CN219025080U - 一种清洁装置、载板回流线、以及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种清洁装置、载板回流线、以及镀膜设备，涉及载板清洁技术领域。具体包括：一种清洁装置，包括：至少一个清洁组件，用于对载板进行清洁；第一驱动组件，用于驱动所述清洁组件靠近或远离所述载板；以及控制单元，当所述清洁组件完成对载板清洁时，控制所述第一驱动组件驱动所述清洁组件远离所述载板，以实现载板与清洁组件的分离。旨在当载板不需要清洁时，避免毛刷与载板的持续接触。

Description

一种清洁装置、载板回流线、以及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及载板清洁技术领域，特别涉及一种清洁装置、载板回流线、以及镀膜设备。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积是制作高效异质结电池的关键步骤之一，载板在与电池片一起进入腔室工艺的过程中表面会生成本征非晶硅、参杂磷非晶硅、参杂硼非晶硅等膜；随着载板进腔工艺次数的增加，膜层越来越厚；载板在输送机上传送的过程中，因被传送时底部会与滚轮摩擦，使得接触部位会出现掉粉现象，如若不能及时清洁将影响硅片的成膜质量。

为了避免掉粉对硅片的影响，常采用毛刷对载板的粉尘进行清洁，但是当载板不需要清洁时，毛刷始终保持与载板的接触，可能会出现毛刷脱落、毛刷磨损严重、以及毛刷上的异物掉落污染载板的情况出现。

因此，当载板不需要清洁时，如何避免毛刷与载板的持续接触，成为了亟待解决的技术难题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种清洁装置、载板回流线、以及镀膜设备，旨在当载板不需要清洁时，避免毛刷与载板的持续接触。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种清洁装置，包括：

框架，设有供载板进出的开口；

至少一个清洁组件，设置在所述框架上，用于对载板进行清洁；

第一驱动组件，与所述清洁组件相连，用于驱动所述清洁组件靠近或远离所述载板；以及

控制单元，当所述清洁组件完成对载板清洁时，控制所述第一驱动组件驱动所述清洁组件远离所述载板，以实现载板与清洁组件的分离。

在本申请的一实施例中，所述清洁组件包括：

毛刷，可贴合在载板的表面；和

第二驱动件，连接于所述第一驱动组件上，用于驱动所述毛刷转动。

在本申请的一实施例中，所述毛刷包括：

上刷体，连接于所述第二驱动件的转动轴上，所述上刷体的工作面可贴合在所述载板的上表面上；和

下刷体，连接于所述第二驱动件的转动轴上，所述下刷体的工作面可贴合在所述载板的下表面上。

在本申请的一实施例中，所述毛刷还包括：

中刷体，连接于所述第二驱动件的转动轴上并位于所述上刷体和下刷体之间，所述中刷体的工作面可贴合于所述载板的侧壁上。

在本申请的一实施例中，所述清洁组件还包括第一吸尘口和第二吸尘口，所述第一吸尘口靠近所述上刷体设置，可对上刷体刷落的灰尘进行收集；所述第二吸尘口靠近下刷体设置，可对下刷体刷落的灰尘进行收集。

在本申请的一实施例中，所述清洁组件为两个，两个所述清洁组件分别位于所述载板运动方向的两侧。

在本申请的一实施例中，第一驱动组件包括：

第一驱动件；

导轨，所述清洁组件滑动连接于所述导轨；所述第一驱动件驱动所述清洁组件沿着导轨的长度方向往复运动。

在本申请的一实施例中，所述清洁装置还包括用于收集载板掉落的异物的集尘盒，所述集尘盒位于所述框架上。

本申请还公开了一种载板回流线，包括传输通道，所述传输通道的入口和/或出口处设有如上所述的清洁装置。

本申请还公开了一种镀膜设备，包括如上所述的清洁装置或载板回流线。

采用上述技术方案，通过设置可以对载板进行清洁的清洁组件，在清洁组件上设置可以驱动清洁组件靠近或远离载板的第一驱动组件，然后配合控制单元的控制，实现当载板需要清洁时进行清洁，当不需要清洁时实现清洁组件与控制单元之间分离，从而有效的降低了清洁组件的磨损，同时避免了当载板不需要清洁时，清洁组件上的异物掉落在载板上，进一步提高了载板的清洁程度。

附图说明

下面结合具体实施例和附图对本实用新型进行详细的说明，其中：

图1为本实用新型一实施例中载板回流线的结构示意图。

图2为一实施例中清洁装置的主视图。

图3为图2中A处的放大结构示意图。

图4为一实施例中毛刷的放大结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚，以下结合附图和实施例对本实用新型进行详细的说明。应当理解，以下具体实施例仅用以解释本实用新型，并不对本实用新型构成限制。

