CN219575562U - 一种锗晶片的硫酸清洗回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，包括烧杯、加热组件、恒温组件、回收管道结构和硫酸回收瓶；烧杯，用于盛放硫酸并进行锗晶片的清洗；加热组件与恒温组件可活动连接并承载烧杯，用于将硫酸进行加热至目标温度；恒温组件内贴合容置烧杯，用于对硫酸进行保温；回收管道结构的一端通过恒温组件上的通孔与烧杯连接，另一端与硫酸回收瓶连接，用于回收硫酸，避免了在清洗过程中硫酸温度变化大，导致清洗效果差、成品率低的缺点，进而提高硫酸清洗回收的稳定性和安全性。

Description

一种锗晶片的硫酸清洗回收装置

技术领域

本实用新型涉及半导体处理领域，尤其涉及一种锗晶片的硫酸清洗回收装置。

背景技术

半导体晶片作为芯片制造的基石，是现代科技发展中一项重要的材料之一。以锗晶片为例，锗是重要的半导体材料，在半导体、航空航天测控、核物理探测、光纤通讯、红外光学、太阳能电池、化学催化剂、生物医学等领域都有广泛而重要的应用。

在锗晶片的生产过程中，清洗包装是加工的收尾工序。由于产品需要，锗片抛光时通常采用胶质物质进行贴膜的方式实现对背面的保护，因此在进入清洗时需要将背面的胶性物质进行去除，去除胶性物质的一个重要方式为硫酸清洗工艺，且需要对硫酸进行升温及保温处理。

目前锗晶片清洗时主要依靠加热炉对盛有硫酸的烧杯底部加热，在清洗过程中需要对硫酸进行搅拌以保证温度的均匀性；清洗后的硫酸主要依靠人工通过漏斗倾倒转移的方式回收，而硫酸作为危险化学品，无论是人工搅拌还是人工回收，在生产过程中都存在较大的安全风险。

实用新型内容

本实用新型实施例公开了一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，解决了现有的锗晶片清洗过程中需要通过人工搅拌和人工回收硫酸所导致的安全风险较大的技术问题。

本实用新型实施例提供了一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，包括烧杯、加热组件、恒温组件、回收管道结构和硫酸回收瓶；

