KR200151456Y1 - 반도체 제조공정용 튜브 보관장치 - Google Patents
반도체 제조공정용 튜브 보관장치 Download PDFInfo
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Abstract
확산로에서 사용되는 튜브들을 적재하여 보관할 수 있는 반도체 제조공정용 튜브 보관장치가 개시되어 있다.
본 고안의 튜브 보관장치는, 하부지지대, 상기 하부지지대상에 수직으로 설치된 수직지지대 및 반도체 공정용 튜브를 안착할 수 있도록 상기 수직지지대의 측벽을 따라 수직으로 복수개 형성되어 있는 튜브받침대를 구비하여 이루어진다.
따라서 튜브들을 좁은 공간에서 안정되게 정렬시킬 수 있으며, 튜브의 깨짐 및 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 고안은 반도체 제조공정용 튜브 보관장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조공정용 확산로에 사용되는 석영튜브를 안정적으로 보관할 수 있는 반도체 제조공정용 튜브 보관장치에 관한 것이다.
반도체소자 제조공정에는 확산공정이 필수적이며, 이러한 확산공정이 수행되는 곳이 고온조건과 가스흐름조건을 제공할 수 있는 확산로이다. 전형적인 확산 시스템은 가열수단, 확산튜브, 보트(Boat), 도펀트(Dopant) 공급시스템등으로 구성되어 있다. 이러한 확산로는 원래 화학적인 예비증착(Predeposition)이나 드라이브-인(Drive-in)과 같은 확산뿐만 아니라 산화 공정을 수행하기 위해 디자인(Design)되었으며, 최근에는 저압 화학기상증착(LPCVD) 공정을 위해 사용되기도 한다.
일반적으로 확산로에 사용되는 공정튜브는 석영재질로 된 석영튜브가 주로 사용되고 있으며, 이러한 석영튜브는 일정기간 사용된 후 정기적으로 세정되거나 불량 튜브는 수리되어진다. 이때 세정하거나 불량수리를 위해 대기중인 튜브는 세정 또는 불량수리를 위한 반출이 되기전까지 바닥에 놓아두거나 튜브의 깨짐을 방지하기 위하여 석면패드상에 놓아 보관하게 된다.
그러나 석영튜브를 바닥에 둠으로써 석영튜브의 오염이 발생하며, 바닥에 방치함으로 인하여 튜브가 깨질 위험이 있으며, 공간의 협소를 초래하게 된다는 문제점이 있다.
본 고안의 목적은, 상기 종래기술의 문제점들을 개선하기 위한 것으로서, 석영튜브의 적재장치를 사용함으로써 좁은 공간에 여러개의 튜브를 보관할 수 있으며, 튜브의 깨짐 및 오염을 방지하는 반도체 제조공정용 튜브 보관장치를 제공하는데 있다.
제1도는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 제조공정용 튜브 보관장치의 사용상태를 나타내는 사시도이다.
제2도는 제1도의 튜브 보관장치가 고정바로 고정되어 일체로 된 것을 나타내는 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 튜브 보관장치 12 : 하부지지대
14 : 수직지지대 16 : 튜브받침대
18 : 나사 19 : 롤러(Roller)
20 : 튜브(Tube) 22,24 : 고정바(Bar)
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 반도체 제조공정용 튜브 보관장치는, 한쌍의 하부지지대, 상기 하부지지대상에 각각 수직으로 설치된 수직지지대 및 반도체 제조공정용 튜브를 안착할 수 있도록 상기 각 수직지지대의 측벽을 따라 수직으로 형성되어 있는 복수개의 튜브받침대를 구비하여 이루어진다.
상기 튜브받침대는 그 튜브 안착부위가 상부가 오픈(Open)된 반원형으로 된 것이 튜브를 안정되게 보관할 수 있으며, 바람직하게는 테프론(Teflon)으로 만들어 튜브의 오염을 방지할 수 있다.
또한, 상기 하부지지대의 하측에 롤러가 형성되어 이동이 편리하도록 하며, 이동후 고정시킬 수 있는 고정장치가 함께 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하부지지대 또는 수직지지대의 측벽에 고정바가 형성되어 인접된 2개의 튜브 보관장치가 일체로 형성시키는 것이 튜브를 안정되게 보관시킬 수 있다는 점에서 바람직하다.
