CN218918812U - 用于芯片制造的片盒载台及一种设备前端模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及用于芯片制造的片盒的定位，具体涉及用于芯片制造的片盒载台及一种设备前端模块。用于芯片制造的片盒载台包括设有用于支撑片盒的片盒承载面的承载基体及片盒定位结构，片盒定位结构能够在第一方向和/或第二方向上对片盒形成限位；片盒定位结构形成至少一组片盒定位区域组，每组片盒定位区域组具有至少两个在第三方向上位置不同的片盒定位区域，同一组的片盒定位区域在第一方向和/或第二方向上尺寸不同，用以分别容纳晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒。由于片盒载台上的片盒定位区域组在第三方向上形成了位置不同的片盒定位区域，因此能够实现片盒载台对晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒的兼容。

Description

用于芯片制造的片盒载台及一种设备前端模块

技术领域

本实用新型涉及用于芯片制造的片盒的定位，具体涉及用于芯片制造的片盒载台及一种设备前端模块。

背景技术

对于半导体生产企业来说，设备前端模块(Equipment Front End Module，EFEM)是重要装置。设备前端模块是指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺模块或检测模块的晶圆前端传输装置。设备前端模块一般包括模块主体，作业时模块主体上需安装相应规格的片盒载台，片盒载台用于承载和定位片盒(晶圆的盛放盒)，片盒的定位准确性直接关系着后续晶圆传输过程的顺利安全进行。为了最大限度地节约成本和节省空间，在一些工况下，要求同一片盒载台需要能够兼容多种品牌、多种尺寸的片盒。

目前，半导体生产企业和相应设备制造企业一般能够通过多处片盒定位块来使不同尺寸的片盒共用同一个片盒载台，实现片盒兼容。但是，理论上，每增加一种片盒兼容，就需要增加一套位置限定件。对于晶圆承载规格相同但品牌不同的硅晶片片盒，虽然品牌不同的硅晶片片盒的整体外形尺寸大致相同，但是仍存在有一些外形尺寸差异，并且这些外形尺寸差异较小。因此，相应的片盒载台上的同一区域如果针对不同品牌的片盒分别设置片盒定位块，将会出现片盒与某个片盒定位块干涉的情况，在同一平面内就难以形成能够适配两种以上品牌的片盒的片盒定位区域，这就导致片盒载台难以兼容晶圆承载规格相同但品牌不同的片盒。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于芯片制造的片盒载台，解决现有技术中的片盒载台难以兼容晶圆承载规格相同但品牌不同的片盒的问题。本实用新型还提供了一种使用了上述片盒载台的设备前端模块，解决现有的设备前端模块的片盒载台难以兼容晶圆承载规格相同但品牌不同的片盒的问题。

第一方面，本实用新型提供了一种用于芯片制造的片盒载台，包括：

承载基体，所述承载基体上设有用于支撑片盒的片盒承载面；以及，

片盒定位结构，所述片盒定位结构用于在所述承载基体上形成供所述片盒定位放置的片盒定位区域，所述片盒定位结构能够在第一方向和/或第二方向上对所述片盒形成限位，所述第一方向和所述第二方向相互垂直且均平行于所述片盒承载面；

所述片盒定位结构形成至少一组片盒定位区域组，每组所述片盒定位区域组具有至少两个在第三方向上位置不同的所述片盒定位区域，所述第三方向垂直于所述片盒承载面，同一组的所述片盒定位区域在所述第一方向和/或所述第二方向上尺寸不同，用以分别容纳晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒。

作为一种优选的技术方案，所述片盒定位结构具有至少一组在所述第三方向上位置不同且均朝向所述第一方向的定位面，并且/或者，具有至少一组在所述第三方向上位置不同且均朝向所述第二方向的定位面；

同一组所述定位面包括第一定位面和第二定位面，同一组的所述第一定位面和所述第二定位面沿各自对应的所述第一方向或第二方向间隔设置，以使同一组的所述第一定位面和第二定位面能够分别与所述片盒定位结构的其他部分形成两个在所述第一方向和/或所述第二方向上尺寸不同的片盒定位区域。

