CN219445692U - 开磨一体机及其夹头装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种开磨一体机的夹头装置，包括夹头主体和防滑块；夹头主体设有第一机械连接结构；防滑块设有第二机械连接结构，第二机械连接结构和第一机械连接结构配合使防滑块固定于夹头主体。上述开磨一体机的夹头装置利用防滑块替代现有的胶垫，防滑块和夹头主体分别设有机械连接结构，且防滑块通过两种机械连接结构的配合实现固定于夹头主体，相比于现有技术中通过粘接方式固定于夹头的胶垫，不会因长时间与水接触而发生脱落，安装可靠性更高；同时，防滑块能增大摩擦力，提高夹头主体对待加工工件的夹持力。本实用新型还公开一种应用上述夹头装置的开磨一体机。

Description

开磨一体机及其夹头装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，更具体地说，涉及一种开磨一体机的夹头装置，还涉及一种开磨一体机。

背景技术

单晶硅作为一种极具潜能，亟待开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注和重视。单晶硅经过特定生产工艺拉制成圆形的晶棒，晶棒需通过切方、研磨加倒角制成方棒，方棒经过切片制成成品，其中开磨一体机可以完成切方、研磨加倒角，在加工过程中需通过夹头将晶棒固定，保证加工过程精度。

请参阅图1-图2，开磨一体机内部设有四个小台面，每个小台面上套装并固定有小台面底座壳13，小台面底座壳13上设置上述夹头12，用于配合开磨一体机的另一个夹具同时夹紧固定待加工工件，从而完成加工任务。

夹头12粘接有胶垫11，用于提高摩擦力，从而提高夹头12对待加工工件的夹持力。但是，开磨一体机在切方、研磨和倒角加工过程中均需水冷，胶垫11长时间与水接触易发生脱落，可靠性差。

另外，胶垫11粘接时由人工操作，胶水用量、粘接位置无法统一，导致粘接后胶垫11高度不一、粘接效果不一，严重影响晶棒加工质量。

再者，人工粘接胶垫11的时间长，效率低，影响晶棒加工效率。

综上所述，如何既提高开磨一体机中夹头对工件的夹持力，又避免发生胶垫脱落的情况，是本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种开磨一体机的夹头装置，其利用防滑块替代现有的胶垫，防滑块和夹头主体分别设有机械连接结构，且防滑块通过两种机械连接结构的配合实现固定于夹头主体，相比于现有技术中通过粘接方式固定于夹头的胶垫，避免防滑块因长时间与水接触而发生脱落，保证防滑块的安装可靠性；同时，防滑块能增大摩擦力，提高夹头主体对待加工工件的夹持力。本实用新型还提供一种应用上述夹头装置的开磨一体机，其夹头装置的防滑块既提高夹头主体对待加工工件的夹持力，又具备更高的安装可靠性，能保证牢固装夹待加工工件，提升晶棒加工质量。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种开磨一体机的夹头装置，包括：

夹头主体，所述夹头主体设有第一机械连接结构；

防滑块，所述防滑块设有第二机械连接结构，所述第二机械连接结构和所述第一机械连接结构配合使所述防滑块固定于所述夹头主体。

优选的，上述夹头装置中，所述第一机械连接结构为螺纹孔；所述第二机械连接结构为螺杆，所述螺杆和所述螺纹孔螺纹配合。

优选的，上述夹头装置中，所述螺纹孔开设于所述夹头主体的顶端端面；所述防滑块为螺栓，所述第二机械连接结构为所述螺栓的螺杆。

优选的，上述夹头装置中，所述防滑块为多个，并且所述防滑块沿所述夹头主体的周向均匀分布。

优选的，上述夹头装置中，所述防滑块沿所述夹头主体的中心对称。

优选的，上述夹头装置中，各所述防滑块的形状、尺寸均相同。

优选的，上述夹头装置中，所述夹头主体呈环形，所述防滑块凸出于所述夹头主体的上表面。

一种开磨一体机，包括夹头装置，所述夹头装置为上述技术方案中任意一项所述的夹头装置。

本实用新型提供一种开磨一体机的夹头装置，包括夹头主体和防滑块；夹头主体设有第一机械连接结构；防滑块设有第二机械连接结构，第二机械连接结构和第一机械连接结构配合使防滑块固定于夹头主体。

