CN211574252U - 一种用于高真空度封堵的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于高真空度封堵的装置，属于真空封堵领域。包括密封盖，所述密封盖中心设有通道，所述通道中设有可移动的真空抽气活塞杆，所述密封盖一侧连接有真空过渡法兰；定位盘，设置在所述密封盖与所述真空过渡法兰之间，所述定位盘两侧与所述密封盖与所述真空过渡法兰之间均设有第二密封圈；导向套，设置在所述通道和真空抽气活塞杆之间，所述导向套与所述真空抽气活塞杆之间设有第一密封圈。

Description

一种用于高真空度封堵的装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于高真空度封堵的装置，属于真空封堵领域。

背景技术

真空容器在生产阶段需要进行抽真空工序，在完成抽真空后需要通过封堵过程将封堵部件安装到真空容器上达到封堵状态、保持真空度。由于封堵过程为动态过程，因此真空度的衰减问题尤为重要。目前封堵部件的安装装置在真空度损失控制上不稳定，甚至难以符合高真空度容器对真空度损失的要求。

有鉴于上述现有技术存在的问题，本实用新型结合相关领域多年的设计及使用经验，辅以过强的专业知识，设计制造了一种用于高真空度封堵的装置，来克服上述缺陷。

实用新型内容

对于现有技术中所存在的问题，本实用新型提供的一种用于高真空度封堵的装置，能够使封堵过程的密封效果大幅改善，满足高真空度容器的极低真空度损失的要求。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种用于高真空度封堵的装置，包括密封盖，所述密封盖中心设有通道，所述通道中设有可移动的真空抽气活塞杆，所述密封盖一侧连接有真空过渡法兰；

导向套，通道内设有台阶，所述导向套设置在所述通道的台阶和真空抽气活塞杆之间，所述导向套与所述真空抽气活塞杆之间设有第一密封圈；

定位盘，设置在所述密封盖与所述真空过渡法兰之间，所述定位盘两侧与所述密封盖以及所述真空过渡法兰之间均设有第二密封圈。

作为优选的技术方案，所述真空过渡法兰上设有通孔，所述定位盘中心设有凸出的凸出部，所述凸出部向所述真空过渡法兰方向凸出并与所述通孔配合；

所述凸出部上设有一径向开口，真空抽气活塞杆上设有销钉，真空抽气活塞杆向密封盖方向移动时，所述销钉对准所述径向开口可穿过所述径向开口进入所述凸出部内部。

作为优选的技术方案，靠近所述销钉的真空抽气活塞杆端设有封堵连接结构。

作为优选的技术方案，所述密封盖靠近真空过渡法兰侧设有法兰盘，所述密封盖与所述真空过渡法兰通过螺栓连接。

作为优选的技术方案，所述导向套的套口两端均设有矩形沟槽环，所述矩形沟槽环内设有所述第一密封圈与所述真空抽气活塞杆配合。

作为优选的技术方案，还包括带孔压盖，所述带孔压盖一侧设有凸环与所述通道以及真空抽气活塞杆配合，所述带孔压盖将所述导向套限制在所述通道中。

作为优选的技术方案，所述导向套两端的第一密封圈分别与通道的台阶以及带孔压盖的凸环抵触。

本实用新型的有益之处是：

1.本实用新型利用真空抽气活塞杆带动封堵部件进行封堵，由于第二密封圈和第一密封圈的位置及设计，保证了封堵部件在动态移动过程的密封效果。

2.本实用新型导向套两端均设有矩形沟槽环和第一密封圈，该结构保证了第一密封圈与导向套和真空抽气活塞杆之间具有良好的接触性，确保了静置密封性和运动密封性。

3.本实用新型定位盘与第二密封圈的设置一方面可以提高封堵操作时真空抽气活塞杆与第一密封圈、导向套的同心度，避免破坏气密性造成真空度下降；另一方面是还可保证真空过渡法兰与密封盖的连接气密性。

4.本实用新型真空抽气活塞杆的旋转动作不仅保证了与封堵部件连接的便利性，同时不影响密封效果。

附图说明

附图1为一种用于高真空度封堵的装置的剖视图；

附图2为一种用于高真空度封堵的装置的结构示意图；

附图3为一种用于高真空度封堵的装置的另一视角结构示意图；

附图4为一种用于高真空度封堵的装置的主视图。

图中，1、密封盖，2、定位盘，3、导向套，4、带孔压盖，5、第一密封圈，6、真空抽气活塞杆，7、真空过渡法兰，8、销钉，9、第二密封圈。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员理解，下面对本实用新型作进一步的说明。

如图1至图4所示，一种用于高真空度封堵的装置，包括密封盖1，密封盖1中心设有通道，通道中设有可移动的真空抽气活塞杆6，密封盖1一侧连接有真空过渡法兰7，真空过渡法兰7会与真空过渡筒连接，其具体位置关系为：真空过渡筒内设有超高真空插板阀，超高真空插板阀内侧通过真空过渡筒与真空容器连接，超高真空插板阀外侧的真空过渡筒内连接有本实用新型；

