CN219103954U - 碳化硅悬臂桨检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种碳化硅悬臂桨检测装置，包括控制器、检测器和报警器；检测器设于碳化硅悬臂桨的底部，与所述控制器通讯连接，所述检测器用于检测碳化硅悬臂桨的形变；报警器与所述控制器通讯连接。本实用新型提供的碳化硅悬臂桨检测装置，旨在解决现有技术中碳化硅悬臂桨断裂后影响镀膜设备的正常使用，导致工件和/或石墨舟损坏产生经济损失的问题。

Description

碳化硅悬臂桨检测装置

技术领域

本实用新型属于光伏组件生产技术领域，更具体地说，是涉及一种碳化硅悬臂桨检测装置。

背景技术

在光伏组件的生产中，需要对光伏组件表面镀膜，以减少入射光线损失。在镀膜设备中，一般通过石墨舟输送工件，石墨舟放置于依次排列的多个碳化硅悬臂桨上，碳化硅悬臂桨对石墨舟提供支撑力，通过驱动设备将碳化硅悬臂桨和石墨舟送入镀膜设备中。

碳化硅桨，又称碳化硅悬臂桨、碳化硅悬臂梁，是一种经过1850℃高温烧结而成的碳化硅陶瓷制品，是半导体晶片装载系统的关键部件。碳化硅悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆加载力大，具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性，而且载重量大，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命，解决了其它材质悬臂桨易断裂，载重量小，成本高的问题，适用于机器人自动加载和搬运系统。

由于石墨舟具有一定的重量，而碳化硅悬臂桨的两端具有一定的厚度差，在生产过程中碳化硅悬臂桨受到压力后会发生形变，当形变量超出碳化硅悬臂桨的承载力后则导致碳化硅悬臂桨断裂。若碳化硅悬臂桨发生断裂，会影响石墨舟输送过程中的稳定性，导致工件出现掉落或磨损的情况，不仅影响生产的正常运行，还造成了工件或石墨舟损坏，产生一定的经济损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅悬臂桨检测装置，旨在解决现有技术中碳化硅悬臂桨断裂后影响镀膜设备的正常使用，导致工件和/或石墨舟损坏产生经济损失的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种碳化硅悬臂桨检测装置，包括：

控制器；

检测器，设于碳化硅悬臂桨的底部，与所述控制器通讯连接，所述检测器用于检测碳化硅悬臂桨的形变；以及

报警器，与所述控制器通讯连接。

在一种可能的实现方式中，所述控制器还与碳化硅悬臂桨的驱动设备通讯连接。

在一种可能的实现方式中，所述检测器为接近开关传感器或距离传感器，所述检测器设有多个，多个所述检测器分别位于碳化硅悬臂桨端部和中间部。

在一种可能的实现方式中，所述碳化硅悬臂桨检测装置还包括：

支架，设于碳化硅悬臂桨的底部；

滑轨，沿第一路径设于所述支架，所述第一路径平行于碳化硅悬臂桨的轴线；

滑座，滑动连接于所述滑轨，所述检测器设于所述滑座；以及

驱动机构，设于所述支架，与所述滑座连接，所述驱动机构用于驱使所述滑座沿所述第一路径移动。

在一种可能的实现方式中，所述驱动机构包括：

驱动器，设于所述支架的一端；

轴承，沿所述第一路径与所述驱动器相对设置；以及

螺杆，分别与所述驱动器和所述轴承连接，所述螺杆的轴线平行于所述滑轨，且所述滑座与所述螺杆螺纹连接。

在一种可能的实现方式中，所述检测器为图像采集器、接近开关传感器或距离传感器中的一种。

在一种可能的实现方式中，所述检测器包括沿碳化硅悬臂桨的轴向设置的发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别与碳化硅悬臂桨的两端上下对应设置，所述接收端用于接收所述发射端发出的光信号。

