CN218519923U - 一种自动旋转升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型旨在提供了提供了一种结构紧凑、结构合理以及升降效果稳定的自动旋转升降机构。本实用新型包括底座、底板模组、驱动组件和升降压板，底板模组包括定位底板、蓝膜扩张件和蓝膜铁片，定位底板设置在底座上，蓝膜扩张件设置在定位底板上，蓝膜铁片中间位置设置有圆形开口，圆形开口设置有蓝膜，驱动组件包括马达座、驱动马达、主动锥齿轮、传动轴、从动锥齿轮、主动轮和同步带，马达座设置在定位底板上，驱动马达设置在马达座上，主动锥齿轮设置在驱动马达的输出端，传动轴转动设置在马达座上，从动锥齿轮设置在传动轴的一端，从动锥齿轮与主动锥齿轮相啮合，主动轮设置在传动轴另一端。本实用新型涉及一种自动旋转升降机构。

Description

一种自动旋转升降机构

技术领域

本实用新型涉及一种蓝膜扩张拉伸装置，具体地涉及一种自动旋转升降机构。

背景技术

蓝膜是半导体晶圆厂做晶圆切割或基板切割、背面研磨、减薄制程中所使用保护表面回路的保护膜，可在无尘室内使用，是晶圆加工过程中所用到的特殊胶带，其至少包括一基材膜及一黏着剂层，该基材膜为聚合物薄膜，目前在半导体芯片生产的过程中，需要进行将蓝膜上的芯片进行脱膜处理的步骤，然而脱膜的过程中，需要先将蓝膜进行扩张拉伸，再对蓝膜上的芯片进行顶针脱膜，而常规的蓝膜扩张拉伸装置是通过下压结构下压蓝膜外围的铁片来实现对蓝膜的扩张，而常规的下压机构往往是利用马达或电机直接连接同步带带动实现下压功能，而该方式安装马达或电机只能在竖直方向上进行安装，限制了安装的方式，会占用非常大的内部空间，因此会使扩张拉伸的结构与马达或电机容易发生干涉，形成安全隐患，该安装方式还会使扩张拉伸的结构出现作用力不均匀的情况，容易造成扩张拉伸不均匀的情况，从而影响对芯片的脱膜效果。

如公开号为CN211043447U的中国实用新型专利，其公开了一种芯片测试收料用托盘蓝膜的固定装置，该方案是通过电机带动转动杆进行转动，转动杆的转动带动蓝膜辊进行转动，然后通过拉动蓝膜延伸进框体的一边，把蓝膜的一边从框体的另一侧穿过，从而把蓝膜覆盖在芯片上，然后启动液压伸缩杆，带动矩形框向下移动，移动至底部与托盘相接触，内壁与芯片四周相接触，矩形框向下压的同时把蓝膜向下压在芯片上，从而把蓝膜固定在芯片上，启动电动伸缩杆，带动固定板向下移动，对蓝膜远离蓝膜辊的一边进行固定，虽然在实际应用中，该方案也对蓝膜起到了扩张拉伸的作用，但是该方案不能适用于对蓝膜进行脱膜的扩张，对蓝膜进行芯片顶针作业式，无法有效压紧蓝膜。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构紧凑、结构合理以及升降效果稳定的自动旋转升降机构，来解决现有蓝膜扩张升降装置安装结构易干涉、升降受力不均匀等问题。

本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括底座、底板模组、驱动组件和升降压板，所述底板模组包括定位底板、蓝膜扩张件和蓝膜铁片，所述定位底板设置在所述底座上，所述蓝膜扩张件设置在所述定位底板上，所述蓝膜铁片中间位置设置有圆形开口，所述圆形开口设置有蓝膜，所述驱动组件包括马达座、驱动马达、主动锥齿轮、传动轴、从动锥齿轮、主动轮和同步带，所述马达座设置在所述定位底板上，所述驱动马达设置在所述马达座上，所述主动锥齿轮设置在所述驱动马达的输出端，所述传动轴转动设置在所述马达座上，所述从动锥齿轮设置在所述传动轴的一端，所述从动锥齿轮与所述主动锥齿轮相啮合，所述主动轮设置在所述传动轴另一端，所述定位底板上转动设置有四个丝杆，四个所述丝杆分别位于所述定位底板的四角位置，四个所述丝杆的一端均设置有从动轮，所述同步带绕设在所述主动轮和四个从动轮上，所述升降压板的四角位置均设置有与所述丝杆相配合的丝杆滑块，所述升降压板上还设置有两个相对设置的下压板，所述蓝膜铁片设置在所述蓝膜扩张件和所述下压板之间，所述升降压板下降时，所述圆形开口与所述蓝膜扩张件限位配合，所述下压板与所述蓝膜铁片限位配合。