이하, 본 고안의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제1도는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 제조공정용 튜브 보관장치의 사용상태를 나타내는 사시도이다. 제1도를 참조하면, 튜브 보관장치(10)의 하부를 구성하는 하부지지대(12)는 육면체 형상으로 되어 있으며, 상부의 다른 구조물과 적재되는 튜브(20)에 따른 무게중심을 하측으로 이동시킬 수 있도록 무거운 재질로 형성되어 있다.
상기 하부지지대(12)의 일 측벽상으로는 판상의 수직지지대(14)가 설치되며, 상기 수직지지대(14)의 일 측벽에는 수직방향을 따라 돌출부가 형성되어 있으며, 상기 수직지지대(14)의 돌출부를 따라 튜브받침대(16)가 복수개 설치되어 있다. 상기 튜브받침대(16)는 나사(18)에 의해 상기 수직지지대(14)에 고정되며, 테프론 재질로 되어 있다. 또한, 상기 튜브받침대(16)의 상면은 튜브(20)가 안정되게 안착될 수 있도록 상부가 오픈된 반원형으로 되어 있다.
한편, 상기 하부지지대(12)의 하측에는 각기 롤러(19)가 형성되어 이동이 편리하도록 구성되어 있으며, 일정한 거리를 이동시킨 후 상기 롤러(19)의 구름을 방지할 수 있는 고정장치(도시안됨)가 더 설치될 수 있다. 또한, 제1도에서 보여지듯이, 통상 2개의 튜브 보관장치가 일조가 되어 튜브(20)를 보관할 수 있기 때문에 2개의 튜브 보관장치(10)를 일체화시킬 수 있는 고정바를 상기 하부지지대(12)나 수직지지대(14)의 적당한 위치에 형성시킬 수도 있다. 즉, 제2도에서 보는 바와 같이 튜브 보관장치(10)의 하부지지대(12) 각각을, 수직지지대(14) 각각을 연결시켜서 고정시키는 고정바(22, 24)가 설치되어서 튜브 보관장치(10)가 한 쌍으로 결합되어 있음을 볼 수 있다.
이상의 실시예에서 살펴본 바와 같이 본 고안에 의하면, 좁은 공간에서 튜브를 보관장치에 적재하기 때문에 공간 활용도를 높일 수 있으며, 안정되게 정렬시켜 놓기 때문에 튜브의 오염이나 깨짐을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 고안은 상기 실시예에 국한되지 않으며, 본 고안의 기술적 요지가 미치는 범위내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있음은 물론이며, 이 또한 모두가 이하의 실용신안 등록청구의 범위에 포함된다할 것이다.
Claims (5)
- 한쌍의 하부지지대; 상기 하부지지대상에 각각 수직으로 설치된 수직지지대; 및 반도체 제조공정용 튜브를 안착할 수 있도록 상기 각 수직지지대의 측벽을 따라 수직으로 형성되어 있는 복수개의 튜브받침대;를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정용 튜브 보관장치.
- 제1항에 있어서, 상기 튜브받침대는 그 튜브 안착부위가 상부가 오픈된 반원형으로 된 것임을 특징으로 하는 상기 반도체 제조공정용 튜브 보관장치.
- 제1항에 있어서, 상기 하부지지대의 하측에 롤러가 형성되어 이동시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조공정용 튜브 보관장치.
- 제1항에 있어서, 상기 하부지지대 또는 수직지지대의 측벽에 고정바가 형성되어 인접된 2개의 튜브 보관장치가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조공정용 튜브 보관장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 튜브받침대는 테프론 재질로 된 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조공정용 튜브 보관장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960000557U KR200151456Y1 (ko) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 반도체 제조공정용 튜브 보관장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019960000557U KR200151456Y1 (ko) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 반도체 제조공정용 튜브 보관장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970050349U KR970050349U (ko) | 1997-08-12 |
| KR200151456Y1 true KR200151456Y1 (ko) | 1999-07-15 |
Family
ID=19449349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR2019960000557U KR200151456Y1 (ko) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 반도체 제조공정용 튜브 보관장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200151456Y1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200476027Y1 (ko) * | 2013-06-12 | 2015-01-21 | (주) 다산하이테크 | 반도체 제조장치의 석영노즐용 수납함 |
-
1996
- 1996-01-17 KR KR2019960000557U patent/KR200151456Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200476027Y1 (ko) * | 2013-06-12 | 2015-01-21 | (주) 다산하이테크 | 반도체 제조장치의 석영노즐용 수납함 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970050349U (ko) | 1997-08-12 |
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