CN218936939U - 一种风刀吹扫装置及清洗设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例属于显示器件加工技术领域，涉及一种风刀吹扫装置，包括载料机构、第一风刀机构和第二风刀机构；载料机构包括承载架，所述承载架为中空框架结构；第一风刀机构位于载料机构的上方；第二风刀机构位于载料机构的下方。本申请还涉及一种清洗设备。本申请提供的技术方案能够提高基板的上下表面的干燥速度，提升大尺寸显示器件的清洁和干燥程度，提升工艺综合良率。

Description

一种风刀吹扫装置及清洗设备

技术领域

本申请涉及显示器件制备技术领域，更具体地，涉及一种风刀吹扫装置以及一种清洗设备。

背景技术

随着显示器件的开发与应用，在现有的领域中，中、小尺寸柔性产品与大尺寸柔性产品的工艺路线呈现了不同的工艺路线，目前针对大尺寸柔性产品主要的制作工艺为激光剥离前清洗→激光剥离(LLO)→承载基板取下→支撑膜贴附。

由于现有的带邦定(bonding)端子器件无法采用传统辊筒传动的输送方式，因此需要采取真空搬臂+输运平台结合的输送方式，在输运平台输送过程中，基板在进行风刀吹扫过程中，由于现有的载料平台的遮挡，使基板下方不容易被风干，因此在基板的表面及边缘存在严重的水渍残留，对后续LLO制程中UV激光发生吸收和散射，令柔性显示器件与基板无法顺利分离，导致产品报废，生产的良品率低。

实用新型内容

本申请实施例所要解决的技术问题是现有的输运平台吹扫效果差，影响后续LLO制程，从而导致生产的良品率低，且报废率增加。

为了解决上述技术问题，本申请实施例提供一种风刀吹扫装置，采用了如下所述的技术方案：

一种风刀吹扫装置，包括载料机构、第一风刀机构和第二风刀机构；

所述载料机构包括承载架，所述承载架为中空框架结构，用于承载基板；

所述第一风刀机构位于所述载料机构的上方，用于对所述基板的上表面干燥处理；

所述第二风刀机构位于所述载料机构的下方，用于对所述基板的下表面干燥处理。

进一步的，所述第一风刀机构的出风方向与所述基板呈第一设定角度α布置；

所述第二风刀机构的出风方向与所述基板呈第二设定角度β布置；

所述第一设定角度α与所述第二设定角度β不相等。

进一步的，所述第一设定角度α小于第二设定角度β。

进一步的，所述第一设定角度α为30°～45°；和/或

所述第二设定角度β为45°～60°；和/或

所述第一风刀机构与第二风刀机构的出风方向与所述基板的送料方向相反。

进一步的，所述载料机构包括承载架，所述承载架为中空框架结构；

所述承载架为多个承载部相互搭接形成的中空矩形框架；

所述承载部内具有空腔，所述承载部靠近所述基板的表面设有与所述空腔连通的真空吸附孔，相邻的两个所述真空吸附孔之间间隔第一设定距离。

进一步的，所述载料机构还包括加热件，所述加热件设于所述承载部的空腔内，用于对所述基板与所述承载部的接触处进行加热。

进一步的，所述载料机构还包括与所述承载架连接的传送组件，用于转移所述基板；

所述传送组件包括连接件与移动驱动件，所述连接件一端与承载架连接，另一端活动安装于所述移动驱动件上。

进一步的，所述第一风刀机构与所述第二风刀机构的结构相同，均包括风嘴、旋转轴、驱动件；

所述风嘴装设于所述旋转轴上；

所述旋转轴与所述驱动件的输出端连接；

所述驱动件驱动所述旋转轴转动，带动所述风嘴转动，以调整出风方向。

进一步的，所述风刀吹扫装置还包括控制模组，与所述驱动件连接，用于调整所述第一风刀机构与所述第二风刀机构的出风角度。

为了解决上述技术问题，本申请实施例还提供一种清洗设备，采用了如下所述的技术方案：

一种清洗设备，包括如上所述的风刀吹扫装置。

与现有技术相比，本申请实施例主要有以下有益效果：

⑴本申请实施例提供的风刀吹扫装置通过将承载架设置为中空框架结构，从而增加了所承载基板下表面的裸露面积，以便于第二风刀机构能够对基板进行充分吹扫，提升大尺寸柔性产品的清洁和干燥程度；