所述烧杯，用于盛放硫酸并进行锗晶片的清洗；

所述加热组件与所述恒温组件可活动连接并承载所述烧杯，用于将所述硫酸进行加热至目标温度；

所述恒温组件内贴合容置所述烧杯，用于对所述硫酸进行保温；

所述回收管道结构的一端通过所述恒温组件上的通孔与所述烧杯连接，另一端与所述硫酸回收瓶连接，用于回收所述硫酸。

可选地，所述加热组件包括加热开关、温度调整按钮和加热器件；

所述加热开关，用于开启或关闭所述温度调整按钮的调整功能；

所述温度调整按钮，用于响应外部操作调整目标温度；

所述加热器件，用于将所述硫酸加热至所述目标温度。

可选地，所述加热器件还具有温度报警和自动关闭加热功能。

可选地，所述加热组件还包括加热监控器件和温度显示屏；

所述加热监控器件，用于检测所述硫酸的实时温度；

所述温度显示屏设置于所述加热器件的外表面，用于显示所述硫酸的实时温度。

可选地，所述恒温组件包括外围隔层和保温开关；

所述外围隔层包围形成容置腔，所述容置腔用于贴合容置所述烧杯；

所述外围隔层内设置有保温器件并存有离子水；

所述保温器件与所述温度调整按钮通信连接，用于将所述离子水的实时温度维持在所述目标温度；

所述保温开关，用于连接或断开所述保温器件与所述温度调整按钮之间的通信连接。

可选地，所述恒温组件还包括保温监控器件和保温显示屏；

所述保温监控器件，用于检测所述离子水的实时温度；

所述保温显示屏设置在所述外围隔层的外表面，用于显示所述离子水的实时温度。

可选地，所述回收管道结构包括硫酸回收管道、螺旋冷凝管和漏斗型连接件；

所述硫酸回收管道的第一端通过所述通孔与所述烧杯连接，第二端与所述螺旋冷凝管连接，用于回收所述硫酸；

所述螺旋冷凝管通过所述漏斗型连接件与所述硫酸回收瓶连接，用于冷却所述硫酸。

可选地，所述硫酸回收管道上设有液体流通开关，用于开启或关闭对所述硫酸的回收。

可选地，所述螺旋冷凝管包括螺旋状内管与外管；

所述外管上开设有进水口与出水口，用于从所述进水口接收冷却水，对所述螺旋状内管内的硫酸进行冷却后，通过所述出水口流出所述冷却水；

所述螺旋状内管与所述第二端连接，用于输送所述硫酸至所述漏斗型连接件。

可选地，所述烧杯的底部形状为斜面；

所述回收管道结构的一端连接至所述斜面的最低处；

所述底部形状与所述加热组件的顶部承载面形状相匹配。

从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：

本实用新型实施例提供了一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，通过在恒温组件中以贴合烧杯形状的方式容置装载有硫酸的烧杯，并将烧杯固定以底面贴合的方式放置于加热组件上，当用户将加热开关拨至开启时，调整温度调整按钮以选定硫酸加热的目标温度，加热器件开始工作将硫酸加热至目标温度。与此同时，若是保温开关也开启，则处于恒温组件的外围隔层内的保温器件会响应温度调整按钮所指定的目标温度同时加热离子水，以将硫酸维持在目标温度。为进一步进行温度的实时监控，在加热组件内具有加热监控器件，恒温组件内包括有保温监控器件，用于对硫酸和离子水的温度进行实时检测并通过相应的显示屏进行显示。而当锗晶片清洗完毕后，此时需要回收硫酸，则可以通过打开硫酸回收管道上的液体流通开关，通过螺旋冷凝管对硫酸进行冷却后输送至漏斗型连接件，通过其漏斗型的结构将冷却完成的硫酸回收至硫酸回收瓶中，从而完成对硫酸的回收，避免了在清洗过程中硫酸温度变化大，导致清洗效果差、成品率低的缺点，进而提高硫酸清洗回收的稳定性和安全性，且在整个清洗和回收的过程中降低人工介入操作的频率，提高锗晶片的处理效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例中提供的一种锗晶片的硫酸清洗回收装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例中提供的恒温组件与加热组件结构示意图；

图3为本实用新型实施例中提供的回收管道结构和硫酸回收瓶的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，用于解决现有的锗晶片清洗过程中需要通过人工搅拌和人工回收硫酸所导致的安全风险较大的技术问题。

请参阅图1，图1为本实用新型实施例中提供的一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，包括烧杯1、加热组件2、恒温组件3、回收管道结构和硫酸回收瓶4；

烧杯1，用于盛放硫酸并进行锗晶片的清洗；

加热组件2与恒温组件3可活动连接并承载烧杯1，用于将硫酸进行加热至目标温度；

恒温组件3内贴合容置烧杯1，用于对硫酸进行保温；

回收管道结构的一端通过恒温组件3上的通孔与烧杯1连接，另一端与硫酸回收瓶4连接，用于回收硫酸。

在本实用新型实施例中，可以将锗晶片置于烧杯中，放入硫酸对锗晶片背面的胶质物质进行清洗。同时加热组件和恒温组件之间可以通过例如铰链、卡扣或螺丝等链接的方式进行可活动连接，以方便更换使用时间过长的烧杯或恒温组件。该烧杯可以被承载在加热组件上并尽可能贴合加热组件的加热表面，以便于加热组件的加热效率最大化。

同时恒温组件内表面的形状与烧杯形状相配合，可以较好地贴合烧杯外壁，从而使得更好地对烧杯内硫酸进行保温处理。而回收管道结构的一端通过恒温组件上的通孔与烧杯连接，若是烧杯底面的平面，则可以连接到其底面与外壁之间的交界处。另一端与硫酸回收瓶连接，以通过该回收管道结构对清洗完成后的硫酸进行冷却后，回收至硫酸回收瓶。

可选地，烧杯1的底部形状为斜面；

回收管道结构的一端连接至斜面的最低处；

底部形状与加热组件2的顶部承载面形状相匹配。

在本实用新型实施例中，为最大化提高硫酸的回收效率以及回收效果，烧杯的底部形状还可以定制为斜面，同时该加热组件的顶部承载面也可以与该斜面相匹配，将回收管道结构的一端连接至斜面的最低处，从而实现在回收硫酸时，全部硫酸均可以被回收至硫酸回收瓶。

