CN219449113U - 载具用搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了载具用搬运装置，该搬运装置用于流水线上的载具的上线和/或下线，包括：龙门部，横跨在所述流水线的上方，具有沿第一方向驱动的第一驱动部；吊具部，搭载在所述龙门部并被所述第一驱动部驱动，所述吊具部具有沿与所述第一方向正交的第二方向对置的一对承载组件，一对所述承载组件用于承载所述载具，并可沿所述第二方向被驱动而张开或者关闭；顶升部，设置在所述流水线上，并处在所述龙门部的所述第一方向的一端的下方，可顶起在所述流水线上运转的所述载具；在所述载具被所述顶升部顶起的状态下，所述载具可被处在关闭状态的一对所述承载组件支撑。本实用新型的载具用搬运装置，能够提高搬运效率、缩短流水线的生产节拍。

Description

载具用搬运装置

技术领域

本实用新型涉及但不限于搬运设备技术领域，尤其涉及一种载具用搬运装置。

背景技术

板式PECVD设备的上料步骤一般是首先将硅片从料篮中下料，接着进行排片，然后将排片后的硅片转移到板式PECVD设备用载具上，再将载具送入到工艺设备(即板式PECVD设备)中。

为了实现载具在承载来自料篮的硅片的位置以及进入板式PECVD设备的位置之间的转移，通常设置有对接料篮和板式PECVD设备的上料机，载具在上料机被驱动而运转。此外，在上料机之前，首先必须将载具搬运到上料机上。此外，随着产能的增加或者减少，有时候需要调整上料机上运转的载具的数量。或者，由于维护的需要，有时候也需要将载具下线进行维修。现有技术当中，目前主要靠人工操作将载具从例如载具缓存箱中搬运到上料机上。然而，随着产能要求的提高，载具的体积和重量也在增大，通过人工搬运的方式不仅劳动强度大，而且由于会影响到正在运行的其他的载具，会影响到生产节拍。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种载具用搬运装置，能够提高搬运效率、缩短流水线的生产节拍。

根据本实用新型一方面的载具用搬运装置，用于流水线上的载具的上线和/或下线，包括：龙门部，横跨在所述流水线的上方，具有沿第一方向驱动的第一驱动部；吊具部，搭载在所述龙门部并被所述第一驱动部驱动，所述吊具部具有沿与所述第一方向正交的第二方向对置的一对承载组件，一对所述承载组件用于承载所述载具，并可沿所述第二方向被驱动而张开或者关闭；顶升部，设置在所述流水线上，并处在所述龙门部的所述第一方向的一端的下方，可顶起在所述流水线上运转的所述载具；在所述载具被所述顶升部顶起的状态下，所述载具可被处在关闭状态的一对所述承载组件支撑。

根据本实用新型一方面的载具用搬运装置，具有如下有益效果：能够缩短生产节拍，提高搬运效率。

在一些实施方式中，所述龙门部以与所述流水线正交的方式横跨在所述流水线的上方。

在一些实施方式中，所述龙门部还具有：龙门架，横跨在所述流水线的上方向；承载机架，沿所述第一方向可滑动地搭载在所述龙门架上；所述第一驱动部包括带传动机构以及驱动所述带传动机构运转的驱动电机，所述承载机架和所述带传动机构连接。

在一些实施方式中，所述龙门部还包括第一遮挡件，所述第一遮挡件设置在所述带传动机构的下方，并遮挡所述带传动机构的下部的未被遮挡的部分。

在一些实施方式中，所述吊具部包括一对吊架，一对吊架沿所述第二方向配置在所述承载机架的两侧；一对所述承载组件分别通过沿所述第二方向导向的导向件，可滑动地安装到与其对应的所述吊架。

在一些实施方式中，各所述吊架分别在所述导向件的下方设置有第二遮挡件，所述第二遮挡件遮挡所述导向件的下部的未被遮挡的部分。

在一些实施方式中，各所述承载组件包括用于支撑所述载具的多个支撑滚轮。

在一些实施方式中，各所述承载组件包括用于对所述载具进行导向的多个导向滚轮。

在一些实施方式中，所述顶升部包括多个顶升气缸，多个所述顶升气缸的一部分支撑所述载具的沿所述流水线运转的方向的一端，多个所述顶升气缸的另一部分支撑所述载具的沿所述流水线运转的方向的另一端。

