CN219160136U - 一种电子级三氯化硼充装系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种电子级三氯化硼充装系统，所述充装系统以成品输送管路（8）向充装位的充装管路（10）输送三氯化硼气体；充装管路处并接有用于吹扫充装管路的吹扫气系统，还并接有用于排空充装管路内气体的真空系统；吹扫气系统的气路上顺序设置高纯氮输送管路（1）和由多个纯化器（3）组成的纯化器阵列；所述真空系统包括真空泵（6）和尾气管路（7）；所述尾气管路始端与真空泵输出端相连，末端与尾气塔相连；本实用新型能在电子级三氯化硼气体充装过程中有效去除气体输送管路中的残留空气组分。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子气体充装技术领域，尤其是一种电子级三氯化硼充装系统。
背景技术
电子级三氯化硼是一种性能极佳的半导体材料，广泛应用于半导体领域中的晶体生长、离子掺杂、等离子刻蚀、离子束刻蚀、离子注入等工序。三氯化硼的纯度对半导体集成电路的成品率有很大的影响，近年来，随着集成电路精细程度的提高，对三氯化硼的纯度也做出更高要求。充装过程是电子级三氯化硼生产的重要环节之一，充装管路中的空气组分残留，特别是残留的水分与三氯化硼反应后生成的腐蚀性氯化氢气体和硼酸粉末，会大大降低三氯化硼品质，同时还会造成充装管路的腐蚀。
如何在电子级三氯化硼气体充装过程进行更有效的管路吹扫以去除残留空气组分，是一个研究方向。
发明内容
本实用新型提出一种电子级三氯化硼充装系统，能在电子级三氯化硼气体充装过程中有效去除气体输送管路中的残留空气组分。
本实用新型采用以下技术方案。
一种电子级三氯化硼充装系统，所述充装系统以成品输送管路（8）向充装位的充装管路（10）输送三氯化硼气体；充装管路处并接有用于吹扫充装管路的吹扫气系统，还并接有用于排空充装管路内气体的真空系统；吹扫气系统的气路上顺序设置高纯氮输送管路（1）和由多个纯化器（3）组成的纯化器阵列；所述真空系统包括真空泵（6）和尾气管路（7）；所述尾气管路始端与真空泵输出端相连，末端与尾气塔相连。
所述高纯氮输送管路经第一阀门（2）与纯化器阵列的输入端相连；纯化器阵列的输出端经第二阀门（4）引出管道与充装管路相连。
所述纯化器阵列由两个纯化器并联组成；当纯化器阵列的高纯氮通过量达2000-3000 m3时，两个纯化器中的一个处于活化工况，另一个处于备用工况。
所述纯化器为对高纯氮进行除水处理，使高纯氮气中水分降低至5-10 ppb以下的纯化器。
所述成品输送管路的始端与成品精馏塔相通，末端经充装管路与充装位的充装钢瓶容器相通，成品输送管路内的气体在精馏塔与充装钢瓶间的压差驱动下进入钢瓶，完成成品充装。
所述真空泵的输入端经带有第三阀门（5）的抽气管路与成品输送管路相通。
所述成品输送管路与充装管路之间设有充装阀门（9）。
本实用新型统结构简单、设计合理且使用效果良好，能有效防止充装过程中引入新杂质，保证电子级三氯化硼品质。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步详细的说明：
附图1是本实用新型的构造示意图；
图中：1.高纯氮输送管路，2.第一阀门，3.纯化器，4.第二阀门，5.第三阀门，6.真空泵，7.尾气管路，8.成品输送管路，9.充装阀门，10.充装管路。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细的说明。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“ 纵向”、“ 横向”、“ 上”、“ 下”、“前”、“ 后”、“ 左”、“ 右”、“ 竖直”、“ 水平”、“ 顶”、“ 底”、“ 内”、“ 外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型中，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
