CN218557599U - 一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于上下料装置技术领域，特别涉及一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，包括拱门结构的支架、在所述支架内升降的升降架、控制所述升降架高度的竖直驱动件以及设于所述升降架上的夹放装置，所述夹放装置包括连接于所述升降架上的座板和镜像对称设置于所述座板下部的一对夹爪组件，所述夹爪组件包括夹爪以及驱动所述夹爪靠近或远离镜像面的水平驱动件，所述夹爪的下部往内突出而形成一个竖直方向的夹紧面，所述夹紧面的上部具有一个与晶棒固定架的斜面匹配的自定位斜面。本实用新型依靠可升降的夹放装置从移动机器人上夹起硅片晶棒，夹爪的结构使夹取过程中自动调整硅片晶棒的角度，使其可以精确送入线切机中，控制简单。

Description

一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置

技术领域

本实用新型涉及上下料装置技术领域，特别涉及一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置。

背景技术

单晶硅是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池、芯片等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，是人类已得到最纯的物质。在单晶硅中掺入微量的第IIIA族元素，形成P型半导体，掺入微量的第VA族元素，形成N型，N型和P型半导体结合在一起，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能。

每个硅片晶棒重达80-150公斤，线切车间的上下料工序劳动强度大，为了节省人力和提高运送安全性，往往需要用移动机器人进行移动，最后送入线切机里进行加工。硅片晶棒进入的位置有严格要求，但移动机器人的调整的角度精度有限，而硅片晶棒过高的重量导致其调整费事。

CN216372847U披露了一种晶棒自动取放抓手装置，能够取代人工进行晶棒的转移，但是这里并没有披露如何解决晶棒的角度调整问题，送入线切机的时候可能还要再进行调整，操作麻烦。

因此有必要提供一种线切机配套装置来解决以上问题。

发明内容

本实用新型的主要目的是为了提供一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，能够夹取过程中自动调整硅片晶棒的角度，使其可以精确送入线切机中。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：

一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，包括拱门结构的支架、在所述支架内升降的升降架、控制所述升降架高度的竖直驱动件以及设于所述升降架上的夹放装置所述夹放装置包括连接于所述升降架上的座板和镜像对称设置于所述座板下部的一对夹爪组件，所述夹爪组件包括夹爪以及驱动所述夹爪靠近或远离镜像面的水平驱动件，所述夹爪的下部往内突出而形成一个竖直方向的夹紧面，所述夹紧面的上部具有一个与晶棒固定架的斜面匹配的自定位斜面。

具体的，所述座板的下部设有与所述夹爪组件配套的引导块，所述引导块呈避让水平驱动件的倒U形结构，所述夹爪的外表面两侧各设有一根穿过所述引导块的导杆，所述引导块的两边设有用来供所述导杆穿过的直线轴承。

具体的，所述支架的内侧相对设置有两个立面，每个所述立面上设有一对竖直滑轨，所述升降架的两侧在所述竖直滑轨的引导下移动。

具体的，所述支架的下部设有连接拱门结构两侧部位的档杆，所述档杆位于所述夹放装置的下投影范围外。

具体的，所述支架的四角下部设有固定片，所述固定片上设有脚轮。

进一步的，每个所述固定片上还设有能够调节高度的脚撑。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型依靠可升降的夹放装置从移动机器人上夹起硅片晶棒，夹爪的结构使夹取过程中自动调整硅片晶棒的角度，使其可以精确送入线切机中，控制简单。

