CN218874991U - Led外延片边缘抛光机 - Google Patents
Led外延片边缘抛光机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218874991U CN218874991U CN202222358792.2U CN202222358792U CN218874991U CN 218874991 U CN218874991 U CN 218874991U CN 202222358792 U CN202222358792 U CN 202222358792U CN 218874991 U CN218874991 U CN 218874991U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- epitaxial wafer
- led epitaxial
- polishing
- linear module
- loading
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种LED外延片边缘抛光机,包括:旋转组件,包括横移直线模组、承载支架、主轴、旋转驱动电机、及装载盘;装载盘用于装载LED外延片;安装于旋转组件一侧的抛光组件;抛光组件包括接近直线模组、移动平台、偏转驱动电机、主动轮、偏转架、从动轮、同步带、及打磨片;打磨片用于抵接LED外延片的边缘。上述LED外延片边缘抛光机,结构简单,使用方便,利用同步带连接主动轮与从动轮,使得偏转驱动电机可驱动偏转架进行偏转,可有效调整打磨片的位置,实现不同的抛光角度,具有良好的通用性,有效满足多种角度的加工需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及LED外延片加工技术领域,特别是涉及一种LED外延片边缘抛光机。
背景技术
LED是发光二极管的简称,是一种半导体组件,其光源主要是由电子与空穴复合所辐射出的,被称为第四代照明光源或绿色光源。LED的心脏是一个半导体的晶片,半导体的晶片也叫外延片,加工时需要将外延片来料进行切割,以形成多个单体的LED外延片。
在切割时超薄钻石刀直接接触LED外延片的表面,加工时容易对LED外延片的边缘形成不同程度的划痕,需要对LED外延片的边缘进行研磨抛光。现有抛光设备的抛光角度固定,通用性较差,无法满足多种角度的加工需求。
实用新型内容
基于此,本实用新型提供一种LED外延片边缘抛光机,结构简单,使用方便,通过偏转架可有效调整打磨片的位置,实现不同的抛光角度,具有良好的通用性,有效满足多种角度的加工需求。
为了实现本实用新型的目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种LED外延片边缘抛光机,包括:
旋转组件,包括横移直线模组、连接所述横移直线模组的滑座的承载支架、可转动安装于所述承载支架的中部的主轴、连接于所述主轴底端的旋转驱动电机、及同轴连接于所述主轴顶端的装载盘;所述装载盘用于装载LED外延片;
安装于所述旋转组件一侧的抛光组件;所述抛光组件包括位于所述横移直线模组一侧的接近直线模组、连接所述接近直线模组的滑座的移动平台、安装于所述移动平台远离所述装载盘的一侧的偏转驱动电机、同轴连接所述偏转驱动电机的转子的主动轮、铰接于所述移动平台靠近所述装载盘的一侧的偏转架、同轴连接于所述偏转架的一侧的从动轮、同时套设所述主动轮与所述从动轮的同步带、及安装于所述偏转架上的打磨片;所述打磨片用于抵接所述LED外延片的边缘。
上述LED外延片边缘抛光机,结构简单,使用方便,利用同步带连接主动轮与从动轮,使得偏转驱动电机可驱动偏转架进行偏转,可有效调整打磨片的位置,实现不同的抛光角度,具有良好的通用性,有效满足多种角度的加工需求。
在其中一个实施例中,所述装载盘包括同轴连接于所述主轴顶端的盘体、及均匀间隔安装于所述盘体顶面上的多个装载吸盘;所述装载吸盘用于吸取固定所述LED外延片。
在其中一个实施例中,所述横移直线模组与所述接近直线模组均为电动滑台;所述接近直线模组的运动方向与所述横移直线模组的运动方向相互垂直。
在其中一个实施例中,所述LED外延片边缘抛光机还包括移载组件;所述移载组件包括工作台、安装于所述工作台顶面一侧的龙门架、滑动连接于所述龙门架上的上料机械手与下料机械手、安装于所述龙门架一端处的上料传送带、及安装于所述龙门架另一端处的下料传送带。
在其中一个实施例中,所述上料机械手与所述下料机械手间隔设置;所述上料传送带的传送方向与所述下料传送带的传送方向相反。
在其中一个实施例中,所述旋转组件与所述抛光组件均位于所述上料传送带与所述下料传送带的中间。
在其中一个实施例中,所述横移直线模组的运动方向与所述龙门架的长度方向一致。
附图说明
图1为本实用新型一实施方式的LED外延片边缘抛光机的立体示意图;
图2为图1所示的LED外延片边缘抛光机的另一视角的立体示意图;
图3为图1所示的LED外延片边缘抛光机中旋转组件、抛光组件与工作台的组装示意图;
图4为图3所示的LED外延片边缘抛光机中旋转组件与抛光组件的对比示意图;
图5为图4所示的LED外延片边缘抛光机中旋转组件与抛光组件的另一视角的对比示意图;
图6为图1所示的LED外延片边缘抛光机中旋转组件的应用示意图。
