CN214012903U - 一种自动扩片机 - Google Patents
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Abstract
一种自动扩片机包括上压板、下压板、定位环、螺杆、同步带、第一同步轮、第二同步轮、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮、第五齿轮和齿轮轴，第一齿轮和第二齿轮啮合连接，齿轮轴一端与第二齿轮固定连接，另一端与第三齿轮固定连接，第三齿轮和第四齿轮啮合连接，第四齿轮和第五齿轮啮合连接，第五齿轮和第一同步轮固定连接，同步带同时套设在第一同步轮和第二同步轮上，第二同步轮和螺杆啮合连接，螺杆与下压板固定连接，上压板和定位环固定连接，自动扩片机能够自动夹紧，人工放入后设备即可自动运动夹紧，整机可进行XY轴移动，移动方便，可与粘片机等设备配合移动。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子元器件生产技术领域，尤其涉及一种自动扩片机。
背景技术
目前晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，在加工晶元生产工序中，通常会将晶元粘贴在膜上，再将膜固定在一个圆箍上，组成一个行业所说的晶元盘，这样才可以在自动粘片机上进行生产加工，在实际生产中，还需要对晶元盘进行夹紧，即需要将晶元盘内的膜进行夹紧已达到满足粘片机吸取工作，传统的方式均为人工手动将膜扩张好放入粘片机内，因为粘片机不具备扩张功能，这种方式不利于生产，人工劳动强度大，且容易损坏膜，容易使晶元沾灰，不利于生产。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提出一种自动扩片机，解决了现有粘片机不能自动加紧和不能XY方向移动的问题。
本实用新型通过以下技术方案实现的：
本实用新型提出一种自动扩片机，所述自动扩片机包括上压板、下压板、定位环、螺杆、同步带、第一同步轮、第二同步轮、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮、第五齿轮和齿轮轴，所述第一齿轮和所述第二齿轮啮合连接，所述齿轮轴一端与所述第二齿轮固定连接，另一端与所述第三齿轮固定连接，所述第三齿轮和所述第四齿轮啮合连接，第四齿轮和第五齿轮啮合连接，所述第五齿轮和所述第一同步轮固定连接，所述同步带同时套设在所述第一同步轮和所述第二同步轮上，所述第二同步轮和所述螺杆啮合连接，所述螺杆与所述下压板固定连接，所述上压板和所述下压板固定连接。
进一步的，所述自动扩片机包括固定座，所述固定座与所述定位环固定连接，所述固定座设有安装槽，所述第一齿轮、所述第二齿轮、所述第三齿轮和所述第四齿轮固定安装在所述安装槽内。
进一步的，所述自动扩片机包括支座，所述支座与所述定位环固定连接，所述第五齿轮和所述第一同步轮固定安装在所述支座内。
进一步的，所述自动扩片机包括驱动电机，所述驱动电机与所述第一齿轮固定连接。
进一步的，所述自动扩片机包括底座、第一移动块、第一固定支架、第一电机、第一滑轨、第一滑块和第一丝杆，所述第一电机固定安装在所述第一固定支架上，所述第一电机与所述第一丝杆固定连接，所述第一移动块与所述第一丝杆啮合连接，所述第一滑轨与所述第一固定支架固定连接，所述第一滑块与所述第一滑轨活动连接，所述定位环固定安装在所述底座上，所述第一移动块与所述底座固定连接。
进一步的，所述自动扩片机包括第二移动块、第二固定支架、第二电机、第二滑轨、第二滑块和第二丝杆，所述第二电机固定安装在所述第二固定支架上，所述第二电机与所述第二丝杆固定连接，所述第二移动块与所述第二丝杆啮合连接，所述第二滑轨与所述第二固定支架固定连接，所述第二滑块与所述第二滑轨活动连接，所述第二移动块与所述第一固定支架固定连接。
本实用新型的有益效果：
本实用新型提出一种自动扩片机，所述自动扩片机能够自动夹紧，人工放入后设备即可自动运动夹紧，整机可进行XY轴移动，移动方便，可与粘片机等设备配合移动。
附图说明
图1为本实用新型的自动扩片机的立体图；
图2为本实用新型的自动扩片机的部分结构示意图；
图3为本实用新型的自动扩片机的部分结构示意图；
图4为本实用新型的自动扩片机的部分结构放大示意图。
具体实施方式
为了更加清楚、完整的说明本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
