CN219326824U - 一种具有散热设备的真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有散热设备的真空镀膜机，属于真空镀膜机领域，包括底座，底座上端面设置有镀膜机体，镀膜机体前端面外圈位置设置有第一框板，第一框板前方通过铰链设置有第二框板，第二框板内圈设置有真空仓门，真空仓门中部设置有若干视镜，真空仓门前端面顶部位置设置有第一散热贴板，真空仓门前端面底部位置设置有第二散热贴板，真空仓门顶部设置有水泵，水泵两端分别设置有第一散热弯管与第二散热弯管，镀膜机体上端面两侧位置设置有支架板，通过在真空仓门表面设置第一散热贴板与第二散热贴板，并配合水泵带动冷却液循环流动，从而加速真空仓门的散热，避免真空镀膜机的腔体长期高温运行，延长真空镀膜机的使用寿命。

Description

一种具有散热设备的真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机领域，特别涉及一种具有散热设备的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机是一种高效镀膜设备，可在较高真空度下完成镀膜加工，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，真空镀膜机工作时，其内部腔体温度较高，长时间运行会使腔体处于持续高温状态，而一般的真空镀膜机散热效果有限，难以有效的降低腔体以及机体的温度，使真空镀膜机长期处于高温运行，影响腔体内部零件的使用寿命，造成不便。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种具有散热设备的真空镀膜机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种具有散热设备的真空镀膜机，包括底座，所述底座上端面设置有镀膜机体，所述镀膜机体前端面外圈位置设置有第一框板，所述第一框板前方通过铰链设置有第二框板，所述第二框板内圈设置有真空仓门，所述真空仓门中部设置有若干视镜，所述真空仓门前端面顶部位置设置有第一散热贴板，所述真空仓门前端面底部位置设置有第二散热贴板，所述真空仓门顶部设置有水泵，所述水泵两端分别设置有第一散热弯管与第二散热弯管，所述镀膜机体上端面两侧位置设置有支架板，所述支架板头部设置有散热扇。

优选的，所述散热扇分别位于第一散热弯管与第二散热弯管上方位置，所述支架板底部通过焊接固定到镀膜机体上端面。

优选的，所述第一散热贴板与第二散热贴板均通过焊接固定到真空仓门前端面，所述视镜位于第一散热贴板与第二散热贴板之间的位置。

优选的，所述第一散热贴板与第二散热贴板后端面均设置有冷却液导流槽，所述第一散热弯管尾部设置有进水管，所述进水管尾部连接到第一散热贴板顶部一侧位置，所述第一散热贴板下端面一侧位置设置有导流管，所述导流管尾部连接到第二散热贴板顶部一侧位置。

优选的，所述第二散热贴板底部一侧位置设置有排水管，所述排水管尾部设置有弧形导管，所述弧形导管尾部设置有立管，所述立管顶部设置有回流管，所述回流管顶部连接到第二散热弯管尾部。

优选的，所述冷却液导流槽中设置有若干导流隔板，所述导流隔板通过焊接固定到冷却液导流槽中，所述导流隔板一端设置有导流孔，且相邻两块导流隔板的导流孔位于不同方向。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，通过在真空仓门表面设置第一散热贴板与第二散热贴板，并配合水泵带动冷却液循环流动，从而加速真空仓门的散热，避免真空镀膜机的腔体长期高温运行，延长真空镀膜机的使用寿命，通过在第一与第二散热贴板内设置冷却液导流槽，并安装若干导流隔板，使冷却液能够沿着导流隔板以及导流孔进行循环运动，从而加速真空仓门的冷却，以带走腔体内的热量，达到散热降温效果，延长内部零件的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的真空仓门示意图；

图3为本实用新型的第一散热贴板示意图；

图4为本实用新型的导流隔板示意图。

图中：1、底座；2、镀膜机体；3、第一框板；4、第二框板；5、真空仓门；6、视镜；7、第一散热贴板；8、第二散热贴板；9、水泵；10、第一散热弯管；11、第二散热弯管；12、支架板；13、散热扇；14、进水管；15、导流管；16、排水管；17、弧形导管；18、立管；19、回流管；20、冷却液导流槽；21、导流隔板；22、导流孔。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-4所示，一种具有散热设备的真空镀膜机，包括底座1，底座1上端面设置有镀膜机体2，镀膜机体2前端面外圈位置设置有第一框板3，第一框板3前方通过铰链设置有第二框板4，第二框板4内圈设置有真空仓门5，真空仓门5中部设置有若干视镜6，真空仓门5前端面顶部位置设置有第一散热贴板7，真空仓门5前端面底部位置设置有第二散热贴板8，真空仓门5顶部设置有水泵9，水泵9两端分别设置有第一散热弯管10与第二散热弯管11，镀膜机体2上端面两侧位置设置有支架板12，支架板12头部设置有散热扇13。

在本实施例中，为了加速第一散热弯管10与第二散热弯管11的热量散热，使冷却液快速降温，以保障循环利用，散热扇13分别位于第一散热弯管10与第二散热弯管11上方位置，支架板12底部通过焊接固定到镀膜机体2上端面，第一散热贴板7与第二散热贴板8均通过焊接固定到真空仓门5前端面，视镜6位于第一散热贴板7与第二散热贴板8之间的位置；