附图标注说明:
10-移载组件,11-工作台,12-龙门架,13-上料机械手,14-下料机械手,15-上料传送带,16-下料传送带;
20-旋转组件,21-横移直线模组,22-承载支架,23-主轴,24-旋转驱动电机,25-装载盘,251-盘体,252-装载吸盘;
30-抛光组件,31-接近直线模组,32-移动平台,33-偏转驱动电机,34-主动轮,35-偏转架,36-从动轮,37-打磨片;
40-LED外延片。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
请参阅图1至图6,为本实用新型一实施方式的LED外延片边缘抛光机,包括移载组件10、安装于移载组件10正面中部的旋转组件20、及安装于旋转组件20一侧的抛光组件30。
所述移载组件10包括工作台11、安装于工作台11顶面一侧的龙门架12、滑动连接于龙门架12上的上料机械手13与下料机械手14、安装于龙门架12一端处的上料传送带15、及安装于龙门架12另一端处的下料传送带16;上料传送带15与下料传送带16均用于运送LED外延片。区别在于,上料传送带15用于运送抛光前的LED外延片40,下料传送带16用于运送抛光后的LED外延片40。
在本实施例中,上料机械手13的底端均匀间隔安装有多个上料吸盘,上料吸盘用于吸取上料传送带15上的LED外延片40并将LED外延片40转移至旋转组件20上,以便于抛光组件30进行抛光。
在本实施例中,下料机械手14的底端均匀间隔安装有多个下料吸盘,下料吸盘用于吸取旋转组件20上的LED外延片40并将LED外延片40转移至下料传送带16,以便于下料传送带16将抛光后的LED外延片40向外运送。
进一步地,在本实施例中,上料机械手13与下料机械手14间隔设置;上料传送带15的传送方向与下料传送带16的传送方向相反。
所述旋转组件20位于上料传送带15与下料传送带16的中间,旋转组件20包括安装于龙门架12下方的横移直线模组21、连接横移直线模组21的滑座的承载支架22、可转动安装于承载支架22的中部的主轴23、连接于主轴23底端的旋转驱动电机24、及同轴连接于主轴23顶端的装载盘25;装载盘25用于装载LED外延片40。
其中,旋转驱动电机24用于驱动主轴23与装载盘25同步转动,进而驱动LED外延片40进行旋转,使得LED外延片40与抛光组件30接触,以对LED外延片40的边缘进行打磨抛光。
在本实施例中,横移直线模组21为电动滑台,横移直线模组21的运动方向与龙门架12的长度方向一致,横移直线模组21可驱动LED外延片40沿着龙门架12的长度方向进行位置调整,以便于上料机械手13对准上料和下料机械手14对准下料。
在本实施例中,装载盘25包括同轴连接于主轴23顶端的盘体251、及均匀间隔安装于盘体251顶面上的多个装载吸盘252;装载吸盘252用于吸取固定LED外延片40。
所述抛光组件30位于上料传送带15与下料传送带16的中间,抛光组件30包括位于横移直线模组21一侧的接近直线模组31、连接接近直线模组31的滑座的移动平台32、安装于移动平台32远离装载盘25的一侧的偏转驱动电机33、同轴连接偏转驱动电机33的转子的主动轮34、铰接于移动平台32靠近装载盘25的一侧的偏转架35、同轴连接于偏转架35的一侧的从动轮36、同时套设主动轮34与从动轮36的同步带(图未示)、及安装于偏转架35上的打磨片37;打磨片37用于抵接LED外延片40的边缘,利用装载盘25的转动使得LED外延片40的边缘在打磨片37上进行打磨抛光,以磨去划痕部分,提高表面的光洁度。与传统的抛光设备相比,本实用新型利用同步带连接主动轮34与从动轮36,使得偏转驱动电机33可驱动偏转架35进行偏转,进而调整打磨片37的角度变化,实现不同的抛光角度,具有良好的通用性,有效满足多种角度的加工需求。
在本实施例中,接近直线模组31为电动滑台,接近直线模组31的运动方向与横移直线模组21的运动方向相互垂直;接近直线模组31用于驱动移动平台32靠近LED外延片40,使得打磨片37抵接LED外延片40。
上述LED外延片边缘抛光机,结构简单,使用方便,利用同步带连接主动轮34与从动轮36,使得偏转驱动电机33可驱动偏转架35进行偏转,可有效调整打磨片37的位置,实现不同的抛光角度,具有良好的通用性,有效满足多种角度的加工需求。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.一种LED外延片边缘抛光机,其特征在于,包括:
旋转组件,包括横移直线模组、连接所述横移直线模组的滑座的承载支架、可转动安装于所述承载支架的中部的主轴、连接于所述主轴底端的旋转驱动电机、及同轴连接于所述主轴顶端的装载盘;所述装载盘用于装载LED外延片;
安装于所述旋转组件一侧的抛光组件;所述抛光组件包括位于所述横移直线模组一侧的接近直线模组、连接所述接近直线模组的滑座的移动平台、安装于所述移动平台远离所述装载盘的一侧的偏转驱动电机、同轴连接所述偏转驱动电机的转子的主动轮、铰接于所述移动平台靠近所述装载盘的一侧的偏转架、同轴连接于所述偏转架的一侧的从动轮、同时套设所述主动轮与所述从动轮的同步带、及安装于所述偏转架上的打磨片;所述打磨片用于抵接所述LED外延片的边缘。
