CN218557584U - 一种碳碳坩埚回收设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种碳碳坩埚回收设备，包括：主体支架，具有容纳碳碳坩埚的空间；旋转固定机构，设置在主体支架上，并且抵持住碳碳坩埚的外壁以固定碳碳坩埚或者上下翻转碳碳坩埚；脱模机构，设置在碳碳坩埚上方，在碳碳坩埚翻转为底部朝上时，通过碳碳坩埚底部的通孔进入碳碳坩埚内挤压并脱出碳碳坩埚内残留的硅料；切割机构，设置在碳碳坩埚上方，在碳碳坩埚翻转为开口朝上时，通过开口进入碳碳坩埚内并且沿竖直方向或者沿水平方向切割碳碳坩埚内的石英坩埚或者碳碳坩埚。本申请的碳碳坩埚回收设备，使用切割机构对石英坩埚进行切割，可以避免对石英坩埚外层的碳碳坩埚造成损坏，增加了碳碳坩埚使用寿命。

Description

一种碳碳坩埚回收设备

技术领域

本实用新型涉及光伏制造领域，具体涉及一种碳碳坩埚回收设备。

背景技术

随着光伏行业日益发展，多次加料拉晶已成了光伏行业的必然趋势，目前光伏行业中使用在一体式的碳碳坩埚中放置石英坩埚的方式来融化单晶。但是，石英坩埚在单晶炉内高压高温的工况下，会与碳碳坩埚紧密贴合，难以脱模去除，目前取出石英坩埚的工艺需要进行锤击以碎裂石英坩埚，从而将碎裂的石英坩埚取出。在锤击过程中，锤击力度较大，会间接施加给外部支撑石英坩埚的碳碳坩埚，碳碳坩埚在经过反复烧结、锤击后碳碳坩埚的寿命会大幅度缩减。并且在单晶拉制过程中碳碳坩埚还会承受硅液向外的膨胀张力，若出现隐裂，石英坩埚在高温下会软化，硅液从隐裂位置挤出，即增加了生产的不稳定性，又加剧了对碳碳坩埚的侵蚀，进一步降低了碳碳坩埚的使用寿命。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种碳碳坩埚回收设备，用以解决石英坩埚与碳碳坩埚紧密贴合无法脱模去除的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

根据本实用新型实施例的一种碳碳坩埚回收设备，包括：

主体支架，具有容纳碳碳坩埚的空间；

旋转固定机构，设置在所述主体支架上，并且抵持住所述碳碳坩埚的外壁以固定所述碳碳坩埚或者上下翻转所述碳碳坩埚；

脱模机构，设置在所述碳碳坩埚上方，在所述碳碳坩埚翻转为底部朝上时，通过所述碳碳坩埚底部的通孔进入所述碳碳坩埚内挤压并脱出所述碳碳坩埚内残留的硅料；

切割机构，设置在所述碳碳坩埚上方，在所述碳碳坩埚翻转为开口朝上时，通过所述开口进入所述碳碳坩埚内并且沿竖直方向切割所述碳碳坩埚内的石英坩埚或者沿水平方向切割碳碳坩埚。

在本实用新型的一个实施例中，所述旋转固定机构包括：

两个移动卡具，相对设置并且分别抵持在所述碳碳坩埚的外壁；

旋转电机，设置在所述主体支架上，包括分别与两个所述移动卡具连接并且同步旋转的第一旋转电机和第二旋转电机；以及

平移电机，设置在所述主体支架上并且与所述第一旋转电机或所述第二旋转电机连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述移动卡具与所述碳碳坩埚的外壁之间设置有防滑罩，所述防滑罩形状与所述碳碳坩埚的外壁形状贴合。

