CN219426510U - 一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，涉及晶圆抛光技术领域。该去除晶圆表面瑕疵的抛光机，包括工作台，所述工作台的顶部焊接安装有连接支架，工作台的上方设置有顶板，连接支架的自由端和顶板固定连接，工作台上设置有固定组件，顶板的顶部固定安装有液压缸，顶板的下方设置有壳体，壳体的内部固定安装有驱动电机，壳体的底部通过转轴连接有抛光盘，驱动电机的输出轴和抛光盘固定连接，顶板的下方设置有处理组件。该实用新型一方面能够对抛光盘进行降温处理，防止温度过高出现损坏的现象，另一方面，能够对抛光过程中产生的细小杂质灰尘等进行吸收和雾化，一定程度上能够对环境进行保护，使用方便，便于推广。

Description

一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机

技术领域

本实用新型涉及晶圆抛光技术领域，具体为一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在生产过程中需要进行表面去瑕疵操作。

申请号CN202023304563.X，一种适用于半导体生产用晶圆抛光机，包括底座，所述底座的上表面固定安装有U型架，所述U型架的内部设置有电动推杆，所述电动推杆的输出轴固定连接有支撑板，所述支撑板的下表面固定安装有若干个弹簧一，若干个所述弹簧一的底端固定连接有抛光盘，所述U型架的内部设置有调节组件，所述调节组件被装配为用于调节抛光盘的位置，从而便于对半导体进行精准抛光，所述底座的内部固定安装有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有转轴，所述转轴的一端转动穿过底座内顶壁卡接的轴承一并固定连接有转盘。

该装置能够对晶圆进行稳固夹持固定，操作简单，使用方便，但是晶圆在抛光过程中，抛光钻头在长时间使用后其表面会升温，会降低抛光钻头的使用寿命，严重影响到后续的工作，且抛光产生的气味和细小杂质也会对环境造成污染。

故提出一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机以解决上述提高的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，包括工作台，所述工作台的顶部焊接安装有连接支架，工作台的上方设置有顶板，连接支架的自由端和顶板固定连接，工作台上设置有固定组件，顶板的顶部固定安装有液压缸，顶板的下方设置有壳体，壳体的内部固定安装有驱动电机，壳体的底部通过转轴连接有抛光盘，驱动电机的输出轴和抛光盘固定连接，顶板的下方设置有处理组件。

优选的，所述固定组件包括双向丝杆、第一齿轮、安装板、转杆、第二齿轮、外壳、电机、滑块和夹持弧板，工作台的内部开设有滑槽，滑槽内转动安装有双向丝杆，双向丝杆上焊接安装有第一齿轮，工作台的顶部焊接安装有安装板，外壳的顶部固定安装有电机，安装板的底部转动安装有转杆，电机的输出轴通过联轴器和转杆固定连接，转杆的自由端焊接安装有第二齿轮，第二齿轮和第一齿轮为啮合设置，双向丝杆上螺纹连接有两组滑块，两组滑块的底部均固定安装有夹持弧板，进行位置调节。

优选的，所述安装板的顶部固定安装有外壳，电机位于外壳的内部，能够对电机进行保护。

优选的，所述外壳上开设有散热孔。

优选的，所述处理组件包括连接座、连通管、软管、安装管和喷头，壳体的后侧固定安装有连接座，连接座的内部固定安装有连通管，连接座的底部固定连接有安装管，安装管和连通管固定连通，连通管的顶部法兰连通有软管，安装管的外壁法兰连接有喷头，对抛光盘进行降温处理。

优选的，所述喷头为多组设置，喷头为雾化喷头，便于提高处理效率。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、该去除晶圆表面瑕疵的抛光机，通过双向丝杆、第一齿轮、安装板、转杆、第二齿轮、外壳、电机、滑块和夹持弧板的配合使用，对工件进行夹持，提高了工件处理的稳定性，保障了工件处理的质量。

(2)、该去除晶圆表面瑕疵的抛光机，通过连接座、连通管、软管、安装管和喷头的配合使用，一方面能够对抛光盘进行降温处理，防止温度过高出现损坏的现象，另一方面，能够对抛光过程中产生的细小杂质灰尘等进行吸收和雾化，一定程度上能够对环境进行保护，使用方便，便于推广。

附图说明

图1为本实用新型中的结构示意图；

图2为本实用新型中的A部放大示意图；

图3为本实用新型中的B部放大示意图；

图4为本实用新型中的主视示意图。

图中：1工作台、2连接支架、3顶板、4固定组件、401双向丝杆、402第一齿轮、403安装板、404转杆、405第二齿轮、406外壳、407电机、408滑块、408夹持弧板、5液压缸、6壳体、7抛光盘、8处理组件、801连接座、802连通管、803软管、804安装管、805喷头。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，包括工作台1，工作台1的顶部焊接安装有连接支架2，工作台1的上方设置有顶板3，连接支架2的自由端和顶板3固定连接，工作台1上设置有固定组件4，顶板3的顶部固定安装有液压缸5，顶板3的下方设置有壳体6，顶板3的下方设置有处理组件8。

进一步的，壳体6的内部固定安装有驱动电机，壳体6的底部通过转轴连接有抛光盘7，驱动电机的输出轴和抛光盘7固定连接，驱动液压缸5，液压缸5带动壳体6调节至合适位置，启动驱动电机，使得驱动电机带动抛光盘7转动，从而对表面瑕疵进行处理，方便提高工件的质量。

