CN218475630U - 分拣设备及其晶粒分类机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种分拣设备及其晶粒分类机构，所述晶粒分类机构包括：机架；驱动装置，设置在所述机架上；传动装置，与所述驱动装置配合且被驱动；以及晶粒存放装置，晶粒存放装置包括：存放架，与所述传动装置配合；支撑盘，连接于所述存放架上；以及已分料膜，吸附于所述支撑盘上；所述晶粒存放装置被所述传动装置带动而至少沿着远离所述机架的方向直线运动。

Description

分拣设备及其晶粒分类机构

技术领域

本实用新型涉及分拣设备，更具体地说，涉及一种分拣设备及其晶粒分类机构。

背景技术

随着LED的不断发展，对LED的需求和品质要求也越来越高，尤其是迷你LED技术的进步，带动了显示行业的快速发展，同时也对LED晶粒的品质提出了更高的要求。

在LED晶圆的加工制程中，晶圆被切割成多个晶粒，切割后的晶粒需要经过一系列的检测，并根据所检测的光电参数进行分类。晶粒分拣设备将晶粒挑选出来整齐排列到蓝膜上，以方便后续制程作业。

图1是现有技术中一种分拣设备的结构示意图。如图1所示，该分拣设备包括待分料晶粒顶取机构1、与待分料晶粒顶取机构1相对设置的晶粒分类机构2、以及设置在两者之间的挑拣机构3，其中一挑拣机构3将晶粒从待分料晶粒顶取机构1上吸取以后，旋转至晶粒分类机构2并将晶粒4置放在对应的蓝膜上。其中，可通过在晶粒分类机构2中设置顶杆，并使顶杆推顶蓝膜朝向挑拣机构3的吸嘴方向运动，使得吸嘴上的晶粒置放到蓝膜上。在这种现有的分拣设备中，由于顶杆在推顶蓝膜的过程中，蓝膜的中心和边缘的张力不同，导致蓝膜中心的晶粒位移变化较小而边缘的晶粒位移变化较大，影响接料的精度，必须通过软件来补偿蓝膜的伸缩造成的精度影响,但利用软件进行补偿的作用有限,对于高精度的晶粒分选,无法有效稳定地保障取晶精度。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的分拣设备无法保障取晶精度的缺陷，提供一种分拣设备及其晶粒分类机构，可保障取晶的精度且结构简单。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶粒分类机构，包括：

机架；

驱动装置，设置在所述机架上；

传动装置，与所述驱动装置配合且被驱动；以及

晶粒存放装置，包括：存放架，与所述传动装置配合；支撑盘，连接于所述存放架上；以及已分料膜，吸附于所述支撑盘上；

所述晶粒存放装置被所述传动装置带动而至少沿着远离所述机架的方向直线运动。

根据本发明所述的晶粒分类机构，所述驱动装置是电机，所述传动装置是与所述电机配合的凸轮，所述晶粒分类机构还包括复位装置，所述复位装置设置在所述机架和晶粒存放装置之间，且对所述晶粒存放装置施加与所述传动装置所施加力的相反的回复力。

根据本发明所述的晶粒分类机构，所述复位装置是连接在所述机架与晶粒存放装置之间的拉伸弹簧，或者是分别设置在所述机架和晶粒存放装置上的电磁元件。

根据本发明所述的晶粒分类机构，所述机架包括支承板和辅助板，在所述辅助板上设置有孔，所述驱动装置的驱动端通过所述孔或位于所述孔内且与所述凸轮连接，在所述凸轮上还固定设置有第一凸轮限位部，在所述机架的辅助板上设置有对应的第二凸轮限位部，所述驱动装置断电时，所述第一凸轮限位部与所述第二凸轮限位部配合。

根据本发明所述的晶粒分类机构，所述第一凸轮限位部是设置在所述凸轮上的限位柱，在所述辅助板上围绕所述孔的一部分设置有槽，所述第一凸轮限位部延伸至所述槽内，所述槽的端壁形成所述第二凸轮限位部。

