CN213803975U - 一种真空镀膜机的冷却系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体，所述真空镀膜机腔体前端面固定连接有多个导热件，多个所述导热件前端面分别固定连接有多根供水管和多根供风管，多根所述供水管两侧分别固定连接有出水管和进水管，所述出水管远离供水管一端固定连接有冷却装置，所述冷却装置内端固定设置有散热管，所述散热管远离出水管一端固定连接有导流管，所述导流管远离散热管一端贯穿冷却装置底板板身并固定连接有供水装置。本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷却系统，通过水冷配合风冷使装置冷却效果较好，降温较快，冷却较及时，通过控制器进行智能化控制可以有效的保护真空镀膜机内部的设备，使用更安全。

Description

一种真空镀膜机的冷却系统

技术领域

本实用新型涉及镀膜机冷却技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的冷却系统。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

但是，现有的真空镀膜机在工作时会产生很多的热量，传统的冷却方法是在镀膜设备的外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来进行冷却，这种冷却方式虽然可以对设备降温，但是由于结构简单无法根据需要在短时间内进行高效降温，致使温度降低不及时，对机器造成损伤。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜机的冷却系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体，所述真空镀膜机腔体前端面固定连接有多个导热件，多个所述导热件前端面分别固定连接有多根供水管和多根供风管，多根所述供水管两侧分别固定连接有出水管和进水管，所述出水管远离供水管一端固定连接有冷却装置，所述冷却装置内端固定设置有散热管，所述散热管远离出水管一端固定连接有导流管，所述导流管远离散热管一端贯穿冷却装置底板板身并固定连接有供水装置，所述供水装置内端靠近导流管一侧固定设置有水流过滤网，所述水流过滤网远离导流管一侧固定设置有水泵，所述进水管远离供水管一端贯穿供水装置底板并与水泵供水端固定连接，多根所述供风管一端固定连接有冷却供风扇，多根所述供风管远离冷却供风扇一端固定连接有空气过滤装置，所述空气过滤装置内端固定设置有空气过滤网，所述空气过滤装置上端开设有出风口，所述真空镀膜机腔体内侧固定设置有温度检测器，所述真空镀膜机腔体一侧外壁固定设置有控制器，所述控制器分别连接有供水系统和供风系统。

作为上述技术方案的进一步描述：

多根所述供水管呈横向均匀分布设置。

作为上述技术方案的进一步描述：

多根所述供风管呈纵向均匀分布设置。

作为上述技术方案的进一步描述：

多根所述供水管均被多根供风管包裹设置。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述出水管与散热管贯通连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述水泵固定连接在供水装置底板上。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述温度检测器与控制器电性连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述供水系统与控制器电性连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述供风系统与控制器电性连接。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提出的一种真空镀膜机的冷却系统，通过设置供水装置配合冷却供风扇实现自由切换，即可对装置进行水冷也可以进行风冷或者二者同时进行达到多变高效的降温目的，使得装置降温效果更好更快速。

本实用新型提出的一种真空镀膜机的冷却系统，通过设置控制器控制供风系统与供水系统结合温度检测器检测到的装置内部温度实现根据实际情况对风量与水流速度和大小进行智能化控制，使得装置在温度过高时可以对装置进行有效降温。

本实用新型提出的一种真空镀膜机的冷却系统，通过冷却装置配合供水装置实现水循环系统，对冷却水进行多次利用，节约能源。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机的冷却系统的主结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜机的冷却系统的真空镀膜机腔体侧剖示意图；

