CN218826982U - 一种多工位固晶设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及固晶设备技术领域，公开了一种多工位固晶设备，包括：机架，其用于安装以及支撑各机械部件；固晶机构，为两个以上，所述固晶机构分别设置在所述机架上的两侧，所述固晶机构驱动对产品固晶；晶盘上料机构，其安装在所述机架，驱动将晶盘分别移动至所述固晶机构位置。本实用新型中实现多个固晶机构对产品的固晶操作，提高固晶效率。

Description

一种多工位固晶设备

技术领域

本实用新型涉及固晶设备技术领域，尤指一种多工位固晶设备。

背景技术

固晶机，常应用于对半导体类产品进行固晶，现有市面上的固晶机通常只设有单一的固晶机构，在固晶操作中，只能对单一半导体类产品进行固晶，固晶效率较低。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种多工位固晶设备，其主要目的是设置多个固晶机构以及设置晶盘上料机构，通过晶盘上料机构将晶盘分别上料至各个固晶机构，即可实现对多个半导体类产品进行固晶，提高固晶效率。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种多工位固晶设备，包括：机架，其用于安装以及支撑各机械部件；固晶机构，为两个以上，所述固晶机构分别设置在所述机架上的两侧，所述固晶机构驱动对产品固晶；晶盘上料机构，其安装在所述机架，所述晶盘上料机构驱动将带有晶片的晶盘分别移动至所述固晶机构位置所述晶盘上料机构包括晶盘平台，所述晶盘平台上设有用于放置带有晶片的晶盘的第一放料架，设于所述晶盘平台上方的夹取摆臂装置，所述夹取摆臂装置夹取所述第一放料架内的晶盘以及设于所述晶盘平台下方的晶盘顶升装置，所述晶盘顶升装置驱动顶升晶盘。

进一步地，所述固晶机构包括：上料机构，其设置在所述机架上，所述上料机构将待固晶产品移动上料；XY轴移动装置，其与所述上料机构相衔接，所述XY轴移动装置承接待固晶产品在X轴和Y轴方向移动固晶；点胶机构，其设于所述XY轴移动装置上方，所述点胶机构对待固晶产品点胶；晶盘固定装置，其设于所述XY轴移动装置一侧，所述晶盘固定装置用于放置以及固定带有晶片的晶盘；固晶装置，其设于所述XY轴移动装置上方，所述固晶装置驱动将所述晶盘固定装置上的晶片移动贴装至所述XY轴移动装置上对待固晶产品固晶；收料机构，其设置在所述XY轴移动装置一侧，所述收料机构收集经由所述XY轴移动装置固晶完毕的固晶产品。

进一步地，所述上料机构包括：料架，所述料架具有用于放置待固晶产品的储料空间；夹料装置，其设置在所述料架上方，对待固晶产品进行夹取；送料装置，其设置在所述料架的上方，推送经由所述夹料装置夹取的待固晶产品；推料装置，其设置在所述料架的下方，推动所述料架内的待固晶产品移动。

进一步地，所述XY轴移动装置包括：X轴移动模组，所述X轴移动模组沿X轴方向移动至所述上料机构、所述收料机构；Y轴移动模组，其安装在所述X轴移动模组下方，所述Y轴移动模组放置待固晶产品，沿Y轴方向移动，将固晶的产品移动至所述收料机构。

进一步地，所述晶盘固定装置包括：晶盘放置盘，用于放置晶盘；晶盘气缸，其设置在所述晶盘放置盘的一侧；晶盘夹具，其设置在所述晶盘气缸的伸缩端，经由所述晶盘气缸驱动夹紧晶盘。

进一步地，所述固晶装置包括固晶电机以及设置在所述固晶电机输出端的固晶摆臂，所述固晶电机驱动所述固晶摆臂取晶片。

进一步地，所述收料机构包括纵向移动模组以及设置在所述移动模组上的收料架，所述纵向移动模组驱动所述收料架纵向移动收料固晶产品。

本实用新型通过设置多个固晶机构，使用时通过晶盘上料机构将带有晶片的晶盘分别移动至固晶机构位置，由多个固晶机构上对产品固晶，提高对产品的固晶效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是晶盘上料机构的结构示意图。

图3是固晶机构的结构示意图。

图4是上料机构的结构示意图。

图5是图4的部分结构示意图。

图6是XY轴移动模组的结构示意图。

图7是点胶机构的结构示意图。

图8是晶盘固定装置的结构示意图。

图9是固晶装置的结构示意图。

图10是收料机构的结构示意图。

附图标号说明：1.机架；2.固晶机构；3.晶盘上料机构；4.晶盘平台；5.第一放料架；6.夹取摆臂装置；7.晶盘顶升装置；8.上料机构；9.XY轴移动装置；10.点胶机构；11.晶盘固定装置；12.固晶装置；13.收料机构；14.料架；15.夹料装置；16.送料装置；17.推料装置；18.X轴移动模组；19.Y轴移动模组；20.晶盘放置盘；21.晶盘气缸；22.晶盘夹具；23.固晶电机；24.固晶摆臂；25.纵向移动模组；26.收料架。

