CN219282438U - 一种入口阀 - Google Patents

Abstract

本申请属于真空设备领域，公开了一种入口阀，包括壳体，壳体包括位于壳体上部的腔体以及位于腔体下部的第一流通口和第二流通口，第一流通口连接真空设备的进气端，第二流通口连接真空容器；腔体内设膜片，膜片将腔体分隔为第一腔室和第二腔室，还包括阀杆、弹簧，阀杆一端与膜片固定连接，另一端设有用于遮挡或暴露第一流通口的阀板，弹簧位于第二腔室内，弹簧用于提供弹性力以使在第一腔室和第二腔室压力相等时使阀板封闭第一流通口；第二腔室和真空设备的进气端之间设有第一管道；还包括一可控制开闭的气体通道，所述气体通道用于使第一腔室和第二腔室压力平衡；通过上述设计，使得真空设备在停止工作时，真空设备与真空容器的导通及时断开。

Description

一种入口阀

技术领域

本申请涉及真空设备领域，尤其涉及一种入口阀。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

在现有技术中，真空泵存在一个难以解决的问题，即，真空泵由于自身结构等问题使其在热过载时具有较高的风险，因此，如果在高压力下启动真空泵，真空泵将以较高的功率工作大量时间，此过程中产生的热量可能会导致真空泵内部元器件损毁，因此当真空泵启动时，减小真空入口处压力的波动值尤为关键；

另一方面，当真空泵为注油真空泵，并在真空泵停止工作时，真空泵内部的油气混合物容易受真空泵与真空容器的压力差导致油气混合物倒灌入被抽真空容器，而该问题的现有技术解决方案为，在真空泵的入口通道设置多个组合阀门，组合阀门在真空泵关闭后，经过多个阀门协作，最终断开真空泵与被抽真空容器之间的导通关系，以此确实能够在一定程度上解决上述油气混合物倒灌的问题，但，组合泵一方面提高了整个系统的复杂性，而复杂性的提高往往降低了系统的容错率，同时，组合阀门在成本方面无疑对使用者而言是一个难以忽略的问题。

本申请需要解决的问题：如何开发一种结构简单，同时能够减小真空泵开机时压力波动值的入口阀。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种入口阀，该入口阀在真空设备开机时，能够通过自身的结构设计，较为缓慢地拓宽真空设备与被抽真空容器之间的流通路径的截面面积，进而使得真空设备与被抽真空容器之间的流体流量缓慢提升，以此减小真空设备入口处的压力波动；同时，当该入口阀结构简单，一方面，提高了整个系统的容错率，另一方面也降低了整个系统的成本。

为实现上述目的，本申请所采用的技术方案：

一种入口阀，包括壳体，所述壳体包括位于壳体上部的腔体以及位于腔体下部的第一流通口和第二流通口，所述第一流通口连接外设的真空设备的进气端，所述第二流通口连接外设的真空容器；所述腔体内部设有膜片，所述膜片将腔体分隔为上下排布的第一腔室和第二腔室，还包括阀杆、弹簧，所述阀杆一端与膜片固定连接，另一端设有用于遮挡或暴露第一流通口的阀板，所述弹簧位于第二腔室内，所述弹簧用于提供弹性力以使在第一腔室和第二腔室压力相等时使阀板封闭第一流通口；

