CN219075621U - 一种旋转升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种旋转升降机构，包括台面板，所述台面板的表面上设置有旋转机构和升降机构，所述旋转机构包括：旋转小底板，所述旋转小底板的底面固定连接有大齿轮，所述大齿轮转动连接在台面板的表面上，所述台面板的表面上转动连接有多组V形滑轮b，多组所述V形滑轮b分布在旋转小底板的周边，并与旋转小底板的侧壁相贴合。该旋转升降机构，通过旋转电机开始工作，带动同步带b转动进一步带动大齿轮转动，大齿轮安装在旋转小底板的底部，通过V形滑轮b将旋转小底板卡住，保证转动的稳定性。内圈通过柱塞安装在内底板的表面上，并通过定位销定位，避免晶圆环的高度不停地变换，重复定位精度不高。

Description

一种旋转升降机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆环加工技术领域，具体为一种旋转升降机构。

背景技术

晶圆贴片环生产环节，包括材质的选用、生产的过程、生产技术等因素。就像是人的体质，底子打得好，就成功了一大半。同时，技术不到位，尺寸不精准、平整度不高，也会导致卡料，从而导致反复的磨损，加剧晶圆贴片环的损坏程度。更要为注意的是，会导致晶圆的损伤，从而浪费晶圆，提高成本，也会影响生产效率。

在现有技术中，现有的晶圆环旋转升降机构多为内圈升降外圈固定的晶圆工作台，这样使得晶圆环的高度不停地变换，重复定位精度不高；鉴于此，我们提出了一种旋转升降机构。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型的主要目的是提供一种旋转升降机构，能够避免晶圆环的高度不停地变换，重复定位精度不高的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提出的一种旋转升降机构，包括台面板，所述台面板的表面上设置有旋转机构和升降机构，所述旋转机构包括：旋转小底板，所述旋转小底板的底面固定连接有大齿轮，所述大齿轮转动连接在台面板的表面上，所述台面板的表面上转动连接有多组V形滑轮b，多组所述V形滑轮b分布在旋转小底板的周边，并与旋转小底板的侧壁相贴合；内底板，所述内底板固定连接在旋转小底板的底面，并且转动连接在台面板的表面上，所述内底板的表面上通过定位销固定连接有柱塞，所述内底板的表面通过柱塞固定安装有内圈；以及旋转电机，所述旋转电机固定连接在台面板的表面上，所述旋转电机的输出端固定连接有皮带轮，并通过同步带b与大齿轮传动连接。

优选的，该升降机构包括左升降板与右升降底板，所述左升降板与右升降底板的表面开设有贯穿且通孔，且通孔中固定连接有T形螺母，所述T形螺母的内部螺纹连接有T型丝杆，所述T型丝杆贯穿且转动连接在台面板的表面上，所述左升降板的表面开设有进料槽，所述进料槽的表面固定连接有入料挡料。

优选的，所述T型丝杆贯穿同步带轮a与同步带轮b，且与同步带轮a、同步带轮b的表面固定连接，所述同步带轮b位于台面板的上方，所述同步带轮a位于台面板的下方，所述台面板的表面上固定连接有升降电机，所述升降电机的输出端固定连接有皮带轮，并通过皮带与同步带轮b传动连接。

优选的，所述T形螺母、T型丝杆、同步带轮a均设置有四组，且四组T形螺母、T型丝杆、同步带轮a分布在台面板的四个边角处，并且四组同步带轮a通过同步带a传动连接。

优选的，所述左升降板上的底面固定连接有滑轮安装板，所述滑轮安装板的表面转动连接有U型滑轮a，所述U型滑轮a的侧壁贴合有升降小底板，所述升降小底板的底面固定连接有导向轴，所述导向轴贯穿且滑动连接在旋转小底板的表面上，所述导向轴的底端固定连接有限位块。

优选的，所述升降小底板的表面固定连接有两组对称设置的承载板，所述承载板的表面固定连接有外圈，所述外圈的表面固定连接有限位柱。

有益效果

本实用新型提供了一种旋转升降机构。具备以下有益效果：

(1)、该旋转升降机构，通过旋转电机开始工作，带动同步带b转动进一步带动大齿轮转动，大齿轮安装在旋转小底板的底部，通过V形滑轮b将旋转小底板卡住，保证转动的稳定性。内圈通过柱塞安装在内底板的表面上，并通过定位销定位，避免晶圆环的高度不停地变换，重复定位精度不高。

(2)、该旋转升降机构，通过升降电机开始工作，带动同步带轮b转动，使左升降板与右升降底板同时开始升降，升降小底板卡在U型滑轮a中，当左升降板与右升降底板上下运动时会带动十二寸晶圆环一起上下运动，保证任意晶圆环高度一定，减少取片误差。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型俯视结构示意图；

