CN218827030U - 贴装头移动机构 - Google Patents

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CN218827030U CN202223253318.XU CN202223253318U CN218827030U CN 218827030 U CN218827030 U CN 218827030U CN 202223253318 U CN202223253318 U CN 202223253318U CN 218827030 U CN218827030 U CN 218827030U
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axis linear
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史晔鑫
郜福亮
胡君君
苗虎
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Shanghai Mingwei Terui Semiconductor Technology Co ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种贴装头移动机构,包括:复合底座;x向运动组件,x向运动组件安装在复合底座上;y向运动组件,y向运动组件与x向运动组件相连,x向运动组件驱动y向运动组件沿x向活动;z向运动组件,z向运动组件上安装有贴装头,z向运动组件的一部分安装在x向运动组件上,z向运动组件的另一部分安装在y向运动组件上,y向运动组件驱动贴装头沿y向运动,z向运动组件驱动贴装头沿z向活动;减震装置,减震装置安装在复合底座上,减震装置与y向运动组件的运动方向相反。本实用新型实现了芯片贴装时在三维空间内自动化精准移动,减震装置能够将震动抵消,从而提升芯片输送过程和贴装过程的稳定性。

Description

贴装头移动机构
技术领域
本实用新型属于芯片贴装技术领域,具体涉及一种贴装头移动机构。
背景技术
芯片贴装是半导体工业中至关重要的一个工艺,贴装头需要在芯片上料区和引线框架之间进行长距离的来回运动。现有的驱动装置在驱动贴装头运动时存在以下问题:在芯片与引线框架之间的往复运动过程中,沿着运动方向会产生震动,进而导致贴装时发生抖动,使得贴装效果变差,并且震动也会导致整个驱动装置在运动时的精度和稳定性较差,使得芯片移动位置发生偏差,进而贴装时容易贴歪。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
为此,本实用新型提出一种贴装头移动机构,该贴装头移动机构具有能够对减少产生的震动,并实现xyz三个方向精准运动的优点。
根据本实用新型实施例的贴装头移动机构,包括:复合底座;x向运动组件,所述x向运动组件安装在所述复合底座上;y向运动组件,所述y向运动组件与所述x向运动组件相连,所述x向运动组件驱动所述y向运动组件沿x向活动;z向运动组件,所述z向运动组件上安装有贴装头,所述z向运动组件的一部分安装在所述x向运动组件上,所述z向运动组件的另一部分安装在所述y向运动组件上,所述y向运动组件驱动贴装头沿y向运动,所述z向运动组件驱动贴装头沿z向活动;减震装置,所述减震装置安装在所述复合底座上,所述减震装置与所述y向运动组件的运动方向相反。
本实用新型的有益效果是,本实用新型结构简单紧凑,x向运动组件、y向运动组件和z向运动组件共同作用,驱动贴装头在xyz三维方向上运动,使芯片贴装时实现三维空间内自动化精准移动,通过设置减震装置,并将减震装置的运动方向设计为与y向运动组件的运动方向相反,使得减震装置能够将震动抵消,从而提升芯片输送过程和贴装过程的稳定性。
根据本实用新型一个实施例,所述x向运动组件包括:x轴直线导轨,所述x轴直线导轨安装在所述复合底座的下表面;x轴直线电机,所述x轴直线电机安装在所述复合底座的下表面,所述x轴直线电机与所述x轴直线导轨相平行;x轴安装座,所述x轴安装座位于所述复合底座的下方,所述x轴直线导轨和所述x轴直线电机均与所述x轴安装座相连。
根据本实用新型一个实施例,所述y向运动组件包括:两个y轴直线导轨,两个所述y轴直线导轨均安装在所述x轴安装座的一侧,两个所述y轴直线导轨均平行于y向;yz转接板,所述yz转接板同时与两个所述y轴直线导轨相连;y轴直线电机,所述y轴直线电机的一部分连接所述复合底座,所述y轴直线电机的另一部分连接所述yz转接板。