一个优选方案是，所述定位底板上设置有两个张紧轮，所述同步带绕设在所述张紧轮上。

一个优选方案是，所述定位底板上四角位置均设置导向柱，所述升降压板四角位置均设置有与所述导向柱相配合的导套，所述下压板上设置有与所述导向柱相配合导向孔。

一个优选方案是，所述蓝膜扩张件设置有蓝膜扩张环，所述蓝膜扩张环上部外径半径小于下部外径的半径，所述蓝膜扩张环下部外径半径大于所述圆形开口的半径，所述蓝膜扩张环与所述蓝膜铁片限位配合。

本实用新型的有益效果：

本实用新型在使用过程中，本方案通过所述驱动马达通过所述主动锥齿轮和所述从动锥齿轮相配合，从而带动所述传动轴转动，所述传动轴带动所述主动轮转动，所述主动轮再通过所述同步带同时带动四个所述从动轮同时转动，再由连接在所述从动轮上的所述丝杆，带动所述丝杆滑块同步移动，从而实现对所述升降压板的升降，当所述驱动马达的输出轴正转时，所述升降压板向下移动，带动所述下压板同时向下移动，所述下压板对所述蓝膜铁片产生压力，所述蓝膜铁片沿着所述蓝膜扩张环的外径从上向下移动，此时所述蓝膜被所述蓝膜扩张环扩张，从而实现对所述蓝膜的扩张拉伸。

本实用新型利用所述主动锥齿轮和所述从动锥齿轮的配合实现对驱动马达传动方向上的改变，使驱动装置与扩张拉伸的结构避免了干涉的风险，提高了升降结构的合理性，是升降结构更加紧凑，定位底板上四角位置均转动设置有所述丝杆，再通过所述丝杆与所述升降压板上四角位置的所述丝杆滑块相配合，实现了对所述升降压板进行升降时四角位置的受力能够均匀，从而提高了升降过程中的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构第一视角示意图；

图2是本实用新型的立体结构第二视角示意图；

图3是本实用新型的立体结构第三视角示意图；

图4是本实用新型的立体结构第四视角示意图；

图5是本实用新型的立体结构第五视角示意图；

图6是本实用新型的内部结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚的理解本实用新型的特征和优点，下面通过实例并结合附图1至附图6对本实用新型进行进一步的说明。在本实施例中，本实用新型包括底座1、底板模组2、驱动组件3和升降压板4，所述底板模组2包括定位底板21、蓝膜扩张件22和蓝膜铁片23，所述定位底板21设置在所述底座1上，所述蓝膜扩张件22设置在所述定位底板21上，所述蓝膜铁片23中间位置设置有圆形开口，所述圆形开口设置有蓝膜24，所述驱动组件3包括马达座31、驱动马达32、主动锥齿轮33、传动轴34、从动锥齿轮35、主动轮36和同步带37，所述马达座31设置在所述定位底板21上，所述驱动马达32设置在所述马达座31上，所述主动锥齿轮33设置在所述驱动马达32的输出端，所述传动轴34转动设置在所述马达座31上，所述从动锥齿轮35设置在所述传动轴34的一端，所述从动锥齿轮35与所述主动锥齿轮33相啮合，所述主动轮36设置在所述传动轴34另一端，所述定位底板21的四角位置转动设置有四个丝杆211，四个所述丝杆211的一端均设置有从动轮212，所述同步带37绕设在所述主动轮36和四个从动轮212上，所述升降压板4的四角位置均设置有与所述丝杆211相配合的丝杆滑块41，所述升降压板4上还设置有两个相对设置的下压板42，所述蓝膜铁片23设置在所述蓝膜扩张件22和所述下压板42之间，所述升降压板4下降时，所述圆形开口与所述蓝膜扩张件22限位配合，所述下压板42与所述蓝膜铁片23限位配合。