作为一种优选的技术方案，所述片盒定位结构包括凸设于所述承载基体上的片盒定位块；所述片盒定位块包括定位块主体和凸出于定位块主体侧面的定位台阶，所述定位台阶形成了在第三方向上向远离所述片盒承载面的一侧抬升的抬升结构；

所述定位台阶设有至少两阶，所述第一定位面和第二定位面分别由不同阶定位台阶的侧面形成。

在一种技术方案中，所述片盒定位块的侧面的底部设有所述定位台阶，所述片盒定位块的底面与片盒定位块侧面底部的所述定位台阶的底面共面。

在一种技术方案中，所述第一定位面和第二定位面设置在相邻的两阶所述定位台阶上。

在一种技术方案中，至少一个片盒定位块上的所述定位面包括朝向第一方向的第一朝向面、朝向第二方向的第二朝向面，所述第一朝向面和第二朝向面成L形布置，形成一组双向定位面组。

在一种技术方案中，至少一个片盒定位块具有至少两组所述双向定位面组，相邻两组所述双向定位面组中的所述第二朝向面在所述第二方向上位置不同，两处所述第二朝向面之间通过第二过渡连接面连接而形成在所述第二方向上错位的台阶结构；

并且/或者，相邻两组所述双向定位面组中的所述第一朝向面在所述第一方向上位置不同，两处所述第一朝向面之间通过第一过渡连接面连接而形成在所述第一方向错位的台阶结构。

在一种技术方案中，朝向所述第一方向的所述第一定位面和所述第二定位面中，有一个与所述第二过渡连接面共面；

并且/或者，朝向所述第二方向的所述第一定位面和所述第二定位面中，有一个与所述第一过渡连接面共面。

作为一种优选的技术方案，所述片盒定位块沿所述第一方向分为两组，分别为第一片盒定位块组和第二片盒定位块组；第一片盒定位块组上的定位面均垂直于第一方向，第二片盒定位块组上的定位面包括所述第一朝向面和所述第二朝向面。

第二方面，本实用新型提供了一种设备前端模块，包括模块主体和设置在模块主体上的片盒载台，所述片盒载台包括承载基体，所述承载基体上设有用于支撑片盒的片盒承载面；以及，

片盒定位结构，所述片盒定位结构用于在所述承载基体上形成供所述片盒定位放置的片盒定位区域，所述片盒定位结构能够在第一方向和/或第二方向上对所述片盒形成限位，所述第一方向和所述第二方向相互垂直且均平行于所述片盒承载面；

所述片盒定位结构形成至少一组片盒定位区域组，每组所述片盒定位区域组具有至少两个在第三方向上位置不同的所述片盒定位区域，所述第三方向垂直于所述片盒承载面，同一组的所述片盒定位区域在所述第一方向和/或所述第二方向上尺寸不同，用以分别容纳晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒。

作为一种优选的技术方案，所述片盒定位结构具有至少一组在所述第三方向上位置不同且均朝向所述第一方向的定位面，并且/或者，具有至少一组在所述第三方向上位置不同且均朝向所述第二方向的定位面；

同一组所述定位面包括第一定位面和第二定位面，同一组的所述第一定位面和所述第二定位面沿各自对应的所述第一方向或第二方向间隔设置，以使同一组的所述第一定位面和第二定位面能够分别与所述片盒定位结构的其他部分形成两个在所述第一方向和/或所述第二方向上尺寸不同的片盒定位区域。

作为一种优选的技术方案，所述片盒定位结构包括凸设于所述承载基体上的片盒定位块；所述片盒定位块包括定位块主体和凸出于定位块主体侧面的定位台阶，所述定位台阶形成了在第三方向上向远离所述片盒承载面的一侧抬升的抬升结构；

所述定位台阶设有至少两阶，所述第一定位面和第二定位面分别由不同阶定位台阶的侧面形成。

在一种技术方案中，所述片盒定位块的侧面的底部设有所述定位台阶，所述片盒定位块的底面与片盒定位块侧面底部的所述定位台阶的底面共面。

在一种技术方案中，所述第一定位面和第二定位面设置在相邻的两阶所述定位台阶上。

在一种技术方案中，至少一个片盒定位块上的所述定位面包括朝向第一方向的第一朝向面、朝向第二方向的第二朝向面，所述第一朝向面和第二朝向面成L形布置，形成一组双向定位面组。