在本实施例中，为了使冷却液能够稳定的循环运动，并依次经过第一散热贴板7与第二散热贴板8，从而对后方的真空仓门5进行降温，进而带走腔体内的热量，第一散热贴板7与第二散热贴板8后端面均设置有冷却液导流槽20，第一散热弯管10尾部设置有进水管14，进水管14尾部连接到第一散热贴板7顶部一侧位置，第一散热贴板7下端面一侧位置设置有导流管15，导流管15尾部连接到第二散热贴板8顶部一侧位置，第二散热贴板8底部一侧位置设置有排水管16，排水管16尾部设置有弧形导管17，弧形导管17尾部设置有立管18，立管18顶部设置有回流管19，回流管19顶部连接到第二散热弯管11尾部；

在本实施例中，为了使冷却液能够在第一散热贴板7与第二散热贴板8内充分的循环流动，以保障降温效果，冷却液导流槽20中设置有若干导流隔板21，导流隔板21通过焊接固定到冷却液导流槽20中，导流隔板21一端设置有导流孔22，且相邻两块导流隔板21的导流孔22位于不同方向。

需要说明的是，本实用新型为一种具有散热设备的真空镀膜机，在实际使用时，将需要镀膜的材料放置到镀膜机体2内部，然后关闭真空仓门5进行镀膜处理，与此同时，启动水泵9，使其带动冷却液向第一散热弯管10方向运动，冷却液经过第一散热弯管10到达进水管14，随后进入第一散热贴板7内的冷却液导流槽20中，并沿着导流隔板21运动，依次穿过导流隔板21不同方向的导流孔22，实现充分的流动，然后冷却液从导流管15排出，接着流入第二散热贴板8内，并按照相同原理进行流动，随后冷却液从排水管16排出，并沿着弧形导管17、立管18以及回流管19运动，最终进入第二散热弯管11，并再次由水泵9带动流动，实现循环流动，在冷却液流动过程中，能够充分吸收真空仓门5的热量，真空仓门5的温度是由腔体内的热量形成，因此在对真空仓门5降温时能够带走腔体内的热量，使腔体内温度下降，避免内部零件长期处于高温运行，延长使用寿命，同时，在冷却液经过第一散热弯管10与第二散热弯管11的过程中，弯曲的管体使冷却液能够与外界保持更长时间的接触，提升热量的散发，同时，上方的散热扇13能够加速热量散发，使带有热量的冷却液快速冷却，实现循环散热效果。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种具有散热设备的真空镀膜机，包括底座(1)，所述底座(1)上端面设置有镀膜机体(2)，所述镀膜机体(2)前端面外圈位置设置有第一框板(3)，所述第一框板(3)前方通过铰链设置有第二框板(4)，所述第二框板(4)内圈设置有真空仓门(5)，所述真空仓门(5)中部设置有若干视镜(6)，其特征在于：所述真空仓门(5)前端面顶部位置设置有第一散热贴板(7)，所述真空仓门(5)前端面底部位置设置有第二散热贴板(8)，所述真空仓门(5)顶部设置有水泵(9)，所述水泵(9)两端分别设置有第一散热弯管(10)与第二散热弯管(11)，所述镀膜机体(2)上端面两侧位置设置有支架板(12)，所述支架板(12)头部设置有散热扇(13)。

2.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机，其特征在于：所述散热扇(13)分别位于第一散热弯管(10)与第二散热弯管(11)上方位置，所述支架板(12)底部通过焊接固定到镀膜机体(2)上端面。

3.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机，其特征在于：所述第一散热贴板(7)与第二散热贴板(8)均通过焊接固定到真空仓门(5)前端面，所述视镜(6)位于第一散热贴板(7)与第二散热贴板(8)之间的位置。

4.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机，其特征在于：所述第一散热贴板(7)与第二散热贴板(8)后端面均设置有冷却液导流槽(20)，所述第一散热弯管(10)尾部设置有进水管(14)，所述进水管(14)尾部连接到第一散热贴板(7)顶部一侧位置，所述第一散热贴板(7)下端面一侧位置设置有导流管(15)，所述导流管(15)尾部连接到第二散热贴板(8)顶部一侧位置。

5.根据权利要求4所述的一种具有散热设备的真空镀膜机，其特征在于：所述第二散热贴板(8)底部一侧位置设置有排水管(16)，所述排水管(16)尾部设置有弧形导管(17)，所述弧形导管(17)尾部设置有立管(18)，所述立管(18)顶部设置有回流管(19)，所述回流管(19)顶部连接到第二散热弯管(11)尾部。

6.根据权利要求5所述的一种具有散热设备的真空镀膜机，其特征在于：所述冷却液导流槽(20)中设置有若干导流隔板(21)，所述导流隔板(21)通过焊接固定到冷却液导流槽(20)中，所述导流隔板(21)一端设置有导流孔(22)，且相邻两块导流隔板(21)的导流孔(22)位于不同方向。

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