CN218677063U - 一种晶圆检测用压接机构及装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆检测用压接机构，其包括压接盒、承载件、第一延长件、滑动件、第二延长件、固定件以及驱动件。第一延长件设置在承载件上，且第一延长件沿第一水平方向延伸出承载件。滑动件沿竖直方向滑移设置在第一延长件上。第二延长件设置在滑动件上，且第二延长件沿第一水平方向延伸出第一延长件。固定件设置在第二延长件上，固定件沿第二水平方向延伸出第二延长件，第二水平方向与第一水平方向相交叉，且压接盒设置在固定件上。驱动件被配置为驱动滑动件滑动。本实用新型采用第一延长件、第二延长件以及固定件相配合将压接盒延伸出承载件，从而能够满足压接点位于中心部位的大尺寸晶圆的压接需求。

Description

一种晶圆检测用压接机构及装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆检测用压接机构及装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。

为提高晶圆的良率，在晶圆的制造过程中，通常设有晶圆检测工序，以在制造过程中及时发现晶圆的性能缺陷，并及时改进工艺，使得后续的晶圆的良率得以提高。具体而言，晶圆检测就是将待检测晶圆通过压接盒点亮后移动至摄像装置下方，以实现对晶圆进行灰度、RGB等参数的检测。

现有技术中，常用的压接机构包括底座和压接盒，底座上竖直设置有支撑件，压接盒沿竖直方向滑移设置在支撑件上。因此，当上述的压接机构在应用于对压接点位于中心部位的大尺寸晶圆进行检测时，底座与支撑件会妨碍对大尺寸晶圆进行位置调整，进而导致上述的压接机构无法满足大尺寸晶圆的压接需求。

因此，亟需一种圆检测用压接机构及装置来改善上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测用压接机构及装置，以解决现有技术中的压接机构无法应用于压接点位于其中心部位的大尺寸晶圆的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆检测用压接机构，包括用于压接晶圆的压接盒，所述晶圆检测用压接机构还包括：

承载件；

第一延长件，设置在所述承载件上，且所述第一延长件沿第一水平方向延伸出所述承载件；

滑动件，沿竖直方向滑移设置在所述第一延长件上；

第二延长件，设置在所述滑动件上，且所述第二延长件沿所述第一水平方向延伸出所述第一延长件；

固定件，设置在所述第二延长件上，所述固定件沿第二水平方向延伸出所述第二延长件，所述第二水平方向与所述第一水平方向相交叉，且所述压接盒设置在所述固定件上；以及

驱动件，被配置为驱动所述滑动件滑动。

作为优选地，所述晶圆检测用压接机构还包括导向组件，所述第一延长件设置有两个，两个所述第一延长件分别设置在所述承载件两端；

所述第二延长件对应设置有两个，两个所述第二延长件通过所述固定件相连接；

所述滑动件设置在其中一个所述第一延长件上，另一个所述第一延长件与所述第二延长件之间设置有导向组件，所述导向组件被配置为使所述第二延长件沿竖直方向运动。

作为优选地，所述固定件上设置有加强杆，所述加强杆沿所述固定件的长度方向固定在所述固定件上，且所述加强杆的两端分别与两侧的所述第二延长件固定连接。

作为优选地，所述固定件上设置有多组用于安装所述压接盒的安装槽位，多组所述安装槽位沿第二水平方向均匀间隔设置，所述压接盒对应所述安装槽位的数量设置有多个。

作为优选地，所述固定件上沿所述安装槽位的长度方向开设有参考刻度。

作为优选地，所述参考刻度位于所述固定件靠近所述安装槽位的侧壁上。

作为优选地，所述第一延长件和/或所述第二延长件和/或所述固定件上开设有减重孔。

作为优选地，所述承载件与所述第一延长件通过加强件固定连接。

作为优选地，所述加强件位于所述第一延长件背离所述滑动件的一侧，所述加强件两相邻的侧壁分别与所述第一延长件及所述承载件的侧壁贴合并固定连接。

一种晶圆压接装置，包括用于用于承载晶圆的载台，以及所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述压接机构通过所述承载件安装于所述载台上，且所述晶圆位于所述固定件下方。

本实用新型的有益效果：

本实用新型采用第一延长件、第二延长件以及固定件相配合将压接盒延伸出承载件，使得压接盒远离承载件及驱动压接盒运动的相关部件，从而能够满足压接点位于中心部位的大尺寸晶圆的压接需求。

附图说明

图1是本实用新型提供的晶圆检测用压接机构的结构示意图一；

图2是本实用新型提供的晶圆检测用压接机构的结构示意图二；

图3是本实用新型提供的导向组件连接关系的示意图。

图中：

100、承载件；101、安装孔；200、第一延长件；201、减重孔；300、滑动件；301、滑台；400、第二延长件；500、固定件；501、安装槽位；502、参考刻度；600、驱动件；700、加强件；800、导向组件；801、滑轨；802、滑块；900、加强杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