在一种技术方案中，至少一个片盒定位块具有至少两组所述双向定位面组，相邻两组所述双向定位面组中的所述第二朝向面在所述第二方向上位置不同，两处所述第二朝向面之间通过第二过渡连接面连接而形成在所述第二方向上错位的台阶结构；

并且/或者，相邻两组所述双向定位面组中的所述第一朝向面在所述第一方向上位置不同，两处所述第一朝向面之间通过第一过渡连接面连接而形成在所述第一方向错位的台阶结构。

在一种技术方案中，朝向所述第一方向的所述第一定位面和所述第二定位面中，有一个与所述第二过渡连接面共面；

并且/或者，朝向所述第二方向的所述第一定位面和所述第二定位面中，有一个与所述第一过渡连接面共面。

作为一种优选的技术方案，所述片盒定位块沿所述第一方向分为两组，分别为第一片盒定位块组和第二片盒定位块组；第一片盒定位块组上的定位面均垂直于第一方向，第二片盒定位块组上的定位面包括所述第一朝向面和所述第二朝向面。

本实用新型中，由于片盒载台上的片盒定位区域组在第三方向上形成了位置不同的片盒定位区域，因此能够利用第三方向上的空间来容纳晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒，实现了片盒载台对晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒的兼容。

附图说明

图1为本实用新型中用于芯片制造的片盒载台的一个实施例的结构示意图；

图2为图1中的5寸片盒定位块的结构示意图；

图3为图1中的片盒载台沿第三方向的正投影视图；

图4为用于芯片制造的片盒载台的另一个实施例中的5寸片盒定位块的结构示意图。

图中附图标记对应的特征名称列表：10、承载基体；11、片盒承载面；20、片盒定位块；201、共用定位块；202、4寸片盒定位块；203、5寸片盒定位块；204、6寸片盒定位块；21、第一定位面；22、第二定位面；23、定位台阶；24、第二过渡连接面；25、定位块主体；251、台阶结构；26、第一片盒定位块组；27、第二片盒定位块组；28、长孔；30、支座；40、落位传感器。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本实用新型能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本实用新型相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本实用新型的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本实用新型所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

本实用新型中，用于芯片制造的片盒载台上的片盒定位结构在上下方向上形成了相互错开的不同片盒定位区域，能够适应晶圆承载规格相同但品牌不同的片盒尺寸大致相同但略有差异的要求，从而能够兼容晶圆承载规格相同但品牌不同的片盒。本实用新型中的片盒载台能够满足一个品牌的4寸规格片盒的定位、两个品牌的5寸规格片盒的定位，以及两个品牌的6寸规格片盒的定位，从而使一个片盒载台能够兼容五种片盒。

片盒载台包括承载基体10，承载基体10上设有用于支撑片盒的片盒承载面11，一种实施方式中，片盒承载面11为水平面。为了便于读者理解本实用新型，定义片盒载台具有第一方向、第二方向和第三方向，第一方向、第二方向和第三方向两两垂直，构建出三维坐标系，其中第一方向和第二方向均平行于片盒承载面11，按照图示方位，第一方向为前后方向，第二方向为左右方向，第三方向为垂直于片盒承载面11的上下方向。下文基于上述方向定义对片盒载台进行描述。当然，上述定义并不用于限定本实用新型的技术方案，本领域技术人员可以定义任意的坐标系来描述本片盒载台。

本实用新型中用于芯片制造的片盒载台的一个实施例请参考图1，片盒载台包括供承载基体10固定安装的支座30、可拆固定在承载基体10上的片盒定位块20。片盒定位块20为块体结构，固定到承载基体10上以后，沿第三方向向上凸出于承载基体10上的片盒承载面11。为了实现片盒在水平面内的完全定位，片盒定位块20沿第一方向分为两组，分别为第一片盒定位块组26、第二片盒定位块组27。第一片盒定位块组26上的定位面均垂直于第一方向，能够对片盒沿第一方向进行定位；第二片盒定位块组27上的定位面包括朝向第一方向的第一朝向面、朝向第二方向的第二朝向面，第一朝向面和第二朝向面相互垂直。

