CN218481554U - 一种探针台的台面升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台技术领域，提供了一种探针台的台面升降机构，包括底座，所述底座的顶部开设有缺口，所述底座上通过缺口固定插接有呈竖直方向的安装板，所述安装板的正面设置有可上下移动的调节块，所述调节块的正面固定连接有用于放置芯片的测试平台。本实用新型通过调节块向上的移动能够带动测试平台进行同步的上升，而调节块在移动到与限位块同一水平面后便无法继续进行向上移动，此时测试平台上的芯片也能够正好处于合适与探针接触并进行测试的高度位置，且在调节块下降以更换新的芯片时，其再次上升仍会在限位块所在的同一高度位置停止移动，以达到精准定位测试平台每次升起位置的目的。

Description

一种探针台的台面升降机构

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，具体为一种探针台的台面升降机构。

背景技术

晶圆探针测试也被称之为中间测试，是集成电路生产中的重要一环，晶圆探针测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能的把坏的芯片筛选出来以节约封装费用，这步测试是晶圆生产过程的成绩单，它不仅是节约芯片封装成本的一种方法，现如今已成为工艺控制、成品率管理、产品质量以及降低总测试成本的一个关键因素。

探针台是晶圆探针测试中使用的主要设备之一，其在使用时会将需要测试的芯片放置在台面上，工作人员手动控制台面升起至合适探针与芯片接触的位置后，即可开始晶圆探针测试的作业，而在每次更换测试芯片时都需要工作人员将台面升至精确的位置，会耗费工作人员较多的精力与时间，因此设计一种探针台的台面升降机构来解决这种问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种探针台的台面升降机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种探针台的台面升降机构，包括底座，所述底座的顶部开设有缺口，所述底座上通过缺口固定插接有呈竖直方向的安装板，所述安装板的正面设置有可上下移动的调节块，所述调节块的正面固定连接有用于放置芯片的测试平台，所述底座的顶部固定连接有呈竖直方向并位于安装板一侧的安装杆，所述安装杆的正面滑动设置有能够当调节块上升至与其位于同一水平面时阻挡调节块继续向上移动的限位块，所述底座上转动设置有把手，所述把手能够在其自身转动时使限位块进行升降。

优选的，所述安装板的正面沿其高度方向固定连接有T型杆，所述调节块的背面开设有T型槽，且所述T型杆穿插连接在T型槽内，以使得调节块能够形成在安装板正面的上下滑动连接。

优选的，所述安装板的正面通过轴承转动连接有两个上下对称的转动轴，两个所述转动轴上均固定套接有同步轮，两个所述同步轮之间通过齿槽缠绕有同步带，所述调节块的一侧固定连接有一侧与同步带相固定的连接块，所述底座的底部固定安装有电机，且位于下方的所述转动轴的一侧与电机的输出轴相固定，当电机的输出轴转动时会带动两个同步轮与同步带进行转动，达到改变调节块与测试平台高度位置的目的。

优选的，所述安装杆的正面沿其高度方向开设有滑槽，所述底座上通过轴承穿插连接有呈竖直轴向并位于滑槽内的螺纹杆，所述限位块的一侧插接在滑槽内并通过螺纹配合套接在螺纹杆上，所述螺纹杆的底部固定连接有位于底座下方的从动锥齿轮，所述底座的一侧通过轴承穿插连接有呈左右轴向的转轴，所述转轴的一侧固定连接有与从动锥齿轮相啮合的主动锥齿轮，所述把手固定连接在转轴远离主动锥齿轮的一侧，在握住把手转动时会带动转轴及主动锥齿轮进行旋转，主动锥齿轮会通过齿牙的配合带动从动锥齿轮及螺纹杆进行转动，使得限位块会通过螺纹的配合在滑槽进行上下移动，以起到升降限位块的效果。

优选的，所述安装杆的正面一侧沿其高度方向设置有一排刻度线，所述限位块的一侧固定连接有呈箭头状并指向刻度线的指向块，在用手握住把手转动控制限位块升降时，可以通过观察指向块指向的刻度线来判断限位块上下移动的具体距离，以方便进行精确定位。

