CN218698530U - 一种防微振基座的专用制作平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防微振基座的专用制作平台,包括支撑框架和仿形面板，支撑框架的底部垂直设置有多个可调立柱，支撑框架的顶部设置有仿形面板且两者通过螺纹连接进行固定，所述仿形面板的正上方固定有倒扣的半成品基座，且所述半成品基座的顶部设置有压形模具，压形模具与仿形面板之间设置有拉马，利用拉马对半成品基座完成紧固，精加工的带有定制定位槽和限位挡边的仿形面板实现基座预埋件及外轮廓的快速精准定位，并通过螺丝连接组装成支撑平台，将半成品基座倒扣在仿形面板的槽中，在内部加入压形模具实现快速构建减重梯形盒，从而精确且高效的建立出基座的整体结构，确保了基座表面预埋件的位置精度，并且提高了基座的制作效率。

Description

一种防微振基座的专用制作平台

技术领域

本实用新型涉及光刻机基座制造技术领域，具体为一种防微振基座的专用制作平台。

背景技术

光刻机在芯片行业大量、广泛地应用，属于高精密仪器，需要配备相应的专用防微振基座。其中防微震基座就是光刻机装机必备的防微振基座之一。制作周期短、定位精度高的防微振基座对缩短光刻机的安装周期，提高光刻机装机精度具有重大意义。特别是对于急需投入使用的光刻机，能在较短时间内保证精度的情况下生产出配套防振基座能极大的缓解装机压力。现有的防微振基座通常采用手工焊接定位块，自由浇灌混凝土的制作方法，难以保证定位块的位置精度，而且制作工艺粗糙，返工返修风险大，加工精度和加工周期逗难以保证。为此，我们提供一种防微振基座的专用制作平台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种防微振基座的专用制作平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型可以通过以下技术方案实现：一种防微振基座的专用制作平台，包括支撑框架和仿形面板，支撑框架的底部垂直设置有多个可调立柱，支撑框架的顶部设置有仿形面板且两者通过螺纹连接进行固定，所述仿形面板的正上方固定有倒扣的半成品基座，且所述半成品基座的顶部设置有压形模具，压形模具与仿形面板之间设置有拉马，利用拉马对半成品基座完成紧固。

本实用新型的进一步技术改进在于：多个所述可调立柱成行、成列均匀排布，且每个可调立柱与支撑框架之间均通过调节螺丝和调节螺母连接，每个可调立柱底部分别用多个膨胀螺丝固定在地面上。

本实用新型的进一步技术改进在于：支撑框架与可调立柱的对接处设置调节垫片调节位置高度，使得支撑框架整体处于水平状态。

本实用新型的进一步技术改进在于：仿形面板开设多个定位槽并在定位槽内螺纹固定有多个不锈钢预埋构件，多个所述不锈钢预埋构件与半成品基座焊接固定，定位槽的形状特征与预埋件完全匹配。

本实用新型的进一步技术改进在于：仿形面板顶部边缘设置多个用于为半成品基座进行定位的定位挡边，且仿形面板上开设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔均设置为沉头孔以避免干涉。

本实用新型的进一步技术改进在于：半成品基座的外围套设有防胀框架，防胀框架与半成品基座的四个侧面紧密贴合。

本实用新型的进一步技术改进在于：压形模具包括吊装横梁、空心盒和支撑钢筋，吊装横梁搭接在空心盒上，空心盒内横竖交叉设置有多根支撑钢筋以保证空心盒的强度，吊装横梁的两端开设有拉马连接孔。

本实用新型的进一步技术改进在于：每一个所述拉马连接孔处连接两个拉马，且两个拉马呈八字形设置，仿形面板上螺纹连接有多个吊环螺丝组，两个拉马远离吊装横梁的一端分别与一组吊环螺丝组中的两个吊环螺丝相连。

