CN219457562U - 一种真空吸笔 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空吸笔，其包括笔筒；真空吸头，其连接于笔筒的前端；气管接口，其连接于笔筒的后端；吸气通道，其设置于笔筒内，吸气通道连通真空吸头和气管接口；滑槽，其自笔筒的外侧面延伸至笔筒内，且滑槽贯穿吸气通道；销杆，其设置于滑槽内，销杆的前端外露于滑槽，其后端穿过滑槽和吸气通道的交汇处，销杆可沿滑槽的延伸方向前后滑动；吸气孔，其设置于销杆的中部且贯穿销杆；与现有技术相比，本实用新型提供的真空吸笔可以吸取晶片，同时在将晶片进行脱离时保证了晶片内外侧面气压等同，有利于晶片的脱落，从而可以避免晶片吸附后脱离失败，并且操作简便。

Description

一种真空吸笔

【技术领域】

本实用新型属于晶片吸取技术领域，尤其涉及一种用于吸取晶片的真空吸笔。

【背景技术】

在半导体器件制备领域，尤其在半导体器件封装环节，装片工段需要手动安装芯片进而制作部分样品，由于芯片的脆弱易损坏性，所以搬取安装芯片时需要用到专业的真空吸笔(带匹配的吸嘴)，真空吸笔通过连接真空气管和抽真空装置以实现吸附作用。

目前市面上现有的真空吸笔功能较为单一，其结构大多为一个笔筒加一个吸嘴，在笔筒侧面开设有气孔，通过来回堵塞气孔实现吸嘴对晶片的吸附作用。例如专利号为201720533008.3记载的一种用于晶振石英晶片的真空吸笔，其中记载了“真空吸笔，包括铝合金材质的笔筒，所述笔筒前端设置有第一吸嘴，笔筒的后端设置有用于连接气管的气管接口，所述笔筒内设置有连通第一吸嘴和气管接口的中空腔体，所述笔筒外侧靠近后端设置有一外套，所述笔筒前端一侧设置有第三开孔，所述笔筒前端内侧设置有能够在中空腔体内前后滑动的活动吸嘴，所述活动吸嘴与套设在笔筒前端外侧的滑套互相磁吸，所述笔筒前端第一吸嘴处设置有限制滑套及活动吸嘴从笔筒脱离的前卡环，滑套的后侧设置有用于吸附滑套的后卡环，所述活动吸嘴、前卡环、后卡环均为不锈钢材质构件，所述滑套为磁铁。”其在使用时通过堵塞第三开孔来实现晶片的吸附功能，但是在对晶片释放时，虽然第三开孔打开了，但是由于气压的吸附作用晶片内外侧面仍然存在一定的气压差，当晶片的重力小于气压的吸附力时很容易造成晶片的脱离失败。另外在对晶片进行释放的过程中由于第三开孔打开，受到气压的吸附作用易造成操作空间中灰尘杂质或者细小部件被吸入真空吸笔内。且该装置只能够实现两种尺寸的晶片吸附，适用范围较小。

因此，亟需提出一种新的技术方案来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的之一在于提供一种真空吸笔，其可以吸取晶片，同时可以避免晶片吸附后脱离失败，并且操作简便。

根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种真空吸笔，其包括笔筒；真空吸头，其连接于所述笔筒的前端；气管接口，其连接于所述笔筒的后端；吸气通道，其设置于所述笔筒内，所述吸气通道连通所述真空吸头和气管接口；滑槽，其自所述笔筒的外侧面延伸至所述笔筒内，且所述滑槽贯穿所述吸气通道，以将所述吸气通道分割成位于所述滑槽两侧的第一通道和第二通道，其中，所述第一通道靠近所述笔筒的前端，所述第二通道靠近所述笔筒的后端；销杆，其设置于所述滑槽内，所述销杆的前端外露于所述滑槽，其后端穿过所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，所述销杆可沿所述滑槽的延伸方向前后滑动；吸气孔，其设置于所述销杆的中部且贯穿所述销杆。

与现有技术相比，本实用新型提供的真空吸笔可以吸取晶片，同时在将晶片进行脱离时保证了晶片内外侧面气压等同，有利于晶片的脱落，从而可以避免晶片吸附后脱离失败，并且操作简便。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本实用新型在一个实施例中的真空吸笔在第一视角下的结构示意图；