在一些实施方式中，所述吊具部的最下部的位置，高于在所述流水线上运转的所述载具的最上部的位置。

附图说明

图1是本实用新型的载具用搬运装置的一种实施方式的立体图。

图2是图1的载具用搬运装置的仰视方向的立体图。

图3是图1的吊具部支撑载具的状态下的立体图。

图4是图1的吊具部未支撑载具的状态下的立体图。

图5是图4的吊具部的第二方向的一部分的仰视方向的立体图。

图6是图4中的承载组件的立体图。

具体实施方式

下面详细描述本实施方式的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实施方式，而不能理解为对本实施方式的限制。

在本实施方式的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。

在本实施方式的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实施方式的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实施方式中的具体含义。

参照图1至图6，并主要参照图1、图2以及图3本实施方式的载具用搬运装置100(为便于说明，后面有时仅称“搬运装置100”)，用于流水线200上的载具201的上线和/或下线。该搬运装置100包括：龙门部101、吊具部102以及顶升部103。龙门部101横跨在流水线200的上方，并具有沿第一方向(附图中的左右方向)驱动的第一驱动部104。吊具部102搭载在龙门部101并被第一驱动部104驱动。吊具部102具有沿与第一方向正交的第二方向(附图中的前后方向)对置的一对承载组件105。一对承载组件105用于承载载具201，并可沿前后方向被驱动而张开或者关闭。顶升部103设置在流水线200上，并处在龙门部101的左右方向的一端(附图中为左端)的下方。顶升部103可顶起在流水线200上运转的载具201。在载具201被顶升部103顶起的状态下，载具201可被处在关闭状态的一对承载组件105支撑。

本实施方式的搬运装置100，能够提高搬运效率、缩短流水线200的生产节拍。具体来说，通过设置顶升部103和吊具部102，能够实现搬运装置100与流水线200对接，从而将载具201自动地转移到流水线200或者将流水线200上的载具201自动地转移到搬运装置100，因此，能够提高搬运效率。此外，在转移的过程中，顶升部103只要将载具201顶起以使载具201被转移到吊具部102即可缩回，即使载具201仍然被保持在吊具部102中，也不会影响到流水线200的正常运转，从而能够缩短流水线200的生产节拍。因此，本实施方式的搬运装置100能够在不影响流水线200的正常运转的情况下，进行载具201的上线或者下线，能够提高搬运效率、缩短流水线200的生产节拍。

本实施方式的搬运装置100例如可以在流水线200需要增加新的载具201时使用(载具201的上线)，也可以在需要减少流水线200的载具201时使用(载具201的下线)，或者既可以进行载具201的上线也可以进行载具201的下线。

继续参照图2并辅助参照图1，顶升部103安装在流水线200上，顶升部103包括多个顶升气缸106，多个顶升气缸106的一部分支撑载具201的沿流水线200运转的方向(附图中为前后方向)的一端，多个顶升气缸106的另一部分支撑载具201的沿流水线200运转的方向的另一端。具体来说，例如，顶升气缸106包括四个，其中两个支撑载具201的前后方向的一端，另外两个则支撑载具201的前后方向的另一端。

另外，为了防止搬运装置100影响到流水线200的生产节拍，吊具部102的最下部的位置，高于在流水线200上运转的载具201的最上部的位置。例如，吊具部102的承载组件105的最下部的位置，高于在流水线200上运转的载具201的最上部的位置。由此，即使吊具部102处在流水线200的正上方的情况下，也不会影响到流水线200的载具201的正常运转，而能够缩短流水线200的生产节拍。

继续参照图1，在一些实施方式中，龙门部101可以以与流水线200正交的方式横跨在流水线200的上方。即，龙门部101可以从流水线200的左右方向的一侧与流水线200对接。龙门架107的长度并不特别限定，例如可以为流水线200的宽度的两倍以上。由此，在需要进行载具201的下线时，在吊具部102获得载具201的情况下，龙门部101可以将吊具部102驱动到流水线200的上方之外的区域，从而便于进行例如下线、维护等的其他操作。