根据本发明所述的晶粒分类机构，在所述机架和晶粒存放装置之间设置有为所述晶粒存放装置的直线运动导向的导向装置。

根据本发明所述的晶粒分类机构，所述导向装置包括：

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的滑块、以及设置在其中另一者上且与所述滑块配合的导轨；或者

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的导向轴、以及设置在其中另一者上且与所述导向轴配合的直线轴承；或者

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的导杆、以及设置在其中另一者上且与所述导杆配合的导套；

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的导向轴、以及设置在其中另一者上且与所述导向轴配合的气浮轴承。

根据本发明所述的晶粒分类机构，在所述机架上设置有第一晶粒存放装置限位部，所述第一晶粒存放装置限位部朝向所述晶粒存放装置延伸，其端部形成第一止档部；在所述晶粒存放装置上，设置有第二晶粒存放装置限位部，所述第二晶粒存放装置限位部朝向述机架延伸，其端部形成与所述第一止档部配合的第二止档部。

根据本发明所述的晶粒分类机构，所述存放架包括朝向所述机架所在方向延伸的支撑部，所述导向装置包括固定在所述支撑部上的导轨、以及固定在所述机架上且与所述导轨滑动配合的滑块；所述第二止档部形成于所述支撑部的端部。

根据本发明所述的晶粒分类机构，所述传动装置是与所述驱动装置配合的连杆机构或者丝杆。

一种分拣设备，包括：晶粒顶取机构；如上文所述的晶粒分类机构，与所述晶粒顶取机构相对设置；以及设置在所述晶粒顶取机构和所述晶粒分类设备之间的挑拣机构。

实施本实用新型的分拣设备及其晶粒分类机构，具有以下有益效果：晶粒存放装置采用支撑盘来吸附已分料膜，支撑盘运动时直接通过已分料膜的粘性来粘取晶粒，可以避免蓝膜的伸缩造成的精度影响，稳定地保障了精度。此外，该晶粒分类机构采用相对简单的驱动装置、传动装置来带动晶粒存放装置高速往复直线运动，可省去现有技术中的顶杆来推顶蓝膜，结构简单。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是现有技术中一种分拣设备的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构的分解示意图；

图3是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构的另一分解示意图；

图4是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构的俯视图；

图5是根据本实用新型另一实施例的晶粒分类机构的俯视图；

图6是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构的仰视图；

图7是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构的结构示意图；

图8是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构的侧视图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

图2是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构10的分解示意图；图3是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构10的另一分解示意图；图4是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构10的俯视图；图5是根据本实用新型另一实施例的晶粒分类机构10的俯视图；图6是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构10的仰视图；图7是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构10的结构示意图；图8是根据本实用新型实施例的晶粒分类机构10的侧视图。

如图2-4、6-8所示，在本实用新型的一实施例中，晶粒分类机构10包括：机架100；驱动装置200，设置在机架100上；与所述驱动装置200配合且被驱动的传动装置300；晶粒存放装置400，与所述传动装置300配合且被所述传动装置300带动而沿着远离所述机架100、或者远离及靠近所述机架 100的方向直线运动。

该晶粒分类机构10还可以包括：复位装置500，设置在机架100和晶粒存放装置400之间，对所述晶粒存放装置400施加与所述传动力方向相反的回复力；以及设置在晶粒存放装置400上的导向装置600。

具体而言，机架100可以包括支承板101、以及与支承板101连接的辅助板102，该支承板101可以沿着第一方向延伸；而辅助板102可以沿着第二方向延伸，其中第一方向与第二方向垂直。但本实用新型不限于此，机架100 也可以是一体成型。辅助板102与支承板101也可以不相互垂直而是大致平行设置，只要能够固定支承驱动装置200、复位装置500等即可。

