CN219368636U - 一种石英坩埚检验装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种石英坩埚检验装置，将石英坩埚移动至工作台上表面的中心点处，升降机构设置在工作台上，升降机构的升降端连接检测机构；将石英坩埚放置在工作台上，在定位夹具的作用下，实现石英坩埚固定的同时，将其移动至工作台上表面的中心点处，再通过升降机构驱动检测机构向下移动，使得检测块进入石英坩埚内，在弹簧的作用下，检测块上的滚轮始终与石英坩埚内壁相接触，接触过程中，压力传感器能够接收弹簧的压力信号，配合电机驱动转盘旋转一周，滚轮也与石英坩埚内壁实现全面接触，通过观察压力传感器显示的压力数值变化大小，从而判断石英坩埚内壁耐高温涂层是否均匀涂抹，本申请检测方便，并能够满足不同直径大小石英坩埚的检测。

Description

一种石英坩埚检验装置

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚检验领域，特别涉及一种石英坩埚检验装置。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，未经检测的石英坩埚在使用时可能会因为质量问题导致碎裂甚至炸裂，对使用者的安全造成很大威胁。

为了防止铸锭生产过程中坩埚对多晶硅造成污染及它们发生化学反应而粘连，工业生产中通常使用耐高温材料作为涂层，因此，石英坩埚内壁通常涂抹有耐高温涂层，而耐高温涂层是否涂抹均匀，是石英坩埚检验的一道重要工序，目前市面上暂时没有针对石英坩埚内壁耐高温涂层是否均匀涂抹的检验工具

发明内容

（一）要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种石英坩埚检验装置。

（二）技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

一种石英坩埚检验装置，包括工作台、定位夹具、升降机构以及检测机构；

所述定位夹具设置在所述工作台内，用于实现石英坩埚固定夹持的同时，将石英坩埚移动至工作台上表面的中心点处；

所述升降机构设置在所述工作台上，所述升降机构的升降端连接所述检测机构；

所述检测机构包括连接板、电机、转盘以及检测组件；

所述连接板连接所述升降机构的升降端；

所述电机安装在所述连接板上；

所述转盘连接所述电机的输出端，所述转盘的圆心与工作台上表面的中心点位于同一竖直直线上；

所述检测组件安装在所述转盘上，所述转盘旋转一周，所述检测组件完成对石英坩埚内壁平整度的检测。

优选的，所述检测组件包括矩形孔、导杆、弹簧、压力传感器、检测块以及滚轮；

所述矩形孔开设在所述转盘边缘处；

所述压力传感器设置在所述矩形孔指向圆心的一侧内壁；

所述导杆设置在所述矩形孔另一侧内壁；

所述检测块滑动安装在所述导杆上；

所述滚轮安装在所述检测块底部一侧，用于与石英坩埚内壁滚动连接；

所述弹簧套设在所述导杆上，且所述弹簧的一端连接所述检测块，所述弹簧的另一端连接所述压力传感器。

优选的，所述定位夹具包括定位孔、滑块、固定杆、环形移动块、活动杆、弧形夹板以及电动推杆；

所述定位孔开设有四个，以所述工作台表面中心点为圆心圆周阵列设置，且四个所述定位孔与工作台表面中心点间的连线呈十字型；

所述滑块滑动安装在所述定位孔内；

所述弧形夹板固定设置在所述滑块顶部；

所述固定杆竖直设置在所述工作台底部的中心点处；

所述环形移动块套设在所述固定杆上；

所述活动杆设置有四组，沿所述环形移动块外壁等间隔铰接，所述活动杆远离所述环形移动块的另一端与对应的滑块相铰接；

所述电动推杆设置在所述工作台内壁底部，所述电动推杆的活塞连接所述环形移动块。

优选的，所述升降机构包括卷扬机、升降支撑杆以及升降滑套；

所述升降支撑杆竖直设置在所述工作台上；

所述升降滑套滑动安装在所述升降支撑杆上；

所述所述卷扬机上的钢丝绳通过引导件连接所述升降滑套，所述卷扬机的收卷或者放卷能够控制所述升降滑套升降，所述引导件固定安装在所述升降支撑杆顶部。

优选的，所述转盘底部安装有照明灯具。

（三）有益效果

本实用新型的有益效果在于：采用上述技术方案，将石英坩埚放置在工作台上，在定位夹具的作用下，实现石英坩埚固定的同时，将其移动至工作台上表面的中心点处，再通过升降机构驱动检测机构向下移动，使得检测块进入石英坩埚内，在弹簧的作用下，检测块上的滚轮始终与石英坩埚内壁相接触，接触过程中，压力传感器能够接收弹簧的压力信号，配合电机驱动转盘旋转一周，滚轮也与石英坩埚内壁实现全面接触，通过观察压力传感器显示的压力数值变化大小，从而判断石英坩埚内壁耐高温涂层是否均匀涂抹，本申请检测方便，并能够满足不同直径大小石英坩埚的检测。

