CN219302314U - 一种石英坩埚壁检测设备 - Google Patents

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胡士德
杨云翔
王建
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Abstract

本实用新型提供的一种石英坩埚壁检测设备,转盘机构安装在机架上,用于驱动石英坩埚旋转;固定夹具设置在转盘上,用于固定坩埚底部外壁;升降式照明机构安装在机架上,用于对石英坩埚内壁进行照明;检测机构包括升降组件以及工业相机,工业相机镜头对准石英坩埚壁;采用上述技术方案,将石英坩埚置于转盘机构上,并通过固定夹具将其固定,升降式照明机构进入石英坩埚内,对石英坩埚壁进行强光照射,使得石英坩埚壁呈透明状,再配合转盘机构驱动石英坩埚旋转,工业相机能够将石英坩埚壁进行拍照,工作人员可以通过照片确定石英坩埚壁是否合格,避免长时间观察造成的眼部疲劳,大大提高了检测的准确率。

Description

一种石英坩埚壁检测设备
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚壁检测领域,特别涉及一种石英坩埚壁检测设备。
背景技术
石英坩埚是太阳能硅电池行业用来进行多晶硅铸锭的专用工艺装备。在石英坩埚的生产过程中,由于各种原因,在石英坩埚壁上可能会存在有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷。如果将有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷的石英坩埚投入使用会对多晶硅铸锭的安全生产和产品质量产生严重的影响。在多晶铸锭用石英坩埚加工完成后,必须对石英坩埚壁进行检验,确认石英坩埚符合现行的标准。
现有的检测方式是:使用强光灯对石英方坩埚的内表面进行照射,由于石英被强光照射后会呈透明状,可从石英方坩埚壁的外表面进行检验, 观察石英方坩埚是否存在裂纹、气泡、阴影等,若存在且超出规定的技术标准,则该石英方坩埚质量不合格;若不存在或者在规定的技术标准内,则该石英方坩埚质量合格,传统人工检测产品外观依靠肉眼观察,长时间观察易受照明灯的影响,使得工人眼部极易疲劳,这样会导致人工的疲劳性和检测产品的不确定性。
发明内容
(一)要解决的技术问题
为了解决现有技术的上述问题,本实用新型提供一种石英坩埚壁检测设备。
(二)技术方案
为了达到上述目的,本实用新型采用的主要技术方案包括:
一种石英坩埚壁检测设备,包括机架、转盘机构、升降式照明机构、固定夹具以及检测机构;
所述转盘机构安装在所述机架上,用于驱动石英坩埚旋转;
所述固定夹具设置在所述转盘上,用于固定坩埚底部外壁;
所述升降式照明机构安装在所述机架上,用于对石英坩埚内壁进行照明;
所述检测机构包括升降组件以及工业相机,所述工业相机镜头对准石英坩埚壁。
优选的,所述转盘机构包括圆盘以及第一电机,所述第一电机固定安装在所述机架上,所述第一电机连接所述圆盘的底部圆心。
优选的,所述升降式照明机构包括丝杆、第二电机、升降块、连接架以及照明灯体;
所述丝杆设置在所述机架内;
所述第二电机连接所述丝杆;
所述升降块螺纹连接在所述丝杆上,且所述机架上开设有用于限制所述升降块随丝杆旋转的竖直轨道;
所述连接架连接所述升降块;
所述照明灯体安装在所述连接架底部。
优选的,所述固定夹具包括固定环以及沿所述固定环周向设置的多组固定组件,所述固定环固定设置在所述圆盘上,所述固定组件包括螺杆以及弧形固定板,所述螺杆螺纹连接在所述固定环上,所述弧形固定板与所述螺杆转动连接。
优选的,所述升降组件包括底板、导杆、升降板以及气压缸,所述底板固定在所述机架上,所述导杆设置有两组,呈左右对称竖直设置在所述底板上,所述升降板上开设有与所述导杆相对应的穿孔,所述气压缸设置在所述底板上,且所述气压缸的活塞连接所述升降板。
(三)有益效果
本实用新型的有益效果在于:采用上述技术方案,将石英坩埚置于转盘机构上,并通过固定夹具将其固定,升降式照明机构进入石英坩埚内,对石英坩埚壁进行强光照射,使得石英坩埚壁呈透明状,再配合转盘机构驱动石英坩埚旋转,工业相机能够将石英坩埚壁进行拍照,工作人员可以通过照片确定石英坩埚壁是否合格,避免长时间观察造成的眼部疲劳,大大提高了检测的准确率。
附图说明
图1为一种石英坩埚壁检测设备的结构示意图一。
图2为一种石英坩埚壁检测设备的结构示意图二。
图3为一种石英坩埚壁检测设备的侧视结构示意图。
【附图标记说明】
1、机架;
2、升降式照明机构;
21、丝杆;22、第二电机;23、升降块;24、连接架;25、照明灯体;
3、检测机构;
31、工业相机;32、导杆;33、升降板;34、气压缸;35、底板;
4、固定夹具;
41、固定环;42、螺杆;43、弧形固定板;
5、转盘机构;
51、圆盘;52、第一电机。
实施方式
为了更好的解释本实用新型,以便于理解,下面结合附图,通过具体实施方式,对本实用新型作详细描述。
请参照图1至图3,本实用新型提供一种石英坩埚壁检测设备,包括机架1、转盘机构5、升降式照明机构2、固定夹具4以及检测机构3;
转盘机构5安装在机架1上,用于驱动石英坩埚旋转;
固定夹具4设置在转盘上,用于固定坩埚底部外壁;
升降式照明机构2安装在机架1上,用于对石英坩埚内壁进行照明;
