CN219023830U - 酸雾回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种酸雾回收装置，包括混合吸收塔、回收槽和回用槽，所述混合吸收塔一侧的下方设有进气口，所述混合吸收塔另一侧的上方设有出气口，所述出气口连通洗涤塔的进口，所述出气口连接风机，所述混合吸收塔的上部设有喷淋装置，所述混合吸收塔的底部通过喷淋回水管与回收槽连接；所述回收槽内设有冷凝盘管，所述回收槽内还设有喷淋泵，所述喷淋泵的出口与喷淋装置的进口相连通，所述回收槽的出口端与回用槽相连接。本装置让蚀刻液中挥发的盐酸能部分回收，减少废气中盐酸酸雾的排放，降低后续废气处理的负荷，并使酸雾重新得到利用，同时酸雾的吸收也避免了对环境的污染。

Description

酸雾回收装置

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理设备，特别是涉及一种酸雾回收装置。

背景技术

蚀刻线为保证蚀刻速度，通常蚀刻槽液需要加温，盐酸挥发浓度高，挥发量大，蚀刻液消耗量也非常大。高浓度且高温的盐酸废气给后续废气处理带来很大的负荷，使废气处理碱性洗涤塔处理效率大大降低，而且在塔内用液碱吸收盐酸形成高盐水容易结晶，洗涤塔内填料结晶严重，需要频繁清理更换，废气处理达标难度比较高。

目前针对盐酸雾挥发普遍采用的是在后续尾气采用碱液喷淋吸收盐酸，然后进行尾气排放的处理方式。但这种方式既浪费了酸雾，又浪费了碱液，还对环境产生了负面影响，使生产成本增高。同时酸雾仅通过洗涤塔进行喷淋洗涤，很难达到国家排放现行标准。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种酸雾回收装置，用于解决现有技术中碱液除酸浪费原料、不环保、且除酸效率低的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种酸雾回收装置，包括混合吸收塔、回收槽和回用槽，所述混合吸收塔一侧的下方设有进气口，所述混合吸收塔另一侧的上方设有出气口，所述出气口连通洗涤塔的进口，所述出气口连接风机，所述混合吸收塔的上部设有喷淋装置，所述混合吸收塔的底部通过喷淋回水管与回收槽连接；所述回收槽内设有冷凝盘管，所述回收槽内还设有喷淋泵，所述喷淋泵的出口与喷淋装置的进口相连通，所述回收槽的出口端与回用槽相连接。

于本实用新型的一实施例中，所述进气口和喷淋装置之间设有滤网，所述滤网上设有滤料。

于本实用新型的一实施例中，所述混合吸收塔内设有三个腔室，所述喷淋装置为匹配的三联式喷淋装置。

于本实用新型的一实施例中，所述喷淋泵的出口通过循环喷淋管路与喷淋装置的进口相连接。

于本实用新型的一实施例中，所述喷淋装置的喷射方向能万向调节。

于本实用新型的一实施例中，所述冷凝盘管紧贴回收槽的侧壁及底部。

于本实用新型的一实施例中，所述回用槽内设有pH计和电导率仪。

于本实用新型的一实施例中，所述回收槽底部的出口端通过第一提升泵与回用槽连接。

于本实用新型的一实施例中，所述回用槽的底部通过第二提升泵与蚀刻液生产线连接。

如上所述，本实用新型的酸雾回收装置，具有以下有益效果：

1、让蚀刻液中挥发的盐酸能部分回收，减少废气中盐酸酸雾的排放，降低后续废气处理的负荷，并使酸雾重新得到利用，同时酸雾的吸收也避免了对环境的污染。

2、将酸雾和水雾混合后进行降温吸收，一方面能够回收酸雾，另一方面能够对酸雾降温，起到双重的效果，提高净化效率。

3、本申请提供的酸雾回收装置的整体配置简单，操作流程顺畅，回收的酸液能够再利用，绿色环保。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例中公开的酸雾回收装置的结构示意图。

图2显示为本实用新型实施例中公开的酸雾回收装置的平面示意图。

元件标号说明

1、混合吸收塔；11、进气口；12、出气口；13、喷淋回水管；14、滤网；15、滤料；2、回收槽；21、第一提升泵；3、回用槽；31、第二提升泵；4、风机；5、喷淋装置；6、冷凝盘管；7、喷淋泵；71、循环喷淋管路；8、电导率仪。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

请参阅图1，本实用新型提供一种酸雾回收装置，让蚀刻线的蚀刻液中挥发的盐酸能部分回收。该酸雾回收装置包括混合吸收塔1、回收槽2和回用槽3，其中，所述混合吸收塔1一侧的下方设有进气口11，所述混合吸收塔1另一侧的上方设有出气口12，所述出气口12连通洗涤塔的进口，所述出气口12连接风机4，所述混合吸收塔1的上部设有喷淋装置5，所述混合吸收塔1的底部通过喷淋回水管13与回收槽2连接；所述回收槽2内设有冷凝盘管6，所述回收槽2内还设有喷淋泵7，所述喷淋泵7的出口与喷淋装置5的进口相连通，所述回收槽2的出口端与回用槽3相连接。

