CN219522133U - 一种用于花篮的机械手机构及光伏湿法生产设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于花篮的机械手机构及光伏湿法生产设备。该机械手机构用于夹持花篮，包括夹爪组件及检测组件，其中，夹爪组件包括连接件和拾取件，拾取件设置于连接件上，拾取件用于夹持花篮；检测组件包括移动件和检测元件，移动件可滑动地设置于连接件，当拾取件夹持花篮时，移动件与花篮抵接，移动件向靠近检测元件的方向滑动以挤压检测元件的触发部，以使检测元件接通进行检测，当拾取件松开对花篮的夹持时，移动件能够向远离检测元件的方向滑动，以解除移动件对检测元件的触发部的挤压，使检测元件停止检测。该机械手机构能够有效提高检测组件的检测准确度，提高了机械手机构对花篮进行拾取、搬运的效率。

Description

一种用于花篮的机械手机构及光伏湿法生产设备

技术领域

本实用新型涉及光伏生产设备技术领域，尤其涉及一种用于花篮的机械手机构及光伏湿法生产设备。

背景技术

在硅片的制备过程中，主要是通过花篮承载放置硅片，以对硅片进行搬运、刻蚀、清洗以及检测等操作。花篮可通过机械手机构进行拾取，并通过驱动组件驱动机械手机构移动，以带动花篮移动至预设位置处。

机械手机构包括夹爪组件和检测组件，夹爪组件用于拾取花篮，检测组件用于检测夹爪组件是否拾取成功，若检测到拾取到花篮，则驱动组件驱动机械手机构移动，若检测到未拾取到花篮，则驱动组件驱动机械手机构移动以重新对花篮进行拾取。

在相关技术中，检测组件包括可竖直移动的移动件和磁性开关，磁性开关靠近移动件的一端设置，移动件的朝向磁性开关的一端设置有磁铁，当夹爪组件未拾取到花篮时，移动件位于原始位置上，移动件的设置有磁铁的一端与磁性开关相贴近，磁性开关导通产生电信号，当夹爪组件拾取到花篮时，花篮推动移动件移动，移动件的设置有磁铁的一端远离磁性开关，磁性开关断开不能产生电信号，以实现对夹爪组件是否拾取到花篮的检测。但是，磁铁在高温的环境中容易出现消磁或者磁力不均匀的情况，导致移动件在贴近磁性开关或者远离磁性开关时，磁性开关不能准确的产生感应，使得机械手机构在高温的环境中对花篮进行拾取时，检测组件不能准确地检测出夹爪组件是否拾取到花篮。

实用新型内容

本申请实施例公开了一种用于花篮的机械手机构及光伏湿法生产设备，能够有效提高检测组件的检测准确度，提高了机械手机构对花篮进行拾取、搬运的效率。

为了实现上述目的，第一方面，本申请实施例公开了一种用于花篮的机械手机构，所述机械手机构用于夹持花篮，包括：

夹爪组件，所述夹爪组件包括连接件和拾取件，所述拾取件设置于所述连接件上，所述拾取件用于夹持所述花篮；

检测组件，所述检测组件包括移动件和检测元件，所述移动件可滑动地设置于所述连接件，当所述拾取件夹持所述花篮时，所述移动件与所述花篮抵接，所述移动件向靠近所述检测元件的方向滑动以挤压所述检测元件的触发部，以使所述检测元件接通进行检测，当所述拾取件松开对花篮的夹持时，所述移动件能够向远离所述检测元件的方向滑动，以解除所述移动件对所述检测元件的触发部的挤压，使所述检测元件停止检测。

在第一方面可能的实现方式中，所述移动件沿竖直方向可滑动地设置于所述连接件上，当所述拾取件松开对花篮的夹持时，所述移动件在其自身的重力作用下向远离所述检测元件的方向滑动。

在第一方面可能的实现方式中，所述移动件包括沿竖直方向延伸的滑动杆，所述滑动杆的沿竖直方向的两端分别为第一端和第二端，所述第一端靠近所述拾取件设置，用于与所述花篮抵接，所述第二端靠近所述检测元件设置，用于挤压所述检测元件的触发部；

所述检测组件还包括微动压杆，所述微动压杆沿水平方向可移动地设置于所述连接件上，沿水平方向，所述微动压杆的一端位于所述滑动杆的第二端的滑动路径上，所述微动压杆的另一端与所述检测元件的触发部连接；

当所述拾取件夹持所述花篮时，所述滑动杆的第一端与所述花篮抵接，所述滑动杆的第二端与所述微动压杆相抵接，以使所述微动压杆沿水平方向滑动挤压所述检测元件的触发部，用于使所述检测元件接通，当所述拾取件松开对花篮的夹持时，所述滑动杆的第二端向远离所述微动压杆的方向滑动，所述微动压杆能够向远离所述检测元件的方向水平滑动，以使所述检测元件断开。

在第一方面可能的实现方式中，所述滑动杆的第二端的朝向所述微动压杆的一侧设置有第一导向面，所述微动压杆的朝向所述滑动杆的第二端的一端设置有第二导向面，所述第二导向面位于所述第一导向面的滑动路径上。