驱动装置200固定在支承板101或者辅助板102上。在图示的实施例中，驱动装置200是电机，例如但不限于步进电机、伺服电机、音圈电机等。在辅助板102上设置有孔102a，驱动装置200位于辅助板102底部，且驱动端 (例如，驱动轴)通过孔102a或位于孔102a内。驱动装置200的驱动端与传动装置300连接。

在图示的实施例中，传动装置300是凸轮，其外周具有凸轮面300a。传动装置300的整个外周可以是凸轮面；由于凸轮仅小幅偏摆就可以带动晶粒存放装置400直线移动，因此传动装置300的外周可以仅一部分是凸轮面。图中就示出了传动装置300的外周仅一部分是凸轮面300a的情况。

如图5所示，在凸轮300上还固定设置有第一凸轮限位部300b，该第一凸轮限位部300b设置在凸轮面300a之外。在机架100的辅助板102上设置有对应的第二凸轮限位部102b，当驱动装置200断电时，第一凸轮限位部300b 可以与第二凸轮限位部102b配合，实现凸轮300的限位。

在图5的实施例中，第一凸轮限位部300b是设置在凸轮300上的限位柱，该限位柱沿着凸轮300的径向延伸。在辅助板102上，围绕孔102a的一部分设置槽102c。槽102c与孔102a相通，且两者可以同圆心。槽102c与晶粒存放装置400可以分别设置在孔102a的相对两侧。第一凸轮限位部300b 延伸至槽102c内，当凸轮300转动时，第一凸轮限位部300b在槽102c内运动。槽102c的长度足以覆盖晶粒存放装置400与凸轮面300a配合工作时第一凸轮限位部300b的对应行程。槽102c的端壁形成第二凸轮限位部102b。当限位柱与槽102c的端部相互接触时，不能再旋转。为了更精准地定位，第二凸轮限位部102b与限位柱接触的表面可以是沿着孔102a的径向延伸的表面。

对于绝对值电机而言，在每一次断电后，电机可以找到原点并开始按照既定的规律运转。对于相对值电机而言，每一次断电后都需要重新寻找原点，这将会降低工作效率。如图1和图4所示，在本实用新型的一实施例中，驱动装置200是相对值电机，在凸轮300上还设置有定位部300c，该定位部 300c设置在凸轮面300a之外。在机架100的辅助板102上设置有对应的感应元件102d，该感应元件102d可以是例如光电开关等。断电后，第一凸轮限位部300b与第二凸轮限位部102b配合时，定位部300c位于感应元件102d处。在图示的实施例中，第一凸轮限位部300b与定位部300c可以均沿着孔102a 的径向延伸，且两者可以上下并排平行设置。但本实用新型不限于此。

传动装置300的实施形式不限于凸轮，还可以是设置于机架100上并与晶粒存放装置400配合的连杆机构，驱动装置200驱动连杆机构运动并带动晶粒存放装置400往复运动。传动装置300还可以是与驱动装置200配合的丝杆，驱动装置200驱动丝杆旋转并带动晶粒存放装置400往复运动。

晶粒存放装置400包括存放架401、连接于存放架401的支撑盘402、以及吸附于支撑盘402上的已分料膜(未图示)。存放架401与传动装置300配合。在传动装置300是凸轮的实施例中，存放架401包括本体4011、以及连接于本体4011并与凸轮300配合的推抵件4012。本体4011与支撑盘402相连，在本体4011上设有朝向凸轮300所在的方向延伸的连接部4013，推抵件 4012连接于连接部4013并与凸轮300配合。为了减少阻力和摩擦，推抵件4012可以是转动轴承、通过转轴可转动地连接于连接部4013的转筒、或者转动设置在连接部4013上的滚珠等。

支撑盘402大致呈圆盘状，其上设置有多个气孔402a，这些气孔402a可以与抽真空装置连接，当抽真空装置工作时，支撑盘402会将已分料膜吸附于其上。但本发明的结构不限于此，支撑盘402也可以直接抵在已分料膜上。