在本实用新型的一个实施例中，所述脱模机构包括：

硅料去除气缸，位于所述碳碳坩埚的中轴线上；

脱模杆，连接在所述硅料去除气缸的底端并且在所述硅料去除气缸的驱动下沿所述碳碳坩埚的中轴线上下移动；

脱模压块，设置在所述脱模杆的底部，并且具有小于所述碳碳坩埚底部的通孔的尺寸；以及

脱模尖端，设置在所述脱模压块的底部。

在本实用新型的一个实施例中，所述切割机构包括：

驱动模块，固定在所述主体支架上；

切割模块，与所述驱动模块连接并且在所述驱动模块的驱动下沿所述碳碳坩埚的中轴线上下移动，以沿竖直方向或者沿水平方向切割所述碳碳坩埚内的石英坩埚或者碳碳坩埚。

在本实用新型的一个实施例中，所述驱动模块包括：

驱动杆，竖直设置在所述主体支架上；

滑块，水平延伸并且包括第一端和第二端，所述第一端可上下移动地穿设在所述驱动杆上，所述第二端连接所述切割模块，驱动杆表面形成有第一螺纹，滑块与驱动杆接触的内表面上形成有与第一螺纹匹配的第二螺纹；

位置调整电机，设置在所述滑块上以驱动所述滑块沿所述驱动杆上下移动。

在本实用新型的一个实施例中，所述切割模块包括：

切割机头，套设在所述脱模杆上并绕所述脱模杆可旋转地连接在所述滑块的第二端，并且包括对称布置在所述脱模杆两侧的两个切割臂，所述切割臂的底端沿径向延伸至所述碳碳坩埚的内壁；

切割片组，设置在所述切割臂的底端的延伸端以与所述碳碳坩埚的内壁接触，所述切割片组相对于切割臂可旋转以沿竖直方向或者沿水平方向切割所述碳碳坩埚内的石英坩埚或者碳碳坩埚；

切割电机，设置在所述切割臂上，以驱动所述切割片组相对于所述切割臂旋转。

在本实用新型的一个实施例中，切割片组包括至少两个间隔设置的切割片，两个切割片间隔10-20毫米。

在本实用新型的一个实施例中，碳碳坩埚回收设备还包括：

中转小车，所述中转小车上设置有接料盘，所述接料盘位于所述碳碳坩埚的下方以承接从所述碳碳坩埚内脱出的残留硅料或从所述碳碳坩埚内壁切割下的石英坩埚碎片。

在本实用新型的一个实施例中，碳碳坩埚回收设备还包括：

切割护罩，罩设在所述碳碳坩埚上方，切割护罩上设置有用于使滑块通过的开口；

护罩支架，固定所述切割护罩，包括穿过所述滑块的长竖杆、设置在长竖杆两端并且水平延伸的上水平杆和下水平杆以及固定连接在上水平杆和护罩的顶端的短竖杆，上水平杆固定连接到硅料去除气缸上，下水平杆固定连接到护罩的底端，端竖杆具有滑块穿过的贯穿部。

本实用新型的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：

1、本实用新型的碳碳坩埚回收设备，通过切割机头使用切割片组对与碳碳坩埚紧密贴合的石英坩埚进行竖向切割，可以在快速取出石英坩埚的同时，避免对碳碳坩埚造成损坏，提高了碳碳坩埚的使用寿命；

2、本实用新型的碳碳坩埚回收设备，切割机头上的切割片组可以旋转至水平对碳碳坩埚的损坏部分进行切割，从而配合另外的埚体未损坏部分进行粘合，进一步提高了碳碳坩埚的使用寿命；

3、本实用新型的碳碳坩埚回收设备，通过硅料去除气缸和脱模杆配合，由坩埚底部的通孔进入，可以脱出石英坩埚中的残余硅料，无需在石英坩埚碎裂后对硅料与石英混合的碎渣进行分离，有效节省了成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例的碳碳坩埚回收设备的装配状态结构示意图；

图2为本实用新型实施例的碳碳坩埚回收设备的脱模机构和切割机构的剖视结构示意图；

图3为本实用新型实施例的碳碳坩埚回收设备的脱模机构的结构示意图。

附图标记：50、碳碳坩埚；51、通孔；60、石英坩埚；110、第一基座；120、第二基座；210、平移电机；220、第一旋转电机；230、第二旋转电机；240、移动卡具；241、防滑罩；310、驱动杆；320、滑块；330、位置调整电机；410、硅料去除气缸；420、脱模杆；430、脱模压块；440、脱模尖端；510、切割机头；520、切割电机；530、切割片组；600、中转小车；610、接料盘；620、护罩支架；630、切割护罩。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非另作定义，本实用新型中使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。