2.根据权利要求1所述的LED外延片边缘抛光机,其特征在于,所述装载盘包括同轴连接于所述主轴顶端的盘体、及均匀间隔安装于所述盘体顶面上的多个装载吸盘;所述装载吸盘用于吸取固定所述LED外延片。
3.根据权利要求1所述的LED外延片边缘抛光机,其特征在于,所述横移直线模组与所述接近直线模组均为电动滑台;所述接近直线模组的运动方向与所述横移直线模组的运动方向相互垂直。
4.根据权利要求1所述的LED外延片边缘抛光机,其特征在于,还包括移载组件;所述移载组件包括工作台、安装于所述工作台顶面一侧的龙门架、滑动连接于所述龙门架上的上料机械手与下料机械手、安装于所述龙门架一端处的上料传送带、及安装于所述龙门架另一端处的下料传送带。
5.根据权利要求4所述的LED外延片边缘抛光机,其特征在于,所述上料机械手与所述下料机械手间隔设置;所述上料传送带的传送方向与所述下料传送带的传送方向相反。
6.根据权利要求4所述的LED外延片边缘抛光机,其特征在于,所述旋转组件与所述抛光组件均位于所述上料传送带与所述下料传送带的中间。
7.根据权利要求4所述的LED外延片边缘抛光机,其特征在于,所述横移直线模组的运动方向与所述龙门架的长度方向一致。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222358792.2U CN218874991U (zh) | 2022-09-06 | 2022-09-06 | Led外延片边缘抛光机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222358792.2U CN218874991U (zh) | 2022-09-06 | 2022-09-06 | Led外延片边缘抛光机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN218874991U true CN218874991U (zh) | 2023-04-18 |
Family
ID=85948470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202222358792.2U Active CN218874991U (zh) | 2022-09-06 | 2022-09-06 | Led外延片边缘抛光机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN218874991U (zh) |
-
2022
- 2022-09-06 CN CN202222358792.2U patent/CN218874991U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0150074B1 (en) | Method and apparatus for grinding the surface of a semiconductor wafer | |
US6609956B2 (en) | Method and machine for grinding coated sheets of glass | |
CN110844641A (zh) | 一种纸张上料机构 | |
CN218874991U (zh) | Led外延片边缘抛光机 | |
CN210709796U (zh) | 一种纸张上料机构 | |
CN111409092A (zh) | 一种上下料机械手装置 | |
CN215141568U (zh) | 点胶装置及用于燃料电池的制造设备 | |
CN213459774U (zh) | 一种双层电池串出料机构 | |
CN214358944U (zh) | 一种硅片生产加工用的上料机 | |
CN213111688U (zh) | 一种片料伺服送料机 | |
WO2004039538A1 (ja) | ガラス板の加工装置 | |
CN111697259B (zh) | 电池翻转及包边装置 | |
CN210594175U (zh) | 一种石墨板自动上料装置 | |
CN111482865A (zh) | 晶圆打磨设备 | |
CN217147752U (zh) | 旋转移载机 | |
CN112762656A (zh) | 一种冰箱隔层玻璃自动化镶边工艺 | |
CN219131727U (zh) | 用于边皮硅块的加工设备 | |
CN217516198U (zh) | 一种能够对柔板产品进行吸附固定的高速搬运装置 | |
CN219925555U (zh) | 曲面钢化玻璃研磨装置 | |
CN212387124U (zh) | 一种地板立式传送装置 | |
CN216542462U (zh) | 一种全方位的水晶研磨机 | |
CN220474605U (zh) | 一种用于太阳能电池片取放片的机器人 | |
CN215853881U (zh) | 下料搬运装置 | |
KR101501327B1 (ko) | 작업성 향상 기능을 갖는 전자라벨 부착장치 | |
CN214139102U (zh) | 一种用于手机屏幕加工的双工位上料覆膜机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |