CN218691123U

CN218691123U - 一种芯片制造用恒温匀胶机

Info

Publication number: CN218691123U
Application number: CN202222990844.8U
Authority: CN
Inventors: 陈俊; 陈念军; 王大勇
Original assignee: Jiangsu Jixin Microelectronics Technology Co ltd
Current assignee: Jiangsu Jixin Microelectronics Technology Co ltd
Priority date: 2022-11-10
Filing date: 2022-11-10
Publication date: 2023-03-24
Anticipated expiration: 2032-11-10

Abstract

本实用新型公开了一种芯片制造用恒温匀胶机，涉及匀胶机技术领域，包括支撑底板，所述支撑底板的顶部安装有匀胶机，所述匀胶机的内部安装有清理组件，所述支撑底板的底部安装有支撑机构，所述支撑机构包括开设在支撑底板的底部的安装槽，所述安装槽的内部安装有制动电机箱，所述制动电机箱的两侧通过螺栓安装有L型安装板。本实用新型所述的一种芯片制造用恒温匀胶机，通过设置的支撑机构进行对装置的支撑与稳定作用，通过设置的制动电机箱进行对螺旋杆的旋转，从而使螺旋杆带动移动块进行对升降杆的降落，从而使支撑板进行对装置的支撑作用，防止在工作的过程中因倾斜影响匀胶的效果与质量。

Description

一种芯片制造用恒温匀胶机

技术领域

本实用新型涉及匀胶机技术领域，特别涉及一种芯片制造用恒温匀胶机。

背景技术

随着科技的发展，芯片的自主研发能力是一个国家科技能力的集中体现，在芯片生产前，需要对成型的晶片进行匀胶，使晶片表面生成符合芯片生产要求的薄膜，而在匀胶过程中往往需要匀胶机，匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，现有的匀胶机在使用时会出现中途胶液不够的情况，这时再打开盖板会使胶液四处飞散，影响加工效果，而且匀胶机在工作过程中，由于设备放置不水平，会对加工过程带来不确定因素，同时在使用的过程中，基片上的胶液通常会被甩出至基片外侧，进而使接胶盘的内表面粘黏有胶液滴，需要对接胶盘进行定期清理，但工作人员伸入匀胶机中难以实施清理操作。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种芯片制造用恒温匀胶机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种芯片制造用恒温匀胶机，包括支撑底板，所述支撑底板的顶部安装有匀胶机，所述匀胶机的内部安装有清理组件，所述支撑底板的底部安装有支撑机构；

所述支撑机构包括开设在支撑底板的底部的安装槽，所述安装槽的内部安装有制动电机箱，所述制动电机箱的两侧通过螺栓安装有L型安装板，所述L型安装板的顶部通过螺栓安装在安装槽的顶部内壁上，所述制动电机箱通过L型安装板连接在安装槽的内部，所述制动电机箱的底部通过螺栓安装有支撑柱，所述支撑柱的内部设置有螺旋杆，所述螺旋杆的顶部与制动电机箱连接，所述螺旋杆的外壁上套设有移动块，所述移动块的底部固定安装有连接块，所述连接块的底部固定安装有限位板，所述限位板的底部固定安装有升降杆。

优选的，所述升降杆与限位板焊接连接，所述移动块通过连接块和限位板与升降杆连接，所述升降杆套设在支撑柱的内部，所述升降杆的内部开设有通槽，所述螺旋杆的底部套设在通槽的内部，所述螺旋杆的底部固定安装有限位块，所述限位块与通槽对应设置，所述升降杆的底部固定安装有支撑板，所述支撑板设置在支撑底板的底部下方，所述制动电机箱有两个，分别安装在安装槽的内部靠近左侧和右侧的位置，所述制动电机箱与支撑柱对应设置。

优选的，所述清理组件包括套设在旋转柱外壁上的安装环，所述安装环固定安装在旋转柱的外壁上，所述安装环的外壁上通过螺栓安装有L型刮板，所述L型刮板的底部与匀胶筒的底部内壁相贴合，所述L型刮板的侧面与匀胶筒的侧面相贴合，所述匀胶筒的底部侧面开设有废胶出胶口，所述废胶出胶口与L型刮板对应设置，所述废胶出胶口的底部连接有废胶储存箱，所述废胶储存箱通过螺栓安装在制动组件的侧面，所述废胶出胶口有两个，分别开设在匀胶筒底部靠近左侧和右侧的位置，所述废胶出胶口与废胶储存箱对应设置。

优选的，所述匀胶机的内部安装有匀胶筒，所述匀胶筒的底部设置有制动组件，所述制动组件的顶部中间安装有旋转柱，所述旋转柱的顶部固定安装有工作台，所述工作台与旋转柱设置在匀胶筒的中间，所述匀胶筒的内壁上安装哟弧形挡板，所述弧形挡板有两个，分别安装在匀胶筒内部靠近正面与背面的位置，所述弧形挡板的顶端固定安装有安装凸块，所述安装凸块插接在安装插槽的内部，所述安装插槽开设在另一个弧形挡板的顶端，所述安装凸块与安装插槽对应设置，所述安装凸块的内侧插接有限位螺栓，所述限位螺栓连接在弧形挡板的内侧。

优选的，所述支撑底板的底部固定安装有若干个支撑腿，所述支撑腿的底部安装有旋转轴，所述旋转轴的底部安装有万向轮，所述万向轮的顶部侧面安装有制动器，所述万向轮通过旋转轴与支撑腿连接，所述支撑底板的正面中间安装有水平校准仪。

优选的，所述匀胶机的顶部安装有端盖，所述端盖的顶部安装有储胶箱，所述储胶箱的底部中间开设有出胶口，所述出胶口与工作台对应设置。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型中，通过设置的支撑机构进行对装置的支撑与稳定作用，通过设置的制动电机箱进行对螺旋杆的旋转，从而使螺旋杆带动移动块进行对升降杆的降落，从而使支撑板进行对装置的支撑作用，通过设置的水平校准仪进行对装置水平的校准作用，使装置保持水平状态，防止在工作的过程中因倾斜影响匀胶的效果与质量，影响装置的使用效率。

2.本实用新型中，通过设置的清理组件进行对匀胶筒内部的清洗作用，通过旋转柱旋转带动安装环与L型刮板进行旋转，从而使L型刮板进行对匀胶筒底部飞溅出的废胶的刮取，防止废胶凝固，影响装置的使用，通过废胶出胶口与废胶储存箱进行对废胶的收集，同时匀胶筒的内部安装有弧形挡板，通过设置的安装凸块与安装插槽方便进行对装置的拆卸与安装，减少工作人员伸入匀胶机中难以实施清理操作的情况出现。

附图说明

图1是本实用新型装置整体的结构示意图；

图2是本实用新型装置内部的结构示意图；

图3是本实用新型支撑机构的结构示意图；

图4是本实用新型A处放大的结构示意图。

图中：1、支撑底板；2、支撑腿；3、万向轮；4、旋转轴；5、制动器；6、支撑机构；7、安装槽；8、制动电机箱；9、L型安装板；10、支撑柱；11、螺旋杆；12、移动块；13、升降杆；14、通槽；15、限位块；16、支撑板；17、连接块；18、限位板；19、匀胶机；20、端盖；21、储胶箱；22、出胶口；23、匀胶筒；24、工作台；25、旋转柱；26、制动组件；27、清理组件；28、安装环；29、L型刮板；30、废胶出胶口；31、废胶储存箱；32、弧形挡板；33、安装凸块；34、安装插槽；35、限位螺栓；36、水平校准仪。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1、图3所示，一种芯片制造用恒温匀胶机，包括支撑底板1，支撑底板1的顶部安装有匀胶机19，匀胶机19的内部安装有清理组件27，支撑底板1的底部安装有支撑机构6；