与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：

本实用新型通过精加工的带有定制定位槽和限位挡边的仿形面板实现基座预埋件及外轮廓的快速精准定位，并通过螺丝连接组装成支撑平台，将半成品基座倒扣在仿形面板的槽中，在内部加入压形模具实现快速构建减重梯形盒，从而精确且高效的建立出基座的整体结构，确保了基座表面预埋件的位置精度，并且提高了基座的制作效率。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型的使用状态的等轴测立体图；

图2为本实用新型的使用状态的下方视角等轴测立体图；

图3为本实用新型的整体结构主视示意图；

图4为本实用新型的底座部分的立体结构示意图；

图5为本实用新型的压型模具主视示意图；

图6为本实用新型图5中E向剖视示意图。

图中：1、压形模具；2、拉马；3、防胀框架；4、吊环螺丝；5、仿形面板；6、支撑框架；7、调节螺丝；8、调节螺母；9、可调立柱；10、膨胀螺丝；11、锁紧螺丝；12、锁紧螺母；13、调节垫片；14、吊装块定位螺丝；15、预埋块定位螺丝；A、半成品基座；B、基座矩形预埋件；C、基座圆形预埋件；D、基座方形预埋件；101、吊装横梁；102、拉马连接孔；103、空心盒；104、支撑钢筋；501、定位挡边；503、预埋件定位槽。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为实现预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。

请参阅图1-6所示，一种防微振基座的专用制作平台，包括支撑框架6、防胀框架3、仿形面板5和压形模具1，支撑框架6的底部垂直设置有多个可调立柱9，多个可调立柱9成行、成列均匀排布，且每个可调立柱9与支撑框架6之间均通过调节螺丝7和调节螺母8连接，每个可调立柱9底部分别用6支膨胀螺丝10固定在地面上，需要说明的是，支撑框架6与可调立柱9的对接处设置调节垫片13调节位置高度，使得支撑框架6整体处于水平状态；

支撑框架6的顶部设置有仿形面板5，并利用锁紧螺丝11贯穿仿形面板5与支撑框架6上的螺纹孔配合最终用锁紧螺母12锁紧；仿形面板5的前后两侧均匀设置有多个吊环螺丝组，每个吊环螺丝组中包括两个吊环螺丝4，仿形面板5上开设有多个吊环螺丝孔并通过其与吊环螺丝4连接；仿形面板5的顶部四角位置均开设有预埋件定位槽503，预埋件定位槽503中放置有光刻机基座的不锈钢预埋件，并从仿形面板5底部穿过预留的螺丝孔将不锈钢预埋件锁紧固定，防止制作过程中产生位移，不锈钢预埋件包括基座矩形预埋件B和基座方形预埋件D，同时仿形面板5的中部位置用同样的方式固定有四个基座圆形预埋件C；

需要说明的是，预埋件定位槽503形状、大小、位置与不锈钢预埋件的形状、大小、位置完全一致，且所有预埋件定位槽503深度一致，保证成品基座表面水平度；在一种实施例下的凹槽特征尺寸如下：

凹槽命名	特征尺寸(mm)	允许偏差(mm)	特征数量
				B凹槽	长x宽＝588.5x195	(0，+0.2)	2
D凹槽	长x宽＝293.5x208	(0，+0.2)	2

在仿形面板5的正上方放置半成品基座A，半成品基座A倒扣放置，并将半成品基座A与上述预埋件进行焊接固定，仿形面板5靠近边缘位置均设置有若干定位挡边501，用于为半成品基座A定位；

需要说明的是：定位挡边501与仿形面板5位同一母材，通过铣削加工，具有很高的定位精度；在一种实施例下的定位挡边501定出范围的特征尺寸如下：

长度尺寸(mm)	宽度尺寸(mm)	允许偏差(mm)	挡边数量
				2573	2087	(0，+0.2)	10

在半成品基座A的外围套设有防胀框架3，防胀框架3与半成品基座A的四个侧面紧密贴合，防止后续混凝土浇灌时对半成品基座A造成冲击而影响变形，在半成品基座A的顶部设置有若干压形模具1，压形模具1包括吊装横梁101、空心盒103和支撑钢筋104，吊装横梁101搭接在空心盒103上，空心盒103内横竖交叉设置有多根支撑钢筋104以保证空心盒103的强度，吊装横梁101的两端开设有拉马连接孔102；