图3为本实用新型提出的一种真空镀膜机的冷却系统的系统控制流程图。

图例说明：

1、真空镀膜机腔体；2、导热件；3、供水管；4、供风管；5、出水管；6、进水管；7、冷却装置；8、散热管；9、导流管；10、供水装置；11、水流过滤网；12、水泵；13、冷却供风扇；14、空气过滤装置；15、空气过滤网；16、出风口；17、温度检测器；18、控制器；19、供水系统；20、供风系统。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体1，真空镀膜机腔体1前端面固定连接有多个导热件2，加快装置散热，多个导热件2前端面分别固定连接有多根供水管3和多根供风管4，多根供水管3两侧分别固定连接有出水管5和进水管6，出水管5远离供水管3一端固定连接有冷却装置7，冷却装置7内端固定设置有散热管8，通过散热管8对热水降温，使之变为冷却水通过导流管9导流进供水装置10内进行二次循环利用，散热管8远离出水管5一端固定连接有导流管9，导流管9远离散热管8一端贯穿冷却装置7底板板身并固定连接有供水装置10，供水装置10内端靠近导流管9一侧固定设置有水流过滤网11，用来过滤冷却水，水流过滤网11远离导流管9一侧固定设置有水泵12，进水管6远离供水管3一端贯穿供水装置10底板并与水泵12供水端固定连接，多根供风管4一端固定连接有冷却供风扇13，用来提供冷却气流，多根供风管4远离冷却供风扇13一端固定连接有空气过滤装置14，空气过滤装置14内端固定设置有空气过滤网15，用来过滤冷却气流后排出，防止污染环境，空气过滤装置14上端开设有出风口16，真空镀膜机腔体1内侧固定设置有温度检测器17，用来检测真空镀膜机腔体1内部温度，真空镀膜机腔体1一侧外壁固定设置有控制器18，控制器18分别连接有供水系统19和供风系统20，通过控制器18对供水系统19和供风系统20进行控制，再由供水系统19和供风系统20对供水装置10和冷却供风扇13进行对应控制。

多根供水管3呈横向均匀分布设置，多根供风管4呈纵向均匀分布设置，防止有死角造成局部温度过高，多根供水管3均被多根供风管4包裹设置，出水管5与散热管8贯通连接，水泵12固定连接在供水装置10底板上，通过水泵12将供水装置10内部冷却水导出，温度检测器17与控制器18电性连接，供水系统19与控制器18电性连接，供风系统20与控制器18电性连接，通过控制器18控制供水系统19或供风系统20实现对应装置的供水或供风。

工作原理：装置使用时由温度检测器17对真空镀膜机腔体1内部温度进行检测，然后控制器18通过供水系统19控制供水装置10由进水管6向供水管3供水对装置降温，如果发现温度降低不明显或者下降速度较慢，则加大供水量，并根据实际情况由控制器18通过供风系统20控制冷却供风扇13对装置进行供风冷却，从而加快温度降低，从而起到保护装置的作用。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机腔体(1)前端面固定连接有多个导热件(2)，多个所述导热件(2)前端面分别固定连接有多根供水管(3)和多根供风管(4)，多根所述供水管(3)两侧分别固定连接有出水管(5)和进水管(6)，所述出水管(5)远离供水管(3)一端固定连接有冷却装置(7)，所述冷却装置(7)内端固定设置有散热管(8)，所述散热管(8)远离出水管(5)一端固定连接有导流管(9)，所述导流管(9)远离散热管(8)一端贯穿冷却装置(7)底板板身并固定连接有供水装置(10)，所述供水装置(10)内端靠近导流管(9)一侧固定设置有水流过滤网(11)，所述水流过滤网(11)远离导流管(9)一侧固定设置有水泵(12)，所述进水管(6)远离供水管(3)一端贯穿供水装置(10)底板并与水泵(12)供水端固定连接，多根所述供风管(4)一端固定连接有冷却供风扇(13)，多根所述供风管(4)远离冷却供风扇(13)一端固定连接有空气过滤装置(14)，所述空气过滤装置(14)内端固定设置有空气过滤网(15)，所述空气过滤装置(14)上端开设有出风口(16)，所述真空镀膜机腔体(1)内侧固定设置有温度检测器(17)，所述真空镀膜机腔体(1)一侧外壁固定设置有控制器(18)，所述控制器(18)分别连接有供水系统(19)和供风系统(20)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：多根所述供水管(3)呈横向均匀分布设置。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：多根所述供风管(4)呈纵向均匀分布设置。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：多根所述供水管(3)均被多根供风管(4)包裹设置。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：所述出水管(5)与散热管(8)贯通连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：所述水泵(12)固定连接在供水装置(10)底板上。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：所述温度检测器(17)与控制器(18)电性连接。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：所述供水系统(19)与控制器(18)电性连接。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：所述供风系统(20)与控制器(18)电性连接。

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