CN219302305U - 一种半导体视觉检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体视觉检测装置，包括底座，底座的顶部固定安装有输送带，底座的顶部固定安装有两个对称分布的立柱，两个立柱之间设置有承托架，承托架的底部固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的底端固定安装有工业相机，承托架的两端底部固定安装有led灯，立柱上固定安装有对承托架水平移动调节的水平移动机构，工业相机的一侧设置有除尘机构，底座上固定安装有计算机，本实用新型涉及半导体检测装置技术领域，该一种半导体视觉检测装置，可进行批量检测，同时可调节性高，有效提高采像清晰，进而提高视觉检测准确度。

Description

一种半导体视觉检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体检测装置技术领域，具体为一种半导体视觉检测装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体在加工过程中需要通过检测设备对半导体进行视觉检测，包括半导体表面凸凹点、划伤、污垢、裂纹等的缺陷检测，具体操作方式一般是人工将半导体放入检测设备上的检测工位，之后通过检测设备上的工业相机采集图像，由计算机对图像进行视觉检测，来观察半导体表面是否存在缺陷。

现有半导体缺陷检测用的视觉检测装置一般采用人工取放料的作业方式，检测效率低、不便于批量检测，另外现有在利用工业相机采集图像时，半导体材料一般体积较小，如果光线条件差，容易出现采集图像不清晰的问题，导致检测结果不准确，同时半导体在运输过程中表面容易粘附灰尘，不清理会对后期检测造成影响，影响检测结果准确性。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体视觉检测装置，解决了现有的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体视觉检测装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有输送带，所述底座的顶部固定安装有两个对称分布的立柱，两个所述立柱之间设置有承托架，所述承托架的底部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定安装有工业相机，所述承托架的两端底部固定安装有led灯，所述立柱上固定安装有对承托架水平移动调节的水平移动机构，所述工业相机的一侧设置有除尘机构，所述底座上固定安装有计算机。

优选的，所述输送带的两端内部分别转动安装有转动滚筒，所述转动滚筒的一侧设置有电机，所述转动滚筒固定安装在所述电机的输出端，所述转动滚筒通过所述电机驱动转动。

优选的，所述电动伸缩杆、工业相机分别通过导线与外部电源电性连接，所述工业相机的信号输出端与计算机的信号输入端连接。

优选的，所述水平移动机构包括丝杆和限位杆，所述限位杆两端分别与立柱固定连接，所述丝杆一端通过轴承与立柱转动连接，另一端贯穿立柱与从动带轮固定连接，所述从动带轮一侧通过皮带传动连接有主动带轮，所述主动带轮固定安装在电机的输出端，所述丝杆、限位杆上套设有调节块，所述调节块上开设有螺纹孔和限位孔，所述调节块通过螺纹孔与丝杆螺纹传动连接，所述调节块通过限位孔与限位杆滑动连接。

优选的，所述电机固定安装在立柱上，所述电机通过导线与外部电源电性连接。

优选的，所述除尘机构包括固定安装在立柱上的支架，所述支架的底部固定安装有风机，所述底座的顶部固定安装有收集槽，所述收集槽内部固定安装有金属过滤网，所述收集槽外壁固定安装有静电发生器，所述金属过滤网通过导线与静电发生器电性连接。

有益效果

本实用新型提供了一种半导体视觉检测装置。与现有技术相比具备以下

有益效果：

1、该一种半导体视觉检测装置，通过设置输送带，可用于将半导体放置在输送带上，通过输送带将半导体输送至工业相机下方的检测工位上，进而解决传统检测装置一般采用人工取放料的作业方式，检测效率低、不便于批量检测的问题。

2、该一种半导体视觉检测装置，通过在设置工业相机，并且在工业相机两侧分别固定安装有led灯，在利用工业相机采集图像时，通过led灯用于辅助照明，提高工业相机采集图像清晰度，提高检测结果准确性，同时通过设置水平移动机构以及电动伸缩杆可用于对工业相机进行水平以及高度位置调节，进而使工业相机达到最佳采像位置，提高采像清晰度。