在一种可能的实现方式中，所述碳化硅悬臂桨检测装置还包括升降组件，所述升降组件包括转动连接于所述发射端底部的第一升降件和转动连接于所述接收端底部的第二升降件。

在一种可能的实现方式中，所述第一升降件和所述第二升降件均为气压伸缩器或液压伸缩器。

在一种可能的实现方式中，所述升降组件还包括两个距离检测器，两个所述距离检测器分别设于所述第一升降件和所述第二升降件，所述距离检测器用于检测所述第一升降件的升降端或所述第二升降件的升降端与地面之间的距离。

本实用新型提供的碳化硅悬臂桨检测装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型碳化硅悬臂桨检测装置将检测器放置于碳化硅悬臂桨的底部，用于发出检测信号以检测碳化硅悬臂桨是否发生形变。当检测器检测到碳化硅悬臂桨发生形变，且形变量达到预设值时，生成报警信号，控制器根据报警信号控制报警器发出警报，提示工作人员碳化硅悬臂桨有发生断裂的风险，工作人员可以根据警报急时作出相应的急救措施，避免碳化硅悬臂桨断裂引发生产事故。碳化硅悬臂桨在驱动设备的作用下沿输送路径移动，因而检测器可以依次对经过的碳化硅悬臂桨进行检测，确保输送过程中的所有碳化硅悬臂桨处于安全形变量内。本实用新型可以对碳化硅悬臂桨的形变量进行检测，保证碳化硅悬臂桨处于安全的形变范围内，避免碳化硅悬臂桨在工作过程中发生断裂而导致生产的中断，减少了因碳化硅悬臂桨断裂导致工件和/或石墨舟损坏的几率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的碳化硅悬臂桨检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例二提供的碳化硅悬臂桨检测装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例三提供的碳化硅悬臂桨检测装置的俯视图；

图4为本实用新型实施例四提供的碳化硅悬臂桨检测装置的结构示意图。

图中：

1、碳化硅悬臂桨；

2、检测器；201、发射端；202、接收端；

3、支架；

4、滑座；

5、滑轨；

6、驱动机构；601、驱动器；602、螺杆；603、轴承；

7、升降组件；701、第一升降件；702、第二升降件；703、距离检测器。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，如使用术语“第一”、“第二”或“第三”等，都是为了区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。除非另有说明，其余方位词，例如“垂直”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位或位置关系乃基于附图所示的方位和位置关系，且仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或以特定的方位构造和操作，所以也不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，如使用术语“固接”或“固定连接”，应作广义理解，即两者之间没有位移关系和相对转动关系的任何连接方式，也就是说包括不可拆卸地固定连接、可拆卸地固定连接、连为一体以及通过其他装置或元件固定连接。本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，如使用术语“包括”、“具有”以及它们的变形，意图在于“包含但不限于”。

请一并参阅图1至图4，现对本实用新型提供的碳化硅悬臂桨检测装置进行说明。碳化硅悬臂桨检测装置，包括控制器、检测器2和报警器；检测器2设于碳化硅悬臂桨1的底部，与控制器通讯连接，检测器2用于检测碳化硅悬臂桨1的形变；报警器与控制器通讯连接。

本实用新型提供的碳化硅悬臂桨检测装置，与现有技术相比，本实用新型碳化硅悬臂桨检测装置将检测器2放置于碳化硅悬臂桨1的底部，用于发出检测信号以检测碳化硅悬臂桨1是否发生形变。当检测器2检测到碳化硅悬臂桨1发生形变，且形变量达到预设值时，生成报警信号，控制器根据报警信号控制报警器发出警报，提示工作人员碳化硅悬臂桨1有发生断裂的风险，工作人员可以根据警报急时作出相应的急救措施，避免碳化硅悬臂桨1断裂引发生产事故。碳化硅悬臂桨1在驱动设备的作用下沿输送路径移动，因而检测器2可以依次对经过的碳化硅悬臂桨1进行检测，确保输送过程中的所有碳化硅悬臂桨1处于安全形变量内。本实用新型可以对碳化硅悬臂桨1的形变量进行检测，保证碳化硅悬臂桨1处于安全的形变范围内，避免碳化硅悬臂桨1在工作过程中发生断裂而导致生产的中断，减少了因碳化硅悬臂桨1断裂导致工件和/或石墨舟损坏的几率。