在第一方面可能的实现方式中，所述移动件还包括重力锤，所述重力锤设置于所述滑动杆的第一端。

在第一方面可能的实现方式中，所述检测组件还包括限位件，所述限位件设置于所述移动件与所述连接件之间，所述限位件用于限制所述移动件滑出所述连接件。

在第一方面可能的实现方式中，所述限位件包括设置于所述连接件上的第一凸起以及设置于所述移动件上的第二凸起，沿所述移动件的滑动方向，所述第二凸起在所述第一凸起上的投影至少部分位于第一凸起内，且所述第一凸起位于所述第二凸起与所述拾取件之间。

在第一方面可能的实现方式中，所述检测组件还包括壳体和盖板，所述壳体设置于所述连接件，所述壳体与所述盖板共同围设形成容纳空间，所述移动件靠近所述检测元件的部分以及所述检测元件均容纳于所述容纳空间内。

在第一方面可能的实现方式中，所述盖板为透明盖板，所述透明盖板可拆卸地设置于所述壳体，所述透明盖板用于观察所述检测元件。

在第一方面可能的实现方式中，所述检测元件为微动开关。

在第一方面可能的实现方式中，所述连接件包括相对设置第一连接板和第二连接板，所述拾取件包括相对设置的第一挂钩和第二挂钩，所述第一挂钩设置于所述第一连接板朝向所述第二连接板的一面，所述第二挂钩设置于所述第二连接板朝向所述第一连接板的一面，所述第一挂钩在所述第二连接板上的正投影与所述第二挂钩在第二连接板上的投影重合，所述第一挂钩和所述第二挂钩用于夹持所述花篮。

在第一方面可能的实现方式中，所述第一挂钩的数量至少为两个，至少两个所述第一挂钩关于所述第一连接板的宽度方向的中心线对称设置，所述第一连接板的宽度方向为第一连接板的朝向所述第二连接板的一面沿水平方向的方向；

所述第二挂钩的数量至少为两个，至少两个所述第二挂钩与至少两个所述第一挂钩一一对应设置。

在第一方面可能的实现方式中，所述机械手机构还包括固定架以及驱动件，所述驱动件设置于所述固定架，所述驱动件的驱动端与所述夹爪组件连接，用于驱动所述夹爪组件和所述检测组件沿竖直方向移动。

第二方面，本申请实施例还公开了一种光伏湿法生产设备，包括：

第一方面中任一种所述的机械手机构；

花篮，所述花篮上设置挂孔，所述拾取件穿设于所述挂孔中。

与现有技术相比，本申请至少具有以下有益效果：

在本申请中，夹爪组件包括连接件和拾取件，拾取件设置于连接件上，拾取件用于夹持花篮，以使机械手机构能够夹持拾取到花篮。移动件可滑动地设置于连接件，当拾取件夹持花篮时，移动件与花篮抵接，移动件向靠近检测元件的方向滑动以挤压检测元件的触发部，以使检测元件接通进行检测，使得检测元件能够检测到拾取件拾取夹持到花篮，以便产生拾取夹持到花篮的信号，并可将信号传送至控制器上，以便实施后续动作；当拾取件松开对花篮的夹持时，移动件能够向远离检测元件的方向滑动，以解除移动件对检测元件的触发部的挤压，使检测元件停止检测，使得检测元件能够检测到拾取件未拾取夹持到花篮，以发出未拾取夹持花篮的信号，并可将信号传送至控制器上，从而方便控制夹爪组件执行下一个操作，如对另外的花篮进行拾取夹持，或者对未拾取成功的花篮再次进行拾取夹持。

检测组件中的移动件沿靠近或者远离检测元件的方向可滑动地设置于连接件，以在移动件向靠近检测元件的方向滑动时，可挤压检测元件的触发部，从而能够使得检测元件接通以进行检测；移动件能够向远离检测元件的方向滑动时，可解除移动件对检测元件的触发部的挤压，从而能够使得检测元件断开以停止检测，以产生夹爪组件是否拾取夹持到花篮的信号。

相比于，检测组件包括设置有磁铁的移动件以及磁性开关，通过移动件带动磁铁沿向靠近或者远离磁性开关的方向滑动，以使磁性开关接通或者断开的方式，通过移动件沿靠近或者远离检测元件的方向的滑动，以挤压检测元件的触发部或者解除对检测元件的触发部的挤压，使得检测组件对夹爪组件是否拾取夹持到花篮的检测不易受温度高低的影响，提高了检测组件的检测准确度，以及检测的稳定性和可靠性，提高了机械手机构对花篮进行拾取夹持和搬运的效率。

且检测组件中是通过移动件的移动来挤压检测元件的触发部或者解除对检测元件的触发部的挤压，相比于还要在移动件上设置磁铁，降低了检测组件的成本，从而能够降低机械手机构的成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种机械手机构的主视图；

