CN217298098U - 一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的属于单晶硅加工技术领域，具体为一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，包括炉体，所述炉体的下侧壁固定设置有对称的支撑杆，所述炉体的上侧壁固定设置有进料口，所述炉体的下侧壁设置有安装板，所述安装板的下侧壁固定设置有移动机构，所述安装板的上侧壁固定设置有对称的固定杆，两个所述固定杆的上端共同固定设置有坩埚底盘，所述坩埚底盘的上端固定设置有石英坩埚，便于将坩埚底盘与石英坩埚固定在安装板的上端，当长时间使用后，坩埚底盘和石英坩埚出现损坏时，直接通过移动机构将安装板往下移动，将石英坩埚移动到炉体的下端，并进行检修，降低了检修的难度，操作方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉。
背景技术
单晶硅，即硅的单晶体，是一种比较活泼的非金属元素，具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。
在单晶硅加工生产的过程中，往往需要通过持续高温进行加工，当单晶硅炉长时间处于高温的环境下，单晶硅炉容易损坏，但是现有的单晶硅炉结构比较固定，长时间后当单晶硅炉出现损坏时，不方便对其进行检修，从而影响使用，不方便对单晶硅炉进行修复。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，以解决上述背景技术中提出的现有的单晶硅炉结构比较固定，长时间后当单晶硅炉出现损坏时，不方便对其进行检修，从而影响使用，不方便对单晶硅炉进行修复的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，包括炉体，所述炉体的下侧壁固定设置有对称的支撑杆，所述炉体的上侧壁固定设置有进料口，所述炉体的下侧壁设置有安装板，所述安装板的下侧壁固定设置有移动机构，所述安装板的上侧壁固定设置有对称的固定杆，两个所述固定杆的上端共同固定设置有坩埚底盘，所述坩埚底盘的上端固定设置有石英坩埚，所述炉体的内壁固定设置有保温层，所述保温层的内壁通过对称的安装架固定设置有电加热板。
优选的，所述进料口的上端横向设置有密封板，所述进料口的下端固定设置有加料漏斗。
优选的，所述坩埚底盘的内壁固定设置有隔热层，所述隔热层的内壁与所述石英坩埚的外壁接触，所述石英坩埚通过均匀排布的螺栓与所述坩埚底盘固定连接。
优选的，所述移动机构包括横板，所述横板的两端与两个所述支撑杆的侧壁固定连接，所述炉体的下侧壁转动设置有对称的丝杆，两个所述丝杆杆壁的下端均套接设置有第一锥齿轮，所述横板的上侧壁固定设置有U形板，所述U形板的内部横向转动设置有转杆，所述转杆杆壁的两端均套接设置有第二锥齿轮，两个所述第一锥齿轮与两个所述第二锥齿轮啮合，所述转杆的外部固定设置有旋转块，两个所述丝杆的杆壁均螺纹连接有滑块，两个所述滑块的侧壁均固定设置有L形杆，两个所述L形杆的上端均与所述安装板的下侧壁固定连接。
优选的，所述安装板的侧壁固定设置有密封垫。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
通过坩埚底盘、石英坩埚、保温层、安装板、固定杆和移动机构的共同配合，便于将坩埚底盘与石英坩埚固定在安装板的上端，当长时间使用后，坩埚底盘和石英坩埚出现损坏时，直接通过移动机构将安装板往下移动，将石英坩埚移动到炉体的下端，并进行检修，降低了检修的难度，操作方便。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为图1的剖视结构示意图；
图3为图2中石英坩埚的结构示意图。
图中：1炉体、2支撑杆、3安装板、4固定杆、5坩埚底盘、6石英坩埚、7保温层、8电加热板、9密封板、10加料漏斗、11隔热层、12横板、13丝杆、14U形板、15转杆、16旋转块、17滑块、18L形杆、19进料口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
实施例：
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，包括炉体1，炉体1的下侧壁固定设置有对称的支撑杆2，炉体1的上侧壁固定设置有进料口19，炉体1的下侧壁设置有安装板3，安装板3的下侧壁固定设置有移动机构，安装板3的上侧壁固定设置有对称的固定杆4，两个固定杆4的上端共同固定设置有坩埚底盘5，坩埚底盘5的上端固定设置有石英坩埚6，炉体1的内壁固定设置有保温层7，保温层7的内壁通过对称的安装架固定设置有电加热板8，当需要对石英坩埚6和坩埚底盘5进行检修时，直接将石英坩埚6和坩埚底盘5移动到炉体1的下端，降低检修的难度，操作简单。
进料口19的上端横向设置有密封板9，进料口19的下端固定设置有加料漏斗10。
坩埚底盘5的内壁固定设置有隔热层11，隔热层11的内壁与石英坩埚6的外壁接触，石英坩埚6通过均匀排布的螺栓与坩埚底盘5固定连接。