支撑机构6包括开设在支撑底板1的底部的安装槽7，安装槽7的内部安装有制动电机箱8，制动电机箱8的两侧通过螺栓安装有L型安装板9，L型安装板9的顶部通过螺栓安装在安装槽7的顶部内壁上，制动电机箱8通过L型安装板9连接在安装槽7的内部，制动电机箱8的底部通过螺栓安装有支撑柱10，支撑柱10的内部设置有螺旋杆11，螺旋杆11的顶部与制动电机箱8连接，螺旋杆11的外壁上套设有移动块12，移动块12的底部固定安装有连接块17，连接块17的底部固定安装有限位板18，限位板18的底部固定安装有升降杆13，升降杆13与限位板18焊接连接，移动块12通过连接块17和限位板18与升降杆13连接，升降杆13套设在支撑柱10的内部，升降杆13的内部开设有通槽14，螺旋杆11的底部套设在通槽14的内部，螺旋杆11的底部固定安装有限位块15，限位块15与通槽14对应设置，升降杆13的底部固定安装有支撑板16，支撑板16设置在支撑底板1的底部下方，制动电机箱8有两个，分别安装在安装槽7的内部靠近左侧和右侧的位置，制动电机箱8与支撑柱10对应设置，通过设置的支撑机构6进行对装置的支撑与稳定作用，通过设置的制动电机箱8进行对螺旋杆11的旋转，从而使螺旋杆11带动移动块12进行对升降杆13的降落，从而使支撑板16进行对装置的支撑作用，通过设置的水平校准仪36进行对装置水平的校准作用，使装置保持水平状态，防止在工作的过程中因倾斜影响匀胶的效果与质量，影响装置的使用效率；

请参阅图1、图2所示清理组件27包括套设在旋转柱25外壁上的安装环28，安装环28固定安装在旋转柱25的外壁上，安装环28的外壁上通过螺栓安装有L型刮板29，L型刮板29的底部与匀胶筒23的底部内壁相贴合，L型刮板29的侧面与匀胶筒23的侧面相贴合，匀胶筒23的底部侧面开设有废胶出胶口30，废胶出胶口30与L型刮板29对应设置，废胶出胶口30的底部连接有废胶储存箱31，废胶储存箱31通过螺栓安装在制动组件26的侧面，废胶出胶口30有两个，分别开设在匀胶筒23底部靠近左侧和右侧的位置，废胶出胶口30与废胶储存箱31对应设置，通过设置的清理组件27进行对匀胶筒23内部的清洗作用，通过旋转柱25旋转带动安装环28与L型刮板29进行旋转，从而使L型刮板29进行对匀胶筒23底部飞溅出的废胶的刮取，防止废胶凝固，影响装置的使用，通过废胶出胶口30与废胶储存箱31进行对废胶的收集，同时匀胶筒23的内部安装有弧形挡板32，通过设置的安装凸块33与安装插槽34方便进行对装置的拆卸与安装，减少工作人员伸入匀胶机中难以实施清理操作的情况出现。

需要说明的是，本实用新型为一种芯片制造用恒温匀胶机，使用时支撑底板1的底部安装有支撑机构6，通过支撑机构6进行对装置的支撑作用，通过制动电机箱8运转带动螺旋杆11进行旋转，使螺旋杆11带动移动块12进行对升降杆13的降落，从而使升降杆13进行对支撑板16的降落，使支撑板16进行对装置的支撑作用，同时保持装置的水平状态，防止发生倾斜，导致影响匀胶的质量，通过设置的水平校准仪36进行对装置是否保持水平的观察，通过设置的储胶箱21进行对胶额的储存作用，在通过设置的匀胶筒23进行出料，通过设置的制动组件26运转使旋转柱25进行旋转，从而进行对芯片的匀胶作用，同时旋转柱25的外壁上安装有清理组件27，通过旋转柱25旋转使安装环28与L型刮板29跟随旋转柱25进行旋转，从而进行对匀胶筒23底部内壁上飞溅的废胶的刮取，使废胶顺着开设的废胶出胶口30进入到废胶储存箱31内部进行收集，同时匀胶筒23的内部安装有弧形挡板32，弧形挡板32通过安装凸块33卡接在安装插槽34的内部进行安装，方便拆卸与清洗，减少工作人员不方便清理的情况出现，增加装置的实用性与便捷度。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims

1.一种芯片制造用恒温匀胶机，包括支撑底板（1），其特征在于：所述支撑底板（1）的顶部安装有匀胶机（19），所述匀胶机（19）的内部安装有清理组件（27），所述支撑底板（1）的底部安装有支撑机构（6）；

