CN218769447U - 一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体生产辅助设备领域，公开了一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统，包括相互对应设置的两侧板，两侧板之间设置有底板、顶板、前围板和后围板，顶板上部设有提手，所述侧板相对侧设置有对应的多个晶圆容置槽，所述晶圆容置槽沿竖直方向依次分布；所述侧板相对一侧均设置有限位条，所述限位条与晶圆容置槽垂直设置，所述限位条一侧设有与晶圆容置槽相对应的限位槽。本申请提供的一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统操作简单方便，提升了加工效率，还可以避免传统加工设备采用人工上料耗损高的情况。

Description

一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统

技术领域

本实用新型涉及半导体生产辅助设备领域，具体涉及一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统。

背景技术

晶圆通常放置在晶圆载盘上，晶圆加工时，将带有晶圆的载盘放入设备进料口，但由于现有设备进料口的限制，只能一片一片的进行上料，所以通常是工人在无尘车间手工上料，效率较低；同时人工上料有一个缺点，就是存在因为工人手持不平导致晶圆在上料口处被划伤，造成耗损。并且，人工上料，在完成上料后为了有更快的上料速度，通常会将带有晶圆的载盘拿起等待上料，这样会造成晶圆一直暴露早空气中，会存在微粒污染晶圆的情况；由于采用人工上料，存在上料时间效率不一致，进而导致生产时间和流程不能统一，容易造成设备闲置浪费，无法发挥设备的最大效能。所以需要一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统，来解决上述问题。

实用新型内容

本方案意在提供一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统，避免传统加工设备采用人工上料效率低和耗损高的情况。为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：一种自动上料提篮装置，包括相互对应设置的两侧板，两侧板之间设置有底板、顶板、前围板和后围板，顶板上部设有提手，所述侧板相对侧设置有对应的多个晶圆容置槽，所述晶圆容置槽沿竖直方向依次分布；所述侧板相对一侧均设置有限位条，所述限位条与晶圆容置槽垂直设置，所述限位条一侧设有与晶圆容置槽相对应的限位槽。

本方案的原理及优点是：实际应用时，将待加工的多片带有晶圆的载盘分别放到提篮侧板的容置槽内，再通过侧板上设置的限位条对载盘进行固定限制，最后再由全自动固晶系统的机械手将带有晶圆的载盘取出上料；一方面由设备进行上料动作统一，不易将圆晶划伤，其次提篮上在多个容置槽内放置有多片圆晶，不用人工单独一片一片的上料，只需人工更换提篮，操作简单方便，提升了加工效率。

作为一种改进，所述侧板上下两侧设置有第一安装槽，所述顶板和底板设置在第一安装槽内；这样，将顶板底板设置在槽内，安装简单方便。

作为一种改进，所述顶板上端设置有提手安装架，所述提手安装架往侧板处延伸并与两侧板抵接；提手安装架与侧板通过螺纹连接；一方面，通过安装架的设置增大了提手与顶板的接触面积，避免提手对顶板施力造成顶板发生形变；另一方面，安装架将两侧板上端通过螺纹进行连接，提升了提篮上端的结构强度。

作为一种改进，所述提手安装架一侧设有方向标识；这样，方向表示作为一种防呆设置，避免人工更换提篮时误判提篮方向。

作为一种改进，所述提手为两个，分布在提手安装架两端；这样，在安装架上设置两个提篮的，让提篮的力分布更均匀，提篮转运更加平稳。

作为一种改进，所述底板设有底部支撑条，所述底部支撑条与两侧板抵接，并与侧板通过螺纹连接；这样，两侧板下端通过支撑条进行连接，提升提篮下端的结构强度。

作为一种改进，所述两侧板相背一侧设有第二安装槽，所述第二安装槽分布在侧板两端；前围板和后围板与侧板的相接侧向第二安装槽方向弯折形成安装卡件，并与第二安装槽卡接；前围板和后围板在顶板侧向顶板弯折，与顶板贴合；这样，前后围板通过弯折与侧板扣接，弯折后与顶板贴合，可以很好的防止微粒落到晶圆上，影响晶圆的品质；通常晶圆加工处于百级或百级以上的净化级别，微粒数处于一个很低的水平，但都忽略了加工环境和人员流动也会有微粒流动造成晶圆污染，影响良品率；本申请的前后围板设置极大的避免加工和人员流动带来的微粒，也不会存在人工上料造成的晶圆暴露过长的现象。