具体实施方式

请参阅图1-2所示，为本实用新型实现的一种多工位固晶设备，包括：机架1，其用于安装以及支撑各机械部件；固晶机构2，为两个以上，所述固晶机构2分别设置在所述机架1上的两侧，所述固晶机构2驱动对产品固晶；晶盘上料机构3，其安装在所述机架1，所述晶盘上料机构3驱动将带有晶片的晶盘分别移动至所述固晶机构2位置；所述晶盘上料机构3包括晶盘平台4，所述晶盘平台4上设有用于放置带有晶片的晶盘的第一放料架5，设于所述晶盘平台4上方的夹取摆臂装置6，所述夹取摆臂装置6夹取所述第一放料架5内的晶盘以及设于所述晶盘平台4下方的晶盘顶升装置7，所述晶盘顶升装置7驱动顶升晶盘。

鉴于背景技术中所记载的技术问题，由于其固晶设备采用单一的固晶机构进行固晶，难以满足较大量的固晶需求，故针对该情况作出相应改进。

提供了一种多工位固晶设备，其主要目的是通过设置多个固晶机构，使用时通过晶盘上料机构将带有晶片的晶盘分别移动至固晶机构位置，由多个固晶机构上对产品固晶，提高对产品的固晶效率。

在具体的实施中通过在机架1上安装两组固晶机构2，通过在两组固晶机构2之间安装晶盘上料机构3，从而在工作的过程中，通过晶盘上料机构3负责对两组固晶机构2移动提供带有晶片的晶盘，其具体表现为通过晶盘顶升装置7将第一放料架5内的晶盘顶升，而后通过夹取摆臂装置6对晶盘进行夹取，通过摆臂的作用下，将晶盘移动至固晶机构2的位置，从而提供对产品的固晶效率。

晶盘顶升装置7采用线性模组以及推块的结合，通过线性移动模组带动推块移动实现对晶盘的顶升，夹取摆臂装置6采用电机、摆臂以及吸嘴的结合，通过电机的输出端与摆臂连接，带动摆臂的转动，吸嘴对晶盘吸嘴夹取。

如图3-10所示，本实用新型中的所述固晶机构2包括：上料机构8，其设置在所述机架1上，将待固晶产品移动上料；XY轴移动装置9，其与所述上料机构8相衔接，承接待固晶产品在X轴和Y轴方向移动固晶；点胶机构10，其设于所述XY轴移动装置9上方，对待固晶产品点胶；晶盘固定装置11，其设于所述XY轴移动装置9一侧，用于放置以及固定带有晶片的晶盘；固晶装置12，其设于所述XY轴移动装置9上方，驱动将所述晶盘固定装置11上的晶片移动贴装至所述XY轴移动装置9上，对待固晶产品固晶；收料机构13，其设置在所述XY轴移动装置9一侧，收集经由所述XY轴移动装置9固晶完毕的固晶产品。

作为一种优选的实施方案，本实用新型中固晶机构2中实现对半导体类产品实现固晶，其具体的工作过程为:通过上料机构8实现对产品的上料操作，通过XY轴移动装置9上承载产品，在产品进行固晶之前，由点胶机构10对产品需固晶位置先进行点胶，晶盘固定装置11用于承接由晶盘上料机构3移栽的晶盘，并将晶盘实现固定，固晶装置12将晶盘上的晶片夹取，而后，将晶片固定在产品的指定位置。固晶操作结束后，由收料装置13将固晶后的产品收集，统一收料整理。通过上述的结构设置，实现对产品的自动化固晶操作，大大提高固晶效率。

如图4-5所示，所述上料机构8包括：料架14，所述料架14具有用于放置待固晶产品的储料空间；夹料装置15，其设置在所述料架14上方，对待固晶产品进行夹取；送料装置16，其设置在所述料架14的上方，推送经由所述夹料装置15夹取的待固晶产品；推料装置17，其设置在所述料架14的下方，推动所述料架14内的待固晶产品移动。

夹料装置15主要包括一对夹料气缸以及一对夹爪，夹料气缸相对设置，通过夹料气缸驱动夹爪对料架14的产品进行夹持，送料装置16主要包括送料气缸以及推块，通过送料气缸驱动推块将夹料装置15夹取的产品推向XY轴移动装置9上，推料装置17在夹料装置15夹取产品后，将后续的产品进一步推动，便于后续产品的夹取。

如图6所示，所述XY轴移动装置9包括：X轴移动模组18，沿X轴方向移动至所述上料机构8、所述收料机构13；Y轴移动模组19，其安装在所述X轴移动模组18下方，所述Y轴移动模组19放置待固晶产品，沿Y轴方向移动，将固晶的产品移动至所述收料机构13。