所述第二腔室和真空设备的进气端之间设有第一管道；

还包括一可控制开闭的气体通道，所述气体通道用于使第一腔室和第二腔室压力平衡。

优选地，所述气体通道包括第二管道，所述第二管道一端连接第一腔室，另一端连接第二腔室、真空设备的进气端、第二流通口、第一管道中的任一者；

所述第二管道上设有第一阀门。

优选地，还包括第三管道，所述第三管道一端与大气导通，另一端连接第一腔室、第二腔室中的至少一者；

当第三管道一端与大气导通，另一端连接第二腔室时，第三管道设有第二阀门。

优选地，还包括一端与大气导通的第一支管，所述第一支管设置在第一管道、第二管道至少一者上；

当第一支管设置于第一管道上时，第一支管设有第三阀门；

当第一支管设置于第二管道上时，第一支管与第二管道连接处设有第四阀门，所述第四阀门为三通阀，当三通阀处于第一状态时，第一腔室与大气导通且不与第二腔室导通；

当三通阀处于第二状态时，第一腔室与第二腔室导通且不与大气导通。

优选地，所述第一管道和外设的真空设备导通的一端设有节流阀。

优选地，所述第一流通口设置于腔体的正下方，所述第二流通口设置于腔体的下方或侧下方，所述第一腔室、第二腔室、第一流通口的中心线在同一直线上；

所述阀板位于第一流通口的下方。

优选地，所述第一流通口设有环形凸出部，当外设的真空设备停止工作时，所述第一腔室与第二腔室的压力相同，所述弹簧带动阀板上行，且阀板与环形凸出部配合并阻断第一流通口与第二流通口的导通。

优选地，所述膜片边缘设有环形凸起部，所述第一腔室内壁设有环形凹陷部，所述环形凹陷部与环形凸起部的位置对应。

优选地，所述弹簧套设在阀杆的外表面，且弹簧的两端分别与第二腔室和膜片固定连接，所述第二腔室设有环形阻挡件，所述环形阻挡件用于限制弹簧在径向的运动。

优选地，所述真空设备的进气端设有第四管道，所述第四管道用于使真空设备的进气端与大气导通，所述第四管道上设有第五阀门，所述第五阀门为节流阀。

本申请的有益效果是：

本申请中的入口阀在真空设备开机时，能够通过自身的结构设计，较为缓慢地拓宽真空设备与被抽真空容器之间的流通路径的截面面积，进而使得真空设备与被抽真空容器之间的流体流量缓慢提升，以此减小真空设备入口处的压力波动；同时，当该入口阀结构简单，一方面，提高了整个系统的容错率，另一方面也降低了整个系统的成本。

附图说明：

图1为实施例1中真空设备关闭后入口阀的剖视图；

图2为实施例1中真空设备开启后入口阀的剖视图；

图3为实施例1中变形1的真空设备关闭后入口阀的剖视图；

图4为实施例1中变形1的真空设备开启后入口阀的剖视图；

图5为实施例1中变形2的真空设备关闭后入口阀的剖视图；

图6为实施例1中变形2的真空设备开启后入口阀的剖视图；

图7为实施例2中真空设备关闭后入口阀的剖视图；

图8为实施例2中真空设备开启后入口阀的剖视图；

图9为实施例2中变形3的真空设备关闭后入口阀的剖视图；

图10为实施例2中变形3的真空设备开启后入口阀的剖视图；

图11为实施例3中真空设备关闭后入口阀的剖视图；

图12为实施例3中真空设备开启后入口阀的剖视图；

图13为实施例3中变形4的真空设备关闭后入口阀的剖视图；

图14为实施例3中变形4的真空设备开启后入口阀的剖视图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

实施例1

参考图1-6，一种入口阀，包括壳体1，所述壳体1包括位于壳体1上部的腔体2以及位于腔体2下部的第一流通口3和第二流通口4，所述第一流通口3连接外设的真空设备的进气端，所述第二流通口4连接外设的真空容器；所述腔体2内部设有膜片5，所述膜片5将腔体2分隔为上下排布的第一腔室6和第二腔室7，还包括阀杆8、弹簧9，所述阀杆8一端与膜片5固定连接，另一端设有用于遮挡或暴露第一流通口3的阀板10，其特征在于，所述弹簧9位于第二腔室7内，所述弹簧9用于提供弹性力以使在第一腔室6和第二腔室7压力相等时使阀板10封闭第一流通口3；

所述第二腔室7和真空设备的进气端之间设有第一管道11；

还包括一可控制开闭的气体通道12，所述气体通道12用于使第一腔室6和第二腔室7压力平衡。

在本实施例中，所述入口阀的工作原理为：

所述入口阀的第一流通口3连接外设的真空设备，所述第二流通口4连接外设的真空容器，需要说明的是，本实施例中外设的真空设备为真空泵，具体地，本实施例的真空泵选自螺杆真空泵，在实际应用时，所述真空泵可以选自：单齿真空泵、双齿真空泵、爪式真空泵、涡旋真空泵、涡轮真空泵、螺杆真空泵、回转叶片真空泵，上述类型的真空泵中的每一种真空泵均可以是无油型或注油型。

