇(IPA)是一种无色、透明的有机化合物。在半导体制造过程中，IPA通常用于清洗和干燥晶圆表面。在干燥晶圆过程中，IPA的主要作用是去除表面的水分和其他污染物，以确保晶圆表面的干净和平整。IPA干燥晶圆的原理是利用IPA的挥发性和表面张力。当IPA被喷洒到晶圆表面时，它会迅速挥发，从而带走表面的水分和其他污染物。同时，IPA的表面张力也会使晶圆表面形成一个薄膜从而防止表面再次被污染
在实际的晶圆制造过程中，IPA干燥晶圆通常分为两个步骤。首先，晶圆会被浸泡在一种叫做DI水的去离子水中，以去除表面的污染物。然后，晶圆会被喷洒上IPA，以去除表面的水分和其他污染物最后，晶圆会被放置在一个干燥的环境中，以确保表面的干净和平整。
为了保证IPA喷洒得均匀，IPA通常需要与氮气进行混合，中国专利文献CN218553709U公开了一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐。该混合罐内部为包括涡流混合道、缓冲回流槽和热水浴区域的三层结构，在混合罐的底部设有罐体入口，顶部设有罐体出口，罐体入口联通涡流混合道，缓冲回流槽联通加热氮气输入端口，热水浴区域联通超纯水输入端口和超纯水输出端口，罐体出口联通混合后气液共存体输出端口；混合罐通过上安装块和下安装块夹持固定于外壳内。然而该混合罐结构复杂，密封处较多，具有泄露风险，且IPA与氮气的混合不够均匀。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种泄露风险小、混合更加均匀的异丙醇与氮气混合罐。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种异丙醇与氮气混合罐，由石英材料一体成型制成，包括：
罐体，为圆筒形，顶部具有异丙醇通入口和混合气体流出口，所述异丙醇通入口伸入所述罐体内的长度不短于所述气体流出口伸入所述罐体内的长度；
内罐，为圆柱形，位于罐体内，与氮气通入通道连通，氮气通入通道穿过罐体的顶部与内罐的顶部连接，所述内罐的表面开设有若干气孔。
优选地，本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，所述气孔设置在所述内罐的顶部和底部。
优选地，本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，所述气孔呈放射状排布并向一个方向偏转。
优选地，本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，所述异丙醇通入口、混合气体流出口以及氮气通入通道位于罐体外的部分为90°弯管以便于与相应的流体管道进行连接。
优选地，本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，所述气孔的分布密度从靠近所述内罐中心向着远离所述内罐中心的方向逐渐减小。
优选地，本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，所述气孔的直径设置为位于所述内罐中心的气孔大于远离所述内罐中心的气孔。
优选地，本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，所述氮气通入通道伸入所述内罐并形成喇叭口，并使得所述氮气通入通道位于所述内罐内的开口部分位于所述内罐的中间位置，从而使氮气到达所述内罐顶面和底面的距离相等。
优选地，本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，所述罐体底部还设有开口。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型的异丙醇与氮气混合罐，液态异丙醇通过异丙醇通入口注入到罐体内并淹没内罐，氮气从氮气通入通道进入内罐中，并从内罐的气孔处分散流出，气孔处流出的氮气在异丙醇内冒泡上升，在此过程中易挥发的异丙醇被混入氮气内形成混合气体，异丙醇与氮气混合更加均匀，混合气体从混合气体流出口处流出以供后续对晶圆的处理。同时，一体成型的石英材料极大地减少了机构之间的装配，降低了泄露的风险。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例的异丙醇与氮气混合罐的结构示意图；
图2是本申请实施例的异丙醇与氮气混合罐的剖视图；
图3是本申请实施例的内罐的俯视图；
图中的附图标记为：
1 罐体；
2 内罐；
3 开口；
20 氮气通入通道；
21 异丙醇通入口；
22 气体流出口；
23 气孔；