继续参照图1、图2，在一个具体的实施例中，龙门部101具有龙门架107、承载机架108以及上述的第一驱动部104。龙门架107横跨在流水线200的上方向，龙门架107的顶部具有第一线性滑轨109。承载机架108搭载在第一线性滑轨109上，沿左右方向可滑动地搭载在龙门架107上。第一驱动部104包括带传动机构110以及驱动带传动机构110运转的驱动电机111，承载机架108和带传动机构110连接。驱动电机111安装在龙门架107的左右方向的一端。带传动机构110横跨龙门架107整体，并且，承载机架108通过固定块112等与带传动机构110的同步带(未标记附图标记)(或者皮带)固定。吊具部102安装在承载机架108的下部。由此，龙门部101能够驱动承载机架108与吊具部102沿左右方向往返动作。另外，通过使用带传动机构110，即使在载具201所需要的转移行程较长的情况下，也能够以低成本地实现载具201的转移。

另外，上面虽然说明了第一驱动部104使用带传动机构110的例子，但是并不限于此，第一驱动部104也可以使用例如丝杆传动机构或者链传动机构等，或者，第一驱动部104可以直接使用电机驱动的单轴的滑台模组。或者，只要行程足够，第一驱动部104也可以使用气缸等。

在龙门部101使用带传动机构110的情况下，为了抑制同步带(或者皮带)在运行的过程中的磨损所导致的“掉粉”而污染载具201或者被载置在载具201的硅片的情况下，龙门部101还可以包括第一遮挡件113，第一遮挡件113设置在带传动机构110的下方，并遮挡带传动机构110的下部的未被遮挡的部分。例如，带传动机构110横跨龙门架107的左右方向的整体，带传动机构110的两端安装在龙门架107的左右方向的两端，因此，带传动机构110的两端被遮挡。但是，带传动机构110的同步带的中间部分没有被遮挡，在此情况下，由于同步带的磨损所导致的“掉粉”可能会掉落在位于龙门架107的下方的流水线200上，并进一步掉落在流水线200上的载具201上，或者掉落在载具201的硅片上，进而污染载具201或者硅片。因此，通过设计第一遮挡件113，能够接住这些“掉粉”。第一遮挡件113的形状并不特别限定，例如可以呈平板状，或者横截面呈U字状等。

继续参照图3至图5，并辅助参照图2，在一个具体的实施例中，吊具部102包括一对吊架114。一对吊架114沿前后方向配置在承载机架108的两侧。一对承载组件105分别通过沿前后方向导向的例如线性滑轨等的导向件115，可滑动地安装到与其对应的吊架114。此外，各吊架114安装有例如以气缸作为执行元件的第二驱动部116，第二驱动部116驱动承载组件105沿前后方向滑动。由此，能够容易地实现承载组件105沿前后方向张开或者关闭。当第二驱动部116驱动承载组件105张开时，顶升部103可以将载具201顶起，在载具201被顶升部103顶起的状态下，第二驱动部116可以驱动承载组件105沿前后方向相向滑动(关闭)，从而能够支撑载具201。

为了抑制载具201或者硅片被污染，各吊架114分别在导向件115的下方设置有第二遮挡件117，第二遮挡件117遮挡导向件115的下部的未被遮挡的部分。例如，在选择线性滑轨作为导向件115的情况下，线性滑轨上的润滑油或者润滑脂等可能掉落到载具201或者硅片上，通过在导向件115的下方设置第二遮挡件117，能够接住这些润滑油或者润滑脂等，抑制载具201或者硅片被污染。第二遮挡件117只要能够接住这些润滑油或者润滑脂等，形状并不特别限定，例如可以呈盒子状等。

继续参照图6，并辅助参照图3至图5，承载组件105包括滑动地安装到导向件115的安装架118、安装在安装架118上的用于支撑载具201的多个支撑滚轮119以及安装在安装架118上的用于对载具201进行导向的导向滚轮120。多个支撑滚轮119沿左右方向间隔地排列。由此，能够便于操作人员从承载组件105上搬走载具201，或者将载具201搬送到承载组件105上。此外多个导向滚轮120也沿左右方向间隔地排列。由此，能够便于操作人员从承载组件105搬走载具201，或者将载具201搬送到承载组件105上，抑制载具201的偏摆等。