目前取出石英坩埚的工艺需要进行锤击以碎裂石英坩埚，从而将碎裂的石英坩埚取出。在锤击过程中，锤击力度较大，会间接施加给外部支撑石英坩埚的碳碳坩埚，碳碳坩埚在经过反复烧结、锤击后碳碳坩埚的寿命会大幅度缩减。并且在单晶拉制过程中碳碳坩埚还会承受硅液向外的膨胀张力，若出现隐裂，石英坩埚在高温下会软化从隐裂位置挤出，即增加了生产的不稳定性，又加剧了对碳碳坩埚的侵蚀，进一步降低了碳碳坩埚的使用寿命。此外，由于硅料熔解溢出后会附着在碳碳坩埚的内壁上，在重复使用碳碳坩埚时硅料再次熔解后进入隐裂处，进一步降低了碳碳坩埚的使用寿命。为解决上述本体，本实用新型提供一种碳碳坩埚回收设备。

下面首先结合附图具体描述根据本实用新型的一种碳碳坩埚回收设备。

如图1所示，本实用新型提供一种碳碳坩埚回收设备，包括：主体支架、旋转固定机构、脱模机构以及切割机构。其中主体支架具有容纳碳碳坩埚50的空间，包括第一基座110和第二基座120，第一基座110与第二基座120间隔设置以容纳坩埚第一基座110和第二基座120设置在坩埚的相对两侧；旋转固定机构设置在主体支架上，并且抵持住碳碳坩埚50的外壁以固定碳碳坩埚或者上下翻转用于固定和旋转碳碳坩埚50；脱模机构设置在碳碳坩埚50上方，用于在碳碳坩埚50翻转为底部朝上时，通过碳碳坩埚50底部的通孔51进入碳碳坩埚50内挤压并脱出碳碳坩埚50内残留的硅料；切割机构设置在碳碳坩埚50上方，用于在碳碳坩埚50翻转为开口朝上时，通过开口进入碳碳坩埚50内并且沿竖直方向切割碳碳坩埚50内的石英坩埚60或者沿水平方向切割碳碳坩埚50。

具体来说，如图1和图3所示，主体支架包括第一基座110和第二基座120，第一基座110与第二基座120固定连接且第一基座110与第二基座120之间设置有用于容纳坩埚的开口。首先，在去除残余硅料时，可以使用旋转固定机构抵持住石英坩埚60外部的碳碳坩埚50的外壁上以将碳碳坩埚50固定，然后通过旋转固定机构旋转碳碳坩埚50底部朝上，并使用脱模机构由碳碳坩埚50底部通孔51进入将石英坩埚60的底部连同石英坩埚60内的残余硅料一同推出。然后，在切割石英坩埚60时，通过旋转固定机构旋转碳碳坩埚50以使碳碳坩埚50开口朝上，之后可以驱动切割机构进入石英坩埚60内部并向下切割石英坩埚60内壁，然后通过旋转固定机构旋转碳碳坩埚50倾倒出石英坩埚60的碎片。由此，本申请的碳碳坩埚回收设备使用脱模机构脱去石英坩埚60中的残余硅料，避免了切割石英坩埚60后，硅料与石英坩埚60的碎片混合，有效降低了分离难度，提高了回收效率。此外，使用切割设备切割石英坩埚60内壁，可以快速安全的去除与碳碳坩埚50内壁贴合的石英坩埚60，有效延长了碳碳坩埚50的使用寿命。