每一个拉马连接孔102处都设置有两个拉马2，且两个拉马2呈八字形设置，且两个拉马2远离吊装横梁101的一端分别与一组吊环螺丝组中的两个吊环螺丝4相连。

需要说明的是，仿形面板5上开设的螺丝孔均为沉头孔，保证了仿形面板5表面无凸起物体，保证了其平整度，避免半成品基座A与其发生干涉，支撑框架6与其他构件采用螺纹连接方式的好处是可拆卸更换不同的尺寸类型的支撑框架6，同时减小焊接变形和焊接产生的内部应力，延长该基座专用制作平台的使用寿命。

本实用新型在使用时，将半成品基座A倒扣放置在仿形面板5上预设的限位槽中，利用定位挡边501进行精确定位，并将半成品基座A与仿形面板5上的预埋件焊接固定，同时在半成品基座A外侧套设防胀框架3；

随后将压形模具1通过吊装横梁101搭接在半成品基座A上方，半成品基座A相对于压形模具1的压入深度可以通过垫入垫片调整；

调整好压形模具1位置后在压形模具1的吊装横梁101两头分别用两个拉马2将压形模具1拉紧在仿形面板5的吊装螺丝4上，从而完成整个半成品基座A的快速定位、紧固；

最后通过压形模具1与半成品基座A的框架铁板之间的空隙浇灌混凝土，完成基座的制作流程。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于：包括支撑框架(6)和仿形面板(5)，支撑框架(6)的底部垂直设置有多个可调立柱(9)，支撑框架(6)的顶部设置有仿形面板(5)且两者通过螺纹连接进行固定，所述仿形面板(5)的正上方固定有倒扣的半成品基座(A)，且所述半成品基座(A)的顶部设置有压形模具(1)，压形模具(1)与仿形面板(5)之间设置有拉马(2)，利用拉马(2)对半成品基座完成紧固。

2.根据权利要求1所述的一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于，多个所述可调立柱(9)成行、成列均匀排布，且每个可调立柱(9)与支撑框架(6)之间均通过调节螺丝(7)和调节螺母(8)连接，每个可调立柱(9)底部分别用多个膨胀螺丝(10)固定在地面上。

3.根据权利要求1所述的一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于，所述支撑框架(6)与可调立柱(9)的对接处设置调节垫片(13)调节位置高度，使得支撑框架(6)整体处于水平状态。

4.根据权利要求1所述的一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于，所述仿形面板(5)开设多个定位槽并在定位槽内螺纹固定有多个不锈钢预埋构件，多个所述不锈钢预埋构件与半成品基座(A)焊接固定，定位槽的形状特征与预埋件完全匹配。

5.根据权利要求1所述的一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于，所述仿形面板(5)顶部边缘设置多个用于为半成品基座(A)进行定位的定位挡边(501)，且仿形面板(5)上开设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔均设置为沉头孔以避免干涉。

6.根据权利要求1所述的一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于，所述半成品基座(A)的外围套设有防胀框架(3)，防胀框架(3)与半成品基座(A)的四个侧面紧密贴合。

7.根据权利要求1所述的一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于，所述压形模具(1)包括吊装横梁(101)、空心盒(103)和支撑钢筋(104)，吊装横梁(101)搭接在空心盒(103)上，空心盒(103)内横竖交叉设置有多根支撑钢筋(104)以保证空心盒(103)的强度，吊装横梁(101)的两端开设有拉马连接孔(102)。

8.根据权利要求7所述的一种防微振基座的专用制作平台，其特征在于，每一个所述拉马连接孔(102)处连接两个拉马(2)，且两个拉马(2)呈八字形设置，仿形面板(5)上螺纹连接有多个吊环螺丝组，两个拉马(2)远离吊装横梁(101)的一端分别与一组吊环螺丝组中的两个吊环螺丝(4)相连。

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