在机架100和晶粒存放装置400之间还设置有导向装置600，该导向装置600用于为晶粒存放装置400的直线运动导向。在一种实施方式中，导向装置 600可以包括设置在机架100和晶粒存放装置400的其中一者上的滑块、以及设置在其中另一者上且与滑块配合的导轨。在另一种实施方式中，导向装置 600可以包括设置在机架100和晶粒存放装置400的其中一者上的导向轴、以及设置在其中另一者上且与导向轴配合的直线轴承。在另一种实施方式中，导向装置600可以包括设置在机架100和晶粒存放装置400的其中一者上的导杆、以及设置在其中另一者上且与导杆配合的导套。在另一种实施方式中，导向装置600可以包括设置在机架100和晶粒存放装置400的其中一者上的导向轴、以及设置在其中另一者上且与导向轴配合的气浮轴承。除此之外，导向装置600还可以是其他的实施方式。

在图示的实施例中，导向装置600包括设置在晶粒存放装置400的存放架 401上的导轨601、以及设置在机架100上的滑块602。具体而言，从存放架 401的本体4011两侧延伸出支撑部4014，该支撑部4014朝向机架100所在的方向延伸，导轨601固定设置在支撑部4014上。但本实用新型不限于此，支撑部4014本身也可以作为导轨使用。滑块602可以固定在机架100的辅助板 102底部，并与导轨601滑动配合。

作为选择性的实施例，导轨601可以固定在机架100的辅助板102底部，而滑块602可以固定在支撑部4014上。

复位装置500设置在机架100和晶粒存放装置400之间，对所述晶粒存放装置400施加与传动力方向相反的回复力，也就是，对晶粒存放装置400施加朝向机架100的回复力。在图示的实施例中，复位装置500是连接在机架100 和晶粒存放装置400之间的拉伸弹簧，传动装置300带动晶粒存放装置400 朝向远离机架100的方向运动时，拉伸弹簧被拉伸。当传动装置300复位后，晶粒存放装置400在复位装置500的作用下复位。当传动装置300是上文所的连杆机构、丝杆等时，也可以不采用复位装置500。

本申请的复位装置500不限于拉伸弹簧，还可以是分别设置在机架100 和晶粒存放装置400上且相互吸引的一对电磁元件，还可以采用其他的实施形式。

为了更好地限制晶粒存放装置400的位置，防止晶粒存放装置400相对于机架100运动超出预定的范围，在机架100上设置有第一晶粒存放装置限位部 103，该第一晶粒存放装置限位部103朝向晶粒存放装置400延伸，且大致呈 L形，其端部形成第一止档部103a。在晶粒存放装置400上，设置有对应的第二晶粒存放装置限位部，该第二晶粒存放装置限位部可以朝向机架100延伸，且大致呈L形，其端部形成与第一止档部103a配合的第二止档部404a。第二止档部404a位于第一止档部103a与机架100之间。在第一晶粒存放装置限位部103上，形成避让第二止档部404a的第一凹位103b。在第二止档部 404a上，也可以形成避让第一止档部103a的第二凹位404b。

在图示的实施例中，第二止档部404a直接形成于支撑部4014的底部且位于支撑部4014的端部。即支撑部4014和第二止档部404a共同形成该第二晶粒存放装置限位部。在支撑部4014上，形成避让第一止档部103a的第二凹位 404b。

当晶粒存放装置400被驱动朝向远离机架100的方向运动时，第一止档部 103a和第二止档部404a相互靠近，运动到预定的界限时，第一止档部103a 和第二止档部404a相互抵接，晶粒存放装置400不能继续朝远离机架100的方向运动。