在一些实施例中，请参阅图1，控制器还与碳化硅悬臂桨1的驱动设备通讯连接。

检测器2检测到碳化硅悬臂桨1发生形变，且形变量达到预设值时，生成报警信号，控制器根据报警信号控制报警器发出警报，同时根据报警信号控制驱动设备停止工作，使碳化硅悬臂桨1停止输送。本实施例不仅可以避免碳化硅悬臂桨1超出安全形变量后继续工作产生的危险，而且可以在碳化硅悬臂桨1停止移动后使工作人员快速发现出现故障的碳化硅悬臂桨1，提高后期维护效率。

在一些实施例中，请参阅图1，检测器2为接近开关传感器或距离传感器，检测器2设有多个，多个检测器2分别位于碳化硅悬臂桨1端部和中间部。

根据本领域技术人员的工作经验可知，碳化硅悬臂桨1容易发生形变的位置为中间部或端部，因此而在碳化硅悬臂桨1的两端和中间部分别设置检测器2进行检测，可以及时并有效预防碳化硅悬臂桨1发生断裂。

在一些实施例中，请参阅图2，碳化硅悬臂桨检测装置还包括支架3、滑轨5、滑座4和驱动机构6，支架3设于碳化硅悬臂桨1的底部；滑轨5沿第一路径设于支架3，第一路径平行于碳化硅悬臂桨1的轴线；滑座4滑动连接于滑轨5，检测器2设于滑座4；驱动机构6设于支架3，与滑座4连接，驱动机构6用于驱使滑座4沿第一路径移动。

驱动机构6控制滑座4沿滑轨5移动，从而实现检测器2沿第一路径移动。本实施例中的方案通过检测器2沿第一路径移动实现对碳化硅悬臂桨1的检测，无需设置多个检测器2，降低了检测成本。

可选的，驱动机构6为气压伸缩器或液压伸缩器，实现滑座4沿第一路径往复移动。

在一些实施例中，请参阅图3，驱动机构6包括驱动器601、轴承603和螺杆602，驱动器601设于支架3的一端；轴承603沿第一路径与驱动器601相对设置；螺杆602分别与驱动器601和轴承603连接，螺杆602的轴线平行于滑轨5，且滑座4与螺杆602螺纹连接。

螺杆602分别与驱动器601和轴承603连接，确保螺杆602转动时的稳定性。驱动器601控制螺杆602转动，滑座4分别与螺杆602和滑轨5连接，通过螺杆602的转动实现滑座4的直线移动。本实施例中的方案可以使滑座4移动时更加稳定，确保检测器2的检测精度，避免检测器2在移动过程中因晃动等问题产生测量误差。

具体地，驱动器601为电机。

在一些实施例中，请参阅图3，检测器2为图像采集器、接近开关传感器或距离传感器中的一种。

检测器2随滑座4沿第一路径移动，因而可以为图像采集器或接近开关传感器或距离传感器，当检测器2为图像采集器时，随着滑座4的移动可以对碳化硅悬臂桨1在轴向上分别采集图像，以判断碳化硅悬臂桨1的形变是否超出预设范围。而当检测器2为接近开关传感器或距离传感器时，也可以随着滑座4的移动向碳化硅悬臂桨1发出检测信号，以检测碳化硅悬臂桨1上的形变量。

需要说明的是，在实际生产过程中，为了确保工件输送过程中的稳定性，碳化硅悬臂桨1的移动速度较慢，可以调节滑座4的移动速度，使碳化硅悬臂桨1经过检测器2上部时，检测器2可以完成从碳化硅悬臂桨1的一端移动至另一端完成检测。

在一些实施例中，请参阅图4，检测器2包括沿碳化硅悬臂桨1的轴向设置的发射端201和接收端202，发射端201和接收端202分别与碳化硅悬臂桨1的两端上下对应设置，接收端202用于接收发射端201发出的光信号。