在本实用新型的另一个实施例中，在多次使用碳碳坩埚50后，碳碳坩埚50会发生一定的损坏，在实际生产中，损坏部位一般发生在碳碳坩埚50的垂直埚壁部和底部，碳碳坩埚50损坏后即影响生产，但若直接丢弃则增加了企业成本。因此可以使用切割机构分别横向切割垂直埚壁部损坏的碳碳坩埚50以及底部损坏的碳碳坩埚50，并将切割后完好的保留垂直埚壁部的碳碳坩埚50以及保留底部的碳碳坩埚50进行拼合粘接以组成新的碳碳坩埚50。由此，可以有效增加碳碳坩埚50的使用寿命，减少企业成本。

如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，旋转固定机构包括：平移电机210、第一旋转电机220、第二旋转电机230以及两个移动卡具240。其中，平移电机210设置在第一基座110上；第一旋转电机220设置在第一基座110上，并与平移电机210固定连接；第二旋转电机230设置在第二基座120上；移动卡具240包括两个，分别与第一旋转电机220和第二旋转电机230连接，用于在平移电机210的驱动下固定坩埚，以及在第一旋转电机220和第二旋转电机230的驱动下旋转坩埚。第一旋转电机220和第二旋转电机230同步旋转。

具体来说，移动卡具240移动距离为21-50寸，可以包含主流碳碳坩埚50的尺寸，有效提高了适用性。平移电机210固定设置在第一基座110上，用于驱动设置在第一基座110上的移动卡具240向设置在第二基座120上的移动卡具240相向运动以夹紧碳碳坩埚50。由此，可以充分固定碳碳坩埚50和与碳碳坩埚50贴合的石英坩埚60，在将碳碳坩埚50旋转180°后可以使用脱模机构将石英坩埚60中残余的硅料推出，残余硅料在重力作用下可以自然脱出，提高了脱模的效率和稳定性。同时，在使用切割机构进行切割时，有效提高了切割的稳定性，避免了对碳碳坩埚50造成损坏。此外，第一旋转电机220和第二旋转电机230分别设置在第一基座110和第二基座120上，第一旋转电机220与平移电机210与平移电机210固定连接，用于在平移电机210驱动移动卡具240夹紧碳碳坩埚50后，驱动移动卡具240将碳碳坩埚50旋转180°以倾倒出切割后碎裂的石英坩埚60。由此，可以方便快速地清除碳碳坩埚50中的石英坩埚60碎片，有效节省人力成本。

如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，移动卡具240与所述碳碳坩埚50的外壁之间设置有防滑罩241，防滑罩241平行于主体支架的横截面形成为圆弧状，且形状与碳碳坩埚50外形贴合。具体来说，防滑罩241平行于主体支架的横截面形成为圆弧状，在夹紧碳碳坩埚50时，圆弧状的防滑罩241可以充分包覆碳碳坩埚50的外壁，增加与碳碳坩埚50外壁的接触面积。由此，可以有效增加防滑罩241与碳碳坩埚50外壁之间的摩擦力，在充分夹紧碳碳坩埚50的同时增加了固定碳碳坩埚50的稳定性。

如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，切割机构包括：驱动模块和切割模块，驱动模块固定在主体支架上，切割模块与驱动模块连接并且在驱动模块的驱动下沿碳碳坩埚50的中轴线上下移动，以沿竖直方向切割碳碳坩埚50内的石英坩埚60或者沿水平方向切割或者碳碳坩埚50。驱动模块包括：驱动杆310、滑块320以及位置调整电机330。其中，驱动杆310设置在第一基座110上，驱动杆310垂直于第一基座110；滑块320包括第一端和第二端，第一端穿设在驱动杆310上，第二段背离第一端并向第一基座110和第二基座120的间隔处延伸；位置调整电机330设置在滑块320上，用于驱动滑块320沿驱动杆310长度方向运动。

具体来说，滑块320穿设在驱动杆310上，且滑块320与位置调整电机330固定连接，在使用切割机构对石英坩埚60进行切割时，可以使用位置调整电机330驱动滑块320向下滑动以使切割机构进入石英坩埚60内部的切割位置进行切割。更具体来说，位置调整电机330可以是伺服电机，由于在驱动滑块320以使与滑块320连接的切割机构进入石英坩埚60内部，以及脱模机构进入碳碳坩埚50底部通孔51时需要较高的稳定性和精确度，而伺服电机速度为闭环控制，可以控制滑块320的运动速度，从而有效确保脱模机构和切割机构进入石英坩埚60时的精却度和稳定性。