24 喇叭口。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例
本实施例提供一种异丙醇与氮气混合罐，由石英材料一体成型制成，如图1及图2所示，包括：
罐体1，为圆筒形，顶部具有异丙醇通入口21和混合气体流出口22，所述异丙醇通入口21伸入所述罐体1内的长度不短于所述气体流出口22伸入所述罐体1内的长度；
内罐2，为圆柱形，位于罐体1内，与氮气通入通道20连通，氮气通入通道20穿过罐体1的顶部与内罐2的顶部连接(达到将内罐2固定的作用)，所述内罐2的表面开设有若干气孔23。
本实施例的异丙醇与氮气混合罐，液态异丙醇通过异丙醇通入口21注入到罐体1内并淹没内罐2，氮气从氮气通入通道20进入内罐2中，并从内罐2的气孔23处分散流出，气孔23处流出的氮气在异丙醇内冒泡上升，在此过程中易挥发的异丙醇被混入氮气内形成混合气体，异丙醇与氮气混合更加均匀，混合气体从混合气体流出口22处流出以供后续对晶圆的处理。同时，一体成型的石英材料极大地减少了机构之间的装配，降低了泄露的风险。
进一步地，所述气孔23设置在所述内罐2的顶部和底部。当然，如果有必要，气孔23也可以设置在所述内罐2的侧壁上。
进一步地，所述气孔23呈放射状排布并向一个方向偏转，如图3所示，向着逆时针方向偏转。
进一步地，异丙醇通入口21、混合气体流出口22以及氮气通入通道20位于罐体1外的部分为90°弯管以便于与相应的流体管道进行连接。
进一步地，所述气孔23的分布密度从靠近所述内罐2中心向着远离所述内罐2中心的方向逐渐减小。气孔23的直径也可以设置为位于所述内罐2中心的气孔23大于远离所述内罐2中心的气孔23。
进一步地，所述氮气通入通道20伸入所述内罐2并形成喇叭口24，并使得所述氮气通入通道20位于所述内罐2内的开口部分位于所述内罐2的中间位置，从而使氮气到达所述内罐2顶面和底面的距离相等。
进一步地，所述罐体1底部还设有开口3，所述开口3在通常使用时被封闭，用于在对罐体1和内罐2进行清洗时排出异丙醇以及注入罐体1内的清洗液，当然开口3也可以设置为氮气通入口。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (8)
1.一种异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，由石英材料一体成型制成，包括：
罐体(1)，为圆筒形，顶部具有异丙醇通入口(21)和混合气体流出口(22)，所述异丙醇通入口(21)伸入所述罐体(1)内的长度不短于所述气体流出口(22)伸入所述罐体(1)内的长度；
内罐(2)，为圆柱形，位于罐体(1)内，与氮气通入通道(20)连通，氮气通入通道(20)穿过罐体(1)的顶部与内罐(2)的顶部连接，所述内罐(2)的表面开设有若干气孔(23)。
2.根据权利要求1所述的异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，所述气孔(23)设置在所述内罐(2)的顶部和底部。
3.根据权利要求1所述的异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，所述气孔(23)呈放射状排布并向一个方向偏转。
4.根据权利要求1所述的异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，所述异丙醇通入口(21)、混合气体流出口(22)以及氮气通入通道(20)位于罐体(1)外的部分为90°弯管以便于与相应的流体管道进行连接。
5.根据权利要求1所述的异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，所述气孔(23)的分布密度从靠近所述内罐(2)中心向着远离所述内罐(2)中心的方向逐渐减小。
6.根据权利要求5所述的异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，所述气孔(23)的直径设置为位于所述内罐(2)中心的气孔(23)大于远离所述内罐(2)中心的气孔(23)。
7.根据权利要求1所述的异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，所述氮气通入通道(20)伸入所述内罐(2)并形成喇叭口(24)，并使得所述氮气通入通道(20)位于所述内罐(2)内的开口部分位于所述内罐(2)的中间位置，从而使氮气到达所述内罐(2)顶面和底面的距离相等。
8.根据权利要求1所述的异丙醇与氮气混合罐，其特征在于，所述罐体(1)底部还设有开口(3)。
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