进一步的，所述进气口11和喷淋装置5之间设有滤网14，所述滤网14上设有滤料15。通过设置滤网14和滤料15，增大喷淋水和酸雾之间的接触面积，提高对酸雾的吸收程度，更快、更好的将酸雾回收。

进一步的，所述混合吸收塔1内设有三个腔室，所述喷淋装置5为匹配的三联式喷淋装置5。通过设置三联式喷淋装置5，增大吸收面积，提高盐酸酸雾的吸收效率。

进一步的，所述喷淋泵7的出口通过循环喷淋管路71与喷淋装置5的进口相连接。使回收槽2内冷凝后的液体经喷淋泵7和循环喷淋管路71再回到三联式喷淋装置5中继续吸收废气中的盐酸雾滴。

进一步的，喷淋装置5的喷射方向能万向调节，根据需要调整喷淋的方向，或使其在一定角度范围内转动，使喷淋液能和废气更好的接触。

进一步的，为提升冷凝效果，令所述冷凝盘管6紧贴回收槽2的侧壁及底部，提高吸收效果。

进一步的，所述回用槽3内设有pH计和电导率仪8。当回收槽2中的盐酸浓度达到一定浓度，通过电导率仪8测出电导率达到所设定点，对回收槽2内的液体进行更换，将其排入回用槽3，再重新加入水。而回用槽3内的回用液可以补充部分高浓度盐酸，使其达到使用要求的浓度，然后重新回到蚀刻生产线做为蚀刻液使用。其中，所述回收槽2底部的出口端通过第一提升泵21与回用槽3连接。所述回用槽3的底部通过第二提升泵31与蚀刻液生产线连接。

工作原理：将蚀刻液生产线的集中废气收集管道接入本装置的进气口，废气进入以后经过三联式喷淋装置，在装置内实现气液逆流，更好的吸收盐酸。其中，装置内设定风速为1.0m/s，使喷淋头实现全覆盖，提高吸收效果。吸收了盐酸气体的水回流到回收槽，回收槽内装有冷凝盘管，对回收槽内液体进行冷凝，冷凝后的盐酸槽液经喷淋泵和循环喷淋管路再回到三联式水喷淋装置中继续吸收废气中的盐酸雾滴。当回收槽中的盐酸浓度达到一定浓度，通过电导率仪测出电导率达到所设定点，对回收槽内的液体进行更换，将其排入回用槽，再重新加入水。而回用槽内的回用液可以补充部分高浓度盐酸，使其达到使用要求的浓度，然后重新回到蚀刻生产线做为蚀刻液使用。

综上所述，本实用新型让蚀刻液中挥发的盐酸能部分回收，减少废气中盐酸酸雾的排放，降低后续废气处理的负荷，并使酸雾重新得到利用，同时酸雾的吸收也避免了对环境的污染；将酸雾和水雾混合后进行降温吸收，一方面能够回收酸雾，另一方面能够对酸雾降温，起到双重的效果，提高净化效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (9)

1.一种酸雾回收装置，其特征在于，包括混合吸收塔、回收槽和回用槽，所述混合吸收塔一侧的下方设有进气口，所述混合吸收塔另一侧的上方设有出气口，所述出气口连通洗涤塔的进口，所述出气口连接风机，所述混合吸收塔的上部设有喷淋装置，所述混合吸收塔的底部通过喷淋回水管与回收槽连接；所述回收槽内设有冷凝盘管，所述回收槽内还设有喷淋泵，所述喷淋泵的出口与喷淋装置的进口相连通，所述回收槽的出口端与回用槽相连接。

2.根据权利要求1所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述进气口和喷淋装置之间设有滤网，所述滤网上设有滤料。

3.根据权利要求2所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述混合吸收塔内设有三个腔室，所述喷淋装置为匹配的三联式喷淋装置。

4.根据权利要求2所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述喷淋泵的出口通过循环喷淋管路与喷淋装置的进口相连接。

5.根据权利要求2所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述喷淋装置的喷射方向能万向调节。

6.根据权利要求1所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述冷凝盘管紧贴回收槽的侧壁及底部。

7.根据权利要求1所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述回用槽内设有pH计和电导率仪。

8.根据权利要求1-7任一所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述回收槽底部的出口端通过第一提升泵与回用槽连接。

9.根据权利要求8所述的酸雾回收装置，其特征在于，所述回用槽的底部通过第二提升泵与蚀刻液生产线连接。

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