请参阅图2，加热组件2包括加热开关21、温度调整按钮22和加热器件23；

加热开关21，用于开启或关闭温度调整按钮22的调整功能；

温度调整按钮22，用于响应外部操作调整目标温度；

加热器件23，用于将硫酸加热至目标温度。

可选地，加热器件23还具有温度报警和自动关闭加热功能。

在本实用新型实施例中，在加热开关被开启后，通过相应外部用户的操作，温度调整按钮被调整至目标温度，同时启动加热器件，将烧杯内的硫酸加热至目标温度，而为避免温度过高，可以使用具有温度报警和自动关闭加热功能，即使用具备温控功能的加热器件。

可选地，加热组件2还包括加热监控器件和温度显示屏24；

加热监控器件，用于检测硫酸的实时温度；

温度显示屏24设置于加热器件23的外表面，用于显示硫酸的实时温度。

可选地，恒温组件3还包括保温监控器件和保温显示屏33；

保温监控器件，用于检测离子水的实时温度；

保温显示屏33设置在外围隔层31的外表面，用于显示离子水的实时温度。

在现有清洗过程中主要是使用温度计进行测温，温度计反馈时间长，影响效率，因此在此基础上设置了实时温度监控器件，实时温度监控器件包括有设置在加热组件上的加热监控器件和设置在恒温组件内的保温监控器件，通过两者分别对硫酸和离子水的实时温度进行检测并通过相应的显示屏进行实时显示，保证清洗过程中温度处在理想状态。

可选地，恒温组件3包括外围隔层31和保温开关32；

外围隔层31包围形成容置腔，容置腔用于贴合容置烧杯1；

外围隔层31内设置有保温器件311并存有离子水；

保温器件311与温度调整按钮22通信连接，用于将离子水的实时温度维持在目标温度；

保温开关32，用于连接或断开保温器件311与温度调整按钮22之间的通信连接。

请参阅图3，回收管道结构包括硫酸回收管道41、螺旋冷凝管42和漏斗型连接件43；

硫酸回收管道41的第一端通过通孔与烧杯1连接，第二端与螺旋冷凝管42连接，用于回收硫酸；

螺旋冷凝管42通过漏斗型连接件43与硫酸回收瓶4连接，用于冷却硫酸。

可选地，硫酸回收管道41上设有液体流通开关，用于开启或关闭对硫酸的回收。

在本实用新型另一实施例中，液体流通开关还可以设置为智能式，通过与加热监控器件进行通信连接，判断其是否硫酸的实时温度是否小于某一设定温度，若是则可以直接开启液体流通开关进行硫酸的回收，若否则保持关闭状态。同时液体流通开关还可以通过实时检测硫酸回收管道的流体流速，当其为零时判定此时全部硫酸均已被回收，此时可以将液体流通开关关闭，并生成提示以方便用户进行下一次的锗晶片清洗。

可选地，螺旋冷凝管42包括螺旋状内管421与外管422；

外管422上开设有进水口4221与出水口4222，用于从进水口4221接收冷却水，对螺旋状内管421内的硫酸进行冷却后，通过出水口4222流出冷却水；

螺旋状内管421与第二端连接，用于输送硫酸至漏斗型连接件43。

在本实用新型实施例中，当需要回收硫酸时，液体流通开关被打开，硫酸将从烧杯中流入硫酸回收管道中，沿硫酸回收管道流至螺旋冷凝管的螺旋状内管，而螺旋冷暖管的外管通过进水口和出水口的结构装有冷却水，硫酸经过四周有冷却水的管道，通过与冷却水进行热量交换使硫酸冷却。且螺旋状内管为螺旋形状，可以增加硫酸在螺旋冷凝管中的流通距离，使硫酸冷却效率提高，待硫酸冷却完成后，又通过连接在螺旋冷凝管第二端的漏斗连接件将冷却完成的硫酸回收至硫酸回收瓶中，完成硫酸的回收。