实施例：

本实施例提供了一种晶圆压接装置，其包括用于承载晶圆的载台，以及一种晶圆检测用压接机构，压接机构安装于载台上，压接机构用于将压接盒与晶圆压接，同时，能够保证压接盒远离压接机构与载台的连接部件，及驱动压接盒运动的相关部件，从而能够满足压接点位于中心部位的大尺寸晶圆的压接需求。

请参阅图1，本实施例提供的一种晶圆检测用压接机构包括压接盒(图中未示出)、承载件100、第一延长件200、滑动件300、第二延长件400、固定件500以及驱动件600。其中，压接盒用于压接晶圆。第一延长件200设置在承载件100上，且第一延长件200沿第一水平方向延伸出承载件100。滑动件300沿竖直方向滑移设置在第一延长件200上。第二延长件400设置在滑动件300上，且第二延长件400沿第一水平方向延伸出第一延长件200。固定件500设置在第二延长件400上，固定件500沿第二水平方向延伸出第二延长件400，第二水平方向与第一水平方向相交叉，且压接盒设置在固定件500上。驱动件600被配置为驱动滑动件300滑动。

实际运用中，先借助承载件100将晶圆检测用压接机构安装于载台上，随后将晶圆放置于载台上并使得晶圆位于固定件500下方，再由驱动件600驱动滑动件300下移并带动第二延长件400下移，即带动固定件500下移，使得固定件500上的压接盒靠近晶圆，最终压接盒与晶圆压接并点亮晶圆。可以理解的是，因第一延长件200与第二延长件400均沿第一水平方向延伸出承载件100，而使得第二延长件400下方的载台上未设置有压接机构的部件。同时，固定件500沿第二水平方向延伸出第二延长件400，而压接盒安装于固定件500上，当晶圆放置于载台上并位于压接盒下方的区域时，能够使得晶圆也远离第一延长件200、第二延长件400，进而能够满足压接点位于中心部位的大尺寸晶圆的压接需求。

结合图1和图2，具体而言，第一延长件200设置有两个，两个第一延长件200分别设置在承载件100两端。具体地，承载件100为呈长方形状设置的承载板，两个第一延长件200为两块相互平行的第一延长板。两个第一延长件200均通过螺栓安装在承载件100上，且两个第一延长件200分别位于承载件100长度方向上的两端。需要说明的是，第一水平方向为承载件100的宽度方向。

为加强第一延长件200与承载件100连接的稳定性，承载件100与第一延长件200通过加强件700固定连接。第二水平方向为承载件100的长度方向，即第一水平方向与第二水平方向相垂直。具体地，加强件700位于第一延长件200背离滑动件300的一侧，加强件700两相邻的侧壁分别与第一延长件200及承载件100的侧壁相贴合并固定连接。可以理解的是，将加强件700设置在背离滑动件300的一侧，能够为滑动件300预留出充足的安装空间。在本实施例中，加强件700为加强板，加强件700相邻的两侧通过螺栓分别与承载件100、第一延长件200螺接。需要说明的是，加强件700可以根据实际需求设置有多块，且多块加强件700的位置也可根据实际需求设置，本实施例对此不作具体要求和限制。本实施例中加强件700的数量是三块。

同时，为提升晶圆检测用压接机构的组装效率，第一延长件200和/或第二延长件400和/或固定件500上开设有减重孔201。在本实施例中，减重孔201开设在第一延长件200上，以减轻第一延长件200的重量，从而更便于在组装晶圆检测用压接机构的过程中搬运第一延长件200，进而能够提升晶圆检测用压接机构的组装效率。当然，在其他实施例中，也可以在第二延长件400、固定件500开设减重孔201，还可以在第一延长件200、第二延长件400以及固定件500之间任意组合开设减重孔201，即，可任选其中两个开设减重孔201或在三个上都开设减重孔201。

此外，为提升晶圆检测用压接机构与载台的连接稳定性，承载件100上开设有若干个安装孔101，在本实施例中，安装孔101可以为螺纹孔、通孔及沉头孔等常规类型，本实施例对此也不作具体要求和限制。

参照图1至图3，基于上述，第二延长件400对应设置有两个，两个第二延长件400通过固定件500相连接。滑动件300设置在其中一个第一延长件200上，另一个第一延长件200与第二延长件400之间设置有导向组件800，导向组件800被配置为使第二延长件400沿竖直方向运动。在本实施例中，固定件500为长条状固定板，第二延长件400为第二延长板。两个第二延长件400通过螺栓安装在固定件500的两端，且两块第二延长件400均沿竖直方向设置，即，两个第二延长件400与固定件500组成一个龙门状结构。导向组件800包括滑轨801与滑块802，滑轨801沿竖直方向安装在远离滑动件300一侧的第一延长件200上，滑块802安装在其中的一个第二延长件400上，且滑轨801与滑块802滑移配合。滑动件300安装在另一侧的第一延长件200上，另一个第二延长件400与滑动件300固定连接。