如图1、图2所示，为了实现上述目的，本实用新型提出一种清洁装置10，包括：框架，设有供载板进出的开口；

至少一个清洁组件，设置在所述框架上，用于对载板进行清洁；

第一驱动组件，与所述清洁组件相连，用于驱动所述清洁组件靠近或远离所述载板；以及

控制单元，当所述清洁组件完成对载板清洁时，控制所述第一驱动组件驱动所述清洁组件远离所述载板，以实现载板与清洁组件的分离。

具体的，一种清洁装置10，包括清洁组件、第一驱动组件、控制单元。

清洁组件用于对载板进行清洁，清洁组件通过与载板的表面产生摩擦力，将载板表面的灰尘和异物扫落，异物包括但不限于本征非晶硅、参杂磷非晶硅、参杂硼非晶硅等。

清洁组件可以为毛刷12，也可以为高压风机。

当清洁组件为毛刷12时，毛刷12通过电机驱动毛刷12转动，通过高速转动的毛刷12与载板之间的摩擦，将载板上的灰尘和异物扫落，从而完成载板的清洁。

当清洁组件为高压风机时，高压风机通过吹出高压气流，高压气流经过载板的表面，使粘接载板上的异物和灰尘掉落，从而完成载板的清洁。

由于本申请中的载板用于承载硅片，对载板的清洁度具有较高的要求，为了避免载板上的异物和灰尘在高压气体的吹动下四散，降低载板20的清洁度，因此本申请中的清洁组件优选为毛刷12。

第一驱动组件可以采用丝杆驱动组件，也可以采用伸缩气缸组件来驱动。

当第一驱动组件采用丝杆驱动组件时，丝杆驱动组件包括伺服电机、丝杆、滑轨。

清洁组件与丝杆之间螺纹连接，伺服电机用于驱动丝杆转动，同时清洁组件滑动连接在滑轨上。丝杆的长度方向与滑轨的长度方向相同，通过伺服电机的驱动，使得丝杆转动，从而使得连接在丝杆上的清洁组件沿着滑轨的长度方向运动。由于第一驱动组件用于驱动清洁组件靠近或者远离载板，因此滑轨的长度方向与载板20的运动方向不平行设置。

当第一驱动组件采用伸缩气缸组件来驱动时，伸缩气缸组件包括伸缩气缸和导向轨。

清洁组件滑动连接在导向轨上，伸缩气缸连接在清洁组件上，随着伸缩气缸的伸出或回缩，实现清洁组件沿着导向轨的长度方向往复运动。由于第一驱动组件用于驱动清洁组件靠近或者远离载板，因此导向轨的长度方向与载板20的运动方向不平行。为了方便控制，本申请中的第一驱动组件采用伸缩气缸来驱动。具有结构简单，便于实施的优点。

控制单元，采用现有技术中常用的中央处理单元。当清洁组件完成载板的清洁时，控制第一驱动组件驱动清洁组件远离载板，从而使得清洁组件与载板之间相互分离，避免当载板不需要清洁时，清洁组件依旧与载板之间保持接触，降低清洁组件的磨损，同时也避免清洁组件上的灰尘或异物掉落在载板20上，提高了载板20的清洁度。

镀膜设备包括多个镀膜腔体和载板回流线，多个镀膜腔体依次排列，带有硅片的载板在镀膜腔体内依次传送，以实现对硅片的工艺处理，载板回流线位于镀膜腔体下方，载板回流线将空的载板从镀膜腔体的一侧回传到镀膜腔体的另一侧，在判断载板20是否需要清洁时，可以通过在镀膜设备上设置对应的计数系统，由于载板20的数量一定，在设定载板20后，通过计算载板20完成了几个圆环，从而可以得到各个载板20进入镀膜腔体的次数，当载板20进入镀膜腔体的次数满足条件以后，控制单元启动清洁组件对载板20进行清洁。同时，清洁装置10还包括检测载板20位置的位置检测件40，当位置检测件40检测到载板脱离时，第一驱动组件驱动清洁组件远离载板20，从而实现清洁组件与载盘位置的脱离。

清洁组件、第一驱动组件、控制单元均安装在框架50上，通过框架50进行固定，结构简单，便于实施。

采用上述技术方案，通过设置可以对载板20进行清洁的清洁组件，在清洁组件上设置可以驱动清洁组件靠近或远离载板20的第一驱动组件，然后配合控制单元的控制，实现当载板20需要清洁时进行清洁，当不需要清洁时实现清洁组件与载板20之间分离，从而有效的降低了清洁组件的磨损，同时避免了当载板20不需要清洁时，清洁组件上的异物掉落在载板20上，进一步提高了载板20的清洁程度。