根据本实用新型一个实施例,所述yz转接板上设置有转接块,所述转接块上安装有第一光栅组件的读数头,所述x轴安装座上安装有第一光栅组件的光栅尺和读数头原点开关。
根据本实用新型一个实施例,所述y轴直线电机上的动子通过动子风刀安装在所述yz转接板上,所述动子与所述动子风刀之间具有进气间隙,所述复合底座上安装有排风扇,气体从进气间隙进入y轴直线电机内,并从排风扇排出。
根据本实用新型一个实施例,所述z向运动组件包括:两个z向机构,两个所述z向机构均安装在所述x轴安装座上,两个所述z向机构均平行于z向设置;解耦组件,所述解耦组件的一部分连接两个所述z向机构,所述解耦组件的另一部分与所述yz转接板相连,所述解耦组件的另一部分能够在两个所述z向机构之间活动。
根据本实用新型一个实施例,所述z向机构包括:xz连接支架,所述xz连接支架安装在所述x轴安装座上;侧支架,所述侧支架与所述xz连接支架之间通过z轴直线导轨滑动相连;z轴直线电机,所述z轴直线电机的一端与所述xz连接支架相连,所述z轴直线电机的另一端与所述侧支架相连;冷却装置,所述冷却装置安装在所述z轴直线电机上,对z轴直线电机进行冷却。
根据本实用新型一个实施例,所述冷却装置包括进气插头、第一风刀和第二风刀,所述进气插头安装在第一风刀上,所述第一风刀和第二风刀之间具有一出风口,出风口朝向z轴直线电机,所述侧支架上安装有z轴恒力弹簧,所述z轴恒力弹簧还与z轴直线电机相连,所述z轴恒力弹簧对侧支架提供向上的拉力。
根据本实用新型一个实施例,所述解耦组件包括:z轴支架,所述z轴支架沿z向滑动安装在yz转接板上;解耦轨,所述解耦轨沿y向设置,所述解耦轨的一端与一所述侧支架相连,所述解耦轨的另一端与另一所述侧支架相连;两个凸轮随动器,两个所述凸轮随动器转动安装在所述z轴支架上,一所述凸轮随动器与解耦轨的上端滚动相连,另一所述凸轮随动器与解耦轨的下端滚动相连。
根据本实用新型一个实施例,所述减震装置包括:减震导轨,所述减震导轨沿y向安装在所述复合底座上;减震直线电机,所述减震直线电机沿y向安装在所述复合底座上;平衡负载,所述减震导轨和所述减震直线电机均与所述平衡负载相连,所述平衡负载的侧面设置有第二光栅组件,所述复合底座上设置有限位组件,用于对平衡负载进行限位;平衡配重,所述平衡配重安装在所述平衡负载上。
本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本实用新型而了解。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1是本实用新型的贴装头移动机构安装后的结构示意图;
图2是贴装头移动机构的第一角度结构示意图;
图3是贴装头移动机构的底部结构示意图;
图4是贴装头移动机构的减震装置的结构示意图;
图5是贴装头移动机构的y向运动组件的结构示意图;
图6是贴装头移动机构的y向运动组件的另一角度的结构示意图;
图7是贴装头移动机构的z向运动组件的结构示意图;
图8是贴装头移动机构的z向运动组件的局部放大示意图;
图9是贴装头移动机构的冷却装置的局部剖视图;
附图标记:
贴装头移动机构73、x向运动组件74、y向运动组件75、z向运动组件76、减震装置77、复合底座78、x轴直线导轨741、x轴直线电机742、x轴安装座743、y轴直线导轨751、yz转接板752、y轴直线电机753、转接块754、第一光栅组件755、读数头原点开关756、排风扇757、动子7411、动子风刀7412、z轴支架761、凸轮随动器762、解耦轨763、侧支架764、z轴直线电机765、xz连接支架766、z轴直线导轨767、z轴恒力弹簧768、冷却装置769、进气插头7691、第一风刀7692、第二风刀7693、减震导轨771、减震直线电机772、平衡负载773、平衡配重774、限位组件776、第二光栅组件777。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面参考附图具体描述本实用新型实施例的贴装头移动机构73。
如图1-图9所示,根据本实用新型实施例的贴装头移动机构73,包括:复合底座78、x向运动组件74、y向运动组件75、z向运动组件76和减震装置77,x向运动组件74安装在复合底座78上;y向运动组件75与x向运动组件74相连,x向运动组件74驱动y向运动组件75沿x向活动;z向运动组件76上安装有贴装头,z向运动组件76的一部分安装在x向运动组件74上,z向运动组件76的另一部分安装在y向运动组件75上,y向运动组件75驱动贴装头沿y向运动,z向运动组件76驱动贴装头沿z向活动;减震装置77安装在复合底座78上,减震装置77与y向运动组件75的运动方向相反。