如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，驱动杆310表面形成有第一螺纹，滑块320与驱动杆310接触的内表面上形成有与第一螺纹匹配的第二螺纹。具体来说，位置调整电机330可以驱动滑块320上升或下降，滑块320与驱动杆310接触的内表面上形成有与第一螺纹匹配的第二螺纹。由此，由于滑块320穿设在驱动杆310上并螺纹连接，滑块320随驱动杆的旋转，沿驱动杆310长度方向移动，可以有效保持运动稳定，从而有效提升了切割机构和脱模机构在滑块320带动下运动时的稳定性。

如图1和图2所示，在本实用新型的一个实施例中，切割模块包括：切割机头510、切割片组530以及切割电机520。其中切割机头510套设在脱模杆420上，并与滑块320的第二端可旋转地连接；切割片组530设置在切割机头510靠近坩埚的一端，并与切割机头510可旋转地连接；切割电机520设置在切割机头510上，用于驱动切割片组530切割坩埚，以及驱动切割片组530旋转以使切割片组530与坩埚的埚壁平行或垂直。

具体来说，可以通过切割机头510将切割片组530调整至切割片组530所在平面与水平地面垂直状态，即沿竖直方向切割，并使用位置调整电机330控制切割机构进入石英坩埚60内部，然后可以启动切割电机520控制切割片组530对石英坩埚60进行切割且不完全切透，并向下切割至碳碳坩埚50的弧形位置。在完成切割后轻击切割位置以碎裂石英坩埚60，并旋转碳碳坩埚50至180°以将碎裂的石英坩埚60倒出，从而完成石英坩埚60的脱模。由此，可以快速安全地碎裂石英坩埚60，同时不完全切透石英坩埚60也可以避免对碳碳坩埚50造成损坏，有效提高了碳碳坩埚50的使用寿命。

在碳碳坩埚损坏后，可以控制切割片组530旋转至水平状态，以沿水平方向切割，使用位置调整电机330控制切割机构进入石英坩埚60内部的损坏位置处，并且在水平面内沿坩埚的周向旋转切割，将损坏部分切除，留下可以正常使用的部分。

如图1和图2所示，在本实用新型的一个实施例中，脱模机构包括：硅料去除气缸410、脱模杆420、脱模压块430和脱模尖端440。其中，硅料去除气缸410设置在滑块320的第二端并与滑块320固定连接；脱模杆420穿设在滑块320中，并与硅料去除气缸410连接，且底部设置有脱模尖端440，用于在硅料去除气缸410的驱动下由坩埚底部通孔51进入以脱出坩埚内的硅料。

具体来说，在拉制单晶后，石英坩埚60中残余少量硅料，在对石英坩埚60进行切割前，需要回收残余硅料，硅料去除气缸410驱动脱模杆420伸入碳碳坩埚50底部的通孔51，将石英坩埚60底部以及与石英坩埚60底部粘合的残余的硅料推出。由此，可以安全快速地将硅料脱出，无需在石英坩埚60碎裂后对硅料与石英混合的碎渣进行分离，有效节省了分离成本和回收成本。脱模尖端440可以破坏固定成型的硅料，使得硅料松动，然后通过脱模压块430将坩埚内的硅料脱出。

如图2和图3所示，在本实用新型的一个实施例中，脱模杆420背离硅料去除气缸410的一端设置有脱模压块430。具体来说，脱模压块430的直径与碳碳坩埚50底部通孔51直径相同，在将残余硅料脱出时，可以充分与石英坩埚60底部贴合。由此，在脱模压块430下降挤压石英坩埚60底部时，可以降低石英坩埚60底部受到的应力，避免硅料脱出时对碳碳坩埚50内壁造成损坏。由此，提高了碳碳坩埚50的使用寿命。