图2是本申请实施例提供的一种主体的立体图；

图3是本申请实施例提供的一种夹爪组件与检测组件的组合的立体图；

图4是图3中B位置处的放大图；

图5是本申请实施例提供的一种检测组件的主视图；

图6是图1中A位置处的放大图；

图7是本申请实施例提供的一种花篮的立体图；

图8是本申请实施例提供的一种机械手机构夹持花篮时的结构示意图；

图9是本申请实施例提供的一种机械手机构的侧视图。

附图标记说明：

1-夹爪组件；11-连接件；111-第一连接板；112-第二连接板；12-拾取件；121-第一挂钩；122-第二挂钩；2-检测组件；21-移动件；211-滑动杆；2111-第一端；2112-第二端；21121-第一导向面；212-微动压杆；2121-第二导向面；213-重力锤；22-检测元件；221-微动开关；23-限位件；231-第一凸起；232-第二凸起；24-壳体；25-盖板；26-走线管；27-密封接头；3-固定架；4-驱动件；5-升降架；6a-滑轨；6b-滑块；100-机械手机构；200-花篮；201-挂孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”等主要是用于区分不同的装置、元件或组成部分(具体的种类和构造可能相同也可能不同)，并非用于表明或暗示所指示装置、元件或组成部分的相对重要性和数量。除非另有说明，“多个”的含义为两个或两个以上。

本实用新型提供了一种用于花篮的机械手机构及光伏湿法生产设备，能够有效提高检测组件的检测准确度，提高了机械手机构对花篮进行拾取、搬运的效率。

下面将结合具体实施例和附图对本申请的技术方案进行详细说明。

实施例一

本申请实施例提供了一种用于花篮的机械手机构，如图1-图3所示，机械手机构100用于夹持花篮，包括夹爪组件1及检测组件2，其中，夹爪组件1包括连接件11和拾取件12，拾取件12设置于连接件11上，拾取件12用于夹持花篮；检测组件2包括移动件21和检测元件22，移动件21可滑动地设置于连接件11，当拾取件12夹持花篮时，移动件21与花篮抵接，移动件21向靠近检测元件22的方向滑动以挤压检测元件22的触发部，以使检测元件22接通进行检测，当拾取件12松开对花篮的夹持时，移动件21能够向远离检测元件22的方向滑动，以解除移动件21对检测元件22的触发部的挤压，以使检测元件22停止检测。

在本实施例中，夹爪组件1包括连接件11和拾取件12，拾取件12设置于连接件11上，拾取件12用于夹持花篮，以使机械手机构100能够夹持拾取到花篮。移动件21可滑动地设置于连接件11，当拾取件12夹持花篮时，移动件21与花篮抵接，移动件21向靠近检测元件22的方向滑动以挤压检测元件22的触发部，以使检测元件22接通，使得检测元件22能够检测到拾取件12拾取夹持到花篮，以便产生拾取夹持到花篮的信号，并可将信号传送至控制器上，以便实施后续动作；当拾取件12松开对花篮的夹持时，移动件21能够向远离检测元件22的方向滑动，以解除移动件21对检测元件22的触发部的挤压，使检测元件22停止检测，使得检测元件22能够检测到拾取件12未拾取夹持到花篮，以发出未拾取夹持花篮的信号，并可将信号传送至控制器上，从而方便控制夹爪组件1执行下一个操作，如对另外的花篮进行拾取夹持，或者对未拾取成功的花篮再次进行拾取夹持。

检测组件2中的移动件21沿靠近或者远离检测元件22的方向可滑动地设置于连接件11，以在移动件21向靠近检测元件22的方向滑动时，可挤压检测元件22的触发部，从而能够使得检测元件22接通以进行检测；移动件21能够向远离检测元件22的方向滑动时，可解除移动件21对检测元件22的触发部的挤压，从而能够使得检测元件22断开以停止检测，以产生夹爪组件1是否拾取夹持到花篮的信号。

相比于，检测组件2包括设置有磁铁的移动件21以及磁性开关，通过移动件21带动磁铁沿向靠近或者远离磁性开关的方向滑动，以使磁性开关接通或者断开的方式，通过移动件21沿靠近或者远离检测元件22的方向的滑动，以挤压检测元件22的触发部或者解除对检测元件22的触发部的挤压，使得检测组件2对夹爪组件1是否拾取夹持到花篮的检测不易受温度高低的影响，提高了检测组件2的检测准确度，以及检测的稳定性和可靠性，提高了机械手机构100对花篮进行拾取夹持和搬运的效率。

且检测组件2中是通过移动件21的移动来挤压检测元件22的触发部或者解除对检测元件22的触发部的挤压，相比于还要在移动件21上设置磁铁，降低了检测组件2的成本，从而能够降低机械手机构100的成本。

上述的夹爪组件1中的连接件11可具有多种结构形式，如，连接件11可以是连接板，也可以是，连接件11是连接块，还可以是，连接件11是连接架，在此并不做限定。

检测元件22可以是微动开关221、压力传感器等中的任一种，在此也不做限定。且，当检测元件22为微动开关221时，微动开关221是一种使用很微小的力度的开关，是一种外机械力通过传动元件作用于动作簧片(即触发部)上，使其末端的定触点与动触点快速接通或断开的开关，可使得检测元件22的检测具有较好灵敏度和稳定性。

