CN221028763U - 具有水平调节的单晶炉机架 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种具有水平调节的单晶炉机架，其属于单晶炉领域。包括：机架台，底部四角处均固接有支撑杆，且机架台上开设有安装槽；调节板，滑动安装在安装槽上；第一安装条，固接在机架台的底部；第二安装条，固接在调节板的底部；丝杆，转动安装在第一安装条上，且丝杆与第二安装条螺纹连接；第一伺服电机，固接在机架台的底部，且第一伺服电机的输出轴与丝杆固接；机架台上设置有运输组件；运输组件包括：连接板，设置为两个，且两个连接板之间均匀转动安装有多个输送辊，且连接板上对称固接有两个连接环。本申请的有益效果在于提供了一种方便安装的单晶炉机架。

Description

具有水平调节的单晶炉机架

技术领域

本申请涉及单晶炉领域，具体而言，涉及一种具有水平调节的单晶炉机架。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶硅的生产过程中，首先需要用真空泵对单晶炉进行抽真空，使单晶炉保持在一种高真空状态下，排除多余的有害气体，然后再充入惰性气体作为保护气体。之后利用单晶炉内的石墨加热器对放置于石英坩埚内的块状多晶硅料进行加热融化，完成单晶硅的生产，在单晶硅的生产过程中，要持续不断的对单晶炉抽真空，并持续的充入惰性保护气体。

产品的结构可参照中国专利文献号202221192100.5中所公开的一种新型的大尺寸单晶炉的机架，包括机架本体，所述机架本体内部的两侧上均滑动设置有夹持框，所述机架本体上驱动组件，所述驱动组件用于驱使两个夹持框相向滑动，所述机架本体上设置有一驱动电机，所述机架本体底部上还设置有多组支撑筒，每个所述支撑筒内均滑动设置有一支撑柱，每个所述支撑柱底部上均设置有移动轮，所述驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动。通过机架本体、夹持框、驱动组件、驱动电机、支撑柱、移动轮以及驱动单元之间的配合，驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动，使得移动轮着地，便于移动，同时又通过驱动组件驱使夹持框相向滑动，提高该机架移动时单晶炉的稳定性。

单晶炉在使用时需要通过机架配合，从而方便与对应的设备连接，但是该专利中，由于机架具有一定的高度，从而不方便安装到机架上。

现在提供一种方便安装的单晶炉机架。

实用新型内容

本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思，这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。

为了解决以上背景技术部分提到的技术问题，本申请的一些实施例提供了一种具有水平调节的单晶炉机架，包括：机架台，底部四角处均固接有支撑杆，且机架台上开设有安装槽；调节板，滑动安装在安装槽上；第一安装条，固接在机架台的底部；第二安装条，固接在调节板的底部；丝杆，转动安装在第一安装条上，且丝杆与第二安装条螺纹连接；第一伺服电机，固接在机架台的底部，且第一伺服电机的输出轴与丝杆固接；机架台上设置有运输组件；运输组件包括：连接板，设置为两个，且两个连接板之间均匀转动安装有多个输送辊，且连接板上对称固接有两个连接环；卷绕组件，设置为两个，且对称固接在机架台上；卷绕组件包括：安装板，设置为两个，且固接在机架台上；转轴，转动安装在两个安装板之间；第二伺服电机，固接其中一个安装板上，且第二伺服电机的输出轴与转轴固接；连接绳，设置为两个，一端固接在连接环上，另一端固接在对应的转轴上。

当需要将单晶炉安装到调节板上时，首先可将单晶炉架设到输送辊上，而刚开始的输送辊的高度较低，从而方便将单晶炉放到输送辊上，接着启动两端的第一伺服电机，从而使得第一伺服电机的输出轴带动转轴转动，从而对转轴上的连接绳进行收卷，从而使得两个连接板带动输送辊上的单晶炉上升，并使得连接板上升到与调节板齐平的位置，同时在第一限位杆的作用下，从而上升的过程中单晶炉晃动，接着可启动第二伺服电机，从而使得调节板移动，并使得调节板移动到靠近连接板，接着将单晶炉运输到调节板上，从而方便安装。