图2为本实用新型C-C剖视结构示意图；

图3为本实用新型D-D剖视结构示意图。

图中：1、旋转小底板；2、大齿轮；3、柱塞；4、内圈；5、台面板；6、限位块；7、导向轴；9、内底板；10、升降小底板；11、旋转电机；12、升降电机；13、同步带轮a；14、同步带轮b；15、T形螺母；16、T型丝杆；17、U型滑轮a；18、滑轮安装板；19、同步带b；20、右升降底板；21、左升降板；22、V形滑轮；23、承载板；24、十二寸晶圆环；25、入料挡料；26、外圈；27、限位柱；28、同步带a。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种旋转升降机构，包括台面板5，台面板5的表面上设置有旋转机构和升降机构。

在本实用新型实施例中，该旋转机构包括：

旋转小底板1，旋转小底板1的底面固定连接有大齿轮2，大齿轮2转动连接在台面板5的表面上，台面板5的表面上转动连接有多组V形滑轮b22，多组V形滑轮b22分布在旋转小底板1的周边，并与旋转小底板1的侧壁相贴合；

内底板9，内底板9固定连接在旋转小底板1的底面，并且转动连接在台面板5的表面上，内底板9的表面上通过定位销固定连接有柱塞3，内底板9的表面通过柱塞3固定安装有内圈4；

以及旋转电机11，旋转电机11固定连接在台面板5的表面上，旋转电机11的输出端固定连接有皮带轮，并通过同步带b19与大齿轮2传动连接。

具体而言，本实用新型实施例中的旋转机构包括旋转小底板1、大齿轮2、V形滑轮b22、内底板9、柱塞3、内圈4、以及旋转电机11、同步带b19。安装在台面板5上的旋转电机11开始工作，带动同步带b19转动进一步带动大齿轮2转动，大齿轮2安装在旋转小底板1的底部，通过V形滑轮b22将旋转小底板1卡住，保证转动的稳定性。内圈4通过柱塞3安装在内底板9的表面上，此柱塞3可以方便八寸晶圆环的快速更换，并通过定位销定位，内底板9固定在旋转小底板1的底部，内圈4可在旋转电机11的带动下进行旋转。

本实用新型实施例中，该升降机构包括左升降板21与右升降底板20，左升降板21与右升降底板20，左升降板21与右升降底板20的表面开设有贯穿且通孔，且通孔中固定连接有T形螺母15，T形螺母15的内部螺纹连接有T型丝杆16，T型丝杆16贯穿且转动连接在台面板5的表面上，T型丝杆16贯穿同步带轮a13与同步带轮b14，且与同步带轮a13与同步带轮b14固定连接，同步带轮b14位于台面板5的上方，同步带轮a13位于台面板5的下方，台面板5的表面上固定连接有升降电机12，升降电机12的输出端固定连接有皮带轮，并通过皮带与同步带轮b14传动连接，T形螺母15、T型丝杆16、同步带轮a13均设置有四组，且四组T形螺母15、T型丝杆16、同步带轮a13分布在台面板5的四个边角处，并且四组同步带轮a13通过同步带a28传动连接，左升降板上21的底面固定连接有滑轮安装板18，滑轮安装板18的表面转动连接有U型滑轮a17，安装台面板5上的升降电机12开始工作，带动同步带轮b14转动，即在同一根T型丝杆16上的T形螺母15与同步带轮a13同时转动，在台面板5的四个角均设计了类似机构通过同步带a28互相连接，即安装四T形螺母15带动左升降板21与右升降底板20同时开始升降。

本实用新型实施例中，U型滑轮a17的侧壁贴合有升降小底板10，升降小底板10的底面固定连接有导向轴7，导向轴7贯穿且滑动连接在旋转小底板1的表面上，导向轴7的底端固定连接有限位块6，升降小底板10通过导向轴7与旋转小底板1连接，就可以带动升降小底板10旋转运动，同时升降小底板10可以在U型滑轮a17的带动下单独升降。左升降板21的表面开设有进料槽，进料槽的表面固定连接有入料挡料25，升降小底板10的表面固定连接有两组对称设置的承载板23，承载板23的表面固定连接有外圈26，外圈26的表面固定连接有限位柱27。U型滑轮a17通过滑轮安装板18安装在左升降板21上，四个角都安装U型滑轮a17，升降小底板10卡在U型滑轮a17中，当左升降板21与右升降底板20上下运动时会带动十二寸晶圆环24一起上下运动。在旋转小底板1中设计了6限位块与7导向轴，确保升降的高度方向的限位与升降的稳定性。