还包括导向套3，通道内设有台阶，导向套3设置在通道的台阶和真空抽气活塞杆6之间，导向套3与真空抽气活塞杆6之间设有第一密封圈5，从而保证真空抽气活塞杆6带动封堵部件进行封堵时，保证第一密封圈5与导向套3和真空抽气活塞杆6之间具有良好的接触性，不会因真空抽气活塞杆6的移动产生密封问题。

还包括定位盘2，其设置在密封盖1与真空过渡法兰7之间，定位盘2两侧与密封盖1以及真空过渡法兰7之间均设有第二密封圈9，其主要目的一方面是为了提高封堵操作时真空抽气活塞杆6与第一密封圈5、导向套3的同心度，避免破坏气密性造成真空度下降；另一方面是为了保证真空过渡法兰7与密封盖1的连接气密性；

本实用新型真空过渡法兰7上设有通孔，定位盘2中心设有凸出的凸出部，凸出部向真空过渡法兰7方向凸出并与通孔配合；凸出部上设有一径向开口，真空抽气活塞杆6上设有销钉8，真空抽气活塞杆6向密封盖1方向移动时，销钉8对准径向开口可穿过径向开口进入凸出部内部，其目的是为了防止真空容器中存在压力差对真空抽气活塞杆6产生位移影响。

本实用新型靠近销钉8的真空抽气活塞杆6端设有封堵连接结构，其能通过旋转动作与封堵部件配合，而旋转动作并不会对密封性产生影响。

密封盖1靠近真空过渡法兰7侧设有法兰盘，密封盖1与真空过渡法兰7通过螺栓连接，该螺栓是设置在法兰盘上的，第二密封圈9要设置在螺栓分布的内侧。

本实用新型导向套3的套口两端均设有矩形沟槽环，矩形沟槽环内设有所述第一密封圈5与真空抽气活塞杆6配合。为了保证导向套3的定位，本实用新型还包括带孔压盖4，带孔压盖4一侧设有凸环与通道以及真空抽气活塞杆6配合，带孔压盖4将导向套3限制在通道中。凸环端部与导向套3一端设有第一密封圈5，导向套3另一端与通道的内部台阶之间也设有第一密封圈5，从而保证其密封性，导向套3两端的第一密封圈5分别与通道的台阶以及带孔压盖4的凸环抵触。本实用新型通过在导向套3的两端均设置矩形沟槽和第一密封圈5，保证了第一密封圈5与导向套3和活塞杆6之间具有良好的接触性，确保了静置密封性和运动密封性。

具体操作步骤：

第一密封圈5和第二密封圈9及真空抽气活塞杆6的推拉接触部分涂抹真空硅脂，封堵部件初始位置与超高真空插板阀外侧的真空过渡筒连接，首先将真空抽气活塞杆6回拉，使销钉8进入凸出部中，并将销钉8与定位盘2的径向开口错开以锁住真空抽气活塞杆6位置，防止发生压力差导致的位移。

将超高真空插板阀外侧的真空过渡筒抽真空，当真空度达到高真空度要求后，打开超高真空插板阀，转动真空抽气活塞杆6，使销钉8与定位盘2的径向开口对接好，解除真空抽气活塞杆6的自锁，推送真空抽气活塞杆6和封堵部件至超高真空插板阀内侧的真空容器封堵口，完成后将真空抽气活塞杆6从封堵部件上旋转脱出，密封完成。

对于本领域的普通技术人员而言，根据本实用新型的教导，在不脱离本实用新型的原理与精神的情况下，对实施方式所进行的改变、修改、替换和变型仍落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：包括密封盖，所述密封盖中心设有通道，所述通道中设有可移动的真空抽气活塞杆，所述密封盖一侧连接有真空过渡法兰；

导向套，通道内设有台阶，所述导向套设置在所述通道的台阶和真空抽气活塞杆之间，所述导向套与所述真空抽气活塞杆之间设有第一密封圈；

定位盘，设置在所述密封盖与所述真空过渡法兰之间，所述定位盘两侧与所述密封盖以及所述真空过渡法兰之间均设有第二密封圈。

2.如权利要求1所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述真空过渡法兰上设有通孔，所述定位盘中心设有凸出的凸出部，所述凸出部向所述真空过渡法兰方向凸出并与所述通孔配合；

所述凸出部上设有一径向开口，真空抽气活塞杆上设有销钉，真空抽气活塞杆向密封盖方向移动时，所述销钉对准所述径向开口可穿过所述径向开口进入所述凸出部内部。

3.如权利要求2所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：靠近所述销钉的真空抽气活塞杆端设有封堵连接结构。

4.如权利要求1所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述密封盖靠近真空过渡法兰侧设有法兰盘，所述密封盖与所述真空过渡法兰通过螺栓连接。

5.如权利要求1所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述导向套的套口两端均设有矩形沟槽环，所述矩形沟槽环内设有所述第一密封圈与所述真空抽气活塞杆配合。

6.如权利要求5所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：还包括带孔压盖，所述带孔压盖一侧设有凸环与所述通道以及真空抽气活塞杆配合，所述带孔压盖将所述导向套限制在所述通道中。

7.如权利要求6所述的一种用于高真空度封堵的装置，其特征在于：所述导向套两端的第一密封圈分别与通道的台阶以及带孔压盖的凸环抵触。

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