在本实施例中，发射端201发出光信号，接收端202接收发射端201发出的光信号，由于光线呈直线发射，当碳化硅悬臂桨1受到重力作用局部发生形变后，若形变量超过预设值，则发射形变的部位会阻断光信号的传动，导致接收端202无法接收到光信号，此时发出报警信号，控制器根据报警信号控制报警器发出警报。

在一些实施例中，请参阅图4，碳化硅悬臂桨检测装置还包括升降组件7，升降组件7包括转动连接于发射端201底部的第一升降件701和转动连接于接收端202底部的第二升降件702。

调节第一升降件701和第二升降件702的高度，从而调控发射端201和接收端202的高度，然后转动发射端201和接收端202，使接收端202可以接收到发射端201发出的光信号。本实施例可以根据实际情况(例如碳化硅悬臂桨1在轴向是否倾斜，以及碳化硅悬臂桨1容易发生形变的位置和形变的临界值等)，从而调整发射端201和接收端202的高度和角度。本实施例中的方案可以更加灵活的调整发射端201和接收端202的位置，适用范围更加广泛。

在一些实施例中，请参阅图4，第一升降件701和第二升降件702均为气压伸缩器或液压伸缩器。

气压伸缩器或液压伸缩器可以方便调节发射端201或接收端202的高度，结构简单，操作更加方便。

在一些实施例中，请参阅图4，升降组件7还包括两个距离检测器703，两个距离检测器703分别设于第一升降件701和第二升降件702，距离检测器703用于检测第一升降件701的升降端或第二升降件702的升降端与地面之间的距离。

距离检测器703可以方便检测出第一升降件701的升降端和第二升降件702的升降端距离地面的高度，从而实现快速调节发射端201和接收端202的位置，使接收端202可以接收到发射端201发射的光信号，提高了调节效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，包括：

控制器；

检测器，设于碳化硅悬臂桨的底部，与所述控制器通讯连接，所述检测器用于检测碳化硅悬臂桨的形变；以及

报警器，与所述控制器通讯连接。

2.如权利要求1所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述控制器还与碳化硅悬臂桨的驱动设备通讯连接。

3.如权利要求1所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述检测器为接近开关传感器或距离传感器，所述检测器设有多个，多个所述检测器分别位于碳化硅悬臂桨端部和中间部。

4.如权利要求1所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述碳化硅悬臂桨检测装置还包括：

支架，设于碳化硅悬臂桨的底部；

滑轨，沿第一路径设于所述支架，所述第一路径平行于碳化硅悬臂桨的轴线；

滑座，滑动连接于所述滑轨，所述检测器设于所述滑座；以及

驱动机构，设于所述支架，与所述滑座连接，所述驱动机构用于驱使所述滑座沿所述第一路径移动。

5.如权利要求4所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括：

驱动器，设于所述支架的一端；

轴承，沿所述第一路径与所述驱动器相对设置；以及

螺杆，分别与所述驱动器和所述轴承连接，所述螺杆的轴线平行于所述滑轨，且所述滑座与所述螺杆螺纹连接。

6.如权利要求4所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述检测器为图像采集器、接近开关传感器或距离传感器中的一种。

7.如权利要求1所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述检测器包括沿碳化硅悬臂桨的轴向设置的发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别与碳化硅悬臂桨的两端上下对应设置，所述接收端用于接收所述发射端发出的光信号。

8.如权利要求7所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述碳化硅悬臂桨检测装置还包括升降组件，所述升降组件包括转动连接于所述发射端底部的第一升降件和转动连接于所述接收端底部的第二升降件。

9.如权利要求8所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述第一升降件和所述第二升降件均为气压伸缩器或液压伸缩器。

10.如权利要求9所述的碳化硅悬臂桨检测装置，其特征在于，所述升降组件还包括两个距离检测器，两个所述距离检测器分别设于所述第一升降件和所述第二升降件，所述距离检测器用于检测所述第一升降件的升降端或所述第二升降件的升降端与地面之间的距离。

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