优选的，所述调节块的一侧固定连接有长杆，且所述长杆远离调节块的一侧朝安装杆的方向延伸，所述限位块的底部设置有位于长杆正上方的接触式传感器，所述底座上设置有PLC控制器，所述接触式传感器的输出端与PLC控制器的输入端电性相连，以能够将其监测到的压力信号传输至PLC控制器，所述PLC控制器的输出端与电机通过电性相连，以用于在其接收到压力信号时控制电机的输出轴停止转动，在每次通过电机输出轴的转动使得调节块上升时，长杆会跟随调节块进行上升并最终触碰到限位块底部的接触式传感器，此时电机便会停止输出轴的转动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型工作人员可以先握住把手并转动以实现限位块的升降，使得限位块能够移动至调节块及测试平台合适的高度，在将芯片放置在测试平台上后，通过调节块向上的移动能够带动测试平台进行同步的上升，而调节块在移动到与限位块同一水平面后便无法继续进行向上移动，此时测试平台上的芯片也能够正好处于合适与探针接触并进行测试的高度位置，且在调节块下降以更换新的芯片时，其再次上升仍会在限位块所在的同一高度位置停止移动，以达到精准定位测试平台每次升起位置的目的，并能够省去工作人员每次需要对高度进行对准调试的步骤，加了快进行多芯片的晶圆探针测试的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的平面结构示意图；

图3为本实用新型的又一立体结构示意图；

图4为本实用新型的局部结构爆炸示意图；

图中：1、底座；2、缺口；3、安装板；4、调节块；5、测试平台；6、安装杆；7、限位块；8、把手；9、T型杆；10、T型槽；11、转动轴；12、同步轮；13、同步带；14、连接块；15、电机；16、滑槽；17、螺纹杆；18、从动锥齿轮；19、转轴；20、主动锥齿轮；21、刻度线；22、指向块；23、长杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种探针台的台面升降机构：包括底座1，底座1的顶部开设有缺口2，底座1上通过缺口2固定插接有呈竖直方向的安装板3，安装板3的正面设置有可上下移动的调节块4，调节块4的正面固定连接有用于放置芯片的测试平台5，底座1的顶部固定连接有呈竖直方向并位于安装板3一侧的安装杆6，安装杆6的正面滑动设置有能够当调节块4上升至与其位于同一水平面时阻挡调节块4继续向上移动的限位块7，底座1上转动设置有把手8，把手8能够在其自身转动时使限位块7进行升降，这样，工作人员可以先握住把手8并转动以实现限位块7的升降，使得限位块7能够移动至调节块4及测试平台5合适的高度，在将芯片放置在测试平台5上后，通过调节块4向上的移动能够带动测试平台5进行同步的上升，而调节块4在移动到与限位块7同一水平面后便无法继续进行向上移动，此时测试平台5上的芯片也能够正好处于合适与探针接触并进行测试的高度位置，且在调节块4下降以更换新的芯片时，其再次上升仍会在限位块7所在的同一高度位置停止移动，并能够省去工作人员每次需要对高度进行对准调试的步骤，加了快进行多芯片的晶圆探针测试的工作效率。

请参阅图4，安装板3的正面沿其高度方向固定连接有T型杆9，调节块4的背面开设有T型槽10，且T型杆9穿插连接在T型槽10内，以使得调节块4能够形成在安装板3正面的上下滑动连接。

具体的，为了能够使调节块4进行上下移动，在一些实施例中，提出，安装板3的正面通过轴承转动连接有两个上下对称的转动轴11，两个转动轴11上均固定套接有同步轮12，两个同步轮12之间通过齿槽缠绕有同步带13，调节块4的一侧固定连接有一侧与同步带13相固定的连接块14，底座1的底部固定安装有电机15，且位于下方的转动轴11的一侧与电机15的输出轴相固定，当电机15的输出轴转动时会带动两个同步轮12与同步带13进行转动，而连接块14则能够跟随同步带13的转动进行相应的上下移动，达到改变调节块4与测试平台5高度位置的目的。

同时，为了能够在转动把手8时使得限位块7能够升降，如图1和图3所示，安装杆6的正面沿其高度方向开设有滑槽16，底座1上通过轴承穿插连接有呈竖直轴向并位于滑槽16内的螺纹杆17，限位块7的一侧插接在滑槽16内并通过螺纹配合套接在螺纹杆17上，螺纹杆17的底部固定连接有位于底座1下方的从动锥齿轮18，底座1的一侧通过轴承穿插连接有呈左右轴向的转轴19，转轴19的一侧固定连接有与从动锥齿轮18相啮合的主动锥齿轮20，把手8固定连接在转轴19远离主动锥齿轮20的一侧，这样，在握住把手8转动时会带动转轴19及主动锥齿轮20进行旋转，主动锥齿轮20会通过齿牙的配合带动从动锥齿轮18及螺纹杆17进行转动，使得限位块7会通过螺纹的配合在滑槽16进行上下移动，以起到升降限位块7的效果。