检测机构3包括升降组件以及工业相机31,工业相机31镜头对准石英坩埚壁。
将石英坩埚置于转盘机构5上,并通过固定夹具4将其固定,升降式照明机构2进入石英坩埚内,对石英坩埚壁进行强光照射,使得石英坩埚壁呈透明状,再配合转盘机构5驱动石英坩埚旋转,工业相机31能够将石英坩埚壁进行拍照,工作人员可以通过照片确定石英坩埚壁是否合格,避免长时间观察造成的眼部疲劳,大大提高了检测的准确率;工业相机31也能够将照片信号输送至PLC,通过PLC判断石英坩埚是否合格,大大提高检测效率。
本实施例中,转盘机构5包括圆盘51以及第一电机52,第一电机52固定安装在机架1上,第一电机52连接圆盘51的底部圆心;通过第一电机52驱动圆盘51旋转,实现驱动石英坩埚的旋转。
本实施例中,升降式照明机构2包括丝杆21、第二电机22、升降块23、连接架24以及照明灯体25;
丝杆21设置在机架1内;
第二电机22连接丝杆21;
升降块23螺纹连接在丝杆21上,且机架1上开设有用于限制升降块23随丝杆21旋转的竖直轨道;
连接架24连接升降块23;
照明灯体25安装在连接架24底部;通过本实施例中驱动丝杆21旋转,带动丝杆21上的升降块23实现升降,进而控制照明灯体25的照明高度。
本实施例中,固定夹具4包括固定环41以及沿固定环41周向设置的多组固定组件,固定环41固定设置在圆盘51上,固定组件包括螺杆42以及弧形固定板43,螺杆42螺纹连接在固定环41上,弧形固定板43与螺杆42转动连接;通过旋动螺杆42,驱动弧形固定板43向石英坩埚壁靠近,实现对石英坩埚的固定。
本实施例中,升降组件包括底板35、导杆32、升降板33以及气压缸34,底板35固定在机架1上,导杆32设置有两组,呈左右对称竖直设置在底板35上,升降板33上开设有与导杆32相对应的穿孔,气压缸34设置在底板35上,且气压缸34的活塞连接升降板33;通过气压缸34驱动升降板33升降,进而控制工业相机31的拍照高度。
本实用新型的工作原理如下:将石英坩埚置于转盘机构5上,并通过固定夹具4将其固定,升降式照明机构2进入石英坩埚内,对石英坩埚壁进行强光照射,使得石英坩埚壁呈透明状,再配合转盘机构5驱动石英坩埚旋转,工业相机31能够将石英坩埚壁进行拍照,工作人员可以通过照片确定石英坩埚壁是否合格,避免长时间观察造成的眼部疲劳,大大提高了检测的准确率。
涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术,本领域技术人员完全可以实现,无需赘言,本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
以上仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换,或直接或间接运用在相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种石英坩埚壁检测设备,其特征在于,包括机架、转盘机构、升降式照明机构、固定夹具以及检测机构;
所述转盘机构安装在所述机架上,用于驱动石英坩埚旋转;
所述固定夹具设置在所述转盘上,用于固定坩埚底部外壁;
所述升降式照明机构安装在所述机架上,用于对石英坩埚内壁进行照明;
所述检测机构包括升降组件以及工业相机,所述工业相机镜头对准石英坩埚壁。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚壁检测设备,其特征在于,所述转盘机构包括圆盘以及第一电机,所述第一电机固定安装在所述机架上,所述第一电机连接所述圆盘的底部圆心。
3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚壁检测设备,其特征在于,所述升降式照明机构包括丝杆、第二电机、升降块、连接架以及照明灯体;
所述丝杆设置在所述机架内;
所述第二电机连接所述丝杆;
所述升降块螺纹连接在所述丝杆上,且所述机架上开设有用于限制所述升降块随丝杆旋转的竖直轨道;
所述连接架连接所述升降块;
所述照明灯体安装在所述连接架底部。
4.根据权利要求2所述的一种石英坩埚壁检测设备,其特征在于,所述固定夹具包括固定环以及沿所述固定环周向设置的多组固定组件,所述固定环固定设置在所述圆盘上,所述固定组件包括螺杆以及弧形固定板,所述螺杆螺纹连接在所述固定环上,所述弧形固定板与所述螺杆转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚壁检测设备,其特征在于,所述升降组件包括底板、导杆、升降板以及气压缸,所述底板固定在所述机架上,所述导杆设置有两组,呈左右对称竖直设置在所述底板上,所述升降板上开设有与所述导杆相对应的穿孔,所述气压缸设置在所述底板上,且所述气压缸的活塞连接所述升降板。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116626066A (zh) * 2023-07-20 2023-08-22 天津市职业大学 一种机械加工成品表面缺陷检测设备及方法
CN117147437A (zh) * 2023-10-30 2023-12-01 常州裕能石英科技有限公司 一种石英坩埚内外周面自动检测装置

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