CN218666411U - 一种新型的大尺寸单晶炉的机架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型的大尺寸单晶炉的机架，包括机架本体，所述机架本体内部的两侧上均滑动设置有夹持框，所述机架本体上驱动组件，所述驱动组件用于驱使两个夹持框相向滑动，所述机架本体上设置有一驱动电机，所述机架本体底部上还设置有多组支撑筒，每个所述支撑筒内均滑动设置有一支撑柱，每个所述支撑柱底部上均设置有移动轮，所述驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动。通过机架本体、夹持框、驱动组件、驱动电机、支撑柱、移动轮以及驱动单元之间的配合，驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动，使得移动轮着地，便于移动，同时又通过驱动组件驱使夹持框相向滑动，提高该机架移动时单晶炉的稳定性。

Description

一种新型的大尺寸单晶炉的机架

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种新型的大尺寸单晶炉的机架。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化, 用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶硅的生产过程中，首先需要用真空泵对单晶炉进行抽真空，使单晶炉保持在一种高真空状态下，排除多余的有害气体，然后再充入惰性气体作为保护气体。之后利用单晶炉内的石墨加热器对放置于石英坩埚内的块状多晶硅料进行加热融化，完成单晶硅的生产，在单晶硅的生产过程中，要持续不断的对单晶炉抽真空，并持续的充入惰性保护气体。

现有新型的大尺寸单晶炉的机架，如申请号为CN201820595333.7名称为“一种固定蓝宝石单晶炉热场的支架结构”的中国专利，公开了一种固定蓝宝石单晶炉热场的支架结构，该结构整体由上部圆形支撑板结构、下部圆形支撑板结构和中间连接结构组成。上、下圆形支撑板结构均为不锈钢板围成圆筒状，分内外两层，中间采用不锈钢圆管进行焊接支撑，同时在内外两侧圆形不锈钢筒的两端向内部进行梯形倒角设计；中间连接结构采用不锈钢圆管固定连接上部和下部圆形支撑板结构。本实用新型支架结构可以将单晶炉内的热场结构固定，避免热场结构在高温情况下发生形变和位移，致使热场不对称，防止晶体出现粘埚及其它缺陷，更利于大尺寸、高品质蓝宝石单晶的生长。

现有技术的不足之处在于：单晶炉在使用时一般会通过支架配合使用，现有的单晶炉机架在使用时不便于移动，且在移动的过程中容易导致单晶炉出现晃动，导致单晶炉出现受损的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型的大尺寸单晶炉的机架，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型的大尺寸单晶炉的机架，包括机架本体，所述机架本体内部设置有单晶炉本体，所述机架本体内部的两侧上均滑动设置有夹持框，所述机架本体上驱动组件，所述驱动组件用于驱使两个夹持框相向滑动，所述机架本体上设置有一驱动电机，所述驱动电机驱使驱动组件运动，所述机架本体底部上还设置有多组支撑筒，每个所述支撑筒内均滑动设置有一支撑柱，每个所述支撑柱底部上均设置有移动轮，所述驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动。

进一步地，所述驱动组件包括一组正反丝杆，两所述正反丝杆分别转动连接在机架本体内部的两侧，每个所述正反丝杆的两侧上均螺纹连接有驱动块，每个所述驱动块分别设置在对应的夹持框底部上，两所述正反丝杆之间设有一传动组件。

进一步地，所述传动组件包括第一传动齿轮，所述第一传动齿轮设置在驱动电机转动轴上，每个所述正反丝杆上均设置有第二传动齿轮，两所述第二传动齿轮之间设置有传动链条，所述第一传动齿轮与传动链条啮合。

进一步地，所述驱动单元包括一组传动丝杆，两所述传动丝杆分别转动连接在机架本体的两侧上，每个所述传动丝杆上均设置有从齿轮，所述驱动电机转动轴上设置有一组主齿轮，每个所述主齿轮分别与对应的从齿轮啮合，位于同侧两所述支撑柱上均设置有驱动板，两所述驱动板竖直滑动设置在机架本体内，每个所述对应的驱动板均与对应的传动丝杆螺纹连接。

进一步地，每个所述驱动板上均设置有限位块，在机架本体内部的两侧上均设置有限位槽，每个所述限位块分别滑动设置在对应的限位槽内。

进一步地，所述机架本体侧壁上设置有驱动把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该新型的大尺寸单晶炉的机架，通过机架本体、夹持框、驱动组件、驱动电机、支撑柱、移动轮以及驱动单元之间的配合，驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动，使得移动轮着地，便于移动，同时又通过驱动组件驱使夹持框相向滑动，便于对单晶炉本体进行夹持，提高该机架移动时单晶炉的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的夹持框结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的驱动组件与驱动单元连接方式结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的驱动单元局部结构示意图。