另外，为了避免晶圆环的高度不停地变换，重复定位精度不高。通过旋转电机11开始工作，带动同步带b19转动进一步带动大齿轮2转动，大齿轮2安装在旋转小底板1的底部，通过V形滑轮b22将旋转小底板1卡住，保证转动的稳定性。内圈4通过柱塞3安装在内底板9的表面上，并通过定位销定位。

为了保证任意晶圆环高度一定，减少取片误差，通过升降电机12开始工作，带动同步带轮b14转动，使左升降板21与右升降底板20同时开始升降，升降小底板10卡在U型滑轮a17中，当左升降板21与右升降底板20上下运动时会带动十二寸晶圆环24一起上下运动。

本实用新型中，使用时，十二寸晶圆环24从入料挡料25处进入，落在承载板23上，与外圈上26的限位柱27相接触，旋转电机11开始工作，带动同步带b19转动进一步带动大齿轮2转动，大齿轮2安装在旋转小底板1的底部，通过V形滑轮b22将旋转小底板1卡住，保证转动的稳定性。内圈4通过柱塞3安装在内底板9的表面上，并通过定位销定位，使内圈4可在旋转电机11的带动下进行旋转，并且升降小底板10通过导向轴7与旋转小底板1连接，就可以带动升降小底板10旋转运动，同时升降小底板10可以在U型滑轮a17的带动下单独升降，通过升降电机12开始工作，带动同步带轮b14转动，使左升降板21与右升降底板20同时开始升降，升降小底板10卡在U型滑轮a17中，当左升降板21与右升降底板20上下运动时会带动十二寸晶圆环24一起上下运动。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种旋转升降机构，包括台面板(5)，所述台面板(5)的表面上设置有旋转机构和升降机构，其特征在于：所述旋转机构包括：

旋转小底板(1)，所述旋转小底板(1)的底面固定连接有大齿轮(2)，所述大齿轮(2)转动连接在台面板(5)的表面上，所述台面板(5)的表面上转动连接有多组V形滑轮b(22)，多组所述V形滑轮b(22)分布在旋转小底板(1)的周边，并与旋转小底板(1)的侧壁相贴合；

内底板(9)，所述内底板(9)固定连接在旋转小底板(1)的底面，并且转动连接在台面板(5)的表面上，所述内底板(9)的表面上通过定位销固定连接有柱塞(3)，所述内底板(9)的表面通过柱塞(3)固定安装有内圈(4)；

以及旋转电机(11)，所述旋转电机(11)固定连接在台面板(5)的表面上，所述旋转电机(11)的输出端固定连接有皮带轮，并通过同步带b(19)与大齿轮(2)传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种旋转升降机构，其特征在于：该升降机构包括左升降板(21)与右升降底板(20)，所述左升降板(21)与右升降底板(20)的表面开设有贯穿且通孔，且通孔中固定连接有T形螺母(15)，所述T形螺母(15)的内部螺纹连接有T型丝杆(16)，所述T型丝杆(16)贯穿且转动连接在台面板(5)的表面上，所述左升降板(21)的表面开设有进料槽，所述进料槽的表面固定连接有入料挡料(25)。

3.根据权利要求2所述的一种旋转升降机构，其特征在于：所述T型丝杆(16)贯穿同步带轮a(13)与同步带轮b(14)，且与同步带轮a(13)、同步带轮b(14)的表面固定连接，所述同步带轮b(14)位于台面板(5)的上方，所述同步带轮a(13)位于台面板(5)的下方，所述台面板(5)的表面上固定连接有升降电机(12)，所述升降电机(12)的输出端固定连接有皮带轮，并通过皮带与同步带轮b(14)传动连接。

4.根据权利要求3所述的一种旋转升降机构，其特征在于：所述T形螺母(15)、T型丝杆(16)、同步带轮a(13)均设置有四组，且四组T形螺母(15)、T型丝杆(16)、同步带轮a(13)分布在台面板(5)的四个边角处，并且四组同步带轮a(13)通过同步带a(28)传动连接。

5.根据权利要求2所述的一种旋转升降机构，其特征在于：所述左升降板(21)的底面固定连接有滑轮安装板(18)，所述滑轮安装板(18)的表面转动连接有U型滑轮a(17)，所述U型滑轮a(17)的侧壁贴合有升降小底板(10)，所述升降小底板(10)的底面固定连接有导向轴(7)，所述导向轴(7)贯穿且滑动连接在旋转小底板(1)的表面上，所述导向轴(7)的底端固定连接有限位块(6)。

6.根据权利要求5所述的一种旋转升降机构，其特征在于：所述升降小底板(10)的表面固定连接有两组对称设置的承载板(23)，所述承载板(23)的表面固定连接有外圈(26)，所述外圈(26)的表面固定连接有限位柱(27)。

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