移动件21能够向远离检测元件22的方向滑动可具有多种实现方式，在一种可能实现方式中，可以是移动件21朝向检测元件22的一端设置有弹簧，弹簧的远离移动件21的一端固定在连接件11上，以在拾取件12拾取夹持到花篮时，花篮抵接挤压移动件21朝向检测元件22滑动，弹簧能够压缩变形，在拾取件12松开对花篮的拾取夹持时，移动件21在弹簧的弹性力的作用下能够向远离检测元件22的方向滑动，以解除检测元件22的触发部的挤压。

在另一种可能的实现方式中，如图2和图3所示，移动件21沿竖直方向可滑动地设置于连接件11上，当拾取件12松开对花篮的夹持时，移动件21在其自身的重力作用下向远离检测元件22的方向滑动。

由此，可使得检测组件2的结构简单，易于实现，且无需额外设置使移动件21向远离检测元件22的方向滑动的结构件，减少了检测组件2的零件的数量，降低了成本。

其中，移动件21可以是滑动杆211、滑动块、滑动板等中的任一种，在此并不做限定，具体可根据实际情况进行选择。

另外，移动件21向靠近检测元件22的方向滑动以挤压检测元件22的触发部时，移动挤压检测元件22的触发部的实现方式具有多种，在一种可能的实现方式中，移动件21可包括沿竖直方向滑动的滑动块，滑动块的一端靠近拾取件12设置，用于与花篮抵接，滑动块的另一端靠近检测元件22设置，且滑动块的靠近检测元件22的另一端还设置有导向面，检测元件22的触发部朝向滑动块的一侧连接有滑动球，滑动球位于导向面的滑动路径上，以在拾取件12拾取夹持花篮时，花篮抵接挤压滑动块向上滑动，滑动块的导向面向上滑动并与滑动球相抵接，以使滑动球向检测元件22的方向滑动，挤压检测元件22的触发部，从而能够使检测元件22导通；当拾取件12松开对花篮的夹持时，滑动块在其自身的重力下向下滑动，导向面向下滑动以解除对滑动球的挤压，滑动球能够向远离检测元件22的方向水平滑动，以使检测元件22断开，能够使得检测组件2的运行稳定流畅，且结构简单易于实现。

在另一种可能的实现方式中，如图3和图4所示，移动件21包括沿竖直方向延伸的滑动杆211，滑动杆211的沿竖直方向的两端分别为第一端2111和第二端2112，第一端2111靠近拾取件12设置，用于与花篮抵接，第二端2112靠近检测元件22设置，用于挤压检测元件22的触发部，滑动杆211可减小移动件21的沿水平方向的尺寸，降低了移动件21的占用空间。检测组件2还包括微动压杆212，微动压杆212沿水平方向可移动地设置于连接件11上，沿水平方向，微动压杆212的一端位于滑动杆211的第二端2112的滑动路径上，微动压杆212的另一端与检测元件22的触发部连接，当拾取件12夹持花篮时，滑动杆211的第一端2111与花篮抵接，被花篮挤压向上滑动，滑动杆211的第二端2112与微动压杆212相抵接，以使微动压杆212沿水平方向滑动挤压检测元件22的触发部，使检测元件22接通，当拾取件12松开对花篮的夹持时，滑动杆211的第二端2112在自身重力的作用下向远离微动压杆212的方向滑动，微动压杆212能够向远离检测元件22的方向水平滑动，解除对检测元件22的触发部的挤压，以使检测元件22断开。

由此，通过滑动杆211沿竖直方向滑动，挤压微动压杆212向靠近检测元件22的方向滑动，可使得微动压杆212的移动距离仅与微动压杆212与滑动杆211沿水平方向的相重合的尺寸有关，使得微动压杆212的沿水平方向的滑动无需考虑滑动杆211的沿竖直方向的滑动距离，从而使得微动压杆212的沿水平方向的滑动不受拾取夹持的花篮的规格的影响，即当拾取件12拾取夹持不同规格的花篮时，检测组件2仍能够检测到拾取件12是否拾取到花篮，提高了机械手机构100的适用性。

其中，滑动杆211可为碳纤棒，以使滑动杆211具有较强的结构强度，防止因滑动杆211出现变形而导致检测元件22误感应，提高了检测元件22的检测准确性。

另外，当滑动杆211的第一端2111与花篮抵接，被花篮挤压向上滑动，以使滑动杆211的第二端2112与微动压杆212相抵接时，可以在滑动杆211的第二端2112的朝向微动压杆212的一侧设置导向面，导向面沿竖向方向延伸且朝向微动压杆212的方向倾斜，以使滑动杆211的第二端2112能够顺畅的挤压微动压杆212逐渐向靠近检测元件22的方向滑动；也可以是，微动压杆212位于滑动杆211的第二端2112的移动路径上的一端设置有导向面；还可以是，如图4所示，滑动杆211的第二端2112的朝向微动压杆212的一侧设置有第一导向面21121，微动压杆212的朝向滑动杆211的第二端2112的一端设置有第二导向面2121，第二导向面2121位于第一导向面21121的滑动路径上，以使第一导向在随滑动杆211向上滑动时，第一导向面21121能够逐渐与第二导向面2121抵接，以挤压微动压杆212向靠近检测元件22的方向滑动，防止了滑动杆211在沿竖直方向滑动时与微动压杆212出现干涉的情况，使得微动压杆212能够顺畅的沿水平方向滑动，以使检测元件22的触发部能够受到挤压或者解除被挤压，使得检测元件22能够接通或者断开。