附图说明

图1为一种石英坩埚检验装置的结构示意图一；

图2为一种石英坩埚检验装置的结构示意图二；

图3为工作台内壁结构示意图；

图4为图2中A部放大示意图。

附图标记：

1、工作台；

2、定位夹具；

21、定位孔；22、滑块；23、活动杆；24、固定杆；25、电动推杆；26、环形移动块；27、弧形夹板；

3、检测机构；

31、连接板；32、电机；33、转盘；34、检测组件；

341、矩形孔；342、检测块；343、导杆；344、滚轮；345、弹簧；346、压力传感器；

4、升降机构；

41、升降支撑杆；42、卷扬机；43、升降滑套；44、引导件；

5、照明灯具。

具体实施方式

为了更好的解释本实用新型，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本实用新型作详细描述。

请参照图1、图2和图4，本实用新型提供一种石英坩埚检验装置，包括工作台1、定位夹具2、升降机构4以及检测机构3；

定位夹具2设置在工作台1内，用于实现石英坩埚固定夹持的同时，将石英坩埚移动至工作台1上表面的中心点处；

升降机构4设置在工作台1上，升降机构4的升降端连接检测机构3；

检测机构3包括连接板31、电机32、转盘33以及检测组件34；

连接板31连接升降机构4的升降端；

电机32安装在连接板31上；

转盘33连接电机32的输出端，转盘33的圆心与工作台1上表面的中心点位于同一竖直直线上；

检测组件34安装在转盘33上，转盘33旋转一周，检测组件34完成对石英坩埚内壁平整度的检测。

其中，检测组件34包括矩形孔341、导杆343、弹簧345、压力传感器346、检测块342以及滚轮344；

矩形孔341开设在转盘33边缘处；

压力传感器346设置在矩形孔341指向圆心的一侧内壁；

导杆343设置在矩形孔341另一侧内壁；

检测块342滑动安装在导杆343上；

滚轮344安装在检测块342底部一侧，用于与石英坩埚内壁滚动连接；

弹簧345套设在导杆343上，且弹簧345的一端连接检测块342，弹簧345的另一端连接压力传感器346。

使用时，将石英坩埚放置在工作台1上，在定位夹具2的作用下，实现石英坩埚固定的同时，将其移动至工作台1上表面的中心点处，再通过升降机构4驱动检测机构3向下移动，使得检测块342进入石英坩埚内，在弹簧345的作用下，检测块342上的滚轮344始终与石英坩埚内壁相接触，接触过程中，压力传感器346能够接收弹簧345的压力信号，配合电机32驱动转盘33旋转一周，滚轮344也与石英坩埚内壁实现全面接触，通过观察压力传感器346显示的压力数值变化大小，从而判断石英坩埚内壁耐高温涂层是否均匀涂抹。

需要说明的是，压力传感器346电连接显示器，通过显示器查看压力传感器346的压力数值变化。

参考图3，本实施例中，定位夹具2包括定位孔21、滑块22、固定杆24、环形移动块26、活动杆23、弧形夹板27以及电动推杆25；

定位孔21开设有四个，以工作台1表面中心点为圆心圆周阵列设置，且四个定位孔21与工作台1表面中心点间的连线呈十字型；

滑块22滑动安装在定位孔21内；

弧形夹板27固定设置在滑块22顶部；

固定杆24竖直设置在工作台1底部的中心点处；

环形移动块26套设在固定杆24上；

活动杆23设置有四组，沿环形移动块26外壁等间隔铰接，活动杆23远离环形移动块26的另一端与对应的滑块22相铰接；

电动推杆25设置在工作台1内壁底部，电动推杆25的活塞连接环形移动块26；

通过电动推杆25带动环形移动块26向下移动，环形移动块26向下移动的过程中，配合四个活动杆23能够使四个滑块22均向石英坩埚方向同步移动，利用滑块22上的弧形夹板27实现对石英坩埚四周侧壁的固定夹持，使得石英坩埚底部的圆心与工作台1表面中心点重合，便于检测机构3的检测。