当真空泵为无油型真空泵时，入口阀按照上述的连接方式与外设的真空设备、真空容器连接后，此时，入口阀的阀板10处于遮挡第一流通口3的状态；随后，开启真空设备，由于第二腔室7与真空设备的进气端之间的第一管道11使得二者处于导通状态，因此，二者内部压力一致，与此同时，将可控制开闭的气体通道12闭合，使第一腔室6、第二腔室7无法处于压力平衡状态，但需注意的是，在开启真空设备瞬间第一腔室6、第二腔室7仍处于压力平衡状态，随后，由于真空设备开始抽气，第二腔室7内部气体流入真空设备，导致其内部压力缓慢降低，第一腔室6、第二腔室7仍处于压力平衡状态被打破并产生压力差，而压力差的方向朝向第二腔室7，因此，膜片5受压力推动向第二腔室7也就是腔体2下方缓慢移动，同时，膜片5带动阀板10缓慢下行，入口阀的阀板10逐渐暴露第一流通口3，真空设备与真空容器之间的流通路径的截面面积缓慢增加，真空设备与真空容器之间的流体流量缓慢增加。

因此，通过上述设计，使得真空设备在开机时压力波动得到缓冲或抑制作用，进而减少了真空设备最大功率工作的时间，使真空设备在开机过程中产生的热量得到抑制，减小了真空设备热过载的风险。

上述情况对无油型真空泵、注油型真空泵均适用，在实际生产过程中，当真空泵为注油型真空泵时，本申请的保持上述优势的同时，又发挥出另一优势，由于注油型真空泵在关机时其进气端与真空容器之间存在压力差，而该压力差会造成注油型真空泵内部的油气混合物倒灌入真空容器，本申请能够利用其自身的结构实现在注油型真空泵与真空容器之间的压力差产生之前，断开注油型真空泵与真空容器导通关系，进而解决注油型真空泵内部的油气混合物倒灌入真空容器的问题，其原理为：当注油型真空泵关机时，将可控制开闭的气体通道12开启，使第一腔室6、第二腔室7恢复压力平衡，同时，需要注意的是，在注油型真空泵关机时，其进气端仍然会有短暂的时间处于负压状态，因此与其导通的第二腔室7处于负压状态，而在将可控制开闭的气体通道12开启后，第一腔室6、第二腔室7恢复压力平衡且均处于负压状态，随后，由于第一腔室6、第二腔室7恢复压力平衡，因此二者之间在开机状态时的压力差消失，在二者之间的压力差消失之后，弹簧9推动膜片5上行，进而带通阀杆8、阀板10上行，入口阀的阀板10由暴露第一流通口3的状态过渡到遮挡第一流通口3的状态，随后注油型真空泵与真空容器之间的导通关系断开，油气混合物倒灌入真空容器的问题得到解决。

在实际操作过程中，由于真空设备关闭后的入口阀，其第一腔室6、第二腔室7仍处于负压状态，在下次真空设备启动时，可能造成真空设备的高功率运行，因此，建议在真空设备关闭后，并保证真空设备不会排除气体、真空容器内部不会进入气体的同时，断开第一流通口3与真空设备、第二流通口4与真空容器之间的连接关系，使第一腔室6、第二腔室7内部的压力恢复至大气压。

本申请中，所述气体通道12包括多种实现形式，具体包括以下几种类型：

类型1：所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一腔室6，另一端连接第二腔室7、真空设备的进气端、第二流通口4、第一管道11中的任一者；

所述第二管道13上设有第一阀门14；

类型2：在类型1的基础上，还包括第三管道16，所述第三管道16一端与大气导通，另一端连接第一腔室6、第二腔室7中的至少一者；

当第三管道16一端与大气导通，另一端连接第二腔室7时，第三管道16设有第二阀门17。

类型3：在类型1、或类型2的基础上，还包括一端与大气导通的第一支管24，所述第一支管24设置在第一管道11、第二管道13至少一者上；

当第一支管24设置于第一管道11上时，第一支管24设有第三阀门15；

当第一支管24设置于第二管道13上时，第一支管24与第二管道13连接处设有第四阀门18，所述第四阀门18为三通阀，当三通阀处于第一状态时，第一腔室6与大气导通且不与第二腔室7导通；