所述支撑机构（6）包括开设在支撑底板（1）的底部的安装槽（7），所述安装槽（7）的内部安装有制动电机箱（8），所述制动电机箱（8）的两侧通过螺栓安装有L型安装板（9），所述L型安装板（9）的顶部通过螺栓安装在安装槽（7）的顶部内壁上，所述制动电机箱（8）通过L型安装板（9）连接在安装槽（7）的内部，所述制动电机箱（8）的底部通过螺栓安装有支撑柱（10），所述支撑柱（10）的内部设置有螺旋杆（11），所述螺旋杆（11）的顶部与制动电机箱（8）连接，所述螺旋杆（11）的外壁上套设有移动块（12），所述移动块（12）的底部固定安装有连接块（17），所述连接块（17）的底部固定安装有限位板（18），所述限位板（18）的底部固定安装有升降杆（13）。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造用恒温匀胶机，其特征在于：所述升降杆（13）与限位板（18）焊接连接，所述移动块（12）通过连接块（17）和限位板（18）与升降杆（13）连接，所述升降杆（13）套设在支撑柱（10）的内部，所述升降杆（13）的内部开设有通槽（14），所述螺旋杆（11）的底部套设在通槽（14）的内部，所述螺旋杆（11）的底部固定安装有限位块（15），所述限位块（15）与通槽（14）对应设置，所述升降杆（13）的底部固定安装有支撑板（16），所述支撑板（16）设置在支撑底板（1）的底部下方。

3.根据权利要求1所述的一种芯片制造用恒温匀胶机，其特征在于：所述清理组件（27）包括套设在旋转柱（25）外壁上的安装环（28），所述安装环（28）固定安装在旋转柱（25）的外壁上，所述安装环（28）的外壁上通过螺栓安装有L型刮板（29），所述L型刮板（29）的底部与匀胶筒（23）的底部内壁相贴合，所述L型刮板（29）的侧面与匀胶筒（23）的侧面相贴合，所述匀胶筒（23）的底部侧面开设有废胶出胶口（30），所述废胶出胶口（30）与L型刮板（29）对应设置，所述废胶出胶口（30）的底部连接有废胶储存箱（31），所述废胶储存箱（31）通过螺栓安装在制动组件（26）的侧面，所述废胶出胶口（30）有两个，分别开设在匀胶筒（23）底部靠近左侧和右侧的位置，所述废胶出胶口（30）与废胶储存箱（31）对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种芯片制造用恒温匀胶机，其特征在于：所述匀胶机（19）的内部安装有匀胶筒（23），所述匀胶筒（23）的底部设置有制动组件（26），所述制动组件（26）的顶部中间安装有旋转柱（25），所述旋转柱（25）的顶部固定安装有工作台（24），所述工作台（24）与旋转柱（25）设置在匀胶筒（23）的中间，所述匀胶筒（23）的内壁上安装哟弧形挡板（32），所述弧形挡板（32）有两个，分别安装在匀胶筒（23）内部靠近正面与背面的位置，所述弧形挡板（32）的顶端固定安装有安装凸块（33），所述安装凸块（33）插接在安装插槽（34）的内部，所述安装插槽（34）开设在另一个弧形挡板（32）的顶端，所述安装凸块（33）与安装插槽（34）对应设置，所述安装凸块（33）的内侧插接有限位螺栓（35），所述限位螺栓（35）连接在弧形挡板（32）的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种芯片制造用恒温匀胶机，其特征在于：所述支撑底板（1）的底部固定安装有若干个支撑腿（2），所述支撑腿（2）的底部安装有旋转轴（4），所述旋转轴（4）的底部安装有万向轮（3），所述万向轮（3）的顶部侧面安装有制动器（5），所述万向轮（3）通过旋转轴（4）与支撑腿（2）连接，所述支撑底板（1）的正面中间安装有水平校准仪（36）。

6.根据权利要求1所述的一种芯片制造用恒温匀胶机，其特征在于：所述匀胶机（19）的顶部安装有端盖（20），所述端盖（20）的顶部安装有储胶箱（21），所述储胶箱（21）的底部中间开设有出胶口（22），所述出胶口（22）与工作台（24）对应设置。