附图标记说明：1、机架本体；2、单晶炉本体；3、驱动把手；4、支撑筒；5、夹持框；6、驱动电机；7、传动组件；701、传动链条；702、第一传动齿轮；703、第二传动齿轮；8、驱动组件；801、正反丝杆；802、驱动块； 9、支撑柱；10、移动轮；11、驱动单元；1101、主齿轮；1102、从齿轮；1103、传动丝杆；1104、驱动板；1105、限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种新型的大尺寸单晶炉的机架，包括机架本体1，机架本体1内部设置有单晶炉本体2，机架本体1 内部的两侧上均滑动设置有夹持框5，机架本体1上驱动组件8，驱动组件8 用于驱使两个夹持框5相向滑动，机架本体1上设置有一驱动电机6，驱动电机6驱使驱动组件8运动，机架本体1底部上还设置有多组支撑筒4，每个支撑筒4内均滑动设置有一支撑柱9，每个支撑柱9底部上均设置有移动轮10，驱动电机6通过驱动单元11驱使多组支撑柱9同步滑动。

具体的，该新型的大尺寸单晶炉的机架，其中包括机架本体1，机架本体 1内部设置有单晶炉本体2，具体的，单晶炉本体2安装在机架本体1内，便于使用，机架本体1内部的两侧上均滑动设置有夹持框5，机架本体1上驱动组件8，驱动组件8用于驱使两个夹持框5相向滑动，通过夹持框5相向滑动，从而提高夹持框5夹持效率，其中机架本体1上设置有一驱动电机6，驱动电机6驱使驱动组件8运动，使用效果好；其中机架本体1底部上还设置有多组支撑筒4，起到支撑作用，且在每个支撑筒4内均滑动设置有一支撑柱9，每个支撑柱9底部上均设置有移动轮10，便于该机架移动，驱动电机6通过驱动单元11驱使多组支撑柱9同步滑动，使得移动轮10着地，便于移动，进而，在该机架移动时，又通过夹持框5对单晶炉本体2进行夹持，提高该机架移动时单晶炉的稳定性，进而提高该机架的实用性。

驱动组件8包括一组正反丝杆801，两正反丝杆801分别转动连接在机架本体1内部的两侧，每个正反丝杆801的两侧上均螺纹连接有驱动块802，每个驱动块802分别设置在对应的夹持框5底部上，两正反丝杆801之间设有一传动组件7。

优选的，其中驱动组件8包括一组正反丝杆801，两正反丝杆801分别转动连接在机架本体1内部的两侧，每个正反丝杆801的两侧上均螺纹连接有驱动块802，正反丝杆801转动，进而带动驱动块802滑动，每个驱动块802 分别设置在对应的夹持框5底部上，驱动块802滑动，进而带动夹持框5滑动，使用效果好，其中在每个夹持框5与单晶炉本体2抵接的一侧上均设置有缓冲组件，其中缓冲组件可由多组弹性阻尼件与抵接板组成，当两两夹持框5均与单晶炉本体2抵接时，移动轮10还未到预定位置，便可以通过缓冲组件进行缓冲，拓宽该机架的使用范围，进一步提高该机架的实用性，两正反丝杆801之间设有一传动组件7，通过传动组件7带动连个正反丝杆801同步转动，使用效果好。

传动组件7包括第一传动齿轮702，第一传动齿轮702设置在驱动电机6 转动轴上，每个正反丝杆801上均设置有第二传动齿轮703，两第二传动齿轮 703之间设置有传动链条701，第一传动齿轮702与传动链条701啮合。

优选的，其中传动组件7包括第一传动齿轮702，第一传动齿轮702设置在驱动电机6转动轴上，每个正反丝杆801上均设置有第二传动齿轮703，两第二传动齿轮703之间设置有传动链条701，第一传动齿轮702与传动链条 701啮合，驱动电机6转动轴转动时，带动第一传动齿轮702转动，进而带动传动链条701转动，进而带动两个第二传动齿轮703转动，进而带动两个正反丝杆801同步转动，使用效果好。

驱动单元11包括一组传动丝杆1103，两传动丝杆1103分别转动连接在机架本体1的两侧上，每个传动丝杆1103上均设置有从齿轮1102，驱动电机 6转动轴上设置有一组主齿轮1101，每个主齿轮1101分别与对应的从齿轮 1102啮合，位于同侧两支撑柱9上均设置有驱动板1104，两驱动板1104竖直滑动设置在机架本体1内，每个对应的驱动板1104均与对应的传动丝杆 1103螺纹连接。