通过将第一风刀机构与第二风刀机构不同的出风方向的设置，从而提升基板下表面的干燥速度，提升风刀吹扫装置的干燥效率。

⑵本申请实施例提供的清洗设备，在进行清洗后进入风刀吹扫装置，通过风刀吹扫装置能够有效地对基板下表面以及基板与承载部接触处的干燥，从而避免残留水渍对后续LLO工序的影响，提升大尺寸器件的清洁和干燥程度，提升模组制程工艺综合良率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请的风刀吹扫装置的结构示意图；

图2是本申请的风刀吹扫装置的结构示意图(无传送组件)；

图3是图1中载料机构的结构示意图；

图4是图1中载料机构的另一实施例的结构示意图；

图5是本申请的第一风刀机构与第二风刀机构的出风方向的结构示意图；

图6是本申请的清洗设备的结构示意图。

附图标记：

10、风刀吹扫装置；1、载料机构；11、承载架；111、真空吸附孔；112、横梁；113、纵梁；12、传送组件；121、移动驱动件；122、连接件；2、第一风刀机构；21、第一风嘴；22、第一旋转轴；3、第二风刀机构；31、第二风嘴；32、第二旋转轴；20、上料平台；30、CCD对位装置；40、研磨盘清洗装置；50、毛刷清洗装置；60、喷淋装置；70、下料平台；80、激光切割设备；81、上料机器人。

具体实施方式

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文中在申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。本申请的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

本申请风刀吹扫装置的实施例

请参阅图1、图2所示，本申请风刀吹扫装置10包括载料机构1、第一风刀机构2和第二风刀机构3。

参阅图3，所述载料机构1包括承载架11，所述承载架11呈中空框架结构，基板承载于所述承载架11的载料面上，在本实施例中，所述基板放置于所述中空框架上，中空框架的设置与常规栅栏式结构的载料架相比，基板的下表面的裸露面积更大，使吹扫效果更佳。

请参阅图5所示，所述第一风刀机构2位于所述载料机构1的上方，且出风方向与所述基板呈第一设定角度α布置，用于对所述基板的上表面干燥处理，在本实施例中，所述第一设定角度α为30°～45°；所述第二风刀机构3位于所述载料机构1的下方，且出风方向与所述基板呈第二设定角度β布置，用于对所述基板的下表面干燥处理，在本实施例中，所述第二设定角度β为45°～60°。

所述第一设定角度α与所述第二设定角度β不相等，在本实施例中，所述第一设定角度α小于第二设定角度β，所述第一设定角度α与所述第二设定角度β的取值可为：

当所述第一设定角度α取30°时，所述第二设定角度调节为45°。

当所述第一设定角度α取40°时，所述第二设定角度调节为55°。

当所述第一设定角度α取45°时，所述第二设定角度调节为60°。

在本实施例中，所述第一风刀机构2与第二风刀机构3的出风方向与所述基板的送料方向相反，以便于第一风刀机构2与第二风刀机构3能够对基板表面进行充分吹干处理。

本申请实施例提供的风刀吹扫装置10通过将承载架11设置为中空框架，从而增加了承载架11所承载的基板的下表面的裸露面积，以便于第二风刀机构3能够对基板的下表面进行充分吹干，提升大尺寸柔性产品整体清洁和干燥程度；为适应基板上表面与基板下表面不同的水渍残留程度，将第一风刀机构2与第二风刀机构3设置不同的出风角度，进一步的，通过第二风刀机构3的第二设定角度β小于第一风刀机构2的第一设定角度α的设置，与现有采用相同出风角度设置的上风刀机构与下风刀机构相比，可以提升基板下表面的干燥速度，提升风刀吹扫装置的干燥效率和干燥效果。

请参阅图3所示，所述承载架11为多个承载部相互搭接形成的中空矩形框架，所述承载部内具有空腔，所述承载部靠近所述基板的表面设有与所述空腔连通的真空吸附孔111，在本实施例中，所述承载部可以为型材，所述型材包括横梁112与纵梁113，所述横梁112与所述纵梁113相互垂直搭接，形成所述中空矩形框架，所述横梁112与纵梁113内具有与真空发生装置(图中未示出)连接的空腔，且横梁112与纵梁113靠近所述基板的表面设有多个与所述空腔连通的真空吸附孔111，所述真空发生装置启动，对空腔进行抽真空，通过真空吸附孔111对承载的基板进行真空吸附。