此外，在将两个垂直埚壁部损坏和底部损坏的碳碳坩埚50进行拼接粘合时，可以通过切割机头510将切割片组530调整至与水平地面平行状态，并通过位置调整电机330控制切割机构分别下降至垂直埚壁部损坏的碳碳坩埚50以及底部损坏的碳碳坩埚50的损坏部位处进行横向环切，此时切割机头510可以以脱模杆420为轴心进行旋转，直至完成碳碳坩埚50的切割。然后可以将完好的碳碳坩埚50底部与完好的碳碳坩埚50垂直埚壁部进行拼接粘合以形成新的碳碳坩埚50。由此，可以充分利用损坏的碳碳坩埚50，提高了碳碳坩埚50的使用寿命，节省了企业开销。

在本实用新型的一个实施例中，切割片组530包括至少两个间隔设置的切割片，两个切割片间隔10-20毫米。具体来说，切割片形成为环状且周向上形成有锯齿状切口，切割片旋转产生切割力。由于石英坩埚60和碳碳坩埚50的材质颗粒粗糙且切割后产生的碎屑摩擦力较大，在切割石英坩埚60或碳碳坩埚50时，锯齿状的切割可以在旋转时将碎屑带出，在保证了切割效率的同时减少了卡刃的几率。由此，提高了作业效率。

此外，切割片组530包括两个间隔10-20毫米设置的切割片。在切割时，间隔设置的切割片可以在切割路径上形成宽度10-20毫米且向内凹陷的切割带。此时，无需将石英坩埚60切透，仅需轻击切割带处即可碎裂石英坩埚60。由此，有效避免了切割片损坏碳碳坩埚50，进一步提高了碳碳坩埚50的使用寿命。

如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，碳碳坩埚回收设备还包括：中转小车600、护罩支架620和切割护罩630。其中，中转小车600上设置有接料盘610，用于运送坩埚和承接坩埚中的硅料；护罩支架620设置在滑块320上，用于固定切割护罩630，护罩支架620包括穿过所述滑块320的长竖杆、设置在长竖杆两端并且水平延伸的上水平杆和下水平杆以及固定连接在上水平杆和护罩的顶端的短竖杆，上水平杆固定连接到硅料去除气缸410上，下水平杆固定连接到切割护罩630的底端，端竖杆具有滑块320穿过的贯穿部；切割护罩630与提拉臂固定连接，切割护罩630上设置有用于使滑块320通过的开口，用于在驱动装置的驱动下罩设在坩埚上。

具体来说，中转小车600用于转运坩埚，中转小车600下方设置有两层储物架，两层储物架分别存有接料盘610，在将残余硅料推出时，可以提取接料盘610并放置在坩埚下方，然后启动硅料去除气缸410，驱动脱模压块430将石英坩埚60中残余的硅料推入接料盘610中。然后可以更换新的接料盘610并放置在碳碳坩埚50下方，在将石英坩埚60破碎后，通过第一旋转电机220和第二旋转电机230控制碳碳坩埚50旋转180°，将碎裂的石英坩埚60倾倒至接料盘610中。由此，在降低了运输坩埚难度的同时，可以分批储存作业废物，提高了分类回收的效率。

此外，在本申请的一个优选实施例中，护罩可以是透明的有机玻璃护罩，在切割石英坩埚60时，可以通过位置调整电机330控制滑块320带动护罩下降并覆盖在碳碳坩埚50上方。由此，在切割时可以有效避免切割碎屑溅出造成的人员伤害，提高了作业安全性，同时透明的护罩可以使工作人员观察内部作业情况，提高了作业效率。

本实用新型的碳碳坩埚回收设备，通过切割机头使用切割片组对与碳碳坩埚紧密贴合的石英坩埚进行竖向切割，可以在快速取出石英坩埚的同时，避免对碳碳坩埚造成损坏，提高了碳碳坩埚的使用寿命；同时，本实用新型的碳碳坩埚回收设备，切割机头上的切割片组可以旋转至水平对碳碳坩埚的损坏部分进行切割，从而配合另外的埚体未损坏部分进行粘合，提高了碳碳坩埚的使用寿命；此外，通过硅料去除气缸和脱模杆配合，由坩埚底部的通孔进入，可以脱出石英坩埚中的残余硅料，无需在石英坩埚碎裂后对碎渣进行分离，有效节省了成本。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种碳碳坩埚回收设备，其特征在于，包括：

