CN218753100U - 一种amhs自动物料系统中oht的校准装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，属于晶圆生产用OHT设备技术领域，包括校准基座，在校准基座上表面上安装有一校准基体，在校准基体和校准基座之间设有用于检测校准基体与校准基座之间偏移量的检测机构，本实用新型具有提高了天车放置和夹取晶圆盒的稳定性的优点。

Description

一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置

技术领域

本实用新型属于晶圆生产用OHT设备技术领域，特别是一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置。

背景技术

半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(AMHS)来提高工厂自动化程度，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。天车需要在轨道内精确的运行到每个工艺机台位置，从工艺机台准确的拿取或放置FOUP。所以在天车系统中，需要准确的测量天车进行取放时与机台的偏差。精准的放置，能够避免取放时的晃动，避免对晶圆造成损伤。

由于自动物料传输系统(AMHS)通常会有数公里长的轨道，轨道连接着几十上百道工艺机台进行一连串工艺过程。每个机台的放置位置都会存在一定的偏差，使得天车在拿取不同工艺机台上的晶圆盒时会出现晃动的情况。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，具有提高了天车放置和夹取晶圆盒的稳定性的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，包括校准基座，在校准基座上表面上安装有一校准基体，在校准基体和校准基座之间设有用于检测校准基体与校准基座之间偏移量的检测机构。

进一步的，所述校准基体包括呈矩形设置的底板、固定连接在底板上表面的四个角上的立柱、固定连接在立柱上表面上的顶板和固定连接在顶板上表面上提升座。

进一步的，所述检测机构包括固定连接在底板一侧两端上的第一激光测距传感器和第二激光测距传感器、固定连接在底板与固定第一激光测距传感器的相邻的一侧侧壁上且远离第一激光测距传感器的一端上的第三激光测距传感器、固定连接在底板远离第一激光测距传感器的一侧的两端上的第四激光测距传感器和第五激光测距传感器、固定连接在校准基座上表面上的第一校准块和第二校准块、固定连接在底板远离第三激光测距传感器的一侧上的第六激光测距传感器、固定连接在校准基座上表面上的第三校准块、开设在底板上的检测孔，所述第一校准块、第二校准块和第三校准块穿过检测孔，所述第四激光测距传感器与第一校准块对准，所述第五激光测距传感器与第二校准块对准，所述第六激光测距传感器与第三校准块对齐，所述第一激光测距传感器、第二激光测距传感器和第三激光测距传感器与校准基座上表面对齐。

进一步的，在所述底板上表面上固定连接有三个支架，所述第一激光测距传感器、第二激光测距传感器、第三激光测距传感器固定连接在支架上。

进一步的，在所述校准基座上表面上固定连接有一定位销，在所述底板下表面上开设有定位孔，定位销插接在定位孔中。

进一步的，在所述校准基座上表面的两侧均固定连接有一第一把手，在所述顶板下表面的两侧上均固定连接有一第二把手。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型通过将校准基体放置在校准基座上，校准基座放置在工位上，通过第一激光测距传感器、第二测距激光传感器、第三激光测距传感器、第四激光测距传感器、第五激光测距传感器、第六激光测距传感器、第一校准块、第二校准块、第三校准块检测零点位置，然后通过OHT将校准基体提升起来，通过第一激光测距传感器、第二测距激光传感器、第三激光测距传感器、第四激光测距传感器、第五激光测距传感器、第六激光测距传感器、第一校准块、第二校准块、第三校准块检测校准基体的偏移量，通过偏移量来调整OHT，通过这样的设置，结构简单，操作方便，提高了天车放置和夹取晶圆盒的稳定性。

2、本实用新型通过在校准基座上表面上固定连接定位销，在底板下表面上开设定位孔，定位销插接在定位孔中，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了定位校准基座和校准基体之间的相对位置。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中，1、校准基座；2、校准基体；3、检测机构；4、底板；5、立柱；6、顶板；7、提升座；8、第一激光测距传感器；9、第二激光测距传感器；10、第三激光测距传感器；11、第四激光测距传感器；12、第五激光测距传感器；13、第一校准块；14、第二校准块；15、第六激光测距传感器；16、第三校准块；17、检测孔；18、支架；19、定位销；20、定位孔；21、第一把手；22、第二把手。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示，一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，包括校准基座1，在校准基座1上表面上放置有一校准基体2，杂技校准基体2和校准基座1之间设有用于检测校准基体2与校准基座1之间偏移量的检测机构3。

如图1所示，校准基体2包括底板4、立柱5、顶板6和提升座7，底板4呈矩形设置，立柱5固定连接在底板4上表面上，在底板4上表面的四个角上均固定连接有一立柱5，立柱5呈竖直设置，顶板6固定连接在立柱5上表面上，提升座7固定连接在顶板6上表面上。