3、该一种半导体视觉检测装置，通过设置除尘机构，启动风机能在半导体输送至工业相机下方的检测工位前对其表面粘附的灰尘或污垢进行吹除，进而避免灰尘污垢残留表面对检测结果造成影响，同时在风机下方设置金属过滤网，将金属过滤网通过导线与静电发生器的负极连接进而使金属过滤网带负电荷，从而可通过静电吸附将吹除的灰尘进行快速吸附，达到对扬起灰尘收集处理的目的，进而避免灰尘吸附对后期检测造成影响，影响检测结果准确性。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型调节块结构示意图；

图3为本实用新型图1局部放大结构示意图。

图中：1、底座；2、输送带；21、转动滚筒；3、立柱；4、承托架；5、电动伸缩杆；6、工业相机；7、led灯；8、水平移动机构；81、丝杆；82、限位杆；83、轴承；84、从动带轮；85、主动带轮；86、电机；87、调节块；871、螺纹孔；872、限位孔；9、除尘机构；91、支架；92、风机；93、收集槽；94、金属过滤网；95、静电发生器；10、计算机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种半导体视觉检测装置，包括底座1，底座1的顶部固定安装有输送带2，底座1的顶部固定安装有两个对称分布的立柱3，两个立柱3之间设置有承托架4，承托架4的底部固定安装有电动伸缩杆5，电动伸缩杆5的底端固定安装有工业相机6，承托架4的两端底部固定安装有led灯7，立柱3上固定安装有对承托架4水平移动调节的水平移动机构8，工业相机6的一侧设置有除尘机构9，底座1上固定安装有计算机10。

本实施例中，输送带2的两端内部分别转动安装有转动滚筒21，转动滚筒21的一侧设置有电机，转动滚筒21固定安装在电机的输出端，转动滚筒21通过电机驱动转动，转动滚筒21转动带动输送带2转动进而通过输送带2对放置在其上的半导体进行输送；电动伸缩杆5、工业相机6分别通过导线与外部电源电性连接，工业相机6的信号输出端与计算机10的信号输入端连接，通过工业相机6采集图像，并将采集图像信息输送给计算机10，通过计算机10对图像进行智能分析实现视觉检测；水平移动机构8包括丝杆81和限位杆82，限位杆82两端分别与立柱3固定连接，丝杆81一端通过轴承83与立柱3转动连接，另一端贯穿立柱3与从动带轮84固定连接，从动带轮84一侧通过皮带传动连接有主动带轮85，主动带轮85固定安装在电机86的输出端，丝杆81、限位杆82上套设有调节块87，调节块87上开设有螺纹孔871和限位孔872，调节块87通过螺纹孔871与丝杆81螺纹传动连接，调节块87通过限位孔872与限位杆82滑动连接，电机86固定安装在立柱3上，电机86通过导线与外部电源电性连接，启动电机86，电机86通过电力驱动主动带轮85转动，利用主动带轮85与从动带轮84皮带传动连接带动从动带轮84转动，进而带动丝杆81转动，利用调节块87与丝杆81螺纹传动连接带动调节块87水平移动进而带动调节块87下方工业相机6和led灯7水平移动；除尘机构9包括固定安装在立柱3上的支架91，支架91的底部固定安装有风机92，底座1的顶部固定安装有收集槽93，收集槽93内部固定安装有金属过滤网94，收集槽93外壁固定安装有静电发生器95，金属过滤网94通过导线与静电发生器95电性连接，启动风机92能在半导体输送至工业相机6下方的检测工位前对其表面粘附的灰尘或污垢进行吹除，进而避免灰尘污垢残留表面对检测结果造成影响，同时在风机92下方设置金属过滤网94，将金属过滤网94通过导线与静电发生器95的负极连接进而使金属过滤网94带负电荷，从而可通过静电吸附将吹除的灰尘进行快速吸附，达到对扬起灰尘收集处理的目的。