就是说,本实施例中的z向运动组件76同时安装在x向运动组件74和y向运动组件75上,y向运动组件75和z向运动组件76同时驱动贴装头活动,实现了解耦功能。并且本实施例中y向运动组件75需要将芯片从待料区抓取至引线框架上,y向移动距离较长,x向运动组件74用于对芯片x向贴装位置进行微调,因此x向移动距离较短,另一方面z向运动难以对芯片在xy平面上造成偏移,因此减震装置77与y向运动组件75的运动方向相反,减震装置77主要用于抵消y向运动组件75产生的震动。
本实用新型结构简单紧凑,x向运动组件74、y向运动组件75和z向运动组件76共同作用,驱动贴装头在xyz三维方向上运动,使芯片贴装时实现三维空间内自动化精准移动,通过设置减震装置77,并将减震装置77的运动方向设计为与y向运动组件75的运动方向相反,使得减震装置77能够将震动抵消,从而提升芯片输送过程和贴装过程的稳定性。
其中,x向运动组件74包括:x轴直线导轨741、x轴直线电机742和x轴安装座743,x轴直线导轨741安装在复合底座78的下表面;x轴直线电机742安装在复合底座78的下表面,x轴直线电机742与x轴直线导轨741相平行;x轴安装座743位于复合底座78的下方,x轴直线导轨741和x轴直线电机742均与x轴安装座743相连。
在本实施例中,x轴直线导轨741的数量为两个,x轴直线电机742位于两个x轴直线导轨741之间,这样能够提高x轴安装座743沿x向运动时的稳定性。
其中,y向运动组件75包括:两个y轴直线导轨751、y轴直线电机753和yz转接板752,两个y轴直线导轨751均安装在x轴安装座743的一侧,两个y轴直线导轨751均平行于y向;yz转接板752同时与两个y轴直线导轨751相连;y轴直线电机753的一部分连接复合底座78,y轴直线电机753的另一部分连接yz转接板752。
进一步地,yz转接板752上设置有转接块754,转接块754上安装有第一光栅组件755的读数头,x轴安装座743上安装有第一光栅组件755的光栅尺和读数头原点开关756。光栅可以准确测量移动的距离,不限于对y向进行测量,也可以在x向,z向设置光栅机构。
更进一步地,y轴直线电机753上的动子7411通过动子风刀7412安装在yz转接板752上,动子7411与动子风刀7412之间具有进气间隙,复合底座78上安装有排风扇757,气体从进气间隙进入y轴直线电机753内,并从排风扇757排出。
就是说,y轴直线电机753主要包括上下两排强磁铁,以及位于两排强磁铁之间的动子7411,由于yz转接板752与x轴安装座743相连,动子7411安装在yz转接板752上,因此动子7411除了沿y向运动之外,还能够沿x向运动。
其中,z向运动组件76包括:两个z向机构和解耦组件,两个z向机构均安装在x轴安装座743上,两个z向机构均平行于z向设置;解耦组件的一部分连接两个z向机构,解耦组件的另一部分与yz转接板752相连,解耦组件的另一部分能够在两个z向机构之间活动。
进一步地,z向机构包括:xz连接支架766、侧支架764、z轴直线电机765和冷却装置769,xz连接支架766安装在x轴安装座743上;侧支架764与xz连接支架766之间通过z轴直线导轨767滑动相连;z轴直线电机765的一端与xz连接支架766相连,z轴直线电机765的另一端与侧支架764相连;冷却装置769安装在z轴直线电机765上,对z轴直线电机765进行冷却,从而对z轴直线电机765进行有效降温,提高其使用寿命。
就是说,xz连接支架766固定在x轴安装座743上,z轴直线电机765竖直设置,z轴直线电机765的动子连接xz连接支架766,z轴直线电机765的定子连接侧支架764,从而使得侧支架764相对于xz连接支架766实现z向移动。
优选地,冷却装置769包括进气插头7691、第一风刀7692和第二风刀7693,进气插头7691安装在第一风刀7692上,第一风刀7692和第二风刀7693之间具有一出风口,出风口朝向z轴直线电机765,侧支架764上安装有z轴恒力弹簧768,z轴恒力弹簧768还与z轴直线电机765相连,z轴恒力弹簧768对侧支架764提供向上的拉力。