在镀膜腔体中，载板的边侧和滚轮接触，摩擦作用，导致膜易脱落，因而接触部位会出现掉粉现象；本清洁装置具有占地小，清洁组件可以精准的清扫载板与滚轮的接触部位，避免大面积清洁异物不能及时清除造成的新的污染源。

在本申请的一实施例中，如图3和图4所示，所述清洁组件包括：

毛刷12，可贴合在载板20的表面；和

第二驱动件11，连接于所述第一驱动组件上，用于驱动所述毛刷12转动。

具体的，清洁组件包括毛刷12和第二驱动件11。

毛刷12采用现有技术中常用的毛刷12，毛刷12可以贴合在载板的表面，该表面既可以为载板的上表面、下表面、或者侧表面。

第二驱动件11采用伺服电机或者步进电机，采用伺服电机或步进电机，具有控制简单，运行稳定等优点。毛刷12固定连接在第二驱动件11的转动轴70上，毛刷12与第二驱动件11之间通过固定连接的方式连接，可提高毛刷12与第二驱动件11之间的连接强度。当然根据设计的需要，毛刷12与第二驱动件11之间还可以采用可拆卸的方式连接，例如螺钉连接、螺栓连接，采用可拆卸的方式连接，方便毛刷12的安装与拆卸，便于后期的维护。第二驱动件11连接在第一驱动组件上。

采用上述技术方案，通过毛刷12和第二驱动组件的相互配合实现对载板20的表面进行清洁，结构简单，便于实施，同时可避免载板20上掉落的灰尘和异物大面积飞散。

在本申请的一实施例中，所述毛刷12包括：

上刷体121，连接于所述第二驱动件11的转动轴70上，所述上刷体的工作面可贴合在所述载板的上表面上；和

下刷体122，连接于所述第二驱动件11的转动轴70上，所述下刷体的工作面可贴合在所述载板的下表面上；

具体的，毛刷12包括上刷体121和下刷体122。

上刷体121为圆盘形，其套接在第二驱动件11的输出轴上，上刷体121上带有刷毛的一侧朝向载板20的上表面。

下刷体122为圆盘形，其套接在第二驱动件11的输出轴上，下刷体122上带有刷毛的一侧朝向载板20的下表面的待清洁区上，待清洁区为载板20与滚轮接触的部分，由于载板与滚轮接触的部分容易出现异物掉落的情况，因此对该部分进行清洁，可提高清洁效率，提高载板20的清洁程度。

采用上述技术方案，通过上刷体121和下刷体122的相互配合，实现对载板20上表面和下表面同时清洁，清洁速度快，结构简单，便于实施。

在本申请的一实施例中，所述毛刷12还包括：

中刷体123，连接于所述第二驱动件11的转动轴70上并位于上刷体121和下刷体122之间，所述中刷体123可贴合于所述载板的侧壁上。

具体的，毛刷12还包括中刷体123，中刷体123连接第二驱动件11的转动轴70上，中刷体123位于下刷体122和上刷体121之间，当上刷体121和下刷体122抵接在载板20的上表面和下表面上时，中刷体123抵接在载板20的侧壁上，实现对载板20的清洁。

采用上述技术方案，通过设置中刷体123对载板20的侧壁进行清洁，配合上刷体121和下刷体122，清洁速度快、结构简单，便于实施。

在本申请的一实施例中，所述清洁组件还设有传动滚轮80，起到支撑和导向载板的作用。

在本申请的一实施例中，所述清洁组件还包括可对上刷体121刷落的灰尘进行收集的第一吸尘口16。

具体的，清洁组件还包括第一吸尘口16，第一吸尘口16位于上刷体121的一侧，其开口朝向上刷体121，当上刷体121扫落载板20的上的灰尘和异物时，被第一吸尘口16吸附，避免被扫落的灰尘和异物四散。

在本申请的一实施例中，所述清洁组件还包括可对下刷体122刷落的灰尘进行收集的第二吸尘口17。

具体的，清洁组件还包括第二吸尘口17，第二吸尘口17位于下刷体122的一侧，其开口朝向下刷体122，当下刷体122扫落载板20的上的灰尘和异物时，被第二吸尘口17吸附，避免被扫落的灰尘和异物四散。