作为一种改进，所述晶圆容置槽一端为倒角处理端；这样，在取放晶圆的一端做倒角处理，有利于晶圆片的放入和加工设备取出上料。

作为一种改进，所述晶圆容置槽之间的凸起设置有滑槽；所述限位条两端沿滑槽方向设置有固定条，固定条上设有安装孔，所述固定条固定在滑槽处，用于将限位条固定；这样，滑槽上设置的固定条可以沿滑槽移动，可以将限位条沿容置槽方向移动，更好的对晶圆进行固定；通过安装孔，方便将固定条安装在滑槽处。

本申请还包括一种全自动固晶系统，所述系统设置有提篮自动上料功能；

这样，全自动固晶系统设置自动上料提篮功能，通过更换提篮，由全自动固晶系统自动从提篮中取出晶圆上料，提高上料速度，进一部提升加工效率，实现自动上料，避免人工上料可能存在的手不平造成的晶圆划伤。

附图说明

图1为本实用新型实施例的整体结构示意图。

图2为本实用新型实施例的挡板结构示意图。

图3为本实用新型实施例的限位条结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式进一步详细说明：说明书附图中的附图标记包括：侧板1、底板2、顶板3、晶圆容置槽4、底部支撑条5、提手安装架6、提手7、挡板8、限位条9。

实施例基本如附图1所示：一种自动上料提篮装置，包括对称设置的两侧板1，两侧板1中间设有用于将侧板1连接的底板2和顶板3，侧板、顶板和顶板连接好后为长方体结构；在侧板1上设置有数个晶圆容置槽4，实施时晶圆容置槽4优选为9个，两侧板上的晶圆容置槽4相互对应，即相对应的槽处于同一水平高度，且相邻晶圆容置槽之间间距相等，实施时，将载有晶圆的载盘放入晶圆容置槽；在侧板上端和下端设置有第一安装槽，第一安装槽如图 1，为位于侧板上下两端的安装槽，实施时，将底板和顶板的一端安装在一侧板上安装槽，再将另一侧放入另一侧的安装槽进行连接，实施时，连接方式可以选用螺栓连接，也可卡接，还可以采用过盈配合的方式；

实施时，为了让整个提篮装置刚性更强，在底板上设置有底部支撑条5，具体实施时，底部支撑条为2根，也可以为3跟，本实施的底部支撑条为2根，分别处于底板两侧并与侧板抵接，在底部支撑条两端开有螺纹孔，侧板相对应位置也设有螺纹孔，实施时，在螺纹孔处用螺栓或螺钉对侧板和底板进行固定；

同理，在顶板上设置有提手安装架6；提手安装架6与两侧板抵接的位置设置有螺纹孔，体实施时，每一端螺纹孔有两个，分别处于每一端的两侧，在侧板的对应位置也开设螺纹孔，然后通过螺栓进行连接，也可以采用螺丝连接；

实施时，为了方便更好的移动和更换提篮装置，在提手安装架上设置有提手7，提手有两个，处于安装架两侧，这样是为了将提篮的力量更好的分布，有助于平稳的移动提篮；

实施时，为了防止工作人员将提篮装置误判方向，在顶板设置方向标识，可以作为一种防呆设置，避免操作人员误操作；具体实施时，方向标识可以根据设备从提篮取料方向设置；实施时，以往设备由人工操作圆晶会长时间暴露在空气中，为了避免这个现象，我们在提篮装置上设置了围板8，围板8包括前围板和后围板；如附图2，为了防止微粒从前后围板和侧板的间隙中进入上料提篮装置，围板8左右端向侧板1处弯折并与侧板外侧贴合，围板上端向朝顶板弯折并与顶板上端面贴合；为了更好的固定和安装两围板，在侧板外侧1设置第二安装槽，围板8弯折后再弯折卡接在第二安装槽中；具体实施时，将围板8弯折卡入第二安装槽后下压，便实现了围板安装。