可以理解的是，滑轨801对第二延长件400的滑移起到了引导作用，即能够保证固定件500滑移路径的准确性。同时，两个第二延长件400的滑移分别由滑动件300与导向组件800进行引导，有助于提升固定件500滑移的稳定性。此外，两个第二延长件400与固定件500形成的龙门状结构，能够使得固定件500用于安装压接盒的位置更加充裕。

为加强两个第二延长件400与固定件500的连接稳定性，固定件500上设置有加强杆900，且加强杆900的两端分别与两侧的第二延长件400固定连接。具体地，加强杆900通过螺栓固定在固定件500上，加强杆900的两端分别与两侧的第二延长件400螺接。

进一步地，滑动件300为KK模组，第二延长件400与KK模组的滑台301固定连接。在本实施例中，KK模组的滑台301与远离导向组件800的一个第二延长件400固定连接,KK模组为现有技术，其结构简单，摩擦系数小。驱动件600为伺服电机，伺服电机与KK模组安装在同一第一延长件200上，伺服电机与KK模组传动连接。需要说明的是，伺服电机与KK模组的传动方式可以采用传动带、齿轮等任何本领域技术人员所熟知的技术手段，本实施例对此不作具体限制和要求。

为进一步提升固定件500滑移的稳定性，导向组件800可以设置多个，多个导向组件800分别用于对两个第二延长件400导向，本实施例中导向组件800的数量是三个，其中滑动件300所在的一侧为一个，另一侧是两个。当然，在其它实施例中，导向组件800的数量还可以是四个、五个、或更多个。

更进一步地，固定件500上设置有多组用于安装压接盒的安装槽位501，多组安装槽位501沿第二水平方向均匀间隔设置，压接盒对应安装槽位501的数量设置有多个。可以理解的是，设置多个压接盒，即可实现同时对多个晶圆进行检测，从而有助于提升晶圆检测的效率。为进一步提升晶圆检测用压接机构的组装效率，固定件500上沿安装槽位501的长度方向开设有参考刻度502，从而在安装压接盒时可借助参考刻度502判断压接盒位于固定件500上的位置，更便于工作人员将压接盒安装至指定位置。需要指出的是，参考刻度502对应安装槽位501的数量设置有多个。

同时，为便于工作人员观察参考刻度502，参考刻度502位于固定件500靠近安装槽位501的侧壁上，从而能够避免安装压接盒的过程中，参考刻度502被压接盒遮挡的情况。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆检测用压接机构，包括用于压接晶圆的压接盒，其特征在于，所述晶圆检测用压接机构还包括：

承载件(100)；

第一延长件(200)，设置在所述承载件(100)上，且所述第一延长件(200)沿第一水平方向延伸出所述承载件(100)；

滑动件(300)，沿竖直方向滑移设置在所述第一延长件(200)上；

第二延长件(400)，设置在所述滑动件(300)上，且所述第二延长件(400)沿所述第一水平方向延伸出所述第一延长件(200)；

固定件(500)，设置在所述第二延长件(400)上，所述固定件(500)沿第二水平方向延伸出所述第二延长件(400)，所述第二水平方向与所述第一水平方向相交叉，且所述压接盒设置在所述固定件(500)上；以及

驱动件(600)，被配置为驱动所述滑动件(300)滑动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述第一延长件(200)设置有两个，两个所述第一延长件(200)分别设置在所述承载件(100)两端；

所述第二延长件(400)对应设置有两个，两个所述第二延长件(400)通过所述固定件(500)相连接；

所述滑动件(300)设置在其中一个所述第一延长件(200)上，另一个所述第一延长件(200)与所述第二延长件(400)之间设置有导向组件(800)，所述导向组件(800)被配置为使所述第二延长件(400)沿竖直方向运动。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述固定件(500)上设置有加强杆(900)，所述加强杆(900)沿所述固定件(500)的长度方向固定在所述固定件(500)上，且所述加强杆(900)的两端分别与两侧的所述第二延长件(400)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述固定件(500)上设置有多组用于安装所述压接盒的安装槽位(501)，多组所述安装槽位(501)沿第二水平方向均匀间隔设置，所述压接盒对应所述安装槽位(501)的数量设置有多个。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述固定件(500)上沿所述安装槽位(501)的长度方向开设有参考刻度(502)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述参考刻度(502)位于所述固定件(500)靠近所述安装槽位(501)的侧壁上。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述第一延长件(200)和/或所述第二延长件(400)和/或所述固定件(500)上开设有减重孔(201)。

8.根据权利要求1-6任一项所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述承载件(100)与所述第一延长件(200)通过加强件(700)固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述加强件(700)位于所述第一延长件(200)背离所述滑动件(300)的一侧，所述加强件(700)两相邻的侧壁分别与所述第一延长件(200)及所述承载件(100)的侧壁相贴合并固定连接。

10.一种晶圆压接装置，包括用于用于承载晶圆的载台，以及如权利要求1-9任一项所述的一种晶圆检测用压接机构，其特征在于，所述压接机构通过所述承载件(100)安装于所述载台上，且所述晶圆位于所述固定件(500)下方。

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