上述的，第一导向面21121可具有多种实现方式，如，第一导向面21121可为设置于滑动杆211的第二端2112的向微动压杆212倾斜的坡面，也可以是，设置于滑动杆211的第二端2112朝向微动压杆212的圆弧面，在此并不做限定。同样的，第二导向面2121也可具有多种实现方式，如第二导向面2121可为设置于的微动压杆212向滑动杆211的第二端2112倾斜的坡面，也可以是，设置于微动压杆212靠近滑动杆211的第二端2112的一端的圆弧面，在此并不做限定。

可选地，如图3所示，移动件21还包括重力锤213，重力锤213设置于第一端2111。

由此，可使得移动件21具有一定的重量，以在拾取件12松开对花篮的夹持时，能够较为迅速地在其自身的重力作用下向下移动至原始位置，使得检测元件22能够快速地断开，提高了检测组件2的灵敏度。

且重力锤213设置于滑动杆211的第一端2111，可在花篮与滑动杆211抵接时，花篮与重力锤213相抵接，使得花篮与移动件21之间的接触面积能够增大，降低了花篮抵接移动件21时与移动件21出现错开的几率。

其中，重力锤213可以是设置于滑动杆211的第一端2111的重力块、重力球等中的任一种，在此并不做限定。

上述移动件21沿竖直方向可滑动地设置于连接件11上，可以是，在连接件11上设置沿竖直方向延伸的导轨，在移动件21的朝向连接件11的一侧设置滑块，滑块与导轨滑动连接，以使移动件21能够与连接件11滑动连接的同时，还能够减小移动件21与连接件11之间的接触面积，从而能降低移动件21与连接件11之间的摩擦阻力；也可以是，移动件21的朝向连接件11的一侧设置有滚珠，滚珠与连接件11滚动连接，使得移动件21相对于连接件11滑动时，移动件21与连接件11之间为滚动摩擦，降低了移动件21与连接件11之间的摩擦阻力；当然，移动件21沿竖直方向可滑动地设置于连接件11上还可以具有其它的实现方式，在此并不做限定。

在一些实施例中，如图4所示，检测组件2还包括限位件23，限位件23设置于移动件21与连接件11之间，限位件23用于限制移动件21滑出连接件11。

由此，通过在移动件21与连接件11之间设置限位件23可有效防止移动件21在相对于连接件11滑动时滑出连接件11，从而能够避免因移动件21滑出连接件11而导致出现检测组件2不能进行检测的情况。

其中，限位件23可具有多种实现方式，在一种可能的实现方式中，移动件21上可设置滑槽，移动件21上设置有滑块，滑块可滑动地嵌设于滑槽中，滑槽的靠近拾取件12的一端设置有限位块，以在滑块在滑槽中滑动至滑槽的靠近拾取件12的一端时，能够与限位块相抵接，防止了移动件21在滑动的过程中滑出连接件11，结构简单易于实现。

在另一种可能实现方式中，如图4所示，限位件23包括设置于连接件11上的第一凸起231，以及设置于移动件21上的第二凸起232，沿移动件21的滑动方向，第二凸起232在第一凸起231上的投影至少部分位于第一凸起231内，且第一凸起231位于第二凸起232与拾取件12之间。

由此，当移动件21在其自身的重力作用下向下滑动时，滑动至第二凸起232与第一凸起231相抵接时，即能够阻止移动件21继续向下移动，防止移动架滑出连接件11，结构简单易于实现。

其中，第一凸起231可设置于连接件11的靠近拾取件12的一侧，且当移动件21为滑动杆211时，可在第一凸起231上设置滑动孔，滑动杆211可滑动地穿设于滑动孔中，设置于滑动杆211上的第二凸起232位于第一凸起231的朝向检测元件22的一侧，且第二凸起232的外接圆的直径大于滑动孔的孔径，以在滑动杆211滑动至第二凸起232与第一凸起231相接触时，第二凸起232能够与第一凸起231相抵接，阻止滑动杆211继续滑动，从而能防止滑动杆211滑出连接件11。

在一些实施中，如图5所示，检测组件2还包括壳体24和盖板25，壳体24设置于连接件11，壳体24与盖板25共同围设形成容纳空间，移动件21靠近检测元件22的部分以及检测元件22均容纳于容纳空间内。

由此，通过将移动件21靠近检测元件22的部分以及检测元件22均容纳于壳体24和盖板25所围设形成的容纳空间内，可对移动件21靠近检测元件22的部分以及检测元件22起到一定的保护作用，以防止刻蚀液或者清洗液等溶液对检测元件22造成污染，避免了因检测元件22受到刻蚀液或者清洗液等溶液的污染而出现检测不准的情况。

其中，壳体24设置于连接上，可以是，壳体24通过螺纹副螺纹连接于连接件11，也可以是，壳体24焊接于连接件11上，以上的连接方式均简单易于操作实现，在此并不做限定。