当本实用新型的晶粒分类机构10应用于分拣设备时，该分拣设备包括晶粒顶取机构、与晶粒顶取机构相对设置的上述晶粒分类机构10、以及设置在两者之间的挑拣机构。

本实用新型的晶粒存放装置400采用支撑盘402来吸附已分料膜，支撑盘 402运动时直接通过已分料膜的粘性来粘取晶粒，可以避免蓝膜的伸缩造成的精度影响，稳定地保障了精度。此外，该晶粒分类机构10采用相对简单的驱动装置200、传动装置300来带动晶粒存放装置400高速往复直线运动，可省去现有技术中的顶杆来推顶蓝膜，结构简单。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种晶粒分类机构，其特征在于，包括：

机架；

驱动装置，设置在所述机架上；

传动装置，与所述驱动装置配合且被驱动；以及

晶粒存放装置，包括：存放架，与所述传动装置配合；支撑盘，连接于所述存放架上；以及已分料膜，吸附于所述支撑盘上；

所述晶粒存放装置被所述传动装置带动而至少沿着远离所述机架的方向直线运动。

2.根据权利要求1所述的晶粒分类机构，其特征在于，所述驱动装置是电机，所述传动装置是与所述电机配合的凸轮，所述晶粒分类机构还包括复位装置，所述复位装置设置在所述机架和晶粒存放装置之间，且对所述晶粒存放装置施加与所述传动装置所施加力的相反的回复力。

3.根据权利要求2所述的晶粒分类机构，其特征在于，所述复位装置是连接在所述机架与晶粒存放装置之间的拉伸弹簧，或者是分别设置在所述机架和晶粒存放装置上的电磁元件。

4.根据权利要求2所述的晶粒分类机构，其特征在于，所述机架包括支承板和辅助板，在所述辅助板上设置有孔，所述驱动装置的驱动端通过所述孔或位于所述孔内且与所述凸轮连接，在所述凸轮上还固定设置有第一凸轮限位部，在所述机架的辅助板上设置有对应的第二凸轮限位部，所述驱动装置断电时，所述第一凸轮限位部与所述第二凸轮限位部配合。

5.根据权利要求4所述的晶粒分类机构，其特征在于，所述第一凸轮限位部是设置在所述凸轮上的限位柱，在所述辅助板上围绕所述孔的一部分设置有槽，所述第一凸轮限位部延伸至所述槽内，所述槽的端壁形成所述第二凸轮限位部。

6.根据权利要求1所述的晶粒分类机构，其特征在于，在所述机架和晶粒存放装置之间设置有为所述晶粒存放装置的直线运动导向的导向装置。

7.根据权利要求6所述的晶粒分类机构，其特征在于，所述导向装置包括：

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的滑块、以及设置在其中另一者上且与所述滑块配合的导轨；或者

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的导向轴、以及设置在其中另一者上且与所述导向轴配合的直线轴承；或者

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的导杆、以及设置在其中另一者上且与所述导杆配合的导套；

设置在所述机架和晶粒存放装置的其中一者上的导向轴、以及设置在其中另一者上且与所述导向轴配合的气浮轴承。

8.根据权利要求7所述的晶粒分类机构，其特征在于，在所述机架上设置有第一晶粒存放装置限位部，所述第一晶粒存放装置限位部朝向所述晶粒存放装置延伸，其端部形成第一止档部；在所述晶粒存放装置上，设置有第二晶粒存放装置限位部，所述第二晶粒存放装置限位部朝向述机架延伸，其端部形成与所述第一止档部配合的第二止档部。

9.根据权利要求8所述的晶粒分类机构，其特征在于，所述存放架包括朝向所述机架所在方向延伸的支撑部，所述导向装置包括固定在所述支撑部上的导轨、以及固定在所述机架上且与所述导轨滑动配合的滑块；所述第二止档部形成于所述支撑部的端部。

10.根据权利要求1所述的晶粒分类机构，其特征在于，所述传动装置是与所述驱动装置配合的连杆机构或者丝杆。

11.一种分拣设备，其特征在于，包括：

晶粒顶取机构；

如权利要求1-10任一项所述的晶粒分类机构，与所述晶粒顶取机构相对设置；以及

设置在所述晶粒顶取机构和所述晶粒分类设备之间的挑拣机构。

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