在本实施例中，所述定位底板21上设置有两个张紧轮213，所述同步带37绕设在所述张紧轮213上。

在本实施例中，所述定位底板21上四角位置均设置导向柱214，所述升降压板4四角位置均设置有与所述导向柱214相配合的导套25，所述下压板42上设置有与所述导向柱214相配合导向孔421。

在本实施例中，所述蓝膜扩张件22设置有蓝膜扩张环221，所述蓝膜扩张环221上部外径半径小于下部外径的半径，所述蓝膜扩张环221下部外径半径大于所述圆形开口的半径，所述蓝膜扩张环221与所述蓝膜铁片23限位配合。

本实用新型的工作原理：

本实用新型工作时通过所述驱动马达32通过所述主动锥齿轮33和所述从动锥齿轮35相配合，从而带动所述传动轴34转动，所述传动轴34带动所述主动轮36转动，所述主动轮36再通过所述同步带37同时带动四个所述从动轮212同时转动，再由连接在所述从动轮212上的所述丝杆211，带动所述丝杆滑块41同步移动，从而实现对所述升降压板4的升降，当所述驱动马达32的输出轴正转时，所述升降压板4向下移动，带动所述下压板42同时向下移动，所述下压板42对所述蓝膜铁片23产生压力，所述蓝膜铁片23沿着所述蓝膜扩张环221的外径从上向下移动，此时所述蓝膜24被所述蓝膜扩张环扩张221，从而实现对所述蓝膜24的扩张拉伸。

虽然本实用新型的实施例是以实际方案来描述的，但是并不构成对本实用新型含义的限制，对于本领域的技术人员，根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。

Claims (4)

1.一种自动旋转升降机构，其特征在于，它包括底座（1）、底板模组（2）、驱动组件（3）和升降压板（4），所述底板模组（2）包括定位底板（21）、蓝膜扩张件（22）和蓝膜铁片（23），所述定位底板（21）设置在所述底座（1）上，所述蓝膜扩张件（22）设置在所述定位底板（21）上，所述蓝膜铁片（23）中间位置设置有圆形开口，所述圆形开口设置有蓝膜（24），所述驱动组件（3）包括马达座（31）、驱动马达（32）、主动锥齿轮（33）、传动轴（34）、从动锥齿轮（35）、主动轮（36）和同步带（37），所述马达座（31）设置在所述定位底板（21）上，所述驱动马达（32）设置在所述马达座（31）上，所述主动锥齿轮（33）设置在所述驱动马达（32）的输出端，所述传动轴（34）转动设置在所述马达座（31）上，所述从动锥齿轮（35）设置在所述传动轴（34）的一端，所述从动锥齿轮（35）与所述主动锥齿轮（33）相啮合，所述主动轮（36）设置在所述传动轴（34）另一端，所述定位底板（21）的四角位置转动设置有四个丝杆（211），四个所述丝杆（211）的一端均设置有从动轮（212），所述同步带（37）绕设在所述主动轮（36）和四个从动轮（212）上，所述升降压板（4）的四角位置均设置有与所述丝杆（211）相配合的丝杆滑块（41），所述升降压板（4）上还设置有两个相对设置的下压板（42），所述蓝膜铁片（23）设置在所述蓝膜扩张件（22）和所述下压板（42）之间，所述升降压板（4）下降时，所述圆形开口与所述蓝膜扩张件（22）限位配合，所述下压板（42）与所述蓝膜铁片（23）限位配合。

2.根据权利要求1所述的一种自动旋转升降机构，其特征在于，所述定位底板（21）上设置有两个张紧轮（213），所述同步带（37）绕设在所述张紧轮（213）上。

3.根据权利要求1所述的一种自动旋转升降机构，其特征在于，所述定位底板（21）上四角位置均设置导向柱（214），所述升降压板（4）四角位置均设置有与所述导向柱（214）相配合的导套（25），所述下压板（42）上设置有与所述导向柱（214）相配合导向孔（421）。

4.根据权利要求1所述的一种自动旋转升降机构，其特征在于，所述蓝膜扩张件（22）设置有蓝膜扩张环（221），所述蓝膜扩张环（221）上部外径半径小于下部外径的半径，所述蓝膜扩张环（221）下部外径半径大于所述圆形开口的半径，所述蓝膜扩张环（221）与所述蓝膜铁片（23）限位配合。

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