由旋转的毛刷清除载板表面的成膜，且距离载板5mm处设置上、下吸尘口，具有较好的吸尘效果，较现有毛刷加风刀的清洁方案更有利阻止粉尘的逃逸。

在本申请的一实施例中，所述清洁组件为两个，两个所述清洁组件分别位于所述载板运动方向的两侧。

具体的，两个清洁组件分别位于载板20运动方向的两侧，实现对载板20的清洁，提高了清洁效率，同时通过两个清洁组件对载板20底部与滚轮接触的部位进行清洁，避免存在未被清洁的死角。

在本申请的一实施例中，第一驱动组件包括：

第一驱动件13；

导轨14，所述清洁组件滑动连接于所述导轨14；所述第一驱动件13驱动所述清洁组件沿着导轨14的长度方向往复运动。

具体的，第一驱动组件包括第一驱动件13和导轨14。

第一驱动件13为伸缩气缸，清洁组件滑动连接在导轨14上，导轨14的长度方向与载板20的长度方向不在同一直线上。优先的，导轨14的长度方向与载板20的长度方向互相垂直。第一驱动件13驱动清洁组件沿着导轨14的长度方向往复运动，从而实现清洁组件靠近或者远离载板20，结构简单，便于实施。

在本申请的一实施例中，所述清洁装置10还包括设于载板底部用于收集载板掉落的异物的集尘盒60。

具体的，清洁装置10还包括设于用于收集载板20掉落的异物的集尘盒60，所述集尘盒位于框架50上，通过集尘盒60实现对灰尘和异物的收集，避免灰尘和异物的四散，进一步提高了载板20的清洁度。

清洁装置整体结构简洁，动作流畅，毛刷在清扫的同时吸尘口能有效的收集粉尘，同时底部设置粉尘逃逸后的集尘盒，能最大限度降低对车间洁净度的影响。

本申请还公开了一种载板回流线，包括至少一个传输通道30，所述传输通道30的入口处设有如上任意一项所述的清洁装置10。

载板回流线包括至少一个传输通道30，当传输通道30为多个时，沿载板传输方向，多个传输通道30依次设置，载板20依次经过多个传输通道30，使载板从一侧传送至另一侧。传输通道30为一个中空的腔体，与载板传输方向平行的方向上，腔体内壁上设有传输装置(例如滚轮传输)，相对的腔体两侧设有载板入口和载板出口，清洁装置10位于载板的入口处和/或出口处。

一种镀膜设备，包括多个镀膜腔体和载板回流线，多个镀膜腔体依次排列，带有硅片的载板在镀膜腔体内依次传送，以实现对硅片的工艺处理，载板回流线位于镀膜腔体下方，载板回流线将空的载板从镀膜腔体的一侧回传到镀膜腔体的另一侧，用于实现硅片的重新上料，重新依次进入镀膜腔体，实现硅片的工艺处理。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：

框架，设有供载板进出的开口；

至少一个清洁组件，设置在所述框架上，用于对载板进行清洁；

第一驱动组件，与所述清洁组件相连，用于驱动所述清洁组件靠近或远离所述载板；以及

控制单元，当所述清洁组件完成对载板清洁时，控制所述第一驱动组件驱动所述清洁组件远离所述载板，以实现载板与清洁组件的分离。

2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件包括：

毛刷，可贴合在所述载板的表面；和

第二驱动件，连接于所述第一驱动组件上，用于驱动所述毛刷转动。

3.如权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷包括：

上刷体，连接于所述第二驱动件的转动轴上，所述上刷体的工作面可贴合在所述载板的上表面上；和

下刷体，连接于所述第二驱动件的转动轴上，所述下刷体的工作面可贴合在所述载板的下表面上。

4.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷还包括：

中刷体，连接于所述第二驱动件的转动轴上并位于所述上刷体和下刷体之间，所述中刷体的工作面可贴合于所述载板的侧壁上。

5.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件还包括第一吸尘口和第二吸尘口，所述第一吸尘口靠近所述上刷体设置，可对上刷体刷落的灰尘进行收集；所述第二吸尘口靠近下刷体设置，可对下刷体刷落的灰尘进行收集。

6.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件为两个，两个所述清洁组件分别位于所述载板运动方向的两侧。

7.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，第一驱动组件包括：

第一驱动件；

导轨，所述清洁组件滑动连接于所述导轨；所述第一驱动件驱动所述清洁组件沿着导轨的长度方向往复运动。

8.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括设于用于收集载板掉落的异物的集尘盒，所述集尘盒位于所述框架上。

9.一种载板回流线，包括传输通道，其特征在于，所述传输通道的入口和/或出口处设有如权利要求1至8中任意一项所述的清洁装置。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至8中任意一项所述的清洁装置或权利要求9所述的载板回流线。

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