壳体24可以是通过焊接、注塑等各种工艺加工形成，壳体24可以是耐腐蚀的塑料制作而成，如，壳体的材质可以是聚丙烯、聚四氟乙烯、聚全氟乙丙烯等，在此并不做限定。

同样的，盖板25可与壳体24的材质相同，具体可参考上述，在此不再进行赘述。

可选地，盖板25为透明盖板，透明盖板可拆卸地设置于壳体24，透明盖板用于观察检测元件22。

由此，可通过透明盖板对检测元件22的使用情况随时进行观察，以及时了解检测元件22的使用情况，从而能够保证检测元件22的检测的准确性。且透明盖板可拆卸地设置与壳体24，方便了对检测元件22进行维护更换。

透明盖板可拆卸地设置于壳体24可具有多种实现方式，如，透明盖板与壳体24之间可通过铰链进行连接，也可以是，透明盖板与壳体24之间通过转轴进行连接，还可以是透明盖板通过螺纹副与壳体24连接，在此并不做限定。

可选地，如图5所示，壳体24上开设有走线孔，走线孔连通有走线管26，走线管26与走线孔之间连接有密封接头27，走线孔、走线管26以及密封接头27形成走线管道，走线管道用于穿设电连接检测元件22的线缆。

由此，与检测元件22电连接的线缆可穿设于密封性较好的走线管道中，以使线缆在与其它的设备(如电源、控制设置等)电连接时，线缆不易受到刻蚀液或者清洗液等化学溶液的侵蚀，提高了线缆的使用安全性。

其中，走线管道的远离壳体24的另一端也可连通有密封接头27，可使得与检测元件22电连接的线缆从检测元件22至与检测元件22电连接的另一设备之间的部分均能够被保护的较好。

走线管道可以是波纹管、PVC(Polyvinyl Chloride，聚氯乙烯)穿线管等中的任一种，在此并不做限定。

在一些实施例中，如图6-图8所示，连接件11包括相对设置第一连接板111和第二连接板112，拾取件12包括相对设置的第一挂钩121和第二挂钩122，第一挂钩121设置于第一连接板111朝向第二连接板112的一面，第二挂钩122设置于第二连接板112朝向第一连接板111的一面，第一挂钩121在第二连接板112上的正投影与第二挂钩122在第二连接板112上的投影重合，第一挂钩121和第二挂钩122用于夹持花篮200。

由此，通过相对设置第一连接板111和第二连接板112，以及第一挂钩121设置于第一连接板111朝向第二连接板112的一面，第二挂钩122设置于第二连接板112朝向第一连接板111的一面，第一挂钩121和第二挂钩122用于夹持花篮200，可使得第一连接板111和第二连接板112之间形成用于容纳花篮200的空间，并能够通过第一挂钩121和第二挂钩122将花篮200拾取夹持在空间内。第一挂钩121在第二连接板112上的正投影与第二挂钩122在第二连接板112上的投影重合，可使得第一挂钩121和第二挂钩122沿第一连接板111和第二连接板112的相对的方向上位于同一直线上，以在拾取夹持花篮200时能够夹持到花篮200的两个正相对的位置处，防止了花篮200在被拾取夹持的过程中出现转动的情况，使得花篮200能够被拾取夹持的较为平稳。

其中第一挂钩121可具有多种实现方式，如，第一挂钩121可以是从第一连接板111向第二连接板112延伸的凸出部，也可以是，第一挂钩121为设置于第一连接板111上的圆锥型结构的轴，在此并不做限定。同样的，第二挂钩122也可具有多种实现方式，大致与第一挂钩121的实现方式相同，在此不再进行赘述。

示例性，第一挂钩121可包括设置于第一连接板111上的圆台，圆台的朝向第二连接板112的一端设置有圆锥柱体，圆锥柱体的直径沿朝向第二连接板112的方向逐渐缩小。此时，如图7所示，花篮200的一侧面上可设置有挂孔201，挂孔201可贯穿花篮200的上表面并向花篮200的底部延伸，挂孔201的靠近花篮200的上表面的一端还设置有限制部，限制部位于挂孔201内且与花篮200的上表面平齐，以在圆锥柱体穿设于挂孔201中时，限制部可防止圆锥柱体脱出挂孔201，以使得第一挂钩121能够稳固地夹持到花篮200。

同样第二挂钩122可与第一挂钩121的结构大致相同，花篮200的另一相背的一侧面可设置另一挂孔201，具体可参考上述，在此不再进行赘述。

可选地，如图2所示，第一挂钩121的数量至少为两个，至少两个第一挂钩121关于第一连接板111的宽度方向的中心线对称设置，第一连接板111的宽度方向为第一连接板111的朝向第二连接板112的一面沿水平方向的方向；第二挂钩122的数量至少为两个，至少两个第二挂钩122与至少两个第一挂钩121一一对应设置。

由此，至少两个第一挂钩121关于第一连接板111的宽度方向的中心线对称设置，至少两个第二挂钩122与至少两个第一挂钩121一一对应设置，可使得拾取件12对花篮200的拾取夹持更为稳定牢固，防止了拾取件12在拾取夹持花篮200的过程中花篮200出现晃动的情况，从而能够避免因花篮200在被拾取夹持的过程出现晃动而导致放置与花篮200中的硅片出现掉落的情况。

