CN219106123U - 一种衬底支撑装置及负载锁定腔室 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种衬底支撑装置及负载锁定腔室，衬底支撑装置应用于负载锁定腔室，包括：至少一个支架，所述支架用于水平地支撑所述衬底，所述支架包括支撑脚，所述支撑脚与支架相连；所述支撑脚包括上表面及与上表面相连的两个侧表面；所述支撑脚还包括凹槽，所述凹槽的开口设置在上表面和其中一个侧表面上；凸起，所述凸起用于支撑衬底，且可拆卸地与支撑脚连接；其中，所述支撑脚的开口仅允许所述凸起从支撑脚的侧表面安装和拆卸，位于所述侧表面的开口的形状为倒“T”形。本实用新型的凸起可以稳定地固定在支撑脚上。

Description

一种衬底支撑装置及负载锁定腔室

技术领域

本实用新型涉及半导体设备的衬底支撑装置技术领域，特别是用于负载锁定腔室的衬底支撑装置。

背景技术

如图1所示，在负载锁定腔室内，通过衬底支撑装置200来支撑衬底(或称晶圆)，衬底支撑装置200一般包括支架201和支撑脚203，所述衬底放置在支撑脚203上，为了避免衬底的污染和划伤，会在支撑脚203上设置半圆形的凸起，该凸起一般采用蓝宝石材料，从上至下嵌入到支撑脚203上。由于凸起是从上至下嵌入支撑脚，且直接插入支撑脚的孔中，另由于凸起很容易和衬底粘连，因此机械手在传送衬底时，衬底容易把凸起带起，并随后掉落进腔体中，导致设备宕机，污染整个腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种衬底支撑装置及负载锁定腔室，用于防止凸起从衬底支撑装置上随着衬底的移动而脱落的问题。

为了实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

提供一种衬底支撑装置，应用于负载锁定腔室，包括：

至少一个支架，所述支架用于水平地支撑所述衬底，所述支架包括支撑脚，所述支撑脚与支架相连；所述支撑脚包括上表面及与上表面相连的两个侧表面；所述支撑脚还包括凹槽，所述凹槽的开口设置在上表面和其中一个侧表面上；

凸起，所述凸起用于支撑衬底，且可拆卸地与支撑脚连接；

其中，所述支撑脚的开口仅允许所述凸起从支撑脚的侧表面安装和拆卸，位于所述侧表面的开口的形状为倒“T”形。

进一步，位于所述上表面的开口的形状为“Ω”形。

进一步，所述凹槽包括设置在上表面的紧缩部和设置在紧缩部下方的扩展部，所述紧缩部和扩展部整体均呈“Ω”形，所述紧缩部的直径小于扩展部的直径。

进一步，所述凸起包括头部、颈部和底座，所述头部、颈部和底座依次从上至下连接。

进一步，所述凸起的头部和颈部呈伞状。

进一步，所述凸起的颈部经侧表面的开口进入凹槽的紧缩部，所述凸起的底座经侧表面的开口进入凹槽的扩展部。

进一步，所述支架包括铝或不锈钢任一者。

进一步，所述支架为三个。

进一步，同一所述支架上的所述支撑脚至少为两个。

进一步，所述衬底支撑装置还包括：升降装置，所示升降装置用于驱动所述支架升降。

本实用新型还提供一种负载锁定腔室，其特征在于包括：

腔体外壳，

如上述的衬底支撑装置，其设置于腔体外壳内。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

衬底支撑装置可以牢固地将凸起固定在支撑脚上，由于凸起从侧表面上嵌入支撑脚的凹槽，有效地限定了凸起的竖向移动，因此即使衬底和凸起发生粘连，衬底也不会将凸起与支撑脚分离。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1为现有技术中衬底支撑装置的结构示意图；

图2为负载锁定腔室的结构示意图；

图3为本实用新型提供的衬底支撑装置的结构示意图。

图4为本实用新型提供的支撑脚的俯视图；

图5为本实用新型提供的凸起的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的方案作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施方式的目的。为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。

图2示出了本实用新型的负载锁定装置的结构示意图。所述负载锁定装置100包含腔体外壳101、衬底支撑装置200和气压调节系统，所述腔体外壳101上具有相对设置的第一衬底出入口(图中未显示)和第二衬底出入口(图中未显示)，用于传输衬底，所述第一衬底出入口通过衬底传送阀门连接所述前端模组，所述第二衬底出入口通过衬底传送阀门连接所述传输腔室。在所述腔体外壳101中设置衬底支撑装置200，所述衬底支撑装置200包括至少一个支架201，所述支架沿着竖直方向设置，可选的，所述支架数量为3个，用于水平地支撑所述衬底；衬底支撑装置200还包含升降装置，所示升降装置用于驱动所述支架升降，所述升降装置包含升降驱动装置107和升降杆105，所述升降杆105分别连接所述支架201的底座103和升降驱动装置107，所述升降驱动装置107驱动所述升降杆105顶起或放下所述支架201，实现所述支架201在所述腔体外壳101内的升降运动。利用波纹管包裹所述升降杆105，所述波纹管的一端连接至所述腔体外壳101底部，另一端连接至所述升降驱动装置107，以实现所述升降杆105在升降运动中的腔体密封。所述气压调节系统连接在所述腔体外壳101的气体进出口(图中未标出)，用于调节所述腔体外壳101中的气压。所述气压调节系统包含通过气体管路连接在所述腔体外壳101上的气体进出口上的气泵，以及设置在所述气体管路上的调节阀。