实施例二：

请参阅图1-4，在实施例一的基础上，固定组件4包括双向丝杆401、第一齿轮402、安装板403、转杆404、第二齿轮405、外壳406、电机407、滑块408和夹持弧板408，工作台1的内部开设有滑槽，滑槽内转动安装有双向丝杆401，双向丝杆401上焊接安装有第一齿轮402，工作台1的顶部焊接安装有安装板403，外壳406的顶部固定安装有电机407，安装板403的底部转动安装有转杆404，电机407的输出轴通过联轴器和转杆404固定连接，转杆404的自由端焊接安装有第二齿轮405，第二齿轮405和第一齿轮402为啮合设置，双向丝杆401上螺纹连接有两组滑块408，两组滑块408的底部均固定安装有夹持弧板408，驱动电机407，电机407带动转杆404转动，转杆404转动带动第二齿轮405转动，第二齿轮405转动带动第一齿轮402转动，第一齿轮402转动带动双向丝杆401转动，双向丝杆401转动带动两组滑块408横向运行，两组滑块408横向运行从而通过两组夹持弧板408对工件进行夹持，提高了工件处理的稳定性，保障了工件处理的质量。

进一步的，安装板403的顶部固定安装有外壳406，电机407位于外壳406的内部，能够对电机407进行保护。

再进一步的，外壳406上开设有散热孔，能够将电机407产生的热量进行扩散。

实施例三：

请参阅图1-4，在实施例一的基础上，处理组件8包括连接座801、连通管802、软管803、安装管804和喷头805，壳体6的后侧固定安装有连接座801，连接座801的内部固定安装有连通管802，连接座801的底部固定连接有安装管804，安装管804和连通管802固定连通，连通管802的顶部法兰连通有软管803，安装管804的外壁法兰连接有喷头805，将软管803和外部水泵连接，通过连通管802、软管803、安装管804和喷头805的使用，一方面能够对抛光盘7进行降温处理，防止温度过高出现损坏的现象，另一方面，能够对抛光过程中产生的细小杂质灰尘等进行吸收和雾化，一定程度上能够对环境进行保护，使用方便，便于推广。

喷头805为多组设置，喷头805为雾化喷头，使用效果好。

使用时，驱动电机407，电机407带动转杆404转动，转杆404转动带动第二齿轮405转动，第二齿轮405转动带动第一齿轮402转动，第一齿轮402转动带动双向丝杆401转动，双向丝杆401转动带动两组滑块408横向运行，两组滑块408横向运行从而通过两组夹持弧板408对工件进行夹持，提高了工件处理的稳定性，驱动液压缸5，液压缸5带动壳体6调节至合适位置，启动驱动电机，使得驱动电机带动抛光盘7转动，从而对表面瑕疵进行处理，同时，将软管803和外部水泵连接，通过连通管802、软管803、安装管804和喷头805的使用，一方面能够对抛光盘7进行降温处理，防止温度过高出现损坏的现象，另一方面，能够对抛光过程中产生的细小杂质灰尘等进行吸收和雾化，一定程度上能够对环境进行保护，使用方便，便于推广。

Claims (6)

1.一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部焊接安装有连接支架(2)，工作台(1)的上方设置有顶板(3)，连接支架(2)的自由端和顶板(3)固定连接，工作台(1)上设置有固定组件(4)，顶板(3)的顶部固定安装有液压缸(5)，顶板(3)的下方设置有壳体(6)，壳体(6)的内部固定安装有驱动电机，壳体(6)的底部通过转轴连接有抛光盘(7)，驱动电机的输出轴和抛光盘(7)固定连接，顶板(3)的下方设置有处理组件(8)。

2.根据权利要求1所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，其特征在于：所述固定组件(4)包括双向丝杆(401)、第一齿轮(402)、安装板(403)、转杆(404)、第二齿轮(405)、外壳(406)、电机(407)、滑块(408)和夹持弧板(409)，工作台(1)的内部开设有滑槽，滑槽内转动安装有双向丝杆(401)，双向丝杆(401)上焊接安装有第一齿轮(402)，工作台(1)的顶部焊接安装有安装板(403)，外壳(406)的顶部固定安装有电机(407)，安装板(403)的底部转动安装有转杆(404)，电机(407)的输出轴通过联轴器和转杆(404)固定连接，转杆(404)的自由端焊接安装有第二齿轮(405)，第二齿轮(405)和第一齿轮(402)为啮合设置，双向丝杆(401)上螺纹连接有两组滑块(408)，两组滑块(408)的底部均固定安装有夹持弧板(409)。

3.根据权利要求2所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，其特征在于：所述安装板(403)的顶部固定安装有外壳(406)，电机(407)位于外壳(406)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，其特征在于：所述外壳(406)上开设有散热孔。

5.根据权利要求1所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，其特征在于：所述处理组件(8)包括连接座(801)、连通管(802)、软管(803)、安装管(804)和喷头(805)，壳体(6)的后侧固定安装有连接座(801)，连接座(801)的内部固定安装有连通管(802)，连接座(801)的底部固定连接有安装管(804)，安装管(804)和连通管(802)固定连通，连通管(802)的顶部法兰连通有软管(803)，安装管(804)的外壁法兰连接有喷头(805)。

6.根据权利要求5所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，其特征在于：所述喷头(805)为多组设置，喷头(805)为雾化喷头。