其中，至少两个第一挂钩121的数量可以是两个、三个、四个等中的任一数量，在此并不做限定。同样的，至少两个第二挂钩122的数量可以是两个、三个、四个等中的任一数量，在此也不做限定。

可选地，如图1和图2所示，移动件21可滑动地设置于第一连接板111，移动件21的远离检测元件22的一端位于相邻两个第一挂钩121之间；或者，移动件21可滑动地设置于第二连接板112，移动件21的远离检测元件22的一端位于相邻两个第二挂钩122之间。

由此，通过移动件21的远离检测元件22的一端位于相邻两个第一挂钩121之间或者，移动件21的远离检测元件22的一端位于相邻两个第二挂钩122之间，可使得第一挂钩121和第二挂钩122在拾取夹持到花篮200时，花篮200可与移动件21的远离检测元件22的一端相抵接，使得花篮200能够挤压移动件21向靠近检测元件22的方向滑动，从而使得移动件21能够挤压检测元件22的触发部，以使检测元件22检测到拾取夹持到花篮200，提高了检测元件22的检测可靠性。

在一些实施例中，如图9所示，机械手机构100还包括固定架3以及驱动件4，驱动件4设置于固定架3，驱动件4的驱动端与夹爪组件1连接，用于驱动夹爪组件1和检测组件2沿竖直方向移动。

由此，通过驱动件4的驱动端与夹爪组件1连接，以用于驱动夹爪组件1和检测组件2沿竖直方向移动，可使得夹爪组件1能够拾取夹持位于不同高度的花篮200，以及可使得夹爪组件1能够拾取夹持不同高度规格的花篮200，并能够使得检测组件2能够检测到夹爪组件1拾取夹持到花篮200，和检测组件2提高了机械手机构100的适用性。

其中，驱动件4具有多种实现方式，如，驱动件4可包括电机、丝杆以及螺母，电机固定于固定架3上，丝杆沿竖直方向延伸，丝杆与电机的驱动端连接，螺母套设于丝杆上，且螺母与夹爪组件1连接，以使电机启动后可驱动丝杆转动，螺母可沿丝杆上下移动，以带动夹爪组件1沿竖直方向上下移动，控制方便快捷；也可以是，驱动件4包括电缸，电缸沿竖直方向延伸且固定于固定架3上，电缸的活塞杆与夹爪组件1连接，以在电缸启动后，电缸的活塞杆能够伸出或者缩回，以带动夹爪组件1沿竖直方向上下移动，噪音小且结构简单；当然驱动件4还可以是其它的实现方式，在此并不做限定。

可选地，如图9所示，机械手机构100还包括滑轨6a和滑块6b，机械手机构100还包括滑轨6a和滑块6b，滑轨6a沿竖直方向延伸且设置于固定架3上，滑块6b的一侧与滑轨6a滑动连接，滑块6b的另一侧设置有升降架5，升降架5的远离驱动件4的一端与夹爪组件1连接。

由此，通过沿竖直方向延伸滑轨6a与滑块6b滑动连接，滑轨6a设置于固定架3上，滑块6b于升降架5连接，升降架5与夹爪组件1连接，可使得滑轨6a能够对夹爪组件1的沿竖直方向的移动起到导向作用，以使夹爪组件1沿竖直方向的移动能够平稳，降低了夹爪组件1在夹持花篮200沿竖直方向移动时出现晃动的几率。

且，滑块6b的另一侧设置有升降架5，升降架5的远离驱动件4的一端与夹爪组件1连接，可使得夹爪组件1相对于固定架3具有一定的高度，方便了夹爪组件1对位于较高位置处的花篮200的拾取夹持，同时也可使得夹持有花篮200的夹爪组件1能够升高到较高的位置处后在沿水平方向移动，防止了夹爪组件1在夹持移动花篮200的过程中出现与其它的设备干涉的情况。

其中，滑轨6a的数量可为一个，也可为两个，在此并不做限定。当滑轨6a的数量为两个时，两个滑轨6a可沿水平方向相对设置，此时，滑块6b的数量也可为两个，两个滑块6b分别与连个滑轨6a滑动连接，升降架5的靠近驱动端的一端可位于两个滑轨6a之间，以使得升价架在由驱动件4驱动沿竖直方向移动时能够更平稳，从而能够使得夹爪组件1沿竖直方向的移动更平稳。

可选地，机械手机构100还可连接有水平移动机构，水平移动机构的驱动端可与固定架3连接，以在水平移动机构启动后能够驱动固定架3沿水平方向移动，从而能够带动夹爪组件1和检测组件2沿水平方向移动，使得夹爪组件1能够夹持着花篮200沿水平方向移动，以将花篮200运送至需要的位置处，如刻蚀槽或者清洗槽中。

实施例二

本申请实施例还公开了一种光伏湿法生产设备，包括实施例一中任一种的机械手机构100以及花篮200，花篮200上设置有挂孔201，拾取件12穿设于挂孔201中，以使得拾取件12能够拾取夹持到花篮200，并能通过机械手机构100中的检测组件2检测到拾取件12拾取夹持到花篮200，提高了机械手机构100对花篮200进行拾取、搬运的效率，从而能够有效提高湿法生产设备的生产效率。

