CN213274110U - 一种桨上石英舟位置检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种桨上石英舟位置检测装置，包括立板、固定支架和激光传感器，立板垂直安装于SiC桨的桨头，立板垂直于SiC桨的长度方向；固定支架为L型，固定支架包括固定板和连接板，固定板垂直于连接板，固定板与立板固定连接，激光传感器与连接板固定连接，且激光传感器的工作面朝向石英舟所在方向。本实用新型在SiC桨上安装石英舟位置检测装置，激光传感器能够精确检测石英舟在桨上的位置，从而能够保证工艺顺畅进行，降低产品破碎或石英舟损坏的风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体扩散工艺设备领域，尤其涉及一种桨上石英舟位置检测装置。
背景技术
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。石英舟、SiC桨是扩散炉中的重要部件，石英舟用于装载硅片，SiC桨用于在扩散炉运行过程中，通过推拉舟机构的传动，实现将待工艺的石英舟送入石英炉管内，以及将已工艺的石英舟从石英炉管内取出的动作。石英舟在扩散炉内的运行空间较小，一旦出现位置偏差，会导致产品破碎或石英舟损坏的风险，因此，需要对SiC桨上石英舟的位置进行严格控制。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种桨上石英舟位置检测装置，精确检测SiC桨上的石英舟位置，保障工艺安全。
为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种桨上石英舟位置检测装置，包括立板、固定支架和激光传感器，所述立板安装于SiC桨的桨头，所述立板垂直于所述SiC桨的长度方向；所述固定支架为L型，所述固定支架包括固定板和连接板，所述固定板垂直于所述连接板，所述固定板与所述立板固定连接，所述激光传感器与所述连接板固定连接，且所述激光传感器的工作面朝向石英舟所在方向。
优选地，所述固定板上设有多个第一安装孔，用以将所述固定板与所述立板固定连接。
优选地，所述连接板上设有多个第二安装孔，用以将所述激光传感器固定安装到所述连接板上。
优选地，所述固定板上设有多个减重孔。
优选地，所述激光传感器为激光漫反射式传感器。
优选地，所述固定支架为一体成型结构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型在SiC桨上安装石英舟位置检测装置，激光传感器能够精确检测石英舟在桨上的位置，从而能够保证工艺顺畅进行，降低产品破碎或石英舟损坏的风险。
附图说明
图1为本实用新型实施例1的一种桨上石英舟位置检测装置的结构示意图；
图2为本实用新型实施例1的一种桨上石英舟位置检测装置安装于SiC桨上时的俯视结构示意图。
图中，10-立板，20-固定支架，21-固定板，211-第一安装孔，212-减重孔，22-连接板，221-第二安装孔，30-激光传感器，31-工作面，40-石英舟，50-SiC桨，51-桨头。
具体实施方式
为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
请参见图1，图1为本实用新型实施例1的一种桨上石英舟位置检测装置的结构示意图；本实用新型实施例1的一种桨上石英舟位置检测装置，包括立板10、固定支架20和激光传感器30，立板10安装于SiC桨50的桨头51，且垂直于SiC桨50的长度方向；固定支架20为L型，固定支架20包括固定板21和连接板22，固定板21垂直于连接板22，固定板21与立板10固定连接，激光传感器30与连接板22固定连接，且激光传感器30的工作面31朝向石英舟40所在方向。请参见图2，图2为本实用新型实施例1的一种桨上石英舟位置检测装置安装于SiC桨50上时的俯视结构示意图；激光传感器30能实现无接触远距离测量，响应速度快，检测精度高，抗光、电干扰能力强。本实用新型优选实施例中，激光传感器30选用激光漫反射式传感器，检测精度高、可靠性高，能够精准检测石英舟40在SiC桨50上的位置，满足工艺要求，减少风险。
优选地，固定板21上设有多个第一安装孔211，用以将固定板21与立板10固定连接，第一安装孔211的轴线垂直于固定板21；在一实施例中，采用螺栓等零件将固定板21与立板10固定连接。
优选地，连接板22上设有多个第二安装孔221，用以将激光传感器30固定安装到连接板22上，第二安装孔221的轴线垂直于连接板22；在一实施例中，采用螺钉等零件将激光传感器30安装到连接板22上。
优选地，请参见图1，固定板21上设有多个减重孔212，可降低固定支架20的重量及制造成本。
优选地，固定支架20为一体成型结构，结构强度高，使用寿命长。
综上所述，本实用新型提供一种桨上石英舟位置检测装置，立板、固定支架、激光传感器安装在SiC桨的桨头上，激光传感器的工作面朝向石英舟所在方向，能够精确检测石英舟在桨上的位置，从而能够保证工艺顺畅进行，降低产品破碎或石英舟损坏的风险。
本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。
Claims (6)
1.一种桨上石英舟位置检测装置，其特征在于：包括立板、固定支架和激光传感器，所述立板安装于SiC桨的桨头，所述立板垂直于所述SiC桨的长度方向；所述固定支架为L型，所述固定支架包括固定板和连接板，所述固定板垂直于所述连接板，所述固定板与所述立板固定连接，所述激光传感器与所述连接板固定连接，且所述激光传感器的工作面朝向石英舟所在方向。
2.如权利要求1所述的桨上石英舟位置检测装置，其特征在于：所述固定板上设有多个第一安装孔，用以将所述固定板与所述立板固定连接。
3.如权利要求1所述的桨上石英舟位置检测装置，其特征在于：所述连接板上设有多个第二安装孔，用以将所述激光传感器固定安装到所述连接板上。
4.如权利要求1所述的桨上石英舟位置检测装置，其特征在于：所述固定板上设有多个减重孔。
5.如权利要求1所述的桨上石英舟位置检测装置，其特征在于：所述激光传感器为激光漫反射式传感器。
6.如权利要求1所述的桨上石英舟位置检测装置，其特征在于：所述固定支架为一体成型结构。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202022276309.7U CN213274110U (zh) | 2020-10-14 | 2020-10-14 | 一种桨上石英舟位置检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202022276309.7U CN213274110U (zh) | 2020-10-14 | 2020-10-14 | 一种桨上石英舟位置检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213274110U true CN213274110U (zh) | 2021-05-25 |
Family
ID=75949346
Family Applications (1)
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| CN202022276309.7U Active CN213274110U (zh) | 2020-10-14 | 2020-10-14 | 一种桨上石英舟位置检测装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN213274110U (zh) |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN114739273A (zh) * | 2022-03-08 | 2022-07-12 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 检具 |
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2020
- 2020-10-14 CN CN202022276309.7U patent/CN213274110U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN114739273A (zh) * | 2022-03-08 | 2022-07-12 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 检具 |
| CN114739273B (zh) * | 2022-03-08 | 2024-05-10 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 检具 |
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