本实施例中，升降机构4包括卷扬机42、升降支撑杆41以及升降滑套43；

升降支撑杆41竖直设置在工作台1上；

升降滑套43滑动安装在升降支撑杆41上；

卷扬机42上的钢丝绳通过引导件44连接升降滑套43，卷扬机42的收卷或者放卷能够控制升降滑套43升降，引导件44固定安装在升降支撑杆41顶部；通过卷扬机42的收卷或者放卷能够控制升降滑套43升降，进而控制测机构的高度。

本实施例中，转盘33底部安装有照明灯具5；当转盘33下降至石英坩埚的顶部开口处后，利用照明灯具5照亮石英坩埚内表面，由于石英被强光照射后会呈透明状，可从石英方坩埚壁的外表面进行检验，观察石英方坩埚是否存在裂纹、气泡、阴影等。

本实用新型的工作原理如下：将石英坩埚放置在工作台1上，在定位夹具2的作用下，实现石英坩埚固定的同时，将其移动至工作台1上表面的中心点处，再通过升降机构4驱动检测机构3向下移动，使得检测块342进入石英坩埚内，在弹簧345的作用下，检测块342上的滚轮344始终与石英坩埚内壁相接触，接触过程中，压力传感器346能够接收弹簧345的压力信号，配合电机32驱动转盘33旋转一周，滚轮344也与石英坩埚内壁实现全面接触，通过观察压力传感器346显示的压力数值变化大小，从而判断石英坩埚内壁耐高温涂层是否均匀涂抹，本申请检测方便，并能够满足不同直径大小石英坩埚的检测。

涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

以上仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种石英坩埚检验装置，其特征在于，包括工作台、定位夹具、升降机构以及检测机构；

所述定位夹具设置在所述工作台内，用于实现石英坩埚固定夹持的同时，将石英坩埚移动至工作台上表面的中心点处；

所述升降机构设置在所述工作台上，所述升降机构的升降端连接所述检测机构；

所述检测机构包括连接板、电机、转盘以及检测组件；

所述连接板连接所述升降机构的升降端；

所述电机安装在所述连接板上；

所述转盘连接所述电机的输出端，所述转盘的圆心与工作台上表面的中心点位于同一竖直直线上；

所述检测组件安装在所述转盘上，所述转盘旋转一周，所述检测组件完成对石英坩埚内壁平整度的检测。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚检验装置，其特征在于，所述检测组件包括矩形孔、导杆、弹簧、压力传感器、检测块以及滚轮；

所述矩形孔开设在所述转盘边缘处；

所述压力传感器设置在所述矩形孔指向圆心的一侧内壁；

所述导杆设置在所述矩形孔另一侧内壁；

所述检测块滑动安装在所述导杆上；

所述滚轮安装在所述检测块底部一侧，用于与石英坩埚内壁滚动连接；

所述弹簧套设在所述导杆上，且所述弹簧的一端连接所述检测块，所述弹簧的另一端连接所述压力传感器。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚检验装置，其特征在于，所述定位夹具包括定位孔、滑块、固定杆、环形移动块、活动杆、弧形夹板以及电动推杆；

所述定位孔开设有四个，以所述工作台表面中心点为圆心圆周阵列设置，且四个所述定位孔与工作台表面中心点间的连线呈十字型；

所述滑块滑动安装在所述定位孔内；

所述弧形夹板固定设置在所述滑块顶部；

所述固定杆竖直设置在所述工作台底部的中心点处；

所述环形移动块套设在所述固定杆上；

所述活动杆设置有四组，沿所述环形移动块外壁等间隔铰接，所述活动杆远离所述环形移动块的另一端与对应的滑块相铰接；

所述电动推杆设置在所述工作台内壁底部，所述电动推杆的活塞连接所述环形移动块。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚检验装置，其特征在于，所述升降机构包括卷扬机、升降支撑杆以及升降滑套；

所述升降支撑杆竖直设置在所述工作台上；

所述升降滑套滑动安装在所述升降支撑杆上；

所述卷扬机上的钢丝绳通过引导件连接所述升降滑套，所述卷扬机的收卷或者放卷能够控制所述升降滑套升降，所述引导件固定安装在所述升降支撑杆顶部。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚检验装置，其特征在于，所述转盘底部安装有照明灯具。