如图1所示，一种电子级三氯化硼充装系统，所述充装系统以成品输送管路8向充装位的充装管路10输送三氯化硼气体；充装管路处并接有用于吹扫充装管路的吹扫气系统，还并接有用于排空充装管路内气体的真空系统；吹扫气系统的气路上顺序设置高纯氮输送管路1和由多个纯化器3组成的纯化器阵列；所述真空系统包括真空泵6和尾气管路7；所述尾气管路始端与真空泵输出端相连，末端与尾气塔相连。
所述高纯氮输送管路经第一阀门2与纯化器阵列的输入端相连；纯化器阵列的输出端经第二阀门4引出管道与充装管路相连。
所述纯化器阵列由两个纯化器并联组成；当纯化器阵列的高纯氮通过量达2000-3000 m3时，两个纯化器中的一个处于活化工况，另一个处于备用工况。
所述纯化器为对高纯氮进行除水处理，使高纯氮气中水分降低至5-10 ppb以下的纯化器。
所述成品输送管路的始端与成品精馏塔相通，末端经充装管路与充装位的充装钢瓶容器相通，成品输送管路内的气体在精馏塔与充装钢瓶间的压差驱动下进入钢瓶，完成成品充装。
所述真空泵的输入端经带有第三阀门5的抽气管路与成品输送管路相通。
所述成品输送管路与充装管路之间设有充装阀门9。
实施例：
吹扫气系统执行高纯氮吹扫前，关闭其他阀门，开启真空系统，使管道内保持负压，随后打开第一阀门2和第二阀门4，使进一步除水后的高纯氮气充满管道，关闭第一阀门2和第二阀门4，开启真空系统，排空高纯氮，以上高纯氮吹扫步骤循环5-10遍；随后打开充装阀门9用高纯三氯化硼润洗管道，打开真空系统，抽掉管道中的三氯化硼，以上润洗步骤循环3-10遍；最后打开充装阀门9，向钢瓶中充装电子级三氯化硼。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种电子级三氯化硼充装系统，其特征在于：所述充装系统以成品输送管路（8）向充装位的充装管路（10）输送三氯化硼气体；充装管路处并接有用于吹扫充装管路的吹扫气系统，还并接有用于排空充装管路内气体的真空系统；吹扫气系统的气路上顺序设置高纯氮输送管路（1）和由多个纯化器（3）组成的纯化器阵列；所述真空系统包括真空泵（6）和尾气管路（7）；所述尾气管路始端与真空泵输出端相连，末端与尾气塔相连。
2.根据权利要求1所述的一种电子级三氯化硼充装系统，其特征在于：所述高纯氮输送管路经第一阀门（2）与纯化器阵列的输入端相连；纯化器阵列的输出端经第二阀门（4）引出管道与充装管路相连。
3. 根据权利要求2所述的一种电子级三氯化硼充装系统，其特征在于：所述纯化器阵列由两个纯化器并联组成；当纯化器阵列的高纯氮通过量达2000-3000 m3时，两个纯化器中的一个处于活化工况，另一个处于备用工况。
4. 根据权利要求3所述的一种电子级三氯化硼充装系统，其特征在于：所述纯化器为对高纯氮进行除水处理，使高纯氮气中水分降低至5-10 ppb以下的纯化器。
5.根据权利要求1所述的一种电子级三氯化硼充装系统，其特征在于：所述成品输送管路的始端与成品精馏塔相通，末端经充装管路与充装位的充装钢瓶容器相通，成品输送管路内的气体在精馏塔与充装钢瓶间的压差驱动下进入钢瓶，完成成品充装。
6.根据权利要求1所述的一种电子级三氯化硼充装系统，其特征在于：所述真空泵的输入端经带有第三阀门（5）的抽气管路与成品输送管路相通。
7.根据权利要求1所述的一种电子级三氯化硼充装系统，其特征在于：所述成品输送管路与充装管路之间设有充装阀门（9）。
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- 2022-09-30 CN CN202222609908.5U patent/CN219160136U/zh active Active
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