图3示出了衬底支撑装置的结构示意图。具体地，所述衬底支撑装置200包括至少一个支架201、凸起207和升降装置。

所述支架201用于水平地支撑所述衬底，所述支架201包括支撑脚203，所述支撑脚203与支架201相连；所述支撑脚203包括上表面2031、下表面、前表面、及与上表面2031相连的两个侧表面2033；所述支撑脚203还包括凹槽，所述凹槽的开口设置在上表面2031和其中一个侧表面2033上。其中，支撑脚203水平地设置在支架201上，其中同一个支架201上设置至少两个支撑脚203，优选的，支撑脚203数量为25-28个。

所述凸起207用于支撑衬底，且可拆卸地与支撑脚连接。其中，所述支撑脚的开口仅允许所述凸起207从支撑脚的侧表面2033安装和拆卸，位于所述侧表面2033的开口的形状为倒“T”形，位于所述上表面2031的开口的形状为“Ω”形。

所述凹槽包括设置在上表面2031的紧缩部2051和设置在紧缩部下方的扩展部2053，所述紧缩部和扩展部整体均呈“Ω”形，所述紧缩部的直径小于扩展部的直径，所述凹槽可以稳定地容纳凸起207。

图4示出了支撑脚203的俯视图。由于凹槽在上表面2031的开口的形状为“Ω”形，因此当凸起从侧表面2033进入凹槽内后，由于“Ω”形具有较小地开口，凸起可以稳定地被锁在凹槽内，当想从凹槽内拆卸凸起207时，仅需克服凹槽开口的弹性形变，便可将凸起207拆卸。

图5示出了凸起207的结构示意图。所述凸起207包括头部2071、颈部和底座2073，所述头部2071、颈部和底座2073依次从上至下连接。所述凸起的头部2071和颈部呈伞状，即头部为半球形，颈部的直径小于头部，底座2073的直径大于颈部。因此，所述凸起207的颈部经侧表面的开口进入凹槽的紧缩部，所述凸起207的底座经侧表面的开口进入凹槽的扩展部。所述颈部的直径略大于紧缩部的开口，因此紧缩部可以牢固地将凸起卡在凹槽内，在安装后，头部2071露出在支撑脚的上表面，可以支撑衬底，防止衬底被划伤。

可选的，所述支架包括铝或不锈钢任一者；所述凸起包括石英、蓝宝石、碳化硅、石墨中任一个或多个。

本实用新型提供的衬底支撑装置可以牢固地将凸起固定在支撑脚上，由于凸起从侧表面上嵌入支撑脚的凹槽，有效地限定了凸起的竖向移动，因此即使衬底和凸起发生粘连，衬底也不会将凸起与支撑脚分离。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (11)

1.一种衬底支撑装置，应用于负载锁定腔室，其特征在于，包括：

至少一个支架，所述支架用于水平地支撑所述衬底，所述支架包括支撑脚，所述支撑脚与支架相连；所述支撑脚包括上表面及与上表面相连的两个侧表面；所述支撑脚还包括凹槽，所述凹槽的开口设置在上表面和其中一个侧表面上；

凸起，所述凸起用于支撑衬底，且可拆卸地与支撑脚连接；

其中，所述支撑脚的开口仅允许所述凸起从支撑脚的侧表面安装和拆卸，位于所述侧表面的开口的形状为倒“T”形。

2.如权利要求1所述的衬底支撑装置，其特征在于，位于所述上表面的开口的形状为“Ω”形。

3.如权利要求2所述的衬底支撑装置，其特征在于，所述凹槽包括设置在上表面的紧缩部和设置在紧缩部下方的扩展部，所述紧缩部和扩展部整体均呈“Ω”形，所述紧缩部的直径小于扩展部的直径。

4.如权利要求3所述的衬底支撑装置，其特征在于，所述凸起包括头部、颈部和底座，所述头部、颈部和底座依次从上至下连接。

5.如权利要求4所述的衬底支撑装置，其特征在于，所述凸起的头部和颈部呈伞状。

6.如权利要求5所述的衬底支撑装置，其特征在于，所述凸起的颈部经侧表面的开口进入凹槽的紧缩部，所述凸起的底座经侧表面的开口进入凹槽的扩展部。

7.如权利要求1-6任一项所述的衬底支撑装置，其特征在于，所述支架包括铝或不锈钢任一者。

8.如权利要求1-6任一项所述的衬底支撑装置，其特征在于，所述支架为三个。

9.如权利要求1-6任一项所述的衬底支撑装置，其特征在于，同一所述支架上的所述支撑脚至少为两个。

10.如权利要求1-6任一项所述的衬底支撑装置，其特征在于，所述衬底支撑装置还包括：升降装置，所示升降装置用于驱动所述支架升降。

11.一种负载锁定腔室，其特征在于包括：

腔体外壳，

如权利要求1-10任一所述的衬底支撑装置，其设置于腔体外壳内。

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