当三通阀处于第二状态时，第一腔室6与第二腔室7导通且不与大气导通。

具体到本实施例所展示的气体通道实现方式为：

所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一腔室6，另一端连接第二流通口4；

第二管道13上设有第一阀门14；

还包括一端与大气导通的第一支管24，所述第一支管24分布设置在第一管道11、第二管道13上；

第一管道11上的第一支管24设有第三阀门15；

第二管道13上的第一支管24与第二管道13连接处设有第四阀门18，所述第四阀门18为三通阀，当三通阀处于第一状态时，第一腔室6与大气导通且不与第二腔室7导通，由于此设计使得第一阀门14可以省略，因此，本实施例并未展示第一阀门14，但在其他实施例中第一阀门14有所展示。

当三通阀处于第二状态时，第一腔室6与第二腔室7导通且不与大气导通。

本实施例中真空设备的开机方法包括以下步骤：

步骤1：准备开机，调整第四阀门18至第一状态，使第一腔室6与第二腔室7处于不导通，且与大气导通；

步骤2：开机，启动真空设备，第二腔室7内部压力减小，第一腔室6、第二腔室7产生压力差；

步骤3：第一腔室6、第二腔室7的压力差使膜片5下行进而带动阀板10下行，第一流通口3、第二流通口4导通。

本实施例中真空设备的停机方法包括以下两种，操作者可任选其一：

方法一：

步骤1：准备停机，开启第一支管24上的第三阀门15；

步骤2：停机，第二腔室7与大气导通，进而恢复至大气压，随后第一腔室6、第二腔室7压力平衡，阀板上行，第一流通口被遮挡，真空设备与真空容器之间的导通关系断开。

方法二：

步骤1：准备停机，调整第四阀门18至第二状态，第一腔室6与第二腔室7导通且不与大气导通；

步骤2：停机，第一腔室6、第二腔室7恢复气压平衡，阀板10上行，第一流通口3被遮挡，真空设备与真空容器之间的导通关系断开。

在本实施例中，当外设的真空设备停止工作的瞬间，其靠近第一流通口3的部分仍处于负压状态，此时，开启第一阀门14，真空设备仍然会吸走大量的来自第一腔室6的气体，可能导致第一腔室6、第二腔室7恢复气压平衡的耗时增加，延迟阀板10上升的时间，而在第一管道11和外设的真空设备导通的一端设置节流阀19可以减少真空设备分走气体量，加快第一腔室6、第二腔室7恢复气压平衡，提前阀板10上升的时间；因此，优选地，所述第一管道11和外设的真空设备导通的一端设有节流阀19。

在本实施例中，为了减小入口阀的体积，作为优选地，所述第一流通口3设置于腔体2的正下方，所述第二流通口4设置于腔体2的下方或侧下方，所述第一腔室6、第二腔室7、第一流通口3的中心线在同一直线上；

所述阀板10位于第一流通口3的下方。

隐含地，阀板10上行后，阀板10遮挡第一流通口3，真空设备与真空容器导通关系被阻断；当阀板10下行后，阀板10暴露第一流通口3，真空设备与真空容器导通。

在本实施例中，为了提高阀板10遮挡第一流通口3的效果，作为优选地，所述第一流通口3设有环形凸出部20，当外设的真空设备停止工作时，所述第一腔室6与第二腔室7的压力相同，所述弹簧9带动阀板10上行，且阀板10与环形凸出部20配合并阻断第一流通口3与第二流通口4的导通；当然，实际应用中，也可将阀板10的面积设置为大于第二流通口4的面积，如此，依然可以做到阀板10对第二流通口4的遮挡，但遮挡效果会有所下降。

在本实施例中，为了提高膜片5对腔体2的分隔效果，提高第一腔室6、第二腔室7之间的气密性，作为优选地，所述膜片5边缘设有环形凸起部21，所述第一腔室6内壁设有环形凹陷部22，所述环形凹陷部22与环形凸起部21的位置对应，需要说明的是，膜片5在其移动路径的任一位置时，所述环形凸起部21与环形凹陷部22始终处于相互配合的状态。

在本实施例中，较为常规地，所述弹簧9套设在阀杆8的外表面，且弹簧9的两端分别与第二腔室7和膜片5固定连接，同时，为了防止弹簧9在径向上的偏移，所述第二腔室7设有环形阻挡件23，所述环形阻挡件23用于限制弹簧9在径向的运动。

