CN219468582U - 一种改进型真空排气设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种改进型真空排气设备，用于石英管的抽真空排气，包括：真空腔体、破真空系统、低真空系统、高真空系统，低真空系统附加了旁抽管路。设备工作时先由干泵通过旁抽管路抽真空，由于旁抽管内径小，抽速低，避免了抽真空过程中由于石英管与石英管塞之间间隙小，管塞封闭端内外有压差而引起的管塞位置移动。
Description
技术领域
本实用新型涉及抽真空设备领域，具体涉及一种石英管抽真空排气设备。
背景技术
半导体材料的闭管扩散需要将扩散源、半导体晶片真空密封在石英管中，通常石英管一端封闭，另一端开口，从开口端放入扩散源、半导体晶片，再放入配套的石英管塞，管塞一端封闭，另一端开口，开口端朝向石英管开口端，然后将石英管开口端接入真空排气设备接口，真空排气设备依次用低真空系统、高真空系统对石英管进行抽真空、排气，然后用高温火焰在石英管放管塞位置处烘烤，将两者软化封接。
为降低封接难度，避免封接漏气，需要减小石英管与管塞之间的间隙，这个间隙控制在0.5～1mm之间，由于间隙小，在抽低真空时管塞封闭端内外两侧真空度往往达不到平衡，产生的压差会推动管塞向石英管管口方向移动，致使不能在原位封接。
发明内容
为克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种改进型真空排气设备，解决了石英管抽真空排气过程中管塞位置的移动。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：
一种改进型真空排气设备，包括：真空腔体、破真空系统、低真空系统、高真空系统，所述低真空系统包括：干泵、低真空规、电磁阀、低真空管，所述低真空管依次连接所述干泵、低真空规、电磁阀并与真空腔体相连，所述低真空系统附加了旁抽管路，所述旁抽管路包括旁抽管、旁抽阀，所述旁抽管一端与低真空规相连，另一端与真空腔体相连，所述旁抽阀安装在旁抽管上。
优选地，所述旁抽管内径为4～8mm。
优选地，所述旁抽阀采用波纹管密封阀。
本实用新型产生的有益效果是：设备工作初始由旁抽管路预先抽真空，由于旁抽管内径小，抽速低，在石英管与管塞间隙小的情况下仍可保证管塞封闭端内外两侧不产生明显压差，不会引起管塞移动，当真空度升高后，再依次用低真空系统、高真空系统抽真空，虽然抽速大，但石英管内真空度高，依然在管塞封闭端内外两侧不会引起大的压差，不会导致管塞移动，解决了抽真空过程中管塞移位问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图
图1中：1为真空腔体，2为破真空系统，3为低真空系统，4为高真空系统，11为设备接口，12为石英管，13为石英管塞，31为干泵，32为低真空规，33为电磁阀，34为低真空管，35为旁抽管路，351为旁抽管，352为旁抽阀。
具体实施方式
如图1所示：一种改进型真空排气设备，包括：真空腔体1、破真空系统2、低真空系统3、高真空系统4，所述低真空系统3包括：干泵31、低真空规32、电磁阀33、低真空管34，所述低真空管34依次连接所述干泵31、低真空规32、电磁阀33并与真空腔体1相连，所述低真空系统3附加了旁抽管路35，所述旁抽管路35包括：旁抽管351、旁抽阀352，所述旁抽管351一端与低真空规32相连，另一端与真空腔体1相连，所述旁抽阀352安装在旁抽管351上，用于旁抽管路的开、闭。
所述旁抽管351内径为5mm。
所述旁抽阀352采用波纹管密封阀。
具体工作过程：将石英管12插入真空排气台接口11，并拧紧螺口，启动干泵31，再慢慢打开旁抽阀352，再打开低真空规32，由干泵经旁抽管路35抽真空，观察由低真空规32所测真空度值，当真空度基本稳定后，再依次用低真空系统3、高真空系统4抽真空，然后用高温火焰在石英管放管塞13处进行高温烘烤，使两者软化封接，最后通过破真空系统2破真空，取下石英管12。
本实用新型在低真空系统附加了旁抽管路，设备工作初始由旁抽管路预先抽真空，由于旁抽管内径小、抽速低，解决了抽真空过程中管塞在石英管中的位置移动。
上述说明是对本实用新型较佳实施例的详细说明，但实施例并非用以限定本实用新型的专利申请范围，凡本实用新型所提示的技术精神下所完成的等同替换或改变均应属于本实用新型所涵盖专利范围。
Claims (3)
1.一种改进型真空排气设备，包括：真空腔体(1)、破真空系统(2)、低真空系统(3)、高真空系统(4)，所述低真空系统(3)包括：干泵(31)、低真空规(32)、电磁阀(33)、低真空管(34)，所述低真空管(34)依次连接所述干泵(31)、低真空规(32)、电磁阀(33)并与真空腔体(1)相连，其特征在于所述低真空系统(3)附加了旁抽管路(35)，所述旁抽管路(35)包括：旁抽管(351)、旁抽阀(352)，所述旁抽管(351)一端与低真空规(32)相连，另一端与真空腔体(1)相连，所述旁抽阀(352)安装在旁抽管(351)上。
2.根据权利要求1所述一种改进型真空排气设备，其特征在于所述旁抽管(351)内径为4～8mm。
3.根据权利要求1所述一种改进型真空排气设备，其特征在于所述旁抽阀(352)采用波纹管密封阀。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222106642.2U CN219468582U (zh) | 2022-08-07 | 2022-08-07 | 一种改进型真空排气设备 |
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Publications (1)
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| CN219468582U true CN219468582U (zh) | 2023-08-04 |
Family
ID=87466828
Family Applications (1)
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| CN202222106642.2U Active CN219468582U (zh) | 2022-08-07 | 2022-08-07 | 一种改进型真空排气设备 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN219468582U (zh) |
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2022
- 2022-08-07 CN CN202222106642.2U patent/CN219468582U/zh active Active
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