上述开磨一体机的夹头装置利用防滑块替代现有的胶垫，防滑块和夹头主体分别设有机械连接结构，且防滑块通过两种机械连接结构的配合实现固定于夹头主体，相比于现有技术中通过粘接方式固定于夹头的胶垫，不会因长时间与水接触而发生脱落，安装可靠性更高。同时，防滑块能增大摩擦力，提高夹头主体对待加工工件的夹持力。

另外，防滑块通过第一、二机械连接结构固定于夹头主体，相比于现有技术中人工粘接的胶垫，无需涂胶，不会发生胶水用量、粘接位置无法统一的情况，安装精度更高、安装效果更好，利于提高晶棒加工质量。

本实用新型还提供应用上述夹头装置的开磨一体机，其夹头装置的防滑块既提高夹头主体对待加工工件的夹持力，又具备更高的安装可靠性，能保证牢固装夹待加工工件，提升晶棒加工质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中夹头和胶垫的装配示意图；

图2为图1所示结构的俯视图；

图3为本实用新型实施例提供的夹头装置的剖视图；

图4为本实用新型实施例提供的夹头装置的俯视图；

其中，图3-4中：

防滑块101；夹头主体102；小台面底座壳103。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种开磨一体机的夹头装置，其利用防滑块替代现有的胶垫，防滑块和夹头主体分别设有机械连接结构，且防滑块通过两种机械连接结构的配合实现固定于夹头主体，相比于现有技术中通过粘接方式固定于夹头的胶垫，避免防滑块因长时间与水接触而发生脱落，保证防滑块的安装可靠性；同时，防滑块能增大摩擦力，提高夹头主体对工件的夹持力。本实用新型实施例还公开一种应用上述夹头装置的开磨一体机，其夹头装置的防滑块既提高夹头主体对待加工工件的夹持力，又具备更高的安装可靠性，能保证牢固装夹待加工工件，提升晶棒加工质量。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图3-4，本实用新型实施例提供一种开磨一体机的夹头装置，包括夹头主体102和防滑块101；夹头主体102设有第一机械连接结构；防滑块101设有第二机械连接结构，第二机械连接结构和第一机械连接结构配合使防滑块101固定于夹头主体102。

上述开磨一体机的夹头装置利用防滑块101替代现有的胶垫，防滑块101和夹头主体102分别设有机械连接结构，且防滑块101通过两种机械连接结构的配合实现固定于夹头主体102，相比于现有技术中通过粘接方式固定于夹头的胶垫，不会因长时间与水接触而发生脱落，安装可靠性更高。同时，防滑块101能增大摩擦力，提高夹头主体102对待加工工件的夹持力。

另外，防滑块101通过第一、二机械连接结构固定于夹头主体102，相比于现有技术中人工粘接的胶垫，无需涂胶，不会发生胶水用量、粘接位置无法统一的情况，安装精度更高、安装效果更好，利于提高晶棒加工质量。

具体的，上述夹头装置中，第一机械连接结构为螺纹孔；第二机械连接结构为螺杆，螺杆和螺纹孔螺纹配合。装配防滑块101时，通过旋拧操作使螺杆紧固于螺纹孔处即可，操作简单方便，效率高，利于提高晶棒加工效率。

当然，第一机械连接结构还可设置为卡孔，卡孔的孔径由内到外设置为先小后大；相应的，第二机械连接结构设置为卡扣，卡扣包括连接杆和固定于连接杆一端的凸起，连接杆的另一端固定于防滑块101。装配时，将防滑块101按向夹头主体102，使卡扣轻微变形，卡扣的凸起挤入卡孔内孔径较小的部分，之后继续按压防滑块101，直至凸起到达卡孔中孔径大的位置，卡扣的变形回复，凸起限位在卡孔中孔径较大的位置处，使防滑块101固定于夹头主体102。显然，装配防滑块101时仅进行按压操作即可，简单方便，效率高，便于提高晶棒加工效率。