本实用新型实施例提供了一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，通过在恒温组件中以贴合烧杯形状的方式容置装载有硫酸的烧杯，并将烧杯固定以底面贴合的方式放置于加热组件上，当用户将加热开关拨至开启时，调整温度调整按钮以选定硫酸加热的目标温度，加热器件开始工作将硫酸加热至目标温度。与此同时，若是保温开关也开启，则处于恒温组件的外围隔层内的保温器件会响应温度调整按钮所指定的目标温度同时加热离子水，以将硫酸维持在目标温度。为进一步进行温度的实时监控，在加热组件内具有加热监控器件，恒温组件内包括有保温监控器件，用于对硫酸和离子水的温度进行实时检测并通过相应的显示屏进行显示。而当锗晶片清洗完毕后，此时需要回收硫酸，则可以通过打开硫酸回收管道上的液体流通开关，通过螺旋冷凝管对硫酸进行冷却后输送至漏斗型连接件，通过其漏斗型的结构将冷却完成的硫酸回收至硫酸回收瓶中，从而完成对硫酸的回收，避免了在清洗过程中硫酸温度变化大，导致清洗效果差、成品率低的缺点，进而提高硫酸清洗回收的稳定性和安全性，且在整个清洗和回收的过程中降低人工介入操作的频率，提高锗晶片的处理效率。

以上对本实用新型所提供的一种锗晶片的硫酸清洗回收装置进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，包括烧杯、加热组件、恒温组件、回收管道结构和硫酸回收瓶；

所述烧杯，用于盛放硫酸并进行锗晶片的清洗；

所述加热组件与所述恒温组件可活动连接并承载所述烧杯，用于将所述硫酸进行加热至目标温度；

所述恒温组件内贴合容置所述烧杯，用于对所述硫酸进行保温；

所述回收管道结构的一端通过所述恒温组件上的通孔与所述烧杯连接，另一端与所述硫酸回收瓶连接，用于回收所述硫酸。

2.根据权利要求1所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述加热组件包括加热开关、温度调整按钮和加热器件；

所述加热开关，用于开启或关闭所述温度调整按钮的调整功能；

所述温度调整按钮，用于响应外部操作调整目标温度；

所述加热器件，用于将所述硫酸加热至所述目标温度。

3.根据权利要求2所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述加热器件还具有温度报警和自动关闭加热功能。

4.根据权利要求2所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述加热组件还包括加热监控器件和温度显示屏；

所述加热监控器件，用于检测所述硫酸的实时温度；

所述温度显示屏设置于所述加热器件的外表面，用于显示所述硫酸的实时温度。

5.根据权利要求2所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述恒温组件包括外围隔层和保温开关；

所述外围隔层包围形成容置腔，所述容置腔用于贴合容置所述烧杯；

所述外围隔层内设置有保温器件并存有离子水；

所述保温器件与所述温度调整按钮通信连接，用于将所述离子水的实时温度维持在所述目标温度；

所述保温开关，用于连接或断开所述保温器件与所述温度调整按钮之间的通信连接。

6.根据权利要求5所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述恒温组件还包括保温监控器件和保温显示屏；

所述保温监控器件，用于检测所述离子水的实时温度；

所述保温显示屏设置在所述外围隔层的外表面，用于显示所述离子水的实时温度。

7.根据权利要求1所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述回收管道结构包括硫酸回收管道、螺旋冷凝管和漏斗型连接件；

所述硫酸回收管道的第一端通过所述通孔与所述烧杯连接，第二端与所述螺旋冷凝管连接，用于回收所述硫酸；

所述螺旋冷凝管通过所述漏斗型连接件与所述硫酸回收瓶连接，用于冷却所述硫酸。

8.根据权利要求7所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述硫酸回收管道上设有液体流通开关，用于开启或关闭对所述硫酸的回收。

9.根据权利要求7所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述螺旋冷凝管包括螺旋状内管与外管；

所述外管上开设有进水口与出水口，用于从所述进水口接收冷却水，对所述螺旋状内管内的硫酸进行冷却后，通过所述出水口流出所述冷却水；

所述螺旋状内管与所述第二端连接，用于输送所述硫酸至所述漏斗型连接件。

10.根据权利要求1-9任一项所述的锗晶片的硫酸清洗回收装置，其特征在于，所述烧杯的底部形状为斜面；

所述回收管道结构的一端连接至所述斜面的最低处；

所述底部形状与所述加热组件的顶部承载面形状相匹配。