请参考图1至图4，本实用新型提出一种自动扩片机，所述自动扩片机包括上压板1、下压板2、定位环4、螺杆3、同步带5、第一同步轮7、第二同步轮8、第一齿轮23、第二齿轮24、第三齿轮25、第四齿轮26、第五齿轮27和齿轮轴 28，所述第一齿轮23和所述第二齿轮24啮合连接，所述齿轮轴28一端与所述第二齿轮24固定连接，另一端与所述第三齿轮25固定连接，所述第三齿轮25 和所述第四齿轮26啮合连接，第四齿轮26和第五齿轮27啮合连接，所述第五齿轮27和所述第一同步轮7固定连接，所述同步带5同时套设在所述第一同步轮7和所述第二同步轮8上，所述第二同步轮8和所述螺杆3啮合连接，所述螺杆3与所述下压板2固定连接，所述上压板1和所述下压板2固定连接。
在本实施方式中，所述第一齿轮23和所述第二齿轮24为伞齿轮，所述第三齿轮25、所述第四齿轮26和所述第五齿轮27为直齿轮，所述第一齿轮23转动带动所述第二齿轮24转动，所述第二齿轮24转动通过所述齿轮轴28带动所述第三齿轮25转动，所述第三齿轮25转动带动所述第四齿轮26转动，所述第四齿轮26转动带动所述第五齿轮27转动，所述第五齿轮27转动带动所述第一同步轮7转动，所述自动扩片机设有一个所述第一同步轮7和若干个所述第二同步轮8，所述同步带5同时套设在一个所述第一同步轮7和若干个所述第二同步轮 8上，使所述同步带5与所述第一同步轮7和所述第二同步轮8形成带传动，若干个所述第二同步轮8与若干个所述螺杆3啮合连接，当所述第二同步轮8旋转时能够沿着所述螺杆3上下移动，人工将晶元盘放置在所述下压板2与所述上压板1之间的缝隙内，几个相连接的齿轮旋转，进而带动四周的所述第一同步轮7 和若干个所述第二同步轮8旋转，所述第二同步轮8内圈与螺杆3之间是螺接的，此时所述第二同步轮8沿螺纹向上旋转，进而带动所述定位环4向上运动，将膜顶起达到夹紧的作用，需要换片时齿轮反转，即可取出空盘。
进一步的，所述自动扩片机包括固定座6，所述固定座6与所述定位环4固定连接，所述固定座6设有安装槽29，所述第一齿轮23、所述第二齿轮24、所述第三齿轮25和所述第四齿轮26固定安装在所述安装槽29内。
在本实施方式中，所述固定座6用于固定安装所述第一齿轮23、所述第二齿轮24、所述第三齿轮25和所述第四齿轮26。
进一步的，所述自动扩片机包括支座9，所述支座9与所述定位环4固定连接，所述第五齿轮27和所述第一同步轮7固定安装在所述支座9内。
在本实施方式中，所述支座9用于固定所述第五齿轮27和所述第一同步轮7。
进一步的，所述自动扩片机包括驱动电机10，所述驱动电机10与所述第一齿轮23固定连接。
在本实施方式中，所述驱动电机10驱动所述第一齿轮23转动。
进一步的，所述自动扩片机包括底座30、第一移动块11、第一固定支架13、第一电机14、第一滑轨15、第一滑块16和第一丝杆17，所述第一电机14固定安装在所述第一固定支架13上，所述第一电机14与所述第一丝杆17固定连接，所述第一移动块11与所述第一丝杆17啮合连接，所述第一滑轨15与所述第一固定支架13固定连接，所述第一滑块16与所述第一滑轨15活动连接，所述定位环4固定安装在所述底座30上，所述第一移动块11与所述底座30固定连接。
在本实施方式中，所述第一移动块11与所述底座30固定连接，两个所述第一滑块16与所述底座30固定连接，所述第一电机14带动所述第一丝杆17旋转使所述第一移动块11沿着所述第一丝杆17移动，从而带动所述底座30沿着所述第一丝杆17方向移动。
进一步的，所述自动扩片机包括第二移动块12、第二固定支架18、第二电机19、第二滑轨20、第二滑块21和第二丝杆22，所述第二电机19固定安装在所述第二固定支架18上，所述第二电机19与所述第二丝杆22固定连接，所述第二移动块12与所述第二丝杆22啮合连接，所述第二滑轨20与所述第二固定支架18固定连接，所述第二滑块21与所述第二滑轨20活动连接，所述第二移动块12与所述第一固定支架13固定连接。
在本实施方式中，所述第二移动块12与所述第二固定支架18固定连接，两个所述第二滑块21与所述第二固定支架18固定连接，所述第二电机19带动所述第二丝杆22旋转使所述第二移动块12沿着所述第二丝杆22移动，从而带动所述第二固定支架18沿着所述第二丝杆22方向移动。
当然，本实用新型还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。
Claims (6)