换言之,气体通过进气插头7691进入第一风刀7692和第二风刀7693之间,然后从出风口吹向z轴直线电机765进行降温。z轴恒力弹簧768的一端连接侧支架764,z轴恒力弹簧768的另一端连接z轴直线电机765上的动子(z轴恒力弹簧768的另一端也可以连接xz连接支架766),当出现断电等情况时,z轴恒力弹簧768对侧支架764提供向上的拉力,避免侧支架764直接落下,避免对芯片或引线框架造成磕碰。
更进一步地,解耦组件包括:z轴支架761、解耦轨763和两个凸轮随动器762,z轴支架761沿z向滑动安装在yz转接板752上;解耦轨763沿y向设置,解耦轨763的一端与一侧支架764相连,解耦轨763的另一端与另一侧支架764相连;两个凸轮随动器762转动安装在z轴支架761上,一凸轮随动器762与解耦轨763的上端滚动相连,另一凸轮随动器762与解耦轨763的下端滚动相连。
就是说,z轴支架761一方面需要与yz转接板752之间保持z向滑动连接,还需要通过两个凸轮随动器762与解耦轨763保持y向滑动连接,z轴支架761与yz转接板752通过两组交叉滚子相连,z轴支架761与yz转接板752也设置有光栅组件和限位块,用于对两者之间的z向运动过程进行测量和限位。
其中,减震装置77包括:减震导轨771、减震直线电机772、平衡负载773和平衡配重774,减震导轨771沿y向安装在复合底座78上;减震直线电机772沿y向安装在复合底座78上;减震导轨771和减震直线电机772均与平衡负载773相连,平衡负载773的侧面设置有第二光栅组件777,复合底座78上设置有限位组件776,用于对平衡负载773进行限位;平衡配重774安装在平衡负载773上。
减震导轨771数量优选为两个,平衡配重774与平衡负载773优选为可拆卸连接,减震直线电机772驱动平衡配重774和平衡负载773保持与yz转接板752的反向运动,从而减少产生的震动,从而提高贴装精度。
本实用新型通过对y向运动组件75和z向运动组件76的特殊设计,使的y向运动与z向运动之间形成形成解耦关系,从而提升了驱动装置的稳定性,进而提高了贴装精度。本实用新型中所用的气罐、电控装置等也可安装在复合底座78的上方,所有机构集中在复合底座78上,在整个设备中能够对贴装头驱动装置进行整体更换,在维修时不会占用设备生产时间,减少了设备停机时间,本发明中z轴直线电机765和y轴直线电机753均设置有对应的风刀散热部件进行散热,这样可以有效降低z轴直线电机765和y轴直线电机753的工作温度,避免在z向和y向的高频往复移动过程中直线电机产生过热变形,从而引起的移动精度变差、贴装精度降低等一些列问题,并且能够极大提高使用寿命,降低维护频率和成本。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种贴装头移动机构,其特征在于,包括:
复合底座(78);
x向运动组件(74),所述x向运动组件(74)安装在所述复合底座(78)上;
y向运动组件(75),所述y向运动组件(75)与所述x向运动组件(74)相连,所述x向运动组件(74)驱动所述y向运动组件(75)沿x向活动;
z向运动组件(76),所述z向运动组件(76)上安装有贴装头,所述z向运动组件(76)的一部分安装在所述x向运动组件(74)上,所述z向运动组件(76)的另一部分安装在所述y向运动组件(75)上,所述y向运动组件(75)驱动贴装头沿y向运动,所述z向运动组件(76)驱动贴装头沿z向活动;
减震装置(77),所述减震装置(77)安装在所述复合底座(78)上,所述减震装置(77)与所述y向运动组件(75)的运动方向相反。
2.根据权利要求1所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述x向运动组件(74)包括:
x轴直线导轨(741),所述x轴直线导轨(741)安装在所述复合底座(78)的下表面;
x轴直线电机(742),所述x轴直线电机(742)安装在所述复合底座(78)的下表面,所述x轴直线电机(742)与所述x轴直线导轨(741)相平行;
x轴安装座(743),所述x轴安装座(743)位于所述复合底座(78)的下方,所述x轴直线导轨(741)和所述x轴直线电机(742)均与所述x轴安装座(743)相连。
3.根据权利要求2所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述y向运动组件(75)包括:
两个y轴直线导轨(751),两个所述y轴直线导轨(751)均安装在所述x轴安装座(743)的一侧,两个所述y轴直线导轨(751)均平行于y向;