图2为本实用新型在一个实施例中的真空吸笔在第二视角下的结构示意图；

图3为本实用新型在一个实施例中销杆处于第一位置时的真空吸笔局部结构的剖面示意图；

图4为本实用新型在一个实施例中销杆处于第二位置时的真空吸笔局部结构的剖示意；

图5为本实用新型在一个实施例中的真空吸头的结构示意图；

图6为本实用新型在一个实施例中的真空吸头的剖视图。

【具体实施方式】

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本实用新型至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。除非特别说明，本文中的连接、相连、相接的表示电性连接的词均表示直接或间接电性相连。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”“耦接”等术语应做广义理解；例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参考图1所示，其为本实用新型在一个实施例中的真空吸笔在第一视角下的结构示意图；请参考图2所示，其为本实用新型在一个实施例中的真空吸笔在第二视角下的结构示意图；请参考图3所示，其为本实用新型在一个实施例中销杆处于第一位置时的真空吸笔局部结构的剖面示意图；请参考图4所示，其为本实用新型在一个实施例中销杆处于第二位置时的真空吸笔局部结构的剖示意图。图1-4所示的真空吸笔包括笔筒2、真空吸头4、气管接口1、吸气通道11、滑槽18、销杆3和吸气孔17。

其中，真空吸头4连接于笔筒2的前端，其用于吸取(或吸附)晶片；气管接口1连接于笔筒2的后端，气管接口1连接真空吸气管；吸气通道11设置于笔筒2内，吸气通道11连通真空吸头4和气管接口1。

滑槽18自笔筒2的外侧面延伸至笔筒2内，且滑槽18贯穿吸气通道11，以将吸气通道11分割成位于滑槽18两侧的第一通道112和第二通道114，其中，第一通道112靠近笔筒2的前端，第二通道114靠近笔筒2的后端。在图1-4所示的具体实施例中，滑槽18位于笔筒2的前部；滑槽18和吸气通道11相互垂直分布。

销杆3设置于滑槽18内，销杆3的前端外露于滑槽18，其后端穿过滑槽18和吸气通道11的交汇处，销杆3可沿滑槽18的延伸方向前后滑动。吸气孔17设置于销杆3的中部，且贯穿销杆3。在图1-4所示的具体实施例中，吸气孔17沿垂直于销杆3的延伸方向贯穿销杆3。

如图3所示，当销杆3沿滑槽18滑动至第一位置时，吸气孔17位于滑槽18和吸气通道11的交汇处，此时，吸气孔17连通笔筒2中的第一通道112和第二通道114。

如图4所示，当销杆3沿滑槽18滑动至第二位置时，吸气孔17离开滑槽18和吸气通道11的交汇处，此时，销杆3阻塞滑槽18和吸气通道11的交汇处，以切断第一通道112和第二通道114的连通。

在图1-图4所示的实施例中，真空吸笔还包括与笔筒2的外部连通的通气通道，当销杆3沿滑槽18滑动至第一位置时，通气通道的一端离开滑槽18和吸气通道11的交汇处，此时，通气通道与第一通道112和第二通道114均不连通；当销杆3沿滑槽18滑动至第二位置时，通气通道的一端位于滑槽18和吸气通道11的交汇处，此时，第一通道112经通气通道与笔筒2的外部连通。

在图1-图4所示的具体实施例中，通气通道包括第一通气孔10和第二通气孔8，其中，第一通气孔10设置于销杆3的后部(其靠近滑槽18的底部)，第一通气孔10自销杆3的后端面延伸至销杆3内，并继续延伸至销杆3的后部的外侧面，第一通气孔10的一端(其作为通气通道的一端)位于销杆3的后部的外侧面，其另一端位于销杆3的后端面；第二通气孔8自滑槽18的底部延伸至笔筒2的外侧面，第二通气孔8经滑槽18的底部与第一通气孔10的另一端连通。其中，销杆3中的吸气孔17较第一通气孔10远离滑槽18的底部；第一通气孔10可以为L型结构。

如图3所示，当销杆3沿滑槽18滑动至第一位置时，第一通气孔10的一端离开滑槽18和吸气通道11的交汇处，此时，第一通气孔10与第一通道112和第二通道114均不连通；

如图4所示，当销杆3沿滑槽18滑动至第二位置时，第一通气孔10的一端位于滑槽18和吸气通道11的交汇处，此时，第一通道112依次经第一通气孔10、滑槽18的底部和第二通气孔8与笔筒2的外部连通，第一通气孔10与第二通道114不连通。

在图1-图4所示的实施例中，真空吸笔还包括两个密封圈7，这两个密封圈7分别设置于滑槽18和吸气通道11的交汇处的两侧，销杆3依次穿过一个密封圈7，滑槽18和吸气通道11的交汇处，以及另一个密封圈7，以防止气体从销杆3与滑槽18的连接处漏气。

在图1-图4所示的实施例中，真空吸笔还包括设置于滑槽18内的弹性部件6(例如，弹簧)，该弹性部件6用于复位销杆3。

在图1-图4所示的实施例中，真空吸笔还包括挡环5和挡环槽9，其中，挡环5固定套设于销杆3的外侧面；挡环槽9设置于滑槽18的开口与滑槽18和吸气通道11的交汇处之间，挡环5位于挡环槽9内，挡环槽9用于限制挡环5沿滑槽18的延伸方向的前后移动范围。例如，挡环5可滑动的位于挡环槽9内，即挡环5只能在挡环槽9内移动。