优选的，其中驱动单元11包括一组传动丝杆1103，更具体的，在机架本体1内部开设有安装槽，其中传动丝杆1103均设置在安装槽内部，其中两传动丝杆1103分别转动连接在机架本体1的两侧上，每个传动丝杆1103上均设置有从齿轮1102，驱动电机6转动轴上设置有一组主齿轮1101，每个主齿轮1101分别与对应的从齿轮1102啮合，位于同侧两支撑柱9上均设置有驱动板1104，两驱动板1104竖直滑动设置在机架本体1内，每个对应的驱动板1104均与对应的传动丝杆1103螺纹连接；当驱动电机6转动轴转动时，进而带动主齿轮1101转动，主齿轮1101转动进而带动从齿轮1102转动，进而带动传动丝杆1103转动，从而带动驱动板1104滑动，进而带动支撑柱9向下滑动，进而带动移动轮10滑动，使用效果好。

每个驱动板1104上均设置有限位块1105，在机架本体1内部的两侧上均设置有限位槽，每个限位块1105分别滑动设置在对应的限位槽内。

优选的，其中每个驱动板1104上均设置有限位块1105，在机架本体1内部的两侧上均设置有限位槽，每个限位块1105分别滑动设置在对应的限位槽内，提高驱动板1104滑动时的稳定性。

机架本体1侧壁上设置有驱动把手3。

优选的，其中机架本体1侧壁上设置有驱动把手3，便于驱使机架本体1 滑动。

工作原理：该新型的大尺寸单晶炉的机架，使用时，启动驱动电机6，当驱动电机6转动轴转动时，进而带动主齿轮1101转动，主齿轮1101转动进而带动从齿轮1102转动，进而带动传动丝杆1103转动，从而带动驱动板1104 滑动，进而带动支撑柱9向下滑动，进而带动移动轮10滑动，便于该机架移动，与此同时，当驱动电机6转动轴转动时，带动第一传动齿轮702转动，进而带动传动链条701转动，进而带动两个第二传动齿轮703转动，进而带动两个正反丝杆801同步转动，进而带动驱动块802滑动，进而带动夹持框5 滑动，对单晶炉本体2进行夹持，提高该机架移动时的单晶炉本体2的稳定性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种新型的大尺寸单晶炉的机架，包括机架本体(1)，所述机架本体(1)内部设置有单晶炉本体(2)，其特征在于：

所述机架本体(1)内部的两侧上均滑动设置有夹持框(5)，所述机架本体(1)上驱动组件(8)，所述驱动组件(8)用于驱使两个夹持框(5)相向滑动；

所述机架本体(1)上设置有一驱动电机(6)，所述驱动电机(6)驱使驱动组件(8)运动；

所述机架本体(1)底部上还设置有多组支撑筒(4)，每个所述支撑筒(4)内均滑动设置有一支撑柱(9)，每个所述支撑柱(9)底部上均设置有移动轮(10)；

所述驱动电机(6)通过驱动单元(11)驱使多组支撑柱(9)同步滑动。

2.根据权利要求1所述的一种新型的大尺寸单晶炉的机架，其特征在于：所述驱动组件(8)包括一组正反丝杆(801)，两所述正反丝杆(801)分别转动连接在机架本体(1)内部的两侧，每个所述正反丝杆(801)的两侧上均螺纹连接有驱动块(802)，每个所述驱动块(802)分别设置在对应的夹持框(5)底部上，两所述正反丝杆(801)之间设有一传动组件(7)。

3.根据权利要求2所述的一种新型的大尺寸单晶炉的机架，其特征在于：所述传动组件(7)包括第一传动齿轮(702)，所述第一传动齿轮(702)设置在驱动电机(6)转动轴上，每个所述正反丝杆(801)上均设置有第二传动齿轮(703)，两所述第二传动齿轮(703)之间设置有传动链条(701)，所述第一传动齿轮(702)与传动链条(701)啮合。

4.根据权利要求1所述的一种新型的大尺寸单晶炉的机架，其特征在于：所述驱动单元(11)包括一组传动丝杆(1103)，两所述传动丝杆(1103)分别转动连接在机架本体(1)的两侧上，每个所述传动丝杆(1103)上均设置有从齿轮(1102)，所述驱动电机(6)转动轴上设置有一组主齿轮(1101)，每个所述主齿轮(1101)分别与对应的从齿轮(1102)啮合；

位于同侧两所述支撑柱(9)上均设置有驱动板(1104)，两所述驱动板(1104)竖直滑动设置在机架本体(1)内，每个所述对应的驱动板(1104)均与对应的传动丝杆(1103)螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种新型的大尺寸单晶炉的机架，其特征在于：每个所述驱动板(1104)上均设置有限位块(1105)，在机架本体(1)内部的两侧上均设置有限位槽，每个所述限位块(1105)分别滑动设置在对应的限位槽内。

6.根据权利要求1所述的一种新型的大尺寸单晶炉的机架，其特征在于：所述机架本体(1)侧壁上设置有驱动把手(3)。

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