具体地，一个实施例中，如图2所示，第一片盒定位块组26包括两块左右对称布置的共用定位块201，两块共用定位块201上的定位面均朝后设置，供4寸、5寸、6寸规格片盒共用。第二片盒定位块组27又分为三组，分别与4寸、5寸、6寸规格的片盒对应，如图3所示，第一组第二片盒定位块组27包括两块左右对称的4寸片盒定位块202，第二组第二片盒定位块组27包括两块左右对称的5寸片盒定位块203，第三组第二片盒定位块组27包括两块左右对称的6寸片盒定位块204。本实施例中的片盒定位块20包括上述共用定位块201、4寸片盒定位块202、5寸片盒定位块203和6寸片盒定位块204。

一个实施例中，第一片盒定位块组26中的两个共用定位块201、第一组第二片盒定位块组27中的两块4寸片盒定位块202共同形成一处供4寸片盒定位放置的片盒定位区域。第一片盒定位块组26中的两个共用定位块201、第二组第二片盒定位块组27中的两块5寸片盒定位块203共同形成一处片盒定位区域组，该片盒定位区域组包括两个与5寸规格的片盒对应的片盒定位区域，供两种品牌不同的5寸片盒定位放置。第一片盒定位块组26中的两个共用定位块201、第三组第二片盒定位块组27中的两块6寸片盒定位块204共同形成一处片盒定位区域组，该片盒定位区域组包括两个与6寸规格的片盒对应的片盒定位区域，供两种品牌不同的6寸片盒定位放置。

每组片盒定位区域组能够形成两个在第三方向上位置不同的片盒定位区域，该效果是依靠对应的片盒定位块20实现。与5寸规格的片盒对应的片盒定位区域组是依靠5寸片盒定位块203实现，与6寸规格的片盒对应的片盒定位区域组是依靠6寸片盒定位块204的结构实现。5寸片盒定位块203与6寸片盒定位块204的结构形式一致，仅尺寸不同，均包括定位块主体25和凸出于定位块主体25侧面的定位台阶23，定位台阶23形成了两个第一朝向面，两个第一朝向面形成了一组沿第一方向间隔设置的第一定位面21和第二定位面22。同时，如图2，定位块主体25上设有台阶结构251，台阶结构251形成了两个第二朝向面，两个第二朝向面形成了一组沿第二方向间隔设置的第一定位面和第二定位面，两处第二朝向面之间通过第二过渡连接面24连接。

如图2所示，5寸片盒定位块203上的定位台阶23设有两阶，形成了在第三方向上成两级抬升的抬升结构，不同阶定位台阶23的侧面分别形成了沿第一方向间隔设置的第一定位面21和第二定位面22。其中一处阶定位台阶23设置在片盒定位块20侧面底部，与片盒定位块20的底面共面，采用该共面结构便于片盒定位块20的制造，结构简洁，在承载基体10上的支撑稳定性好。

凸出于定位块主体25侧面的定位台阶23形成的两个第一朝向面与定位块主体25上的台阶结构形成的两个第二朝向面共同构成了两组双向定位面组，两组双向定位面组沿第三方向上下错开，各组双向定位面组中的第一朝向面和第二朝向面成L形布置，能够实现片盒在第一方向和第二方向上的双向定位。同时，作为优选的实施例，两处第二朝向面之间的第二过渡连接面24与靠近片盒承载面11的一个第一朝向面共面，加工方便，结构简洁，能够避免定位面过多而影响片盒的准确定位。片盒定位块20上的定位面的顶端均设有倒角，便于引导片盒滑下以与定位面形成适配。

片盒定位块20通过定位块主体25上的长孔28和对应的沉头螺钉固定到承载基体10上的合适位置。使用时，如果需要定位4寸片盒，将4寸片盒直接放置到第一片盒定位块组26中的两个共用定位块201、第一组第二片盒定位块组27中的两块4寸片盒定位块202形成的片盒定位区域中，使4寸片盒前部侧壁的外壁面定位在共用定位块201上，4寸片盒后部左右两侧侧壁的内壁面分别定位在两处4寸片盒定位块202上成L形布置的第一朝向面和第二朝向面上，即可完成4寸片盒的定位。