本实施例对夹头装置中第一机械连接结构、第二机械连接结构的种类不做限定，仅需确保两者相互配合使防滑块101固定于夹头主体102即可。

具体的，上述第一机械连接结构设置为螺纹孔的方案中，螺纹孔开设于夹头主体102的顶端端面；防滑块101具体设置为螺栓，相应的，上述第二机械连接结构为螺栓的螺杆，螺栓的头部与夹头主体102的顶端端面呈层叠布置状态，起到增大摩擦力的作用，夹紧待加工工件。螺栓可具体设置为M8的外六角螺栓。

本实施例中防滑块101设置为螺栓，能保持可靠安装，不会脱落，无需反复装配，位置固定，有效做到降本增效。同时，螺栓不容易破损，相比于现有胶垫，不会受硅渣损害，保持自身外形完整，始终可靠夹持待加工工件。

上述夹头装置中，防滑块101设置为多个，并且防滑块101沿夹头主体102的周向均匀分布。具体的，防滑块101设置为3个以上，确保待加工工件受夹持时能保持稳固。

优选的，各防滑块101设置为沿夹头主体102的中心对称，提升待加工工件的受力均匀性，保证有效夹紧待加工工件。

具体的，上述夹头装置中，各防滑块101的形状、尺寸均相同。夹头主体102呈环形，防滑块101凸出于夹头主体102的上表面。

本实用新型实施例还提供一种开磨一体机，包括夹头装置，夹头装置为上述实施例提供的夹头装置。

开磨一体机内部设有小台面，小台面上套装并固定有小台面底座壳103；夹头装置中夹头主体102固定于小台面底座壳103。

在夹头装置中防滑块101设置为螺栓的方案中，夹头主体102可设置为通过该螺栓固定于小台面底座壳103，此时，小台面底座壳103中与夹头主体102的螺纹孔对应的位置亦设置螺纹孔，以与上述螺栓配合。本实施例对夹头主体102与小台面底座壳103的连接方式不做限定。

本实施例提供的开磨一体机应用上述实施例提供的夹头装置，夹头装置的防滑块既提高夹头主体对待加工工件的夹持力，又具备更高的安装可靠性，能保证牢固装夹待加工工件，提升晶棒加工质量。当然，本实施例提供的开磨一体机还具有上述实施例提供的有关夹头装置的其他效果，在此不再赘述。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种开磨一体机的夹头装置，其特征在于，包括：

夹头主体，所述夹头主体设有第一机械连接结构；

防滑块，所述防滑块设有第二机械连接结构，所述第二机械连接结构和所述第一机械连接结构配合使所述防滑块固定于所述夹头主体。

2.根据权利要求1所述的夹头装置，其特征在于，所述第一机械连接结构为螺纹孔；所述第二机械连接结构为螺杆，所述螺杆和所述螺纹孔螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的夹头装置，其特征在于，所述螺纹孔开设于所述夹头主体的顶端端面；所述防滑块为螺栓，所述第二机械连接结构为所述螺栓的螺杆。

4.根据权利要求1所述的夹头装置，其特征在于，所述防滑块为多个，并且所述防滑块沿所述夹头主体的周向均匀分布。

5.根据权利要求4所述的夹头装置，其特征在于，所述防滑块沿所述夹头主体的中心对称。

6.根据权利要求4或5所述的夹头装置，其特征在于，各所述防滑块的形状、尺寸均相同。

7.根据权利要求1所述的夹头装置，其特征在于，所述夹头主体呈环形，所述防滑块凸出于所述夹头主体的上表面。

8.一种开磨一体机，其特征在于，包括夹头装置，所述夹头装置为权利要求1-7任意一项所述的夹头装置。