移动机构包括横板12，横板12的两端与两个支撑杆2的侧壁固定连接，炉体1的下侧壁转动设置有对称的丝杆13，两个丝杆13杆壁的下端均套接设置有第一锥齿轮，横板12的上侧壁固定设置有U形板14，U形板14的内部横向转动设置有转杆15，转杆15杆壁的两端均套接设置有第二锥齿轮，两个第一锥齿轮与两个第二锥齿轮啮合，转杆15的外部固定设置有旋转块16，两个丝杆13的杆壁均螺纹连接有滑块17，两个滑块17的侧壁均固定设置有L形杆18，两个L形杆18的上端均与安装板3的下侧壁固定连接。
安装板3的侧壁固定设置有密封垫，避免炉体1内部的热量散失。
工作原理：当需要生产单晶硅时，将原材料通过进料口19和加料漏斗10加入石英坩埚6的内部，通过电加热板8对石英坩埚6进行加热，并生产单晶硅，当长时间使用后，石英坩埚6出现损坏需要维护时，转动旋转块16，旋转块16带动转杆15转动，转杆15带动两端的第二锥齿轮转动，两个第二锥齿轮带动两个第一锥齿轮转动，两个第一锥齿轮带动两个丝杆13转动，两个丝杆13带动杆壁的滑块17和L形杆18下移，从而带动安装板3下移，将石英坩埚6和坩埚底盘5移动到炉体1的下端，进行快速维护。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)的下侧壁固定设置有对称的支撑杆(2)，所述炉体(1)的上侧壁固定设置有进料口(19)，所述炉体(1)的下侧壁设置有安装板(3)，所述安装板(3)的下侧壁固定设置有移动机构，所述安装板(3)的上侧壁固定设置有对称的固定杆(4)，两个所述固定杆(4)的上端共同固定设置有坩埚底盘(5)，所述坩埚底盘(5)的上端固定设置有石英坩埚(6)，所述炉体(1)的内壁固定设置有保温层(7)，所述保温层(7)的内壁通过对称的安装架固定设置有电加热板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，其特征在于：所述进料口(19)的上端横向设置有密封板(9)，所述进料口(19)的下端固定设置有加料漏斗(10)。
3.根据权利要求1所述的一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，其特征在于：所述坩埚底盘(5)的内壁固定设置有隔热层(11)，所述隔热层(11)的内壁与所述石英坩埚(6)的外壁接触，所述石英坩埚(6)通过均匀排布的螺栓与所述坩埚底盘(5)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，其特征在于：所述移动机构包括横板(12)，所述横板(12)的两端与两个所述支撑杆(2)的侧壁固定连接，所述炉体(1)的下侧壁转动设置有对称的丝杆(13)，两个所述丝杆(13)杆壁的下端均套接设置有第一锥齿轮，所述横板(12)的上侧壁固定设置有U形板(14)，所述U形板(14)的内部横向转动设置有转杆(15)，所述转杆(15)杆壁的两端均套接设置有第二锥齿轮，两个所述第一锥齿轮与两个所述第二锥齿轮啮合，所述转杆(15)的外部固定设置有旋转块(16)，两个所述丝杆(13)的杆壁均螺纹连接有滑块(17)，两个所述滑块(17)的侧壁均固定设置有L形杆(18)，两个所述L形杆(18)的上端均与所述安装板(3)的下侧壁固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉，其特征在于：所述安装板(3)的侧壁固定设置有密封垫。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202220209472.8U CN217298098U (zh) | 2022-01-26 | 2022-01-26 | 一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220209472.8U CN217298098U (zh) | 2022-01-26 | 2022-01-26 | 一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217298098U true CN217298098U (zh) | 2022-08-26 |
Family
ID=82926147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220209472.8U Active CN217298098U (zh) | 2022-01-26 | 2022-01-26 | 一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN217298098U (zh) |
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2022
- 2022-01-26 CN CN202220209472.8U patent/CN217298098U/zh active Active
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