如果需要定位第一种品牌的5寸片盒，将5寸片盒直接放置到第一片盒定位块组26中的两个共用定位块201、第二组第二片盒定位块组27中的两块5寸片盒定位块203形成的其中一个片盒定位区域中，使第一种品牌的5寸片盒前部侧壁的外壁面定位在共用定位块201上，5寸片盒后部左右两侧侧壁的内壁面和外壁面分别定位在两处5寸片盒定位块203上成L形布置的对应的第一组第一朝向面和第二朝向面上，即可完成第一种品牌的5寸片盒的定位。需要定位第二种品牌的5寸片盒时，与第一种品牌的5寸片盒不同的是，需要将第二种5寸片盒后部左右两侧侧壁的内壁面和外壁面分别定位在两处5寸片盒定位块203上成L形布置的第二组对应的第一朝向面和第二朝向面上，第一组第一朝向面和第二朝向面与第二组第一朝向面和第二朝向面在第三方向上的布置位置不同，能够利用第三方向上的空间实现两种品牌的5寸片盒的定位。当然，第一种品牌的5寸片盒和第二种品牌的5寸片盒上用于与第二片盒定位块组27适配的定位面也在第三方向上的布置位置不同。

另外，为了识别不同的片盒，片盒载台上还包括多个落位传感器40，落位传感器40固定在承载基体10上，以一定规律分布以对应不同的片盒，每种片盒定位完成后均能够触发对应的落位传感器40，从而实现片盒的识别。上述落位传感器40是本领域技术人员的惯用元器件，此处不再具体说明。

在上述实施例中，片盒定位结构由固定在承载基体10上的片盒定位块20形成，并且片盒定位块20沿第一方向分为了两组，分别为第一片盒定位块组26和第二片盒定位块组27。在其他实施例中，片盒定位结构也可以采用其他形式，例如将片盒定位块20与承载基体10设置为一体结构，再如，将第一片盒定位块组26中的两处片盒定位块20设置为一体，或者，将同一第二片盒定位块组27中的两处片盒定位块20设置为一体，或者，将三组第二片盒定位块组27中的两处片盒定位块20全部设置为一体。

在上述实施例中，片盒定位块20分为第一片盒定位块组26和第二片盒定位块组27。第一片盒定位块组26形成的片盒定位结构能够在第一方向上对片盒形成限位，第二片盒定位块组27形成的片盒定位结构能够在第一方向和第二方向上对片盒形成限位。在其他实施例中，第一片盒定位块组26也可以被设置为能够在第一方向和第二方向上对片盒形成限位。另外，在其他实施例中，还可以使各片盒定位块20仅在第一方向或第二方向上对片盒形成限位，此时，在第一方向上对片盒形成限位的片盒定位块应成对设置，以在第一方向的正反两向进行限位，在第二方向上对片盒形成限位的片盒定位块也应成对设置，以在第而方向的正反两向进行限位。再者，在其他实施例中，对于在第二方向上的定位尺寸具有差异的同规格不同尺寸片盒，同样可以参照第一方向上的定位结构形成在第三方向上位置不同的片盒定位区域。

在上述实施例中，片盒载台形成了一个对应于4寸规格片盒的片盒定位区域，两个对应于5寸规格片盒的片盒定位区域，以及两个对应于6寸规格片盒的片盒定位区域，能够兼容五种片盒，满足一个品牌的4寸规格片盒的定位、两个品牌的5寸规格片盒的定位，以及两个品牌的6寸规格片盒的定位。对应于5寸规格片盒的片盒定位区域形成了一组片盒定位区域组，对应于6寸规格片盒的片盒定位区域页形成了一组片盒定位区域组。在其他实施例中，根据定位需要，也可以仅设置一组片盒定位区域组，例如仅对应于6寸规格的片盒设置一组片盒定位区域组；还可以对应于各种规格的片盒均设置一组片盒定位区域组。再者，在其他实施例中，与某种规格的片盒对应的片盒定位区域组也可以设置三个以上片盒定位区域。

在上述实施例中，片盒定位结构包括凸设于承载基体10上的片盒定位块20，片盒定位块20形成两阶连续的定位台阶23，在其他实施例中，如图4所示，片盒定位结构上的定位台阶23也可以相互独立。

本实用新型中用于芯片制造的片盒载台上的片盒定位区域组能够在第三方向上形成位置不同的片盒定位区域，从而利用第三方向上的空间来容纳晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒，实现了片盒载台对晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒的兼容。