需要说明的是，为了便于理解，本实施例还展示了实施例1的几种其他实现形式，

变形1：如图3-4所示，所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一腔室6，另一端连接第二流通口4，第二管道13上设有第一阀门14；

还包括第三管道16，所述第三管道16一端与大气导通，另一端连接第一腔室6；

还包括一端与大气导通的第一支管24，所述第一支管24设置在第一管道11上；且第一支管24设有第三阀门15。

变形2：如图5-6所示，所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一腔室6，另一端连接第二流通口4，第二管道13上设有第一阀门14；

还包括2个第三管道16，其中一个第三管道16一端与大气导通，另一端连接第一腔室6；

另一个第三管道16一端与大气导通，另一端连接第二腔室7，且设有第二阀门17。

在本申请中，考虑到市面上有部分真空设备需要在开机前有空气进入才可以正常运转，因此，作为优选地，所述真空设备的进气端设有第四管道，所述第四管道用于使真空设备的进气端与大气导通，所述第四管道上设有第五阀门，同时，为了防止真空设备开机时压力波动较大，因此，更为优选地，所述第五阀门为节流阀，但需要说明的是，本实施例中由于真空泵并不需要上述第四管道，因此，并未展示上述包括第四管道的入口阀，在实际应用时，操作者可根据实际需求决定是否需要安装第四管道。

实施例2

本实施例与实施例1基本相同，区别在于，如图7-8所示，所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一腔室6，另一端连接第二流通口4，第二管道13上设有第一阀门14；

还包括一端与大气导通的第一支管24，所述第一支管24设置在第一管道11上；且第一支管24设有第三阀门15。

本实施例中真空设备的开机方法包括以下步骤：

步骤1：准备开机，关闭第三阀门15，关闭第一阀门14，使第一腔室6、第二腔室7不导通；

步骤2：开机，启动真空设备，第二腔室7内部压力减小，第一腔室6、第二腔室7产生压力差；

步骤3：第一腔室6、第二腔室7的压力差使膜片5下行进而带动阀板10下行，第一流通口3、第二流通口4导通。

本实施例中真空设备的停机方法包括两种：

方法一：

步骤1：准备停机，开启第三阀门15，使大气与第二腔室7导通；

步骤2：停机，第一腔室6、第二腔室7的压力差消失，膜片5上行进而带动阀板10上行，第一流通口3、第二流通口4导通被阻断。

方法二：

步骤1：准备停机，开启第一阀门14，使第一腔室6与第二腔室7导通；

步骤2：停机，第一腔室6、第二腔室7的压力差消失，膜片5上行进而带动阀板10上行，第一流通口3、第二流通口4导通被阻断；

需要说明的是，为了便于理解，本实施例还展示了实施例1的其他实现形式，

变形3：如图9-10所示，所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一腔室6，另一端连接第二流通口4，第二管道13上设有第一阀门14；

还包括一端与大气导通的第一支管24，所述第一支管24设置在第一管道11上；且第一支管24设有第三阀门15；

还包括第三管道16，第三管道16一端与大气导通，另一端连接第一腔室6。

实施例3

本实施例与实施例1基本相同，区别在于，如图11-12所示，所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一管道11，第二管道13上设有第一阀门14，还包括一端与大气导通的第一支管24，所述第一支管24设置在第一管道11、所述第一支管24设有第三阀门15。