在本实施例中，所述承载架11用于承载Bonding基板，相邻的两个所述真空吸附孔111之间间隔设定距离，所述真空吸附孔的孔径为0.5mm(±0.1mm)，所述设定距离为1～2mm。

本申请实施例通过在横梁112与纵梁113上设置多个真空吸附孔111，以增加基板的吸附力度，避免基板在进行吹干过程中，发生相对承载架11的位移，提高基板的吹干工序的工作效率。

请参阅图4所示，在其他实施例中，所述承载件用于承载设PCB端子的基板，其中，所述承载架11的纵梁113与所述基板的PCB端子接触，所述纵梁113上相邻的两个所述真空吸附孔111之间间隔设定距离小于所述横梁112上相邻的两个所述真空吸附孔111之间间隔的设定距离，其中，所述横梁112上相邻的两个所述真空吸附孔111之间间隔的设定距离为1～2mm，所述纵梁113上相邻的两个所述真空吸附孔111之间间隔的设定距离为0.5～0.8mm，本实施例通过减小与PCB端子接触的纵梁113上的多个真空吸附孔111之间的间隔，以增加纵梁113上真空吸附孔111的分布密度，从而确保对带PCB的基板的吸附力度，避免基板发生相对承载架11的位移。

所述载料机构10还包括加热件(图中未示出)，所述加热件设于所述承载部的空腔内，用于对基板与承载架11接触处进行加热烘干，在本实施例中，所述加热件为电阻式加热棒或者加热丝，本实施例中采用电阻式加热棒，其结构简单，在加热过程中能够向周围散发大量热量，能够有效地对基板与承载架11接触处进行加热烘干。

本申请实施例中由于所述基板放置在所述承载架11上，因此基板与承载架11接触处第二风刀机构3无法吹干，因此本实施例在承载架11的承载部内进一步设有加热件，利用加热件通过加热除水汽的方法对基板与承载架11接触处的残留水渍进行加热烘干，与第二风刀机构3配合，能够有效地对基板下表面以及基板与承载架11接触处的干燥。

请参阅图1、图3、图4所示，所述载料机构1还包括传送组件12，所述传送组件12包括连接件121与移动驱动件122，所述连接件121一端与承载架11连接，另一端活动安装于所述移动驱动件122上，在本实施例中，所述移动驱动件122为直线模组，所述连接件121与直线模组的电机连接，其中，所述第一风刀机构2与第二风刀机构3的出风方向与所述移动驱动件122的送料方向相反。

本申请实施例通过设置传送组件12，所述传动组件12驱动所述承载架11在相邻两工序之间做往复动作，将完成上一工序的基板输送至下一工序进行后续加工，传动组件12的送料过程中，通过第一风刀机构2与第二风刀机构3分别对基板的上下表面进行充分吹干处理，以确保进入下一工序的基板保持清洁与干燥。

请参阅图5所示，所述第一风刀机构2与所述第二风刀机构3的结构相同，均包括风嘴、旋转轴、驱动件。

所述风嘴装设于所述旋转轴上，所述旋转轴与所述驱动件的输出端连接，所述驱动件驱动所述旋转轴转动，带动所述风嘴转动，以调整出风方向。

在本实施例中，所述第一风刀机构2包括第一风嘴21、第一旋转轴22及第一驱动件(图中未示出)。

所述第一风嘴21装设于所述第一旋转轴22上，所述第一旋转轴22与所述第一驱动件的输出端连接，所述第一驱动件驱动所述第一旋转轴22转动，带动所述第一风嘴21转动，以调整第一风嘴21的出风方向，所述第一风嘴21的出风方向与所述基板呈第一设定角度α布置，在本实施例中，所述第一设定角度α为30°～45°。

所述第二风刀机构3包括第二风嘴31、第二旋转轴32及第二驱动件(图中未示出)。

所述第二风嘴31装设于所述第二旋转轴32上，所述第二旋转轴32与所述第二驱动件的输出端连接，所述第二驱动件驱动所述第二旋转轴32转动，带动所述第二风嘴31转动，以调整第二风嘴31的出风方向，所述第二风嘴31的出风方向与所述基板呈第二设定角度β布置，在本实施例中，所述第二设定角度β为45°～60°。