进一步地，所述机架台上对称固接有两个安装架，所述安装架上固接有第一限位杆，且对应的第一限位杆穿过对应的连接板。

进一步地，所述第一安装条上固接有第二限位杆，且第二限位杆穿过第二安装条。

进一步地，所述第二限位杆设置为两个。

进一步地，所述丝杆位于两个第二限位杆之间。

进一步地，每个所述转轴上分别固接有两组限位盘，每组限位盘为两个，且对应的连接绳位于对应的两个限位盘之间。

进一步地，所述安装槽的内壁上开设有稳定槽，所述调节板上固接有与稳定槽对应的稳定块。

进一步地，所述限位槽和限位块分别设置有两个。

进一步地，所述机架台上设置有四组导向组件，对应的导向组件与对应的连接绳对应，导向组件包括两个固定架，固接在机架台上，且两个固定架之间转动连接有转向辊，且对应的连接绳绕过转向辊。

进一步地，所述安装架为L型。

本申请的有益效果在于：提供了一种方便安装的单晶炉机架。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。

另外，贯穿附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素。应当理解附图是示意性的，元件和元素不一定按照比例绘制。

在附图中：

图1是根据本申请实施例的整体示意图；

图2是实施例的剖视图；

图3是立体结构示意图；

图4是调节板的剖视图。

附图标记：

1、机架台；2、支撑杆；3、安装槽；4、丝杆；5、输送辊；6、连接环；7、连接板；8、第一限位杆；9、限位盘；10、转轴；11、安装架；12、稳定块；13、安装板；14、第一伺服电机；15、稳定槽；16、第二限位杆；17、调节板；18、第二伺服电机；19、第一安装条；20、第二安装条；21、固定架；22、转向辊；23、连接绳。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的实施例。虽然附图中显示了本公开的某些实施例，然而应当理解的是，本公开可以通过各种形式来实现，而且不应该被解释为限于这里阐述的实施例。相反，提供这些实施例是为了更加透彻和完整地理解本公开。应当理解的是，本公开的附图及实施例仅用于示例性作用，并非用于限制本公开的保护范围。

另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要注意，本公开中提及的“第一”、“第二”等概念仅用于对不同的装置、模块或单元进行区分，并非用于限定这些装置、模块或单元所执行的功能的顺序或者相互依存关系。

需要注意，本公开中提及的“一个”、“多个”的修饰是示意性而非限制性的，本领域技术人员应当理解，除非在上下文另有明确指出，否则应该理解为“一个或多个”。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本公开。

参照图1，一种具有水平调节的单晶炉机架，包括：机架台1、调节板17、第一安装条19、第二安装条20、丝杆4、第一伺服电机14。机架台1底部四角处均固接有支撑杆2，且机架台1上开设有安装槽3。调节板17滑动安装在安装槽3上。第一安装条19固接在机架台1的底部。第二安装条20固接在调节板17的底部。丝杆4转动安装在第一安装条19上，且丝杆4与第二安装条20螺纹连接。第一伺服电机14固接在机架台1的底部，且第一伺服电机14的输出轴与丝杆4固接。

机架台1上设置有运输组件。运输组件包括：连接板7、卷绕组件。连接板7设置为两个，且两个连接板7之间均匀转动安装有多个输送辊5，且连接板7上对称固接有两个连接环6。卷绕组件设置为两个，且对称固接在机架台1上。卷绕组件包括：安装板13、转轴10、第二伺服电机18、连接绳23。安装板13设置为两个，且固接在机架台1上。转轴10转动安装在两个安装板13之间。每个转轴10上分别固接有两组限位盘9，每组限位盘9为两个，且对应的连接绳23位于对应的两个限位盘9之间，从而起到了限位连接绳23的作用。第二伺服电机18固接在其中一个安装板13上，且第二伺服电机18的输出轴与转轴10固接。连接绳23设置为两个，一端固接在连接环6上，另一端固接在对应的转轴10上。

机架台1上设置有四组导向组件，对应的导向组件与对应的连接绳23对应，导向组件包括两个固定架21，固定架21固接在机架台1上，且两个固定架21之间转动连接有转向辊22，且对应的连接绳23绕过转向辊22，通过设置转向辊22，对连接绳23起到了转向的作用，防止连接绳23在直接接触机架台1，从而影响降低了连接绳23的使用寿命。