本实施例中真空设备的开机方法包括以下步骤：

步骤1：准备开机，关闭第三阀门15，关闭第一阀门14，使第一腔室6、第二腔室7不导通，第二腔室与大气不导通；

步骤2：开机，启动真空设备，第二腔室7内部压力减小，第一腔室6、第二腔室7产生压力差；

步骤3：第一腔室6、第二腔室7的压力差使膜片5下行进而带动阀板10下行，第一流通口3、第二流通口4导通。

本实施例中真空设备的停机方法包括以下两种：

方法一：

步骤1：准备停机，开启第三阀门15，使大气与第二腔室7导通；

步骤2：停机，第一腔室6、第二腔室7的压力差消失，膜片5上行进而带动阀板10上行，第一流通口3、第二流通口4导通被阻断。

方法二：

步骤1：准备停机，开启第一阀门14，使第一腔室6与第二腔室7导通；

步骤2：停机，第一腔室6、第二腔室7的压力差消失，膜片5上行进而带动阀板10上行，第一流通口3、第二流通口4导通被阻断；

变形4：如图11-12所示，所述气体通道12包括第二管道13，所述第二管道13一端连接第一管道11，第二管道13上设有第一阀门14；

还包括一端与大气导通的第一支管24，所述第一支管24设置在第一管道11、所述第一支管24设有第三阀门15；

还包括第三管道16，所述第三管道16一端与大气导通，另一端连接第一腔室6。

需要说明的是，上述实施例及变形仅为本申请中的部分实现方式，并不能概括全部的实现方式，操作人员可根据实际需求，结合生产环境及空间在上述实现方式上通过增加管道、支路、阀门等方式对本申请做出更改。

综上所述，本申请中的入口阀在真空设备开机时，能够通过自身的结构设计，较为缓慢地拓宽真空设备与被抽真空容器之间的流通路径的截面面积，进而使得真空设备与被抽真空容器之间的流体流量缓慢提升，以此减小真空设备入口处的压力波动；同时，当该入口阀结构简单，一方面，提高了整个系统的容错率，另一方面也降低了整个系统的成本。

Claims (10)

1.一种入口阀，包括壳体，所述壳体包括位于壳体上部的腔体以及位于腔体下部的第一流通口和第二流通口，所述第一流通口连接外设的真空设备的进气端，所述第二流通口连接外设的真空容器；所述腔体内部设有膜片，所述膜片将腔体分隔为上下排布的第一腔室和第二腔室，还包括阀杆、弹簧，所述阀杆一端与膜片固定连接，另一端设有用于遮挡或暴露第一流通口的阀板，其特征在于，所述弹簧位于第二腔室内，所述弹簧用于提供弹性力以使在第一腔室和第二腔室压力相等时使阀板封闭第一流通口；

所述第二腔室和真空设备的进气端之间设有第一管道；

还包括一可控制开闭的气体通道，所述气体通道用于使第一腔室和第二腔室压力平衡。

2.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述气体通道包括第二管道，所述第二管道一端连接第一腔室，另一端连接第二腔室、真空设备的进气端、第二流通口、第一管道中的任一者；

所述第二管道上设有第一阀门。

3.根据权利要求2所述的入口阀，其特征在于，还包括第三管道，所述第三管道一端与大气导通，另一端连接第一腔室、第二腔室中的至少一者；

当第三管道一端与大气导通，另一端连接第二腔室时，第三管道设有第二阀门。

4.根据权利要求2-3中任一所述的入口阀，其特征在于，还包括一端与大气导通的第一支管，所述第一支管设置在第一管道、第二管道至少一者上；

当第一支管设置于第一管道上时，第一支管设有第三阀门；

当第一支管设置于第二管道上时，第一支管与第二管道连接处设有第四阀门，所述第四阀门为三通阀，当三通阀处于第一状态时，第一腔室与大气导通且不与第二腔室导通；

当三通阀处于第二状态时，第一腔室与第二腔室导通且不与大气导通。

5.根据权利要求1-4任一所述的入口阀，其特征在于，所述第一管道和外设的真空设备导通的一端设有节流阀。

6.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述第一流通口设置于腔体的正下方，所述第二流通口设置于腔体的下方或侧下方，所述第一腔室、第二腔室、第一流通口的中心线在同一直线上；

所述阀板位于第一流通口的下方。

7.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述第一流通口设有环形凸出部，当外设的真空设备停止工作时，所述第一腔室与第二腔室的压力相同，所述弹簧带动阀板上行，且阀板与环形凸出部配合并阻断第一流通口与第二流通口的导通。

8.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述膜片边缘设有环形凸起部，所述第一腔室内壁设有环形凹陷部，所述环形凹陷部与环形凸起部的位置对应。

9.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述弹簧套设在阀杆的外表面，且弹簧的两端分别与第二腔室和膜片固定连接，所述第二腔室设有环形阻挡件，所述环形阻挡件用于限制弹簧在径向的运动。

10.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述真空设备的进气端设有第四管道，所述第四管道用于使真空设备的进气端与大气导通，所述第四管道上设有第五阀门，所述第五阀门为节流阀。

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