在本实施例中，所述风刀吹扫装置10还包括控制模组(图中未示出)，所述第一驱动件、所述第二驱动件均与所述控制模组连接。

本申请实施例通过控制模组分别控制第一驱动件与第二驱动件的启停，控制第一旋转轴22和第二旋转轴32转动，以分别调整第一风嘴21的第一设定角度α以及第二风嘴31的第二设定角度β，缩短调整第一风刀机构2与第二风刀机构3的调整时间，提高调整出风角度的精度，从而能够更容易找到第一风刀机构2与第二风刀机构3之间的风力平衡点，提升基板的风吹干燥速度。

本申请清洗设备的实施例

请参阅图6所示，本申请实施例清洗设备包括沿基板送料方向依次设置的上料平台20、CCD对位装置30、研磨盘清洗装置40、毛刷清洗装置50、喷淋装置60、如上所述的风刀吹扫装置10、下料平台70，所述下料平台70与激光切割设备80的上料机器人81连接。

本申请实施例提供的清洗设备，在上料后进行对位，随即进行依次的研磨盘清洗、毛刷清洗、喷淋清洗后进入风刀吹扫装置10，通过风刀吹扫装置10能够有效地对基板上表面、基板下表面以及基板与承载架11接触处的干燥，完成充分干燥后的基板通过下料平台70传输至上料机器人81，避免残留水渍对后续LLO工序的影响，提升大尺寸器件的清洁和干燥程度，提升模组制程工艺综合良率。

显然，以上所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，附图中给出了本申请的较佳实施例，但并不限制本申请的专利范围。本申请可以以许多不同的形式来实现，相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容的理解更加透彻全面。尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来而言，其依然可以对前述各具体实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等效替换。凡是利用本申请说明书及附图内容所做的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本申请专利保护范围之内。

Claims (10)

1.一种风刀吹扫装置，其特征在于，包括载料机构、第一风刀机构和第二风刀机构；

所述载料机构包括承载架，所述承载架为中空框架结构，用于承载基板；

所述第一风刀机构位于所述载料机构的上方，用于对所述基板的上表面干燥处理；

所述第二风刀机构位于所述载料机构的下方，用于对所述基板的下表面干燥处理。

2.根据权利要求1所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述第一风刀机构的出风方向与所述基板呈第一设定角度α布置；

所述第二风刀机构的出风方向与所述基板呈第二设定角度β布置；

所述第一设定角度α与所述第二设定角度β不相等。

3.根据权利要求2所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述第一设定角度α小于第二设定角度β。

4.根据权利要求3所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述第一设定角度α为30°～45°；和/或

所述第二设定角度β为45°～60°；和/或

所述第一风刀机构与第二风刀机构的出风方向与所述基板的送料方向相反。

5.根据权利要求1所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述承载架为多个承载部相互搭接形成的中空矩形框架；

所述承载部内具有空腔，所述承载部靠近所述基板的表面设有与所述空腔连通的真空吸附孔，相邻的两个所述真空吸附孔之间间隔设定距离。

6.根据权利要求5所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述载料机构还包括加热件，所述加热件设于所述承载部的空腔内，用于对所述基板与所述承载架的接触处进行加热。

7.根据权利要求6所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述载料机构还包括与所述承载架连接的传送组件，用于转移所述基板；

所述传送组件包括连接件与移动驱动件，所述连接件一端与承载架连接，另一端活动安装于所述移动驱动件上。

8.根据权利要求1所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述第一风刀机构与所述第二风刀机构的结构相同，均包括风嘴、旋转轴、驱动件；

所述风嘴装设于所述旋转轴上；

所述旋转轴与所述驱动件的输出端连接；

所述驱动件驱动所述旋转轴转动，带动所述风嘴转动，以调整出风方向。

9.根据权利要求8所述的风刀吹扫装置，其特征在于，所述风刀吹扫装置还包括控制模组，与所述驱动件连接，用于调整所述第一风刀机构与所述第二风刀机构的出风角度。

10.一种清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的风刀吹扫装置。

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