继续参照图1，以下以流水线200的载具201的下线为例，对本实施方式的搬运装置100的工作流程的一种方式进行说明。

首先，第二驱动部116驱动承载组件105沿前后方向向外侧张开，与此同时，龙门部101驱动吊具部102移动到与顶升部103对应的位置。

接着，在载具201运行到与顶升部103对应的位置时，顶升部103将载具201顶起。第二驱动部116驱动承载组件105沿前后方向向内侧关闭。此时，一对承载组件105位于载具201的下方。

接着，顶升部103下降，载具201随着顶升部103的下降，而落到一对承载组件105上。

随着顶升部103的下降，流水线200继续保持正常运转。而不会像以往人工操作时那样影响到生产节拍。

然后，龙门部101驱动吊具部102离开流水线200的正上方。吊具部102被驱动到流水线200的一侧，接着，操作者可以进行载具201的下线或者维护等。此外，由于吊具部102的最下部的位置，高于在流水线200上运转的载具201的最上部的位置，即使吊具部102暂时停留在流水线200的上方，也不会影响到载具201的正常运转。

由此，通过使用本实施方式的搬运装置100，能够在不影响流水线200的正常运转的情况下，进行载具201的上线或者下线，能够提高搬运效率、缩短流水线200的生产节拍。

尽管已经示出和描述了本实施方式的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实施方式的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实施方式的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.载具用搬运装置，用于流水线上的载具的上线和/或下线，其特征在于，包括：

龙门部，横跨在所述流水线的上方，具有沿第一方向驱动的第一驱动部；

吊具部，搭载在所述龙门部并被所述第一驱动部驱动，所述吊具部具有沿与所述第一方向正交的第二方向对置的一对承载组件，一对所述承载组件用于承载所述载具，并可沿所述第二方向被驱动而张开或者关闭；

顶升部，设置在所述流水线上，并处在所述龙门部的所述第一方向的一端的下方，可顶起在所述流水线上运转的所述载具；

在所述载具被所述顶升部顶起的状态下，所述载具可被处在关闭状态的一对所述承载组件支撑。

2.根据权利要求1所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述龙门部以与所述流水线正交的方式横跨在所述流水线的上方。

3.根据权利要求1或2所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述龙门部还具有：

龙门架，横跨在所述流水线的上方向；

承载机架，沿所述第一方向可滑动地搭载在所述龙门架上；

所述第一驱动部包括带传动机构以及驱动所述带传动机构运转的驱动电机，所述承载机架和所述带传动机构连接。

4.根据权利要求3所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述龙门部还包括第一遮挡件，所述第一遮挡件设置在所述带传动机构的下方，并遮挡所述带传动机构的下部的未被遮挡的部分。

5.根据权利要求3所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述吊具部包括一对吊架，一对吊架沿所述第二方向配置在所述承载机架的两侧；

一对所述承载组件分别通过沿所述第二方向导向的导向件，可滑动地安装到与其对应的所述吊架。

6.根据权利要求5所述的载具用搬运装置，其特征在于，各所述吊架分别在所述导向件的下方设置有第二遮挡件，所述第二遮挡件遮挡所述导向件的下部的未被遮挡的部分。

7.根据权利要求1、5或6所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述承载组件包括用于支撑所述载具的多个支撑滚轮。

8.根据权利要求7所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述承载组件包括用于对所述载具进行导向的多个导向滚轮。

9.根据权利要求1所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述顶升部包括多个顶升气缸，多个所述顶升气缸的一部分支撑所述载具的沿所述流水线运转的方向的一端，多个所述顶升气缸的另一部分支撑所述载具的沿所述流水线运转的方向的另一端。

10.根据权利要求1所述的载具用搬运装置，其特征在于，所述吊具部的最下部的位置，高于在所述流水线上运转的所述载具的最上部的位置。