该一种半导体视觉检测装置使用时，通过设置输送带2，可用于将半导体放置在输送带2上，通过输送带2将半导体输送至工业相机6下方的检测工位上，进而解决传统检测装置一般采用人工取放料的作业方式，检测效率低、不便于批量检测的问题；另外在工业相机6两侧分别固定安装有led灯7，在利用工业相机6采集图像时，通过led灯7用于辅助照明，提高工业相机6采集图像清晰度，提高检测结果准确性，工业相机6采集图像后将采集图像信息传输给计算机10，通过计算机10对图像智能分析比对，进行视觉检测，实现对半导体表面缺陷检测，同时通过设置水平移动机构8以及电动伸缩杆5可用于对工业相机6进行水平以及高度位置调节，进而使工业相机6达到最佳采像位置，提高采像清晰度；检测时通过设置除尘机构9，启动风机92能在半导体输送至工业相机6下方的检测工位前对其表面粘附的灰尘或污垢进行吹除，进而避免灰尘污垢残留表面对检测结果造成影响，同时在风机92下方设置金属过滤网94，将金属过滤网94通过导线与静电发生器95的负极连接进而使金属过滤网94带负电荷，从而可通过静电吸附将吹除的灰尘进行快速吸附，达到对扬起灰尘收集处理的目的，进而避免灰尘吸附对后期检测造成影响，影响检测结果准确性。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体视觉检测装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有输送带(2)，所述底座(1)的顶部固定安装有两个对称分布的立柱(3)，两个所述立柱(3)之间设置有承托架(4)，所述承托架(4)的底部固定安装有电动伸缩杆(5)，所述电动伸缩杆(5)的底端固定安装有工业相机(6)，所述承托架(4)的两端底部固定安装有led灯(7)，所述立柱(3)上固定安装有对承托架(4)水平移动调节的水平移动机构(8)，所述工业相机(6)的一侧设置有除尘机构(9)，所述底座(1)上固定安装有计算机(10)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体视觉检测装置，其特征在于：所述输送带(2)的两端内部分别转动安装有转动滚筒(21)，所述转动滚筒(21)的一侧设置有电机，所述转动滚筒(21)固定安装在所述电机的输出端，所述转动滚筒(21)通过所述电机驱动转动。

3.根据权利要求1所述的一种半导体视觉检测装置，其特征在于：所述电动伸缩杆(5)、工业相机(6)分别通过导线与外部电源电性连接，所述工业相机(6)的信号输出端与计算机(10)的信号输入端连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体视觉检测装置，其特征在于：所述水平移动机构(8)包括丝杆(81)和限位杆(82)，所述限位杆(82)两端分别与立柱(3)固定连接，所述丝杆(81)一端通过轴承(83)与立柱(3)转动连接，另一端贯穿立柱(3)与从动带轮(84)固定连接，所述从动带轮(84)一侧通过皮带传动连接有主动带轮(85)，所述主动带轮(85)固定安装在电机(86)的输出端，所述丝杆(81)、限位杆(82)上套设有调节块(87)，所述调节块(87)上开设有螺纹孔(871)和限位孔(872)，所述调节块(87)通过螺纹孔(871)与丝杆(81)螺纹传动连接，所述调节块(87)通过限位孔(872)与限位杆(82)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体视觉检测装置，其特征在于：所述电机(86)固定安装在立柱(3)上，所述电机(86)通过导线与外部电源电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体视觉检测装置，其特征在于：所述除尘机构(9)包括固定安装在立柱(3)上的支架(91)，所述支架(91)的底部固定安装有风机(92)，所述底座(1)的顶部固定安装有收集槽(93)，所述收集槽(93)内部固定安装有金属过滤网(94)，所述收集槽(93)外壁固定安装有静电发生器(95)，所述金属过滤网(94)通过导线与静电发生器(95)电性连接。

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