机架台1上对称固接有两个安装架11，安装架11为L型。安装架11上固接有第一限位杆8，且对应的第一限位杆8穿过对应的连接板7，当运输组件上升时，在第一限位杆8的作用下，从而起到了限位连接板7的作用，防止运输组件晃动。

第一安装条19上固接有第二限位杆16，且第二限位杆16穿过第二安装条20。第二限位杆16设置为两个。丝杆4位于两个第二限位杆16之间，通过设置第二限位杆16，初步提高了调节板17移动时的稳定性。安装槽3的内壁上开设有稳定槽15，调节板17上固接有与稳定槽15对应的稳定块12，稳定块12滑动安装在稳定槽15上，进一步提高了调节板17移动时的稳定性。稳定槽15和稳定块12分别设置有两个。

工作过程：当需要将单晶炉安装到调节板17上时，首先可将单晶炉架设到输送辊5上，而刚开始的输送辊5的高度较低，从而方便将单晶炉放到输送辊5上，接着启动两端的第一伺服电机14，从而使得第一伺服电机14的输出轴带动转轴10转动，从而对转轴10上的连接绳23进行收卷，从而使得两个连接板7带动输送辊5上的单晶炉上升，并使得连接板7上升到与调节板17齐平的位置，同时在第一限位杆8的作用下，从而上升的过程中单晶炉晃动，接着可启动第二伺服电机18，从而使得调节板17移动，并使得调节板17移动到靠近连接板7，接着将单晶炉运输到调节板17上，从而方便安装，接下来可对调节板17进行固定，同时通过设置丝杆4，从而可调节调节板17的水平位置，从而可调节单晶炉的水平位置，从而方便单晶炉的连接端与对应的设置进行连接。

以上描述仅为本公开的一些较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本公开的实施例中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离上述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本公开的实施例中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种具有水平调节的单晶炉机架，包括：

机架台，底部四角处均固接有支撑杆，且机架台上开设有安装槽；

其特征在于：

所述具有水平调节的单晶炉机架还包括：

调节板，滑动安装在安装槽上；

第一安装条，固接在机架台的底部；

第二安装条，固接在调节板的底部；

丝杆，转动安装在第一安装条上，且丝杆与第二安装条螺纹连接；

第一伺服电机，固接在机架台的底部，且第一伺服电机的输出轴与丝杆固接；

机架台上设置有运输组件；

运输组件包括：

连接板，设置为两个，且两个连接板之间均匀转动安装有多个输送辊，且连接板上对称固接有两个连接环；

卷绕组件，设置为两个，且对称固接在机架台上；

卷绕组件包括：

安装板，设置为两个，且固接在机架台上；

转轴，转动安装在两个安装板之间；

第二伺服电机，固接其中一个安装板上，且第二伺服电机的输出轴与转轴固接；

连接绳，设置为两个，一端固接在连接环上，另一端固接在对应的转轴上。

2.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述机架台上对称固接有两个安装架，所述安装架上固接有第一限位杆，且对应的第一限位杆穿过对应的连接板。

3.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述第一安装条上固接有第二限位杆，且第二限位杆穿过第二安装条。

4.根据权利要求3所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述第二限位杆设置为两个。

5.根据权利要求4所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述丝杆位于两个第二限位杆之间。

6.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

每个所述转轴上分别固接有两组限位盘，每组限位盘为两个，且对应的连接绳位于对应的两个限位盘之间。

7.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述安装槽的内壁上开设有稳定槽，所述调节板上固接有与稳定槽对应的稳定块。

8.根据权利要求7所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述稳定槽和稳定块分别设置有两个。

9.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述机架台上设置有四组导向组件，对应的导向组件与对应的连接绳对应，导向组件包括两个固定架，固接在机架台上，且两个固定架之间转动连接有转向辊，且对应的连接绳绕过转向辊。

10.根据权利要求2所述的具有水平调节的单晶炉机架，其特征在于：

所述安装架为L型。