yz转接板(752),所述yz转接板(752)同时与两个所述y轴直线导轨(751)相连;
y轴直线电机(753),所述y轴直线电机(753)的一部分连接所述复合底座(78),所述y轴直线电机(753)的另一部分连接所述yz转接板(752)。
4.根据权利要求3所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述yz转接板(752)上设置有转接块(754),所述转接块(754)上安装有第一光栅组件(755)的读数头,所述x轴安装座(743)上安装有第一光栅组件(755)的光栅尺和读数头原点开关(756)。
5.根据权利要求3所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述y轴直线电机(753)上的动子(7411)通过动子风刀(7412)安装在所述yz转接板(752)上,所述动子(7411)与所述动子风刀(7412)之间具有进气间隙,所述复合底座(78)上安装有排风扇(757),气体从进气间隙进入y轴直线电机(753)内,并从排风扇(757)排出。
6.根据权利要求3所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述z向运动组件(76)包括:
两个z向机构,两个所述z向机构均安装在所述x轴安装座(743)上,两个所述z向机构均平行于z向设置;
解耦组件,所述解耦组件的一部分连接两个所述z向机构,所述解耦组件的另一部分与所述yz转接板(752)相连,所述解耦组件的另一部分能够在两个所述z向机构之间活动。
7.根据权利要求6所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述z向机构包括:
xz连接支架(766),所述xz连接支架(766)安装在所述x轴安装座(743)上;
侧支架(764),所述侧支架(764)与所述xz连接支架(766)之间通过z轴直线导轨(767)滑动相连;
z轴直线电机(765),所述z轴直线电机(765)的一端与所述xz连接支架(766)相连,所述z轴直线电机(765)的另一端与所述侧支架(764)相连;
冷却装置(769),所述冷却装置(769)安装在所述z轴直线电机(765)上,对z轴直线电机(765)进行冷却。
8.根据权利要求7所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述冷却装置(769)包括进气插头(7691)、第一风刀(7692)和第二风刀(7693),所述进气插头(7691)安装在第一风刀(7692)上,所述第一风刀(7692)和第二风刀(7693)之间具有一出风口,出风口朝向z轴直线电机(765),所述侧支架(764)上安装有z轴恒力弹簧(768),所述z轴恒力弹簧(768)还与z轴直线电机(765)相连,所述z轴恒力弹簧(768)对侧支架(764)提供向上的拉力。
9.根据权利要求7所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述解耦组件包括:
z轴支架(761),所述z轴支架(761)沿z向滑动安装在yz转接板(752)上;
解耦轨(763),所述解耦轨(763)沿y向设置,所述解耦轨(763)的一端与一所述侧支架(764)相连,所述解耦轨(763)的另一端与另一所述侧支架(764)相连;
两个凸轮随动器(762),两个所述凸轮随动器(762)转动安装在所述z轴支架(761)上,一所述凸轮随动器(762)与解耦轨(763)的上端滚动相连,另一所述凸轮随动器(762)与解耦轨(763)的下端滚动相连。
10.根据权利要求1所述的贴装头移动机构,其特征在于,所述减震装置(77)包括:
减震导轨(771),所述减震导轨(771)沿y向安装在所述复合底座(78)上;
减震直线电机(772),所述减震直线电机(772)沿y向安装在所述复合底座(78)上;
平衡负载(773),所述减震导轨(771)和所述减震直线电机(772)均与所述平衡负载(773)相连,所述平衡负载(773)的侧面设置有第二光栅组件(777),所述复合底座(78)上设置有限位组件(776),用于对平衡负载(773)进行限位;
平衡配重(774),所述平衡配重(774)安装在所述平衡负载(773)上。
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