XY轴移动装置9的工作过程为：当对产品进行固晶时，由X轴移动模组18将XY轴移动装置9移动至上料机构8位置结合Y轴移动模组19移动，将产品移动至指定位置，而后产品固晶结束后，由X轴移动模组18移动，将XY轴移动装置9移动至收料机构13位置，由Y轴移动模组19将产品移动送入收料机构13，完成收料操作。

如图8所示，作为一种优选的实施方式，所述晶盘固定装置11包括：晶盘放置盘20，用于放置晶盘；晶盘气缸21，其设置在所述晶盘放置盘20的一侧；晶盘夹具22，其设置在所述晶盘气缸21的伸缩端，经由所述晶盘气缸21驱动夹紧晶盘。晶盘通过晶盘上料机构3移动至晶盘放置盘20，进而在晶盘气缸21的驱动下，驱使晶盘夹具22对晶盘夹持固定。

如图9所示，所述固晶装置12包括固晶电机23以及设置在所述固晶电机23输出端的固晶摆臂24，所述固晶电机23驱动所述固晶摆臂24取晶片。通过固晶电机23驱动，带动固晶摆臂24摆动至晶盘位置，固晶摆臂24上设置吸嘴，对晶盘上的晶片吸取，而后继续摆臂至XY轴移动装置9位置，对其上的产品固晶。

如图10所示，所述收料机构13包括纵向移动模组25以及设置在所述移动模组25上的收料架26，所述纵向移动模组25驱动所述收料架26纵向移动收料固晶产品。当产品固晶操作结束后，XY轴移动装置9移动产品至收料架26位置，在Y轴移动模组19的作用下，将产品移动至收料架26内，而后纵向移动模组25驱动收料架26移动，便于收料架26的其余位置放置固晶后的产品。

以上实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通工程技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (7)

1.一种多工位固晶设备，其特征在于，包括：

机架，其用于安装以及支撑各机械部件；

固晶机构，为两个以上，所述固晶机构分别设置在所述机架上的两侧，所述固晶机构驱动对产品固晶；

晶盘上料机构，其安装在所述机架，所述晶盘上料机构驱动将带有晶片的晶盘分别移动至所述固晶机构位置；

所述晶盘上料机构包括晶盘平台，所述晶盘平台上设有用于放置带有晶片的晶盘的第一放料架，设于所述晶盘平台上方的夹取摆臂装置，所述夹取摆臂装置夹取所述第一放料架内的晶盘以及设于所述晶盘平台下方的晶盘顶升装置，所述晶盘顶升装置驱动顶升晶盘。

2.根据权利要求1所述的多工位固晶设备，其特征在于，所述固晶机构包括：

上料机构，其设置在所述机架上，所述上料机构将待固晶产品移动上料；

XY轴移动装置，其与所述上料机构相衔接，所述XY轴移动装置承接待固晶产品在X轴和Y轴方向移动固晶；

点胶机构，其设于所述XY轴移动装置上方，所述点胶机构对待固晶产品点胶；

晶盘固定装置，其设于所述XY轴移动装置一侧，所述晶盘固定装置用于放置以及固定带有晶片的晶盘；

固晶装置，其设于所述XY轴移动装置上方，所述固晶装置驱动将所述晶盘固定装置上的晶片移动贴装至所述XY轴移动装置上对待固晶产品固晶；

收料机构，其设置在所述XY轴移动装置一侧，所述收料机构收集经由所述XY轴移动装置固晶完毕的固晶产品。

3.根据权利要求2所述的多工位固晶设备，其特征在于，所述上料机构包括：

料架，所述料架具有用于放置待固晶产品的储料空间；

夹料装置，其设置在所述料架上方，对待固晶产品进行夹取；

送料装置，其设置在所述料架的上方，推送经由所述夹料装置夹取的待固晶产品；

推料装置，其设置在所述料架的下方，推动所述料架内的待固晶产品移动。

4.根据权利要求3所述的多工位固晶设备，其特征在于，所述XY轴移动装置包括：

X轴移动模组，所述X轴移动模组沿X轴方向移动至所述上料机构、所述收料机构；

Y轴移动模组，其安装在所述X轴移动模组下方，所述Y轴移动模组放置待固晶产品，沿Y轴方向移动，将固晶的产品移动至所述收料机构。

5.根据权利要求4所述的多工位固晶设备，其特征在于，所述晶盘固定装置包括：

晶盘放置盘，用于放置晶盘；

晶盘气缸，其设置在所述晶盘放置盘的一侧；

晶盘夹具，其设置在所述晶盘气缸的伸缩端，经由所述晶盘气缸驱动夹紧晶盘。

6.根据权利要求5所述的多工位固晶设备，其特征在于：所述固晶装置包括固晶电机以及设置在所述固晶电机输出端的固晶摆臂，所述固晶电机驱动所述固晶摆臂取晶片。

7.根据权利要求6所述的多工位固晶设备，其特征在于：所述收料机构包括纵向移动模组以及设置在所述移动模组上的收料架，所述纵向移动模组驱动所述收料架纵向移动收料固晶产品。

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