在图1-图4所示的具体实施例中，弹性部件6为弹簧，其套设于销杆3上且位于挡环槽9内。当使用者按压销杆3的前端时，销杆3沿滑槽18向内移动至第一位置，弹性部件6发生形变；当使用者撤去对销杆3的前端的按压时，弹性部件6带动销杆3沿滑槽18向外移动至第二位置，以使销杆3复位。可见，挡环5可以在弹簧6复位时避免销杆3过度弹出，起到限制销杆3移动距离的作用。

请参考图5所示，其为本实用新型在一个实施例中的真空吸头4的结构示意图；请参考图6所示，其为本实用新型在一个实施例中的真空吸头4的剖视图。在图5和图6所示的实施例中，真空吸头4内设置有第三通气孔12，第三通气孔12连通真空吸头4的前端和后端；第三通气孔12与笔筒2内的第一通道112连通；真空吸头4的后端与笔筒2的前端连接。

在图5和图6所示的实施例中，真空吸头4的前端设置有吸附凹槽13，吸附凹槽13与第三通气孔12连通；吸附凹槽13内可以放置有吸附板14，吸附板14上开设有若干通孔15。吸附板14与吸附凹槽13的端口的距离可调。

在图5和图6所示的具体实施例中，吸附板14的外侧面与吸附凹槽13之间为螺纹连接；吸附板14中部设置有卡槽16，卡槽16可以根据需要进行选择形状，主要是为了方便旋转吸附板14以调节吸附板14在吸附凹槽13内的位置(或吸附板14与吸附凹槽13的端口的距离)，以便适用不同厚度的晶片。

基于在图1-图6，以下具体介绍本实用新型提供的真空吸笔的工作原理。

根据需要选择具有不同大小尺寸吸附凹槽13的真空吸头4，当需要吸取的晶片尺寸较大时可以选择吸附凹槽13开口尺寸较大的真空吸头4，反之选择吸附凹槽13开口尺寸较小的真空吸头4，将选好的真空吸头4卡接在笔筒2前端，保证其卡接后为密封结构即可，防止吸附晶片时气体从接口处溢出，可为螺纹卡接或者其他方式的卡接具体结构不做限制。也可以说，真空吸头4可拆卸的与笔筒2的前端连接，优选为卡接。

当安装好真空吸头4后，将真空吸头4的吸附凹槽13对准需要吸附的晶片，手指按压销杆3，销杆3受压向内部进行移动，直至吸气孔17与吸气通道11进行贯通(即销杆3沿滑槽18滑动至第一位置)，真空吸头4将晶片进行吸取；当需要对吸附后的晶片进行放下时，松开按压销杆3的手指即可，销杆3受到弹簧6的弹力作用带动销杆3向外移动复位(即销杆3沿滑槽18滑动至第二位置)，此时，吸气孔17与吸气通道11断开，销杆3将吸气通道11进行阻塞，同时，第一通气孔10与真空吸头4内的第三通气孔12、以及笔筒2上的第二通气孔8进行贯通，使得晶片两侧的气压相同，受自身重力的作用，晶片脱离真空吸笔；上述结构解决了专利文献201720533008.3记载的一种真空吸笔中，存在的晶片脱离时由于晶片的内外存在气压差造成的晶片不易脱落的问题。

设置有带有通孔15的吸附板14位于吸附凹槽13内可以防止较大的杂质被吸入笔筒2内，当晶片的厚度较薄或者较厚时，可以通过与卡槽16相匹配的工具(例如螺丝刀)对吸附板14进行旋转，可以调节吸附板14距离吸附凹槽13外端口处的距离，以适应不同厚度的晶片吸附。

综上所述，本实用新型提供的真空吸笔具体如下有益效果：可以根据晶片的尺寸需要自行选择不同大小尺寸吸附凹槽13的真空吸头4，适用多种不同大小尺寸晶片的吸附；在将晶片进行脱离时保证了晶片内外侧面气压等同，有利于晶片的脱落；在不需要进行对晶片吸附时即未进行吸附操作时真空吸笔上不会产生负压，避免了对操作空间处灰尘或者细小零部件的吸入。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改和变型。

Claims (10)

1.一种真空吸笔，其特征在于，其包括：

笔筒；

真空吸头，其连接于所述笔筒的前端；

气管接口，其连接于所述笔筒的后端；

吸气通道，其设置于所述笔筒内，所述吸气通道连通所述真空吸头和气管接口；

滑槽，其自所述笔筒的外侧面延伸至所述笔筒内，且所述滑槽贯穿所述吸气通道，以将所述吸气通道分割成位于所述滑槽两侧的第一通道和第二通道，其中，所述第一通道靠近所述笔筒的前端，所述第二通道靠近所述笔筒的后端；

销杆，其设置于所述滑槽内，所述销杆的前端外露于所述滑槽，其后端穿过所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，所述销杆可沿所述滑槽的延伸方向前后滑动；

吸气孔，其设置于所述销杆的中部且贯穿所述销杆。

2.根据权利要求1所述的真空吸笔，其特征在于，

当所述销杆沿所述滑槽滑动至第一位置时，所述吸气孔位于所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，此时，所述吸气孔连通所述第一通道和第二通道；

当所述销杆沿所述滑槽滑动至第二位置时，所述吸气孔离开所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，此时，所述销杆阻塞所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，以切断所述第一通道和第二通道的连通。

3.根据权利要求2所述的真空吸笔，其特征在于，其还包括：与所述笔筒的外部连通的通气通道，

当所述销杆沿所述滑槽滑动至第一位置时，所述通气通道的一端离开所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，此时，所述通气通道与所述第一通道和所述第二通道均不连通；

当所述销杆沿所述滑槽滑动至第二位置时，所述通气通道的一端位于所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，此时，所述第一通道经所述通气通道与所述笔筒的外部连通。

4.根据权利要求3所述的真空吸笔，其特征在于，所述通气通道包括：

第一通气孔，其设置于所述销杆的后部，所述第一通气孔自所述销杆的后端面延伸至所述销杆内，并继续延伸至所述销杆的后部的外侧面，所述第一通气孔的一端位于所述销杆的后部的外侧面，其另一端位于所述销杆的后端面；

第二通气孔，其自所述滑槽的底部延伸至所述笔筒的外侧面，所述第二通气孔与所述第一通气孔的另一端连通；

当所述销杆沿所述滑槽滑动至第一位置时，所述第一通气孔的一端离开所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，此时，所述第一通气孔与所述第一通道和第二通道均不连通；

当所述销杆沿所述滑槽滑动至第二位置时，所述第一通气孔的一端位于所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，此时，所述第一通道依次经所述第一通气孔和第二通气孔与所述笔筒的外部连通。

5.根据权利要求2所述的真空吸笔，其特征在于，其还包括两个密封圈和设置于所述滑槽内的弹性部件，

两个所述密封圈分别设置于所述滑槽和所述吸气通道的交汇处的两侧；

所述销杆依次穿过一个所述密封圈，所述滑槽和所述吸气通道的交汇处，以及另一个所述密封圈，以防止气体从所述销杆与所述滑槽的连接处漏气；

所述弹性部件用于复位所述销杆。

6.根据权利要求5所述的真空吸笔，其特征在于，

其还包括：挡环，其固定套设于所述销杆的外侧面；挡环槽，其设置于所述滑槽的开口与所述滑槽和吸气通道的交汇处之间，其中，所述挡环位于所述挡环槽内，所述挡环槽用于限制所述挡环沿所述滑槽的延伸方向的前后移动范围；

所述弹性部件套设于所述销杆上且位于所述挡环槽内，

当使用者按压所述销杆的前端时，所述销杆沿所述滑槽向内移动至所述第一位置，所述弹性部件发生形变；

当使用者撤去对所述销杆的前端的按压时，所述弹性部件带动所述销杆沿所述滑槽向外移动至所述第二位置，以使所述销杆复位。

7.根据权利要求1所述的真空吸笔，其特征在于，

所述真空吸头内设置有第三通气孔，所述第三通气孔连通所述真空吸头的前端和后端；

所述第三通气孔与所述笔筒内的第一通道连通；

所述真空吸头的后端与所述笔筒的前端连接；

所述真空吸头的前端设置有吸附凹槽，所述吸附凹槽与所述第三通气孔连通；

所述吸附凹槽内设置有吸附板，所述吸附板上开设有若干通孔。

8.根据权利要求7所述的真空吸笔，其特征在于，

所述吸附板与所述吸附凹槽的端口之间的距离可调；

所述真空吸头可拆卸的与所述笔筒的前端连接；

根据需要选择具有不同开口尺寸吸附凹槽的所述真空吸头。

9.根据权利要求8所述的真空吸笔，其特征在于，

所述吸附板与所述吸附凹槽之间为螺纹连接，

所述吸附板上还设置有卡槽，

通过与所述卡槽相匹配的工具调节所述吸附板与所述吸附凹槽的端口之间的距离。

10.根据权利要求4所述的真空吸笔，其特征在于，

所述滑槽位于所述笔筒的前部；

所述滑槽和所述吸气通道相互垂直分布；所述吸气孔沿垂直于所述销杆的延伸方向贯穿所述销杆；和/或

所述第一通气孔为L型。