主体支架，具有容纳碳碳坩埚的空间；

旋转固定机构，设置在所述主体支架上，并且抵持住所述碳碳坩埚的外壁以固定所述碳碳坩埚或者上下翻转所述碳碳坩埚；

脱模机构，设置在所述碳碳坩埚上方，在所述碳碳坩埚翻转为底部朝上时，通过所述碳碳坩埚底部的通孔进入所述碳碳坩埚内挤压并脱出所述碳碳坩埚内残留的硅料；

切割机构，设置在所述碳碳坩埚上方，在所述碳碳坩埚翻转为开口朝上时，通过所述开口进入所述碳碳坩埚内并且沿竖直方向切割所述碳碳坩埚内的石英坩埚或者沿水平方向切割碳碳坩埚。

2.根据权利要求1所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，

所述旋转固定机构包括：

两个移动卡具，相对设置并且分别抵持在所述碳碳坩埚的外壁；

旋转电机，设置在所述主体支架上，包括分别与两个所述移动卡具连接并且同步旋转的第一旋转电机和第二旋转电机；以及

平移电机，设置在所述主体支架上并且与旋转电机连接。

3.根据权利要求2所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，所述移动卡具与所述碳碳坩埚的外壁之间设置有防滑罩，所述防滑罩形状与所述碳碳坩埚的外壁形状贴合。

4.根据权利要求1所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，所述脱模机构包括：

硅料去除气缸，位于所述碳碳坩埚的中轴线上；

脱模杆，连接在所述硅料去除气缸的底端并且在所述硅料去除气缸的驱动下沿所述碳碳坩埚的中轴线上下移动；

脱模压块，设置在所述脱模杆的底部，并且具有小于所述碳碳坩埚底部的通孔的尺寸；以及

脱模尖端，设置在所述脱模压块的底部。

5.根据权利要求4所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，所述切割机构包括：

驱动模块，固定在所述主体支架上；

切割模块，与所述驱动模块连接并且在所述驱动模块的驱动下沿所述碳碳坩埚的中轴线上下移动，以沿竖直方向或者沿水平方向切割所述碳碳坩埚内的石英坩埚或者碳碳坩埚。

6.根据权利要求5所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，所述驱动模块包括：

驱动杆，竖直设置在所述主体支架上；

滑块，水平延伸并且包括第一端和第二端，所述第一端可上下移动地穿设在所述驱动杆上，所述第二端连接所述切割模块；

位置调整电机，设置在所述滑块上以驱动所述滑块沿所述驱动杆上下移动。

7.根据权利要求6所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，所述切割模块包括：

切割机头，套设在所述脱模杆上并绕所述脱模杆可旋转地连接在所述滑块的第二端，并且包括对称布置在所述脱模杆两侧的两个切割臂，所述切割臂的底端沿径向延伸至所述碳碳坩埚的内壁；

切割片组，设置在所述切割臂的底端的延伸端以与所述碳碳坩埚的内壁接触，所述切割片组相对于切割臂可旋转以沿竖直方向或者沿水平方向切割所述碳碳坩埚内的石英坩埚或者碳碳坩埚；

切割电机，设置在所述切割臂上，以驱动所述切割片组相对于所述切割臂旋转。

8.根据权利要求7所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，所述切割片组包括至少两个间隔设置的切割片，两个所述切割片间隔10-20毫米。

9.根据权利要求8所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，还包括：

中转小车，所述中转小车上设置有接料盘，所述接料盘位于所述碳碳坩埚的下方以承接从所述碳碳坩埚内脱出的残留硅料或从所述碳碳坩埚内壁切割下的石英坩埚碎片。

10.根据权利要求9所述的碳碳坩埚回收设备，其特征在于，还包括：

切割护罩，罩设在所述碳碳坩埚上方；

护罩支架，固定所述切割护罩。

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