附图说明

图1为实施例用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置的立体图；

图2为夹放装置在夹取硅片晶棒时的立体图；

图3为夹爪在夹住硅片晶棒前的局部位置关系图；

图4为夹爪在夹住硅片晶棒时的局部位置关系图。

图中数字表示：

1-支架，11-立面，111-竖直滑轨，12-档杆，13-固定片，14-脚轮， 15-脚撑；

2-升降架；

3-夹放装置，31-座板，32-引导块，321-直线轴承，33-水平驱动件，34-夹爪，341-自定位斜面，342-夹紧面，35-导杆；

4-硅片晶棒；

5-晶棒固定架，51-斜面，52-侧面；

6-镜像面。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：

如图1至图4所示，本实用新型的一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，包括拱门结构的支架1、在支架1内升降的升降架2、控制升降架2高度的竖直驱动件(未露出)以及设于升降架2上的夹放装置3，夹放装置3包括连接于升降架2上的座板31和镜像对称设置于座板31下部的一对夹爪组件，夹爪组件包括夹爪34以及驱动夹爪34靠近或远离镜像面6 的水平驱动件33，夹爪34的下部往内突出而形成一个竖直方向的夹紧面 342，夹紧面342的上部具有一个与晶棒固定架5的斜面51匹配的自定位斜面341。支架1的拱门结构能够让携带硅片晶棒4的移动机器人进入，硅片晶棒4的顶部连接用来帮助夹起的晶棒固定架5。移动机器人在进入支架 1内以后会自我调整到一个使晶棒固定架5方便被夹爪34夹取的位置，升降架2带着张开的两个夹爪34靠近晶棒固定架5，然后水平驱动件33驱动两个夹爪34对称地靠近镜像面6，自定位斜面341会接触斜面51继而使两者相对滑动，因为两边的接触是对称的，所以硅片晶棒4离开移动机器人后，轴线会被调整到镜像面6内并继续上移，即在夹取过程中自动调整硅片晶棒4的角度，最后夹紧面342碰到晶棒固定架5的侧面52，完成位置调整。随后竖直驱动件驱动升降架2升起到预设高度，线切机有承接机构移到调整好位置的硅片晶棒4下方，夹爪34松开，硅片晶棒4落到承接机构上，使其可以精确送入线切机中，控制简单。

如图3所示，座板31的下部设有与夹爪组件配套的引导块32，引导块 32呈避让水平驱动件33的倒U形结构，夹爪34的外表面两侧各设有一根穿过引导块32的导杆35，引导块32的两边设有用来供导杆35穿过的直线轴承321。因为夹爪34需要能够对抗夹紧过程中硅片晶棒4偏移导致的反作用力，所以夹爪34需要通过两个导杆35引导移动方向，以免增加水平驱动件33的磨损。

如图1所示，支架1的内侧相对设置有两个立面11，每个立面11上设有一对竖直滑轨111，升降架2的两侧在竖直滑轨111的引导下移动。这样的结构能够提升硅片晶棒4在升降中的稳定性，避免其因夹取不牢而掉落。

如图1所示，支架1的下部设有连接拱门结构两侧部位的档杆12，档杆12位于夹放装置3的下投影范围外。档杆12要让出供移动机器人进入夹放装置3下方的位置，所以只能设在拱门结构的前侧或后侧。档杆12能够提升支架1的结构刚性，避免支架1在承重的时候歪斜。

如图1所示，支架1的四角下部设有固定片13，固定片13上设有脚轮 14。这样支架1的底部设有四个脚轮14，方便移动到合适位置，不占用过道。

如图1所示，每个固定片13上还设有能够调节高度的脚撑15。在支架 1移动时，脚撑15需要相对固定片13往上调节，使所有脚轮14都能接触地面。在完成支架1的移动后，脚撑15向下调节至下部接触地面，这样可以防止支架1被轻易地碰撞滑动，确保其位置与线切机匹配。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，其特征在于：包括拱门结构的支架、在所述支架内升降的升降架、控制所述升降架高度的竖直驱动件以及设于所述升降架上的夹放装置所述夹放装置包括连接于所述升降架上的座板和镜像对称设置于所述座板下部的一对夹爪组件，所述夹爪组件包括夹爪以及驱动所述夹爪靠近或远离镜像面的水平驱动件，所述夹爪的下部往内突出而形成一个竖直方向的夹紧面，所述夹紧面的上部具有一个与晶棒固定架的斜面匹配的自定位斜面。

2.根据权利要求1所述的用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，其特征在于：所述座板的下部设有与所述夹爪组件配套的引导块，所述引导块呈避让水平驱动件的倒U形结构，所述夹爪的外表面两侧各设有一根穿过所述引导块的导杆，所述引导块的两边设有用来供所述导杆穿过的直线轴承。

3.根据权利要求1所述的用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，其特征在于：所述支架的内侧相对设置有两个立面，每个所述立面上设有一对竖直滑轨，所述升降架的两侧在所述竖直滑轨的引导下移动。

4.根据权利要求1所述的用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，其特征在于：所述支架的下部设有连接拱门结构两侧部位的档杆，所述档杆位于所述夹放装置的下投影范围外。

5.根据权利要求1所述的用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，其特征在于：所述支架的四角下部设有固定片，所述固定片上设有脚轮。

6.根据权利要求5所述的用于硅片晶棒线切机的精准上下料装置，其特征在于：每个所述固定片上还设有能够调节高度的脚撑。

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