实施时，带有晶圆的载盘可能会在上料提篮装置内部移动造成圆晶受力破损，为了避免这个现象，在两侧板上对应设置有限位条；如附图1，具体实施时，限位条与晶圆容置槽垂直设置，且限位条上设置有与晶圆容置槽位置一致的限位槽，限位槽与晶圆载盘厚度相近；具体实施时，限位条结构如附图3所示，为了更好的方便限位条的固定，限位槽两端设置有与限位条垂直的固定条，实施时，限位条9与固定条可以是一体式成型，也可以是焊接；实施时，滑槽底部设置有沿着滑槽长度方向的螺纹孔或螺柱，限位条9上的固定条上有螺纹孔，限位条固定到滑槽上的螺纹孔或螺柱位置。

本申请还包括一种全自动固晶系统，所述系统设置有提篮自动上料功能，实施时，打开提篮上料端的挡板，并放置在升降上料台上，上料时，机械手从提篮内部取出载有晶圆的载盘，取出后升降上料台上升或下降一个容置槽间距的高度，等待机械手下次上料，由于高度已经由上料台调节，机械手无需对准，只需要按照设定进行取料。

本申请所提供的一种自动上料提篮，通过前围板和后围板的设置，减少了晶圆在空气中的暴露时间，降低了晶圆被微粒污染的可能；通过本申请的自动上料提篮，改变原有人工上料仅能一片一片的上料，通过机械臂从上料提篮取料，上料速度更快，也降低人工上料时在等待设备取料时暴露在空气中造成晶圆被污染的问题；同时，由设备自动取料上料时间统一，有利于车间的规范化管理。

以上所述的仅是本发明的实施例，方案中公知的具体技术方案和/或特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明技术方案的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。

Claims (10)

1.一种自动上料提篮装置，包括对称设置的两侧板，两侧板之间设置有底板、顶板、前围板和后围板，顶板上部设有提手，其特征在于：所述侧板相对的一侧设置有多个晶圆容置槽，所述晶圆容置槽沿竖直方向依次分布；所述侧板相对一侧均设置有限位条，所述限位条与晶圆容置槽垂直设置，所述限位条一侧设有与晶圆容置槽相对应的限位槽。

2.根据权利要求1所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述侧板上下两侧设置有第一安装槽，所述顶板和底板设置在第一安装槽内。

3.根据权利要求2所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述顶板上端设置有提手安装架，所述提手安装架往侧板处延伸并与两侧板抵接；提手安装架与侧板通过螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述提手安装架一侧设有方向标识。

5.根据权利要求4所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述提手为两个，分布在提手安装架两端。

6.根据权利要求1所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述底板设有底部支撑条，所述底部支撑条与两侧板抵接，并与侧板通过螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述两侧板相背一侧设有第二安装槽，所述第二安装槽分布在侧板两端；前围板和后围板与侧板的相接侧向第二安装槽方向弯折形成安装卡件，并与第二安装槽卡接；前围板和后围板在顶板侧向顶板弯折，与顶板贴合。

8.根据权利要求1所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述晶圆容置槽一端为倒角处理端。

9.根据权利要求1所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述晶圆容置槽之间的凸起设置有滑槽；所述限位条两端沿滑槽方向设置有固定条，固定条上设有安装孔，所述固定条固定在滑槽处，用于将限位条固定。

10.一种全自动固晶系统，其特征在于：采用包括权利要求1～9所述的自动上料提篮装置。

Images