1.一种自动扩片机，其特征在于，所述自动扩片机包括上压板、下压板、定位环、螺杆、同步带、第一同步轮、第二同步轮、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮、第五齿轮和齿轮轴，所述第一齿轮和所述第二齿轮啮合连接，所述齿轮轴一端与所述第二齿轮固定连接，另一端与所述第三齿轮固定连接，所述第三齿轮和所述第四齿轮啮合连接，所述第四齿轮和所述第五齿轮啮合连接，所述第五齿轮和所述第一同步轮固定连接，所述同步带同时套设在所述第一同步轮和所述第二同步轮上，所述第二同步轮和所述螺杆啮合连接，所述螺杆与所述下压板固定连接，所述上压板和所述下压板固定连接。
2.根据权利要求1所述自动扩片机，其特征在于，所述自动扩片机包括固定座，所述固定座与所述定位环固定连接，所述固定座设有安装槽，所述第一齿轮、所述第二齿轮、所述第三齿轮和所述第四齿轮固定安装在所述安装槽内。
3.根据权利要求1所述自动扩片机，其特征在于，所述自动扩片机包括支座，所述支座与所述定位环固定连接，所述第五齿轮和所述第一同步轮固定安装在所述支座内。
4.根据权利要求1所述自动扩片机，其特征在于，所述自动扩片机包括驱动电机，所述驱动电机与所述第一齿轮固定连接。
5.根据权利要求1所述自动扩片机，其特征在于，所述自动扩片机包括底座、第一移动块、第一固定支架、第一电机、第一滑轨、第一滑块和第一丝杆，所述第一电机固定安装在所述第一固定支架上，所述第一电机与所述第一丝杆固定连接，所述第一移动块与所述第一丝杆啮合连接，所述第一滑轨与所述第一固定支架固定连接，所述第一滑块与所述第一滑轨活动连接，所述定位环固定安装在所述底座上，所述第一移动块与所述底座固定连接。
6.根据权利要求5所述自动扩片机，其特征在于，所述自动扩片机包括第二移动块、第二固定支架、第二电机、第二滑轨、第二滑块和第二丝杆，所述第二电机固定安装在所述第二固定支架上，所述第二电机与所述第二丝杆固定连接，所述第二移动块与所述第二丝杆啮合连接，所述第二滑轨与所述第二固定支架固定连接，所述第二滑块与所述第二滑轨活动连接，所述第二移动块与所述第一固定支架固定连接。
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| CN202022345535.6U CN214012903U (zh) | 2020-10-20 | 2020-10-20 | 一种自动扩片机 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202022345535.6U CN214012903U (zh) | 2020-10-20 | 2020-10-20 | 一种自动扩片机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN214012903U true CN214012903U (zh) | 2021-08-20 |
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ID=77300052
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| CN202022345535.6U Active CN214012903U (zh) | 2020-10-20 | 2020-10-20 | 一种自动扩片机 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114523667A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-05-24 | 深圳市创想三维科技股份有限公司 | 3d打印系统 |
| CN114654730A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-06-24 | 深圳市创想三维科技股份有限公司 | 离型膜更换装置及3d打印设备 |
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2020
- 2020-10-20 CN CN202022345535.6U patent/CN214012903U/zh active Active
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