请参阅图1，安装杆6的正面一侧沿其高度方向设置有一排刻度线21，限位块7的一侧固定连接有呈箭头状并指向刻度线21的指向块22，这样，在用手握住把手8转动控制限位块7升降时，可以通过观察指向块22指向的刻度线21来判断限位块7上下移动的具体距离，以方便进行精确定位，有助于提高测试的精度。

关于调节块4上升至与限位块7同一水平面后便无法继续上升的具体原因如下，调节块4的一侧固定连接有长杆23，且长杆23远离调节块4的一侧朝安装杆6的方向延伸，限位块7的底部设置有位于长杆23正上方的接触式传感器，底座1上设置有PLC控制器，接触式传感器的输出端与PLC控制器的输入端电性相连，以能够将其监测到的压力信号传输至PLC控制器，PLC控制器的输出端与电机15通过电性相连，以用于在其接收到压力信号时控制电机15的输出轴停止转动，在每次通过电机15输出轴的转动使得调节块4上升时，长杆23会跟随调节块4进行上升并最终触碰到限位块7底部的接触式传感器，此时电机15便会停止输出轴的转动，起到定位调节块4和测试平台5的效果。

在本装置空闲处，安置所有电器件与其相匹配的驱动器，并且通过本领域人员，将上述中所有驱动部件，其指代动力元件、电器件以及适配的电源通过导线进行连接，具体连接手段，应参考上述表述中，各电器件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种探针台的台面升降机构，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部开设有缺口(2)，所述底座(1)上通过缺口(2)固定插接有呈竖直方向的安装板(3)，所述安装板(3)的正面设置有可上下移动的调节块(4)，所述调节块(4)的正面固定连接有用于放置芯片的测试平台(5)，所述底座(1)的顶部固定连接有呈竖直方向并位于安装板(3)一侧的安装杆(6)，所述安装杆(6)的正面滑动设置有能够当调节块(4)上升至与其位于同一水平面时阻挡调节块(4)继续向上移动的限位块(7)，所述底座(1)上转动设置有把手(8)，所述把手(8)能够在其自身转动时使限位块(7)进行升降。

2.根据权利要求1所述的一种探针台的台面升降机构，其特征在于：所述安装板(3)的正面沿其高度方向固定连接有T型杆(9)，所述调节块(4)的背面开设有T型槽(10)，且所述T型杆(9)穿插连接在T型槽(10)内。

3.根据权利要求1所述的一种探针台的台面升降机构，其特征在于：所述安装板(3)的正面通过轴承转动连接有两个上下对称的转动轴(11)，两个所述转动轴(11)上均固定套接有同步轮(12)，两个所述同步轮(12)之间通过齿槽缠绕有同步带(13)，所述调节块(4)的一侧固定连接有一侧与同步带(13)相固定的连接块(14)，所述底座(1)的底部固定安装有电机(15)，且位于下方的所述转动轴(11)的一侧与电机(15)的输出轴相固定。

4.根据权利要求1所述的一种探针台的台面升降机构，其特征在于：所述安装杆(6)的正面沿其高度方向开设有滑槽(16)，所述底座(1)上通过轴承穿插连接有呈竖直轴向并位于滑槽(16)内的螺纹杆(17)，所述限位块(7)的一侧插接在滑槽(16)内并通过螺纹配合套接在螺纹杆(17)上，所述螺纹杆(17)的底部固定连接有位于底座(1)下方的从动锥齿轮(18)，所述底座(1)的一侧通过轴承穿插连接有呈左右轴向的转轴(19)，所述转轴(19)的一侧固定连接有与从动锥齿轮(18)相啮合的主动锥齿轮(20)，所述把手(8)固定连接在转轴(19)远离主动锥齿轮(20)的一侧。

5.根据权利要求1所述的一种探针台的台面升降机构，其特征在于：所述安装杆(6)的正面一侧沿其高度方向设置有一排刻度线(21)，所述限位块(7)的一侧固定连接有呈箭头状并指向刻度线(21)的指向块(22)。

6.根据权利要求1所述的一种探针台的台面升降机构，其特征在于：所述调节块(4)的一侧固定连接有长杆(23)，且所述长杆(23)远离调节块(4)的一侧朝安装杆(6)的方向延伸，所述限位块(7)的底部设置有位于长杆(23)正上方的接触式传感器，所述底座(1)上设置有PLC控制器，所述接触式传感器的输出端与PLC控制器的输入端电性相连，以能够将其监测到的压力信号传输至PLC控制器，所述PLC控制器的输出端与电机(15)通过电性相连，以用于在其接收到压力信号时控制电机(15)的输出轴停止转动。

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