本实用新型中一种设备前端模块的实施例：一种设备前端模块，包括模块主体和设置在模块主体上的片盒载台，模块主体可以采用现有技术中普遍使用的模块主体，片盒载台为上述用于芯片制造的片盒载台的任意实施例中的片盒载台，此处不再重复说明。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，包括：

承载基体(10)，所述承载基体(10)上设有用于支撑片盒的片盒承载面(11)；以及，

片盒定位结构，所述片盒定位结构用于在所述承载基体(10)上形成供所述片盒定位放置的片盒定位区域，所述片盒定位结构能够在第一方向和/或第二方向上对所述片盒形成限位，所述第一方向和所述第二方向相互垂直且均平行于所述片盒承载面(11)；

所述片盒定位结构形成至少一组片盒定位区域组，每组所述片盒定位区域组具有至少两个在第三方向上位置不同的所述片盒定位区域，所述第三方向垂直于所述片盒承载面(11)，同一组的所述片盒定位区域在所述第一方向和/或所述第二方向上尺寸不同，用以分别容纳晶圆承载规格相同但外形尺寸不同的片盒。

2.如权利要求1所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，所述片盒定位结构具有至少一组在所述第三方向上位置不同且均朝向所述第一方向的定位面，并且/或者，具有至少一组在所述第三方向上位置不同且均朝向所述第二方向的定位面；

同一组所述定位面包括第一定位面(21)和第二定位面(22)，同一组的所述第一定位面(21)和所述第二定位面(22)沿各自对应的所述第一方向或第二方向间隔设置，以使同一组的所述第一定位面(21)和第二定位面(22)能够分别与所述片盒定位结构的其他部分形成两个在所述第一方向和/或所述第二方向上尺寸不同的片盒定位区域。

3.如权利要求2所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，所述片盒定位结构包括凸设于所述承载基体(10)上的片盒定位块(20)；所述片盒定位块(20)包括定位块主体(25)和凸出于定位块主体(25)侧面的定位台阶(23)，所述定位台阶(23)形成了在第三方向上向远离所述片盒承载面(11)的一侧抬升的抬升结构；

所述定位台阶(23)设有至少两阶，所述第一定位面和第二定位面分别由不同阶定位台阶(23)的侧面形成。

4.如权利要求3所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，所述片盒定位块(20)的侧面的底部设有所述定位台阶(23)，所述片盒定位块(20)的底面与片盒定位块(20)侧面底部的所述定位台阶(23)的底面共面。

5.如权利要求3所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，所述第一定位面和第二定位面设置在相邻的两阶所述定位台阶(23)上。

6.如权利要求3或4或5所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，至少一个片盒定位块(20)上的所述定位面包括朝向第一方向的第一朝向面、朝向第二方向的第二朝向面，所述第一朝向面和第二朝向面成L形布置，形成一组双向定位面组。

7.如权利要求6所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，至少一个片盒定位块(20)具有至少两组所述双向定位面组，相邻两组所述双向定位面组中的所述第二朝向面在所述第二方向上位置不同，两处所述第二朝向面之间通过第二过渡连接面(24)连接而形成在所述第二方向上错位的台阶结构(251)；

并且/或者，相邻两组所述双向定位面组中的所述第一朝向面在所述第一方向上位置不同，两处所述第一朝向面之间通过第一过渡连接面连接而形成在所述第一方向错位的台阶结构(251)。

8.如权利要求7所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，朝向所述第一方向的所述第一定位面和所述第二定位面中，有一个与所述第二过渡连接面(24)共面；

并且/或者，朝向所述第二方向的所述第一定位面和所述第二定位面中，有一个与所述第一过渡连接面共面。

9.如权利要求6所述的用于芯片制造的片盒载台，其特征在于，所述片盒定位块(20)沿所述第一方向分为两组，分别为第一片盒定位块组(26)和第二片盒定位块组(27)；第一片盒定位块组(26)上的定位面均垂直于第一方向，第二片盒定位块组(27)上的定位面包括所述第一朝向面和所述第二朝向面。

10.一种设备前端模块，包括模块主体和设置在模块主体上的片盒载台，其特征在于，所述片盒载台为权利要求1至9中任一项权利要求所述的用于芯片制造的片盒载台。

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