该湿法生产设备中的机械手机构100为上述实施例一中任一种的机械手机构100，因此本实施例中的机械手机构100具有上述实施例一中的机械手机构100大致相同的技术效果，由于上述实施例一已对机械手机构100的技术效果进行了充分的说明，此处不再进行赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (14)

1.一种用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述机械手机构用于夹持花篮，包括：

夹爪组件，所述夹爪组件包括连接件和拾取件，所述拾取件设置于所述连接件上，所述拾取件用于夹持所述花篮；

检测组件，所述检测组件包括移动件和检测元件，所述移动件可滑动地设置于所述连接件，当所述拾取件夹持所述花篮时，所述移动件与所述花篮抵接，所述移动件向靠近所述检测元件的方向滑动以挤压所述检测元件的触发部，以使所述检测元件接通进行检测，当所述拾取件松开对花篮的夹持时，所述移动件能够向远离所述检测元件的方向滑动，以解除所述移动件对所述检测元件的触发部的挤压，使所述检测元件停止检测。

2.根据权利要求1所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述移动件沿竖直方向可滑动地设置于所述连接件上，当所述拾取件松开对花篮的夹持时，所述移动件在其自身的重力作用下向远离所述检测元件的方向滑动。

3.根据权利要求2所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，

所述移动件包括沿竖直方向延伸的滑动杆，所述滑动杆的沿竖直方向的两端分别为第一端和第二端，所述第一端靠近所述拾取件设置，用于与所述花篮抵接，所述第二端靠近所述检测元件设置，用于挤压所述检测元件的触发部；

所述检测组件还包括微动压杆，所述微动压杆沿水平方向可移动地设置于所述连接件上，沿水平方向，所述微动压杆的一端位于所述滑动杆的第二端的滑动路径上，所述微动压杆另一端与所述检测元件的触发部连接；

当所述拾取件夹持所述花篮时，所述滑动杆的第一端与所述花篮抵接，所述滑动杆的第二端与所述微动压杆相抵接，以使所述微动压杆沿水平方向滑动挤压所述检测元件的触发部，用于使所述检测元件接通，当所述拾取件松开对花篮的夹持时，所述滑动杆的第二端向远离所述微动压杆的方向滑动，所述微动压杆能够向远离所述检测元件的方向水平滑动，以使所述检测元件断开。

4.根据权利要求3所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述滑动杆的第二端的朝向所述微动压杆的一侧设置有第一导向面，所述微动压杆的朝向所述滑动杆的第二端的一端设置有第二导向面，所述第二导向面位于所述第一导向面的滑动路径上。

5.根据权利要求3所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述移动件还包括重力锤，所述重力锤设置于所述滑动杆的第一端。

6.根据权利要求1-5任一项所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述检测组件还包括限位件，所述限位件设置于所述移动件与所述连接件之间，所述限位件用于限制所述移动件滑出所述连接件。

7.根据权利要求6所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述限位件包括设置于所述连接件上的第一凸起以及设置于所述移动件上的第二凸起，沿所述移动件的滑动方向，所述第二凸起在所述第一凸起上的投影至少部分位于第一凸起内，且所述第一凸起位于所述第二凸起与所述拾取件之间。

8.根据权利要求1-5任一项所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述检测组件还包括壳体和盖板，所述壳体设置于所述连接件，所述壳体与所述盖板共同围设形成容纳空间，所述移动件靠近所述检测元件的部分以及所述检测元件均容纳于所述容纳空间内。

9.根据权利要求8所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述盖板为透明盖板，所述透明盖板可拆卸地设置于所述壳体，所述透明盖板用于观察所述检测元件。

10.根据权利要求1-5任一项所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述检测元件为微动开关。

11.根据权利要求1-5任一项所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述连接件包括相对设置第一连接板和第二连接板，所述拾取件包括相对设置的第一挂钩和第二挂钩，所述第一挂钩设置于所述第一连接板朝向所述第二连接板的一面，所述第二挂钩设置于所述第二连接板朝向所述第一连接板的一面，所述第一挂钩在所述第二连接板上的正投影与所述第二挂钩在第二连接板上的投影重合，所述第一挂钩和所述第二挂钩用于夹持所述花篮。

12.根据权利要求11所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述第一挂钩的数量至少为两个，至少两个所述第一挂钩关于所述第一连接板的宽度方向的中心线对称设置，所述第一连接板的宽度方向为第一连接板的朝向所述第二连接板的一面沿水平方向的方向；

所述第二挂钩的数量至少为两个，至少两个所述第二挂钩与至少两个所述第一挂钩一一对应设置。

13.根据权利要求1-5任一项所述的用于花篮的机械手机构，其特征在于，所述机械手机构还包括固定架以及驱动件，所述驱动件设置于所述固定架，所述驱动件的驱动端与所述夹爪组件连接，用于驱动所述夹爪组件和所述检测组件沿竖直方向移动。

14.一种光伏湿法生产设备，其特征在于，包括：

权利要求1-13任一项所述的机械手机构；

花篮，所述花篮上设置挂孔，所述拾取件穿设于所述挂孔中。