如图1所示，检测机构3包括第一激光测距传感器8、第二测距激光传感器、第三激光测距传感器10、第四激光测距传感器11、第五激光测距传感器12、第六激光测距传感器15、第一校准块13、第二校准块14、第三校准块16和检测孔17，第一激光测距传感器8和第二激光测距传感器9分别固定连接在底板4上表面一侧的两端上，第三激光测距传感器10固定连接在底板4与固定第一激光测距传感器8相邻的一侧侧壁且远离第一激光测距传感器8的一端上，第四激光测距传感器11和第五激光测距传感器12固定连接在底板4远离第一激光测距传感的一侧的两端上，第六激光测距传感器15固定连接在底板4远离第三激光测距传感器10的一侧上，第一校准块13、第二校准块14和第三校准块16均固定连接在校准基座1上表面上，第一校准块13和第二校准块14位于同一平面内，第三校准块16与第一校准块13呈垂直设置，第四激光测距传感器11与第一校准块13对齐，第五激光测距传感器12与第二校准块14对齐，第六激光测距传感器15与第三校准块16对齐，检测孔17开设在底板4上，检测孔17贯穿底板4上下表面，第一校准块13、第二校准块14和第三校准块16穿过检测孔17。

如图1所示，为了提高对偏移量的检测准确性，在底板4上表面上固定连接有三个支架18，第一激光测距传感器8、第二激光测距传感器9和第三激光测距传感器10分别固定连接在三个支架18上。

如图1所示，为了方便定位校准基座1和校准基体2，在校准基座1上表面上固定连接有一定位销19，在底板4下表面上固定连接有一定位孔20，定位销19插接在定位孔20中。

如图1所示，为了方便操作者搬运校准基座1和校准基体2，在校准基座1上表面的两侧均固定连接有一第一把手21，在顶板6下表面的两侧均固定连接有一第二把手22。

本实用新型实施例的工作原理：将校准基体2放置在校准基座1上，校准基座1放置在工位上，通过第一激光测距传感器8、第二测距激光传感器、第三激光测距传感器10、第四激光测距传感器11、第五激光测距传感器12、第六激光测距传感器15、第一校准块13、第二校准块14、第三校准块16检测零点位置，然后通过OHT将校准基体2提升起来，通过第一激光测距传感器8、第二测距激光传感器、第三激光测距传感器10、第四激光测距传感器11、第五激光测距传感器12、第六激光测距传感器15、第一校准块13、第二校准块14、第三校准块16检测校准基体2的偏移量，通过偏移量来调整OHT。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了1、校准基座；2、校准基体；3、检测机构；4、底板；5、立柱；6、顶板；7、提升座；8、第一激光测距传感器；9、第二激光测距传感器；10、第三激光测距传感器；11、第四激光测距传感器；12、第五激光测距传感器；13、第一校准块；14、第二校准块；15、第六激光测距传感器；16、第三校准块；17、检测孔；18、支架；19、定位销；20、定位孔；21、第一把手；22、第二把手等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

Claims (6)

1.一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，其特征在于，包括校准基座(1)，在校准基座(1)上表面上安装有一校准基体(2)，在校准基体(2)和校准基座(1)之间设有用于检测校准基体(2)与校准基座(1)之间偏移量的检测机构(3)。

2.根据权利要求1所述的一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，其特征在于，所述校准基体(2)包括呈矩形设置的底板(4)、固定连接在底板(4)上表面的四个角上的立柱(5)、固定连接在立柱(5)上表面上的顶板(6)和固定连接在顶板(6)上表面上提升座(7)。

3.根据权利要求2所述的一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，其特征在于，所述检测机构(3)包括固定连接在底板(4)一侧两端上的第一激光测距传感器(8)和第二激光测距传感器(9)、固定连接在底板(4)与固定第一激光测距传感器(8)的相邻的一侧侧壁上且远离第一激光测距传感器(8)的一端上的第三激光测距传感器(10)、固定连接在底板(4)远离第一激光测距传感器(8)的一侧的两端上的第四激光测距传感器(11)和第五激光测距传感器(12)、固定连接在校准基座(1)上表面上的第一校准块(13)和第二校准块(14)、固定连接在底板(4)远离第三激光测距传感器(10)的一侧上的第六激光测距传感器(15)、固定连接在校准基座(1)上表面上的第三校准块(16)、开设在底板(4)上的检测孔(17)，所述第一校准块(13)、第二校准块(14)和第三校准块(16)穿过检测孔(17)，所述第四激光测距传感器(11)与第一校准块(13)对准，所述第五激光测距传感器(12)与第二校准块(14)对准，所述第六激光测距传感器(15)与第三校准块(16)对齐，所述第一激光测距传感器(8)、第二激光测距传感器(9)和第三激光测距传感器(10)与校准基座(1)上表面对齐。

4.根据权利要求3所述的一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，其特征在于，在所述底板(4)上表面上固定连接有三个支架(18)，所述第一激光测距传感器(8)、第二激光测距传感器(9)、第三激光测距传感器(10)固定连接在支架(18)上。

5.根据权利要求4所述的一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，其特征在于，在所述校准基座(1)上表面上固定连接有一定位销(19)，在所述底板(4)下表面上开设有定位孔(20)，定位销(19)插接在定位孔(20)中。

6.根据权利要求5所述的一种AMHS自动物料系统中OHT的校准装置，其特征在于，在所述校准基座(1)上表面的两侧均固定连接有一第一把手(21